DE1953656A1 - Belichtungseinrichtung - Google Patents

Belichtungseinrichtung

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DE1953656A1
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light
point
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exposure device
intensity
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DE19691953656
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Webster Ronald Bruce
Gerber Heinz Joseph
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Gerber Systems Corp
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Gerber Scientific Instrument Co
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    • G08SIGNALLING
    • G08CTRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C21/00Systems for transmitting the position of an object with respect to a predetermined reference system, e.g. tele-autographic system

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)

Description

Belic htungs einrichtung
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf Vorrichtungen zum Belichten von Linien auf einem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff und sie befasst sich insbesondere mit aolchen Vorrichtungen, bei denen ein Lichtpunkt über einen derartigen Werkstoff hinweg bewegt wird, um eine Linie zu belichten, und zwar etwa in der gleichen Weise wie eine Linie durch die Bewegung eines Bleistifts oder einer Feder über einen Papierbogen hinweg erzeugt wird·
Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Belichten einer Linie auf einem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff mit einem Träger zur Aufnahme dieses Bogens, mit einer Projektionseinrichtung zur Projizierung eines Lichtpunkts auf die Oberfläche des lichtempfindlichen Werkstoffs, mit ersten und zweiten Steuerungen für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in einer ersten von zwei bzw· in der zweiten dieser Koordinatenrichtungen, mit Einrichtungen zur Erzeugung eines ersten bzw. zweiten, auf die Geschwindigkeit, mit weloher der Lichtpunkt in der ersten bzw© zweitem Koordinatenriohtung durch die ersten oder zweiten Bewegungssteuerungen
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bewegt wird, bezogenen Signals und mit Einrichtungen zum Zusammenfassen der ersten und zweiten Geschwindigkeitssignale zur Erzeugung eines auf die resultierende Bewegungsgeschwindigkeit des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff bezogenen Signals«
Eine Vorrichtung dieser Gattung ist durch die USA-Patentschrift 3 350 182 bekanntgeworden» Wie dort ausgeführt ist» ist es beim Belichten von Linien durch Bewegen eines Lichtpunkts notwendig, die Intensität oder Stärke des Lichtpunkts im Übereinstimmung mit seiner Geschwindigkeit über den lichtempfindlichen Werkstoff hinweg zu verändern, um eine annehmbare Belichtung der zu erzeugenden Linie hervorzurufen» Bei der Vorrichtung nach dieser Patentschrift wird die Intensität des projezierten Lichtpunkts durch e.in offenes Regelsystem gesteuert oder geregelt, so dass die Intensität sich mit der Geschwindigkeit des Lichtpunkts änderte Dieses offene Regelsystem gleicht jedoch Änderungen in der Intensität des Lichtpunkts» die von Änderungen in der Stärke der Lichtquelle oder von anderen Faktoren hervorgerufen werden, nicht aus und erlaubt somit nicht die brauchbare Anwendung oder Anpassung der Vorrichtung für verschiedene bzw« unterschiedliche lichtempfindliche Werkstoffe mit unterschiedlichen Spektral-VerteilungsCharakteristiken·
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Belichtungsvorrichtung zu schaffen, die der bekannten Vorrichtung gegenüber insofern verbessert und überlegen ist, als sie ein System zur Steuerung der Intensität des projizierten Lichtpunkte hat, um eine im wesentlichen konstante und gleichbleibende Belichtung an allen Punkten entlang der zu belichtenden Linie ohne Rücksicht auf Änderungen in der Geschwindigkeit des Lichtpunkts, in der Änderung der Stärke der Lampe oder anderer Paktoren aufrechtzuerhalten und um die
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■brauchbare, bequeme und rasche Anpassung der Einrichtung an lichtempfindliche Werkstoffe mit verschiedenen bzw« unterschiedlichen Spektral-Verteilungscharakteristiken oder mit unterschiedlicher Farbempfindlichkeit zu gestatten0
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäss eine Vorrichtung der eingangs genannten Gattung vorgeschlagen^ die gekennzeichnet ist durch ein auf die Intensität des Lichtpunkts bezogenes Signal erzeugende Einrichtungen, durch das resultierende Geschwindigkeitssignal mit dem Lichtpunkt-Intensitätssignal vergleichende und, falls das Verhältnis der beiden letzten Signale einer vorbestimmten Konstanten gegenüber ungleich ist$ ein Korrektursignal erzeugende Schaltungselemente und durch in Abhängigkeit von dem Korrektursignal die Intensität des Lichtpunkts in der Weise ändernde Bauteile, dass das Korrektursignal aufgehoben wird«
Die gestellte Aufgabe wird damit gelöst«
Die erste bzw· zweite Steuerung für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der ersten bzw* zweiten Koordinatenrichtung weist Einrichtungen für eine Relativbewegung der Projektionseinrichtung und der tragenden Fläche zueinander auf* Hierbei hat vorzugsweise die erste Steuerung für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der ersten Koordinatenrichtung einen Schrittmotor und die zweite Steuerung für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der zweiten Koordinatenrichtung einen zweiten Schrittmotor, deren jeweilige Schrittgeschwindigkeiten unmittelbar mit der Geschwindigkeit der Bewegung des Lichtpunkts relativ zum Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der ersten bzw· zweiten Koordinatenrichtung in Beziehung stehen«, Es werden
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vorzugsweise Steuersender zur Zuführung von Eingangsantriebaimpulsen zu jedem ersten und zweiten Schrittmotor vorgesehen und die Einrichtungen zur Erzeugung eines ersten sowie die Einrichtungen zur Erzeugung eines zweiten, auf die Geschwindigkeit, mit welcher der Lichtpunkt in der ersten "bzw* zweiten Koordinatenrichtung bewegt wird, bezogenen Signals weisen bevorzugt jeweils eine Schalt einheit auf, die mit dem Eingang des jeweils zugeordneten Schrittmotors verbunden ist und von den diesen zugeführten Impulsen zur Erzeugung eines Ausgangsspannung ssignals, dessen Wert unmittelbar der Impulsfolgefrequenz der dem zugeordneten Schrittmotor zugeführten Impulse in Beziehung steht, abhängig ist*
Die Einrichtungen zum Zusammenfassen der ersten und zweiten Greschwindigkeitssignale enthalten bevorzugt einen Analogrechner, der diese Signale zur Erzeugung eines Ausgangsspannungssignals, das wenigstens der resultierenden Lichtstrahlbündelgeschwindigkeit annähernd gleich ist, verwendete
Die Projektionseinrichtung enthält eine Lichtquelle und von der Lichtquelle ausgehende Strahlen werden durch optische Elemente in ein Lichtbündel, das zur Bildung eines Lichtpunkts auf die lichtempfindliche Oberfläche projiziert wird, umgeformt ο Eine Strahlspaltungsvorrichtung dient dazu, ein auf die Intensität des Lichtpunkts bezogenes Signal zu erzeugen und diese ist in dem Weg des Strahlbündels angeordnet, das sie in ein Hauptstrahlbündel, von dem wenigstens ein Teil auf die lichtempfindliche Oberfläche zur Bildung eines Lichtpunkts gelangt, und ein Sekundärstrahlbündel aufspaltet.
