DE19530577A1 - Gehäuse für Bauelemente der Mikroelektronik und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Gehäuse für Bauelemente der Mikroelektronik und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für Bauelemente der Mikroelektronik,
wie monolithisch integrierte Schaltkreise, Multichip-Module und Hybride
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zu seiner
Herstellung.
Multichipmodule beispielsweise werden zur Montage und Kontaktierung
der äußeren Anschlüsse auf einen sogenannten Leiterrahmen (lead
frame) gebondet und anschließend in ein Gehäuse eingeschlossen. Insbe
sondere für SMD-Bauelemente oder Module mit mehr als 100 Anschlüssen
bereitet die Kapselung der Bauelemente große Schwierigkeiten, vor allen
Dingen im Zusammenhang mit den oft vorhandenen Kühlproblemen.
Normalerweise wird ein sogenannter IC, auf dem in integrierter Form
eine Vielzahl von Funktionen realisiert ist, auf einem Basiselement fi
xiert, welches zum IC hin bzgl. Anordnung und Zahl der Anschlüsse ent
sprechende Kontakte aufweist, welche zur Peripherie hin mit Anschlüs
sen auf dem Substrat verbunden werden.
Die Anschlüsse auf den Bauelementen mit den entsprechenden Kontakt
zungen des Leiterrahmens werden, wie im Falle eines einzelnen IC, in
der Regel durch feine Drähte hergestellt, welche sowohl an den Bauele
menten als auch an den Kontaktzungen durch Verschweißen befestigt
werden. Beim Verschweißen müssen die Kontaktzungen des Leiterrahmens
einen gewissen Druck aushalten. Die ganze Anordnung wird anschließend
verschlossen bzw. mit Kunststoff umspritzt oder getaucht, damit Um
welteinflüsse sich auf die Schaltung nicht negativ bemerkbar machen
können. Zum Schluß werden die Kontaktstifte auf ihre endgültige Form
gebracht, d. h. die zungenförmigen Kontakte werden auf eine bestimmte
Länge gebracht und für ein bestimmtes Sockelmaß zurechtgebogen.
Als gängige Verfahren zur Umhüllung bekannt sind die Vollumkapselung
der Bauelemente mit Duroplast-Moldmassen, die sich durch Hineinpressen
in ein Werkzeug formen und in der Form aushärten lassen, der Einbau
in keramische Gehäuse und der Einbau in Metallgehäuse.
Der Einbau in Keramik- oder Metallgehäuse gewährleistet eine beinahe
hermetische Kapselung, verteuert jedoch die Komponenten so, daß die
Anwendung für einen Massenmarkt nicht in Frage kommt.
Bei Metallgehäusen kommt hinzu, daß wohl die Wärmeableitung der ge
kapselten Elemente sehr gut, die elektrische Isolierung jedoch sehr pro
blematisch ist. Bei Keramikgehäusen hingegen ergibt sich speziell bei
hochpoligen Elementen die Schwierigkeit, die Durchkontaktierung sehr
filigraner Anschlußkämme durch das Gehäuse zu realisieren, wobei die
Abstände zwischen den Anschlußzungen lediglich z. B. 300 µm betragen
können, bei Metallgehäusen sind die Abstände typischerweise ca. 2,5 mm.
Als preiswerteste Variante für kleinflächige Elemente und daher für
große Stückzahlen geeignet ist zur Zeit lediglich die Vollumkapselung
mit duroplastischen Werkstoffen. Die elektrischen Isoliereigenschaften
sind hierbei naturgemäß sehr gut, die Wärmeableitung jedoch oft unge
nügend.
Eine weitere Schwierigkeit bei der Verwendung von Duroplasten liegt
darin, daß die Hermetizität der Kapselung für hochwertige und langle
bige Bauelemente nicht ausreichend ist. Zusätzlich führt auch der hohe
Grad an Wasseraufnahme in der Moldmasse zu Korrosionsproblemen. Dar
über hinaus werden den Moldmassen, um die Flammwidrigkeit zu
gewährleisten, üblicherweise z. B. bromhaltige Additive oder Monomere
beigefügt mit den üblichen bei der Herstellung und Entsorgung auftre
tenden Sicherheits- und Umweltproblemen.
Es kommt hier noch hinzu, daß die Moldmassen nicht hochtempera
turgeeignet und so auf Anwendungen unterhalb von typischerweise
125-150°C beschränkt sind, was einen etwaigen Einsatz bei
Hochleistungselektronik beschränkt oder ihn bei hohen Temperaturen
sogar ausschließt. Solche Einsatzgebiete sind jedoch z. B. bei hochinte
grierter motornaher Elektronik und Sensorik vorgesehen.
Weiterhin ist der Einsatz von Duroplasten für großflächige Strukturen
begrenzt, da die Werkstoffkosten hierbei wegen des großen auszu
füllenden Volumens sehr hoch liegen.
Speziell bei großflächigen Strukturen ist bereits der Einsatz von spe
ziellen Thermoplastgehäusen bekannt, die nicht mit einem reaktiven
Transfer-Moldverfahren, sondern mittels Spritzguß gefertigt werden,
insbesondere für Hybrid-Module. Diese sind jedoch nur mit wenigen An
schlußpolen realisiert, z. b. aus einem Konstruktionswerkstoff wie Poly
butylenterephtalat (PBT) mit integrierten Steckern. Das Gehäuse wird
hierbei üblicherweise mit separat aufgeklebten Deckeln verschlossen und
ist, wie alle Gegenstände aus Duroplastmassen, nicht hochtemperatur
geeignet.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Gehäuse und ein
Kapselverfahren anzugeben, das die Kapselung für großflächige und
hochpolige Strukturen verbessert und insbesondere für hohe Ar
beitstemperaturen geeignet ist.
Der Erfindung liegt weiter die Aufgabe zugrunde, ein hochintegriertes
Bauelement mit einer Vielzahl von Anschlüssen mit einer Wärmesenke in
gut wärmeleitenden Kontakt zu bringen und die Anschlüsse sicher zu
kontaktieren, so daß ein hohes Maß von Zuverlässigkeit garantiert ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 aufge
führten Merkmale gelöst.
Die Erfindung eignet sich für