Ein Photodetektor fängt das Sekundärstrahlbündel auf und erzeugt ein auf dessen Intensität bezogenes Ausgangasignal* Tor dem Photodetektor erstreokt sioh quer über das Sekundär-
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strahlbündel ein Filter, das das vom Photodetektor erzeugte Ausgangssignal veränderte Dieses Filter hat eine derartige Durchlässigkeitscharakteristik, dass im wesentlichen nur diejenigen Lichtfrequenzen, auf welche der Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff anspricht, hindurchgelassen werden*
Die Strahlspaltungsvorrichtung weist vorzugsweise einen sich quer über das Grundstrahlbündel unter einem Winkel zu dessen Achse sich erstreckenden halbdurchlässigen Spiegel auf, der einen Teil des Grundatrahlbündels als Haupt a tr ahlbün del hindurchlässt und einen anderen Teil des Grundetrahlbündels als Sekundärstrahlbündel reflektiert» Die Projektionseinrichtung enthält eine Lichtquelle, ζ*Be eine Glühlampe, und optische Elemente zur Ausbildung von Lichtstrahlen dieser Lichtquelle zu einem Strahlenbündel, von dem wenigstens ein Teil gegen die lichtempfindliche Oberfläche zur Bildung des Lichtpunktes gerichtet isto Die Einrichtungen zur Änderung der Intensität des Lichtpunkts in Abhängigkeit von dem Korrektursignal könne» einen auf das Korrekturaignal ansprechenden Kraftverstärker zur Steuerung der der Glühlampe zugeführten Energie oder auch eine Filtereinheit mit veränderbarer Lichtdurchlässigkeit enthalten, durch welche das Strahlenbündel zur Veränderung eeiner Intensität hindurchgeht» Durch Steuereinrichtungen kann die Liohtdurchlässigkeit der Filtereinheit in Abhängigkeit vom Korrektursignal verändert we. 'en· Vorzugsweise weist die Filtereinheit ein Filterelement mit einer im allgemeinen sich quer zum Strahlenbündel erstreckenden Hauptflache auf, wobei sich die Lichtdurchlässigkeit in einer Richtung entlang seiner Hauptfläche fortschreitend ändert» Die Steuereinrichtungen bewegen das Filterelement relativ zum Lichtstrahlenbündel in dieser einen Riohtung in Abhängigkeit von dem Korrektursignal und bringen Abschnitte von unterschiedlicher Lichtdurchlässigkeit in Ausrichtung mit dem Strahlenbündel·
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Weitere besondere und erfindungewesentliehe Merkmale und Einzelheiten des Erfindungsgegenstandes ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen für diesen·
Pig* 1 ist eine perspektivische Ansicht einer mit dem Erfindungsgegenstand versehenen Belichtungseinrichtung O
Fig· 2 zeigt eine achematische Darstellung der Belichtungseinrichtung der !"ige 1«
Pig» 3 ist eine schematische Darstellung eines Teiles einer Belichtungseinrichtung gemäss einer weiteren Ausführungsform der Erfindung«,
Figo 4 zeigt schematisch die Bewegung eines Lichtpunkts über den lichtempfindlichen Werkstoff hinweg»
Pig· 5 ist eine Draufsicht auf eine in der Einrichtung nach Pig» 3 verwendete filterscheibe»
Pig» 6 ist ein Diagramm, das den linearen Verlauf der Lichtdurehlässigkeit oder Schwärzungsabstufung bzw· des Sohwärzungsgradienten der Filterscheibe der Fig· 5 im Vergleich mit bisher verfügbaren bzw« verwendeten Filteracheiben zeigt·
In Pig· 1 ist die allgemeine Anordnung einer den Erfindungsgegenstand enthaltenden Belitihtungseinrichtung gezeigt· Die Einrichtung ist allgemein mit 10 bezeichnet und hat einen Tisch 12 mit einer flachen oder planen, im allgemeinen aufwärts oder nach oben gerichteten Oberfläche 14, auf welcher der Bogen 16 aus lichtempfindlichem Werkstoff ruht· Eine manchmal als Projektions- oder Belichtungskopf bezeichnete
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Projektionseinrichtung 18 ist oberhalb der tragenden "Fläche 14- dea Tisches 12 angeordnet und dient dazu, ein schmales Lichtbündel abwärts auf die Oberfläche des lichtempfindlichen Werkstoffs 16 zu werfen, um auf dieser einen Lichtpunkt zu erzeugen* Der Bogen 16 aus lichtempfindlichem Werkstoff kann ein photographischer Film, eine photographische Platte od. dgl» sein und der durch die Projektionseinrichtung 18 darauf geworfene Lichtpunkt wird über die Oberfläche des lichtempfindlichen Werkstoffs hinweg bewegt, um auf diesem eine Linie zu belichteno
In Übereinstimmung mit umfassenderen Gesichtspunkten der Erfindung kann die Bewegung des Lichtpunkts mit Bezug auf die Oberfläche des Bogens 16 auf viele verschiedene Arten erreicht werden, jedoch wird im gezeigten Fall die Bewegung der Projektionseinrichtung 18 relativ zu dem Tisch 12 und zu dem Bogen 16 durch physisches Bewegen erreicht, wobei der Lichtpunkt mit Bezug auf die Projektionseinrichtung fest ist und sich mit dieser bewegt© Um die Projektionseinrichtung 18 so zu tragen und zu bewegen, weist der Tisch 12 einen Schlitten 20 auf, der die tragende Oberfläche 14 überspannt und in geeigneter Weise für eine Relativbewegung in einer von zwei rechtwinkeligen Koordinatenrichtungen gegenüber dem Tisch geführt ist· Diese Koordinatenrichtung ist die X-Richtung, wie in Fig. 1 durch die Pfeile angedeutet ist· Die Antriebsbewegung für den Schlitten 20 in der X-Richtung wird durch eine Leitspindel 22 erzeugt, die arbeitsseitig mit dem Schlitten verbunden ist und durch einen zugeordneten X-Schrittffiotor 24 gedreht wird· Die Projektionseinrichtung 18 ist an dem Schlitten 20 relativ zu diesem in der anderen, winkelrechten Koordinatenrichtung oder der Y-Richtung in Fig· 1 beweglich befestigt und sie wird in dieser Richtung durch eine zugeordnete Leitspindel 26 bewegt, die arbeit sseitig mit der Projektionseinrichtung 18 verbunden ist und
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durch einen γ—Schrittmotor 28 gedreht wird»
Der Tisch 12 und die zugeordneten Vorrichtungen zum Tragen und Bewegen der Projektionseinrichtung 18 mit Bezug auf die Tischoberfläche 14 und den lichtempfindlichen Werkstoff 16 können verschiedene unterschiedliche Ausbildungen haben und können besonders für die Projektionseinrichtung gestaltet sein· Der Tisch 12 kann jedoch auch bequemerweise ein solcher eines üblichen Χ-γ-Aufzeichnungsgeräts sein, und bevorzugt ist er ein solcher, bei welchem der Schlitten 20 der Pig« 1 dessen normaler X-Schlitten, während die Projektionseinrichtung 18 ein am normalen Y-Schlitten des Aufzeichnungsgeräts befestigter Auf-oder Ansatz ist· Das heisst, die Projektions-? einrichtung 18 besteht lediglich aus einem Zubehörteil, das die Feder, die Druckwalze oder ein anderes Schreib- bzw» Kennzeichnungsgerät, das normalerweise bei dem Aufzeichnungsgerät verwendet wird, ersetzte
In Figo 2 ist schematisch die Belichtungseinrichtung der Fig» 1 mit ihrem Steuersystem für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zum lichtempfindlichen Werkstoff und für das konstante Einhalten der Belichtung des Werkstoffs ohne Rücksicht auf Änderungen in der Geschwindigkeit des Lichtpunkts, in der Intensität der Lichtquelle und von anderen Faktoren dargestellte Die in der Projektionseinrichtung 18 der Fig· enthaltenen Teile sind in Fig· 2 Innerhalb der gestrichelt gezeichneten Umrandung 18 dargestellt und der von diesen Teilen erzeugte Lichtpunkt ist mit 30 bezeichnet. Die Projektionseinrichtung 18 wird, wie gezeigt, in der X-Richtung durch den X-Sohrittmotor 24 und in der Y"-Richtung durch den Y-Schrittmotor 28 "bewegt· Der X-Sohrittmotor 24 wird seinerseits durch einen X-Steuersender 32 von üblicher Ausbildung erregt, welcher ao arbeitet, dass er folgeabhängig die Erregung der wicklungen des Motors 24 in einem Verhältnis ändert,
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das dem Maara der seinem Eingang über die Leitung 34 zugeführten Impulse entspricht, und zwar mit dem Ergebnis, dass der Motor 24 mit einer unmittelbar mit der Impulsfolgefrequenz der an der Leitung 34 auftretenden Impulse in Beziehung stehenden Geschwindigkeit gedreht wird* ^n gleicher Yfeise wird der Y-Schrittmotor 28 durch einen. Y-Steuersender 36 erregt, der die Erregung der Motorwicklungen im Verhältnis zu den seinem Eingang zugeführten und an der Leitung 38 auftretenden Impulse ändert, so dass der !-Schrittmotor 28 mit einer unmittelbar mit der Impulsfolgefrequenz der Impulse auf der Leitung 38 in Beziehung stehenden Geschwindigkeit gedreht wird* Die an den Leitungen 34 und 38 auftretenden Impulse werden ihrerseits von einem zugeordneten,, geeigneten Steuergerät 40 hergeleitet, das die Frequenz und die Anzahl der Impulse auf den beiden. Leitungen in Übereinstimmung mit gegebenen Eingangsinformationen steuert^ um die Motoren .24 und 28 zur Bewegung der Projektionseinrichtung 18 zu bringen und um den Lichtpunkt 30 einen gewünschten Weg nehmen zu lassen. Den den Steuersendern 32 bzw· 36 über die Leitungen 42 und 44 jeweils zugeführte Richtungssignale steuern die Drehrichtung der Motoren 24 und 28. Die beiden Motoren 24 und 28 werden - ausgenommen, es ist erwünscht, den Lichtpunkt 30 allein in der X- oder allein in der Y-Richtung zu bewegen - simultan betrieben, so dass der Lichtpunkt in irgendeiner Richtung und entlang irgendeiner Bahn mit Bezug auf den lichtempfindlichen Werkstoff 16 durch Zuführung von Impulsen im geeigneten diesbezüglichen Verhältnis zu den 3teuersendern 32 und 36 bewegt werden kann»
Als Teil des erfindungsgemässen Systems zum Einhalten einer einwandfreien Belichtung des lichtempfindliohen Werkstoffs bei Bewegung des Lichtpunkts 30 über diesen hinweg ist eine Einrichtung vorgesehen, die ein Signal liefert, das zu der Geschwindigkeit des Lichtpunkts gegenüber dem Werkstoff in Beziehung steht» In Übereinstimmung mit den umfassenderen Ge-
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Sichtspunkten der Erfindung kann dieses Signal auf verschiedene unterschiedliche Weise erzeugt werden und kann verschiedene unterschiedliche Ausgestaltungen haben» Jedoch ist es im in Figo 2 dargestellten Fall ein Spannungssignal, das von den Eingangsimpulsen! zu den X- und Y-Steuersendern 32 und 36 hergeleitet wird« Im einzelnen weist die das Geschwindigkeitssignal liefernde Einrichtung einen Y-Tachometerkreis 46 auf 9 der mit der leitung 38 durch eine Leitung 48 verbunden ist, so dass diesem Kreis 46 die gleichen Impulse zugeführt werden, wie dem Y-Steuersender 36« Der Kreis 46 ist seinerseits ein solcher j, der so zu betreiben ist, dass er eine Ausgang8spannung E liefert, deren Wert unmittelbar mit der Impulsfolgefrequenz der Impulse an der leitung 38 in Beziehung steht» Da die Impulsfolgefrequenz der Impulse an der leitung 38 unmittelbar mit der anteiligen Geschwindigkeit des Lichtpunkts in der Y-Richtung in Beziehung steht, ist demzufolge auch die Spannung E unmittelbar auf diese anteilige Geschwindigkeit bezogene In gleicher Weise ist ein X-Tachometerkreis 50 mit der Leitung 34 durch eine weitere Leitung 52 verbunden* so dass die dem X-Steuersender 32 zugeführten Impulse auch dem X-Tachometerkreis 50 zugeleitet werden.» Der Kreis 50 arbeitet so, dass er ein SPannungssignal Ev hervorbringt, dessen Wert unmittelbar mit der Impulsfolgefrequena der an der Leitung 34 auftretenden Impulse in Beziehung steht, so dass demzufolge das Sρannungssignal E_ unmittelbar auf die Geschwindigkeit des Lichtpunkts 30 in der X-Koordinaten-Richtung bezogen ist» Die beiden Signale E und Εχ für den Geschwindigkeitsanteil werden als Eingänge für einen Analogrechnerkreis 54 benutzt, der eine Ausgangsspannung E liefert, die mit den beiden Eingangsspannungen duroh die Gleichung Ev * VEx2 + E 2 in Beziehung steht· Demzufolge ist Ey ein Spannungssignal, das unmittelbar auf die Resultante der Signale E und Εχ bezogen ist und es steht demzufolge unmittelbar zu der resultierenden oder wahren Geschwindigkeit des lichfcpunkta 30 relativ zum lichtempfindlichen Werkstoff in Beziehung·
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Das Belichtungsateuersystem verwendet auch ein Signal, das zur Intensität des auf den lichtempfindlichen Werkstoff 16 auftreffenden Lichtpunkts 30 in Beziehung steht« Dieses Signal kann wiederum verschiedene unterschiedliche Ausgestaltungen haben, so lange es mit dem Geschwindigkeitssignal in Einklang steht, und es kann auf verschiedene unterschiedliche Arten erzeugt werden«. Im in Figo 2 gezeigten Fall verwendet Jedoch die Projektionseinrichtung 18 eine Lichtquelle in Form einer Glühlampe 56, wobei die dieser zugeführte Energie durch einen Kraftverstärker 55 gesteuert wirdo Von der Lampe 56 ausgehende Lichtstrahlen werden zu einem Grundstrahlbündel 58 geformt, das gegen den lichtempfindlichen Werkstoff 16 zur JBildung des Lichtpunkts. 30 gerichtet wirdp Diese das Strahlbündel formenden Einrichtungen können verschiedenartig und in bekannter Weise ausgebildet sein0 Der Einfachheit halber sind diese Einrichtungen in Figo 2 als lediglich aus einer Linse 60 bestehend dargestellt· Im Weg des GrundHtrahlbündels 58 ist eine Strahlspaltungsvorrichtung angeordnet, die das Grundstrahlbündel in ein auf den lichtempfindlichen Werkstoff 16 gerichtetes^ den Lichtpunkt 30 bildendes Hauptstrahlbündel und in ein Sekundärstrahlbündel, dessen Intensität zur Erzeugung eines auf die Intensität bezogenen Signals gemessen wird, teilto Es können verschiedene unterschiedliche Strahlspaltungsvorrichtungen zu diesem Zweek verwendet werden; im dargestellten Fall jedoch ist diese Vorrichtung als aus einem halbdurchlässigen, im Weg des Grundstrahlbündels 58 angeordneten Spiegel 62 bestehend gezeigt* der gegenüber der Aohse des Bündels geneigt ist· Das durch den Spiegel 62 hindurchgehende und auf den lichtempfindlichen Werkstoff 16 zur Bildung des Lichtpunkts 30 treffende Hauptstrahlbündel ist mit 64 bezeichnet, während das aus vom Spiegel 62 reflektierten Lichtstrahlen bestehende Sekundärstrahlbündel mit 66 bezeichnet ist·
Die Projektionseinrichtung 18 enthält zwischen dem Spiegel
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62 und dem lichtempfindlichen Werkstoff 16 ferner ein weiteres optisches System 68 zum Verschleiern, Verdecken, Unterbrechen, filtern, Bündeln oder für eine anderweitige Veränderung oder Steuerung der Lichtstrahlen des Hauptstrahlbündels 64» um verschiedenartige Charakteristiken oder Eigenschaften des auf dem lichtempfindlichen Werkstoff erscheinenden Lichtpunkts 30 zu ändern«. Die mechanische Einrichtung und die Arbeitsweise des optischen Systems 68 selbst bildet keinen Teil der vorliegenden Erfindung und kann weitgehend verschieden sein« Beispielsweise kann dieses System verschiedene unterschiedliche Öffnungen zur Änderung der Grosse und/ " oder Gestalt des Lichtpunkts 30, eine Gummilinse zur Steuerung der Grosse des Lichtpunkts, ein Spektral-Frequenzbereichfilter zum Beseitigen von infraroten oder anderen unerwünschten Anteilen des Lichtspektrums und einen Verschluss zum Unterbrechen des Strahlbündels, um den Lichtpunkt ein- und auszuschalten, enthalten» Das optische System 68 kann auch einen Satz von Öffnungen aufweisen, die dazu benutzt werden, dem Lichtpunkt 30 unterschiedliche Ausgestaltungen zu geben, wenn die Projektionseinrichtung feststehend gehalten und zu einem "Blitz"—Verfahren verwendet wird, um verschiedenartige Zeichen, Symbole od. dgl· auf dem lichtempfindlichen Werkstoff 16 zu belichten·
Der Photoöetektor zum Wahrnehmen der Intensität des Sekundäretranlbündels 66 ist in Fig» 2 mit 70 bezeichnet und kann aus einer Photozelle, Photodiode oder einer anderen lichtempfindlichen Fühleinrichtung bestehen. Der Photodetektor 70 ist, wie gezeigt» so angeordnet, dass er das Sekundärstrahlbündel 66 nahezu an seinem Brennpunkt auffängt und einem Ausgang liefert, der durch einen zugeordneten Verstärker 72 rerstärkt wird» um ein Spannungssignal E.. hervorzurufen, das unmittelbar auf die Intensität des Sekundftrstrahlbündela und demzufolge immittelbar auf die Intensität des Grundetrahlbündels
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58 9 des Hauptatrahlbündels 64 und des Lichtpunkts 30 bezogen ist· Vor dem Photodetektor 70 ist ein Frequenzbereiohfi.lter 74 angeordnet, das so gewählt ist, dass die durch dieses hindurchgehenden Lientfrequenzen im wesentlichen die gleichen sind wie diejenigen, auf die der lichtempfindliche Werkstoff 16 anspricht ο Verschiedene unterschiedliche lichtempfindliche Werkstoffe sind empfindlich gegenüber oder sprechen an auf verschiedene Lichtfrequenzen und durch Verwendung eines Filters 74 von geeigneter chromatischer Durchlässigkeit kann ein derartiges Ausgangssignal E- hervorgerufen werden, welches nur auf die Intensität derjenigen Frequenzen bezogen ist, auf welche der Werkstoff anspricht» Hat man eine Anzahl von unterschiedlichen Filtern von verschiedenartigen Spektraleigenschaften, so kann deshalb ein ausgewähltes Filter oder eine Gruppe von solchen als Filter 74 verwendet werden, um die Belichtungseinrichtung dem zu belichtenden Werkstoff anzupassen, und das Einsetzen van Filtern, um eine geeignete AnglAchung zu erreichen, ist einfach und kann leicht durchgeführt werden0
Das Spannungssignal E.., das, wie erwähnt, mit der Intensität dea Lichtpunkts 30 in Beziehung steht und das nachfolgend als Lichtpunkt-Intensitätssignal bezeichnet wird* tritt an der Leitung 76 auf, während das G-eschwindigkeitasignal Ey an der Leitung 78 auftritt. Diese beiden Signale werden verglichen, indem die Leitungen 76 und 78 über zwei Widerstände R.. und Rg an einem gemeinsamen Punkt 80 verbunden werden» Das eine der Signale ist negativ, während dae andere positiv iat, wobei in Figo 2 das Signal Ey als das negative bezeichnet iatο Falls am gemeinsamen! Punkt 80 eine Spannung auftritt, ist diese ein Korrektursignal, das einem einen öegenkopplungswiderstand 88 enthaltenden Funktionsverstärker 86 zugeführt wird· Der Ausgang des Verstärkers tritt seinerseits an der Leitung 90 auf und steuert den Kraft-
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verstärker 55 zur Steuerung der der Glühlampe 56 zugeführten Energiemenge» Die Arbeitsweise ist so, dass bei Auftreten eines positiven Signals am gemeinsamen Punkt 80, was angibt, dass die Liohtpunktintensität zu hoch für seine Geschwindigkeit ist, der an der Leitung 90 auftretende Ausgang des Verstärkers 86 von einer derartigen Kennzeichnung ist, dass der Kraftverstärker 55 die der Lampe 56 zugeführte Energie vermindern muss, wobei die Intensität des Grundstrahlbündels 56, des Sekundärstrahlbündels 66, die Lichtpunktintensität und das Ausgangssignal E1 vermindert werden, und demzufolge wird die Korrekturspannung am gemeinsamen Punkt 80 gegen Null gebracht» Das System ist folglich ein geschlossener Regelkreis, der so arbeitet, dass das Korrektursignal am Punkt 80 auf einem Nullwert gehalten wird»
Das vorstehend beschriebene System wirkt darauf hin, eine im wesentlichen konstante Belichtung des vom Lichtpunkt 30 bestrichenen Werkstoffs ohne Rücksicht auf Änderungen in der Geschwindigkeit des Lichtpunkts oder von anderen Faktoren aufrechtzuerhalten Dies soll zuerst anhand der Jigo 4 gezeigt werden, die den Lichtpunkt 30 in vergrösserter Form wiedergibto Es sei, wie gezeigt, angenommen, dass der Durchmesser des Lichtpunkts s und seine Geschwindigkeit ν ist· Es wird ein kleiner Punkt A auf dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff, der vom vollen Durchmesser des Lichtpunkts 30 bestriohen wirdj betrachtet« Die für den Lichtpunkt zum Durchgang durch diesen Punkt A notwendige Zeit ist t » ^» Die Belichtung dieses Punkts ist dann P * |f K, worin K die Intensität des Lichtpunkts 30 und P in Sekundenmeterkerzen gemessen ist· Um eine gute Belichtung des Werkstoffs 16 zu erhalten, ist es notwendig, dass die Belichtung P im wesentlichen konstant bleibt· Deshalb ist es in der Gleichung
a K
P » — K notwendig, P konstant zu halten, damit die Grosse ^ konstant bleibte Im beschriebenen System ist das Spannungs-
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signal E.. unmittelbar auf K bezogen und die Spannung Ev ist unmittelbar mit ν in Beziehung, so dass, wenn das Verhältnis -1H konstant gehalten wird, die Grosse ~ ehenfalls, wie ge-
wünscht, konstant bleibte Da das System gemäss Fig* 2 dahin wirkt, das Korrektursignal am gemeinsamen Punkt 80 auf einem Nullwert zu halten, stehen die Spannungen E., und E7. durch die Gleichung E-.R- * Ev^2 zue:i-nander in Beziehung, und daraus ist zu sehen·, dass ^ * R^ ^ w±e gewünscht> eine Konstante ist* Ev R1
Die Figo 3 zeigt nun schematisch einen Teil einer anderen Belichtungseinrichtung mit einem weiteren Ausführungsbeispiel gemäss der vorliegenden Erfindung. Die Einrichtung der Figo 3 unterscheidet sich von der nach den Fig» 1 und 2 im Aufbau der Projektionseinrichtung, die in Figo 3 allgemein mit 92 bezeichnet ist, während sie in allen anderen Gesichtspunkten gleich der in den Figo 1 und 2 gezeigten Einrichtung sein kann« Das heisst, die Einrichtung nach Figo 3 hat einen Tisch zur Aufnahme des lichtempfindlichen Werkstoffs 16 und für die Projektionseinrichtung 92 eine Antriebs- und Tragvorrichtung, die den entsprechenden Teilen der Fig« 1 und 2 gleich sein kanno Sie enthält ferner einen Analogrechner 54 zur Lieferung des Geschwindigkeitssignals E in der gleichen Weise wie bei der Einrichtung der Fig· 1 und 2· Der Funktionsverstärker 86 sowie die Widerstände R-, Rp und 88 sind gleicherweise den entsprechenden Bauteilen der Fig*. 1 und 2 gleich»
Die Projektionseinrichtung 92 gemäss Fig* 3 unterscheidet sich von der vorher beschriebenen insofern, als hier eine Bogenlampe 94 als die lichtquelle und veränderbare Schwärzungsdiohtefilter als Mittel zur Steuerung der Intensität des zur Bildung des Lichtpunkte 30 benutzten Grundstrahlbündels verwendet wferden* Der Bogenlampe 94 sind zwei Sammel- oder Kon-
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densorlinsen 96 und eine weitere Linse 98 zugeordnet, welche Lichtstrahlen von der Bogenlampe 94 zu einem Strahlenbündel 100 formte das gebündelt wird, um ein reales Bild des Bogens der Lampe an einem gegebenen Punkt 102 zu bildeno Alle Strahlen des Strahlenbündels 100 sind deshalb auf einem kleinen Bereich am Punkt 1Ό2 konzentriert und das veränderbare Schwärzungsdichtefilter 104 ist so angeordnet, dass es das Strahlenbündel in ungefähr diesem Punkt auffängte Das veränderbare Schwärzungsdichtefilter 104 ist ein solches, das eine Lichtdurchlässigkeit hat, die sich in einer Richtung in bezug auf die Hauptfläche des Filters fortschreitend ändert, f und deshalb hat beim Auffangen des Strahlenbündels 100 im Punkt 102 der Durchlässigkeitsgradient des Filters nur geringen oder keinen Einfluss auf die Intensität des ausfallenden Bündels 9 wenn man. über seinen Querschnitt misst« Das heisst, das vom Filter 104 austretende Bündel ist im wesentlichen über seinen gesamten Querschnittsbereich von gleicher Intensität ohne Rücksicht auf den. Durchlässigkeitsgradienten des Filterso Dieses ausfallende Strahlenbündel ist mit 106 bezeichnet» Es enthält das G-rundstrahlbündel, das zur Bildung des Lichtpunkts 30 verwendet wird und im allgemeinen dem Grundstrahlbündel 58 gemäss Fig» 2 gleichwertig ist·
] Das G-rundstrahlbündel 106 hat bei seinem Austreten am Filter 104 einen divergierenden Verlauf und wird durch eine Linse 108 zu einem konvergenten Bündel umgeformt, welches nach Durchgang durch die Linse 108 mittels eines Strahlspaltungsspiegels 110, der gleich dem Spiegel 62 der Figo 2 ist» in ein. durch den Spiegel gehendes, den Lichtpunkt 30 bildendes Hauptstrahlbündel 112 und ein Sekundärstrahlbündel 114 gespalten wird, welches von einem Photodetektor 115 abgefühlt wird, um das am Ausgang des mit dem Photodetektor 115 verbundenen Verstärkers 116 auftretenÄe Intensitäteeignal E-zu bilden. Das Hauptstrahlbündel 112 geht durch ein optisches
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System 118, das dem. System 68 der Pig» 2 gleich ist oder gleich sein kann und das, wie zu Pig. 2 erwähnt, verschiedene unterschiedliche Bauteile aufweisen kann, um die Gestalt, die Grö'sse und andere Eigenschaften oder Merkmale des Lichtpunkts 30 zu verändern»
Das veränderbare SchwärzungediehtefiIt er 104 kann verschiedene Ausgestaltungen haben, la besteht jedoch, wie in Fig» 5 gezeigt ist, vorzugsweise aus einer Filterscheibe mit einer Lichtdurchlässigkeit, die sich in der Winkelrichtung relativ zu seiner Hauptfläche verändert» Das heisst, an verschiedenen Punkten um die Achse der Scheibe herum hat sie eine je« weils andersartige Lichtdurchlässigkeit, so dass bei Drehung der Scheibe um ihre Achse Abschnitte unterschiedlicher Lichtdurchlässigkeit mit dem Strahl 100 in Deckung oder zur Übereinstimmung gebracht werden, um die Intensität des ausfallenden oder Grundstrahlbündels 106 und damit die Intensität des Lichtpunkts 30 zu ändern· Die Scheibe 104 wird»wie in Fig· 3 gezeigt ist, durch einen Servomotor 120 eingestellt, der seinerseits durch einen Kraftverstärker 122 gesteuert wird, welcher in Abhängigkeit vom an der Leitung 90 auftretenden Ausgangssignal des Funktionsverstärk ers 86 arbeitet·
Nachstehend wird die Arbeitsweise der Einrichtung gemäss der Fig. 3 beschrieben. Nenn ein positives Spannungssignal am gemeinsamen Punkt 80 auftritt, das anzeigt, dass die Lichtpunkt-Intensität für die Lichtpunkt-Geschwindigkeit zu hoch ist, erscheint ein Ausgangssignal an der Leitung 90, was bewirkt, dass der Kraftverstärker 122 den Servomotor 120 erregt, um die Filterscheibe 104 in der Richtung zu drehen, dass ein dichterer Abschnitt der Filterscheibe in Ausrichtung mit dem Strahlenbündel 100 gebracht und damit die Intensität des Grundstrahlbündels 106 sowie des Lichtpunkts 30, wie gewünscht, vermindert wird, und um.zugleioh das Intensitätasignal E1 herabzusetzen, so dass daa Bestreben vorliegt, auch das Korrekturaignal am gemeinaamen Punkt herabzuaetzen» Wenn
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ein negatives Signal am gemeinaamen Punkt 80 auftritt, das eine zu niedrige Idchtpunkt-Intenaität gegenüber der Lichtpunkt-Geschwindigkeit anzeigt, so geht der umgekehrte Vorgang in gleicher Weise vor sich» um zu erreichen, dass die PiIterscheibe 104 gedreht und damit ein weniger dichter Abschnitt von dieser in Ausrichtung mit dem. Bündel 100 gebracht wird, was die Intensität des Grundstrahlbündels 106 und dea Lichtpunkts 30 anwachsen lässt, und gleichzeitig steigt der Wert dea Spannungssignals E^, um das Korrektursignal am gemeinsamen Punkt 80 gegen Hull wieder zurückzubringeno
Zum Schluss soll darauf hingewiesen werden, dass es früher und bei anderen Anwendungsfällen üblich gewesen ist, eine veränderbare Schwärzungsdichtefilterscheibe so auszubilden, dass sie einen Durchlässigkeitsgradienten von im wesentlichen logarithmischem Verlauf hat, was durch die Kurve 124 im Diagramm der Fig. 6 gekennzeichnet ist, die die "Durchlässigkeit der Scheibe bei verschiedenen unterschiedlichen Winkelstellungen,, gemessen um die mittige Achse der Scheibe, darstellt* Wenn jedoch diese Art einer Filterscheibe in einem System nach der Pig· 3 verwendet wird, so hat aich das ala nachteilig und unerwünscht herausgestellt insofern, als diese dazu führt, eine Instabilität und/oder schlechte Leistung des geschlossenen Regelkreises horvorzurufen© Insbesondere führt diese Art eines Filters unterschiedliche Abstufungen einer Verstärkung in die Leitungsschleife bei verschiedenen Stellungen der Scheibe ein» Der am weitesten links gelegene Abschnitt der Kurve 124 bringt eine relativ hohe Verstärkung, während der am weitesten rechts gelegene Abschnitt eine relativ geringe Verstärkung bringt» Wenn das geschlossene Regelsystem dazu ausgelegt ist, zufriedenstellend bei einer dieser Verstärkungen zu arbeiten, dann wird ea bei den anderen dieaer Verstärkungen üblicherweise meist nicht zufriedenstellend arbeiten und es wird instabil. Aus diesem Grund ist
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die in der Einrichtung nach Figo 3 verwendete Filteracheibe IO4 vorzugsweise eine solche, die einen relativ linearen Durchlässigkeitsgradienten hat, wie es durch die Kurve 126 der Figo 6 gekennzeichnet ist«» Mit solch einer Filterscheibe von linearem Gradienten ist die "Verstärkung der Scheibe bei allen ihren Winkel Stellungen konstant, so dass die Änderung ihrer Winkelstellung nicht die Verstärkung des geschlossenen Regelsystems verändert und demzufolge keine Stabilität sproble« me hereinbringt β
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Claims (3)

  1. «. 20 -
    Pat entanaprüch e :
    ο Vorrichtung zum Belichten einer -^inie auf einem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff mit einem Träger zur Aufnahme diesea Bogens, mit einer Projektionseinrichtung zur Projizierung eines Lichtpunkts auf die Oberfläche des lichtempfindlichen Werkstoffs, mit ersten und zweiten Steuerungen für die Bewegung des lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in einer ersten von zwei bzw. in der zweiten dieser Koordinatenrichtungen, mit Einrichtungen zur Erzeugung eines ersten bzw. zweiten, auf die Geschwindigkeit, mit welcher der Lichtpunkt in der ersten bzw« zweiten Koordinatenrichtung durch die ersten oder zweiten Bewegungssteuerungen bewegt wird, bezogenen Signals und mit Einrich- ■ tungen zum Zusammenfassen der ersten und zweiten Geschwindigkeit ssignale zur Erzeugung eines auf die resultierende Bewegungsgeschwindigkeit des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff bezogenen Signals, gekennzeichnet durch ein auf die Intensität des Lichtpunkts bezogenes Signal erzeugende Einrichtungen (62, 110, 70, 72, 115, 116), durch das resultierende Geschwindigkeit ssignal mit dem Lichtpunkt-Intensifcätssignal vergleichende und, falls das Verhältnis der beiden letzten Signale einer vorbestimmten Konstanten gegenüber ungleich ist, ein Korrektursignal erzeugende Schaltungselemente (R-, Rpi 86) und durch in Abhängigkeit von dem Korrektursignal die Intensität des Lichtpunkts in der Weise ändernde Bauteile (55, 122, 120, 104), dass das Korrektursignal aufgehoben wird·
  2. 2. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste bzw· zweite Steuerung für die
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    Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlich em Werkstoff in der ersten bzw» zweiten Koordinatenrichtung Einrichtungen (40, 32, 24 bzw* 40, 36, 28) für eine Relativbewegung der Projektionseinrichtung (18) und der tragenden Fläche (14) zueinander aufweisen»
  3. 3. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Steuerung für die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der ersten Koordinatenrichtung einen Schrittmotor (24) und die zweite Steuerung fur die Bewegung des Lichtpunkts relativ zu dem Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der zweiten Koordinatenrichtung einen zweiten Schrittmotor (28) aufweist, deren jeweilige Schrittgeschwindigkeiten unmittelbar mit der Geschwindigkeit der Bewegung des Lichtpunkts (30) relativ zum Bogen aus lichtempfindlichem Werkstoff in der ersten bzw. zweiten Koordinatenrichtung in Beziehung stehen, dass Steuersender (32, 36) zur Zuführung von Eingangsantriebsimpulsen zu jedem ersten und zweiten Schrittmotor vorgesehen sind, wobei die Einrichtungen zur Erzeugung eines ersten und die Einrichtungen zur Erzeugung eines zweiten, auf die Geschwindigkeit, mit welcher der Lichtpunkt in der ersten bzw. zweiten Koordinatenrichtung bewegt wird, bezogenen Signals jeweils eine Schalteinheit (46, 50) aufweisen, die mit dem Eingang des jeweils zugeordneten Schrittmotors verbunden ist und von den diesen zugeführten Impulsen zur Erzeugung eines Ausgangsspannungssignals, dessen Wert unmittelbar der Impulsfolg efrequenz der dem zugeordneten Schrittmotor zugeführten Impulse in Beziehung steht, abhängig ist»
    4· Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüohe 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen zum Zu-
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    sammenfassen der ersten und zweiten Geschwindigkeits« signale einen Analogrechner (54) enthalten, der diese Signale zur Erzeugung eines Ausgangsspannungssignals, das wenigstens der resultierenden Lichtstrahlbündelgeschwindigkeit annähernd gleich ist, verwendet*
    5» Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Projektionseinrichtung (18) eine Lichtquelle (56, 94) und von der Lichtquelle ausgehende Strahlen in ein Lichtbündel (58, 106), das zur Bildung eines Lichtpunkts auf die lichtempfindliche Oberfläche projiziert wird, umformende optische Elemente (60, 96, ψ 98) und die ein auf die Intensität des Lichtpunkts bezogenes Signal erzeugenden Einrichtungen eine Strahlspaltungsvorrichtung (62, 110), die in dem Weg des Strahlbündels (58, 106) zu dessen Aufspaltung in ein Hauptstrahlbündel (60, 112), von dem wenigstens ein Teil auf die lichtempfindliche Oberfläche zur Bildung eines Lichtpunkts gelangt, und ein Sekundärstrahlbündel (66, 114) angeordnet ist, enthalten»
    Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Photodetektor (70, 115) vorgesehen ist» der das Sekundärstrahlbündel (66, 114) auffängt und ein auf dessen Intensität bezogenes Ausgangssignal w erzeugt»
    7· Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein vor dem Photodetektor (70) sich quer über das Sekundärstrahlbündel (66) erstreckendes, das vom Photodetektor erzeugte Ausgangssignal veränderndes Filter (74)»
    8e Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter (74) eine im wesentlichen nur
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    diejenigen Lichtfrequenzen, auf welche der Bogen (16) aus lichtempfindlichem Werkstoff anspricht, hindurchlassende Durchlässigkeitscharakteristik hat©
    9e Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlspaltungsvorrichtung einen sich quer über das Grundstrahlbündel (58, 106) unter einem Winkel zu dessen Achse sich erstreckenden halbdurchlässigen Spiegel (62, 110) aufweist, der einen Teil des Grundstrahlbündels als Hauptstrahlbündel (64, 112) hindurchlässt und einen anderen Teil des Grundstrahlbündels als Sekundärstrahlbundel (66, 114) reflektierte
    1Oo Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, dass die Projektionseinrichtung (18) eine Glühlampe (56) und optische Elemente (60) zur Ausbildung von Lichtstrahlen der Glühlampe zu einem auf die lichtempfindliche Oberfläche als Lichtpunkt (30) geworfenen Strahlenbündels aufweist und dass die Einrichtungen zur Veränderung der Intensität des Lichtpunkts in Abhängigkeit vom Korrektursignal einen auf das Korrektursignal ansprechenden Kraftverstärker (55) zur Steuerung der der Glühlampe (56) zugeführten Energie enthalten»
    ο Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Projektionseinrichtung eine Lichtquelle (94) und optische Elemente (96, 98) zur Ausbildung von Lichtstrahlen dieser Lichtquelle zu einem Strahlenbündel (100) enthält, von dem wenigstens ein Teil gegen die lichtempfindliche Oberfläche zur Bildung des Lichtpunkts gerichtet ist, und dass die Einrichtungen zur Änderung der Intensität des Lichtpunkts in Abhängigkeit von dem Korrektursignal eine Filterein}-o?t
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    (104) mit veränderbarer Lichtdurchlässigkeit enthalten, durch welche das Strahlenbündel zur Veränderung seiner Intensität hindurchgeht»
    12o Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtdurchlässigkeit der Filtereinheit (104) in Abhängigkeit vom Korrektursignal durch Steuereinrichtungen (120, 122) veränderbar ist·
    13» Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Filtereinheit mit veränderbarer Liohtdurchlässigkeit ein Filterelement (IO4), durch welches das Strahlenbündel hindurchgeht, mit einer im allgemeinen sich quer zum Strahlenbündel erstreckenden. Hauptfläche hat, dass das Filterelement eine in einer Richtung entlang seiner Hauptflache sich fortschreitend ändernde Lichtdurchlässigkeit hat, und dass die Steuereinrichtungen (120, .122) der Filtereinheit das Filterelement relativ zum Lichtstrahlenbündel in dieser einen Richtung in Abhängigkeit von dem Korrektursignal bewegen und Abschnitte von unterschiedlicher Lichtdurchlässigkeit in Ausrichtung mit dem Strahlenbündel bringen»
    14o Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Filterelement eine Lichtdurchlässigkeit hat, die in linearer Form in der einen Richtung entlang der Hauptfläche anwächst»
    15· Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle eine Bogenlampe (94) ist und die Einrichtungen zur Ausbildung von von der Lichtquelle ausgehenden Strahlen in ein auf die lichtempfindliche Oberfläche geworfenes Strahlenbündel optische Elemente (96, 98) zur Bildung eines
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    realen Bildes des Bogena der Bogenlampe an einem zwischen der Lampe und der lichtempfindlichen Oberfläche gelegenen -Punkt (IO2) aufweisen9 und daaa das Filterelement (IO4) so angeordnet ist, dass es das Bündel annähernd am Ort des realen Bildes auffängt·
    16* Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die FiItereinheit eine Filterscheibe (104) mit einer in der Winkelrichtung relativ zur Scheibe sich ändernden Lichtdurchlässigkeit hat und ein Abschnitt der Scheibe das Lichtstrahlenbündel auffängt, und dass Steuereinrichtungen (120, 122) zur Drehung dieser Scheibe in Abhängigkeit vom Korrektursignal vorgesehen sind*
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    066 - öa/Hf
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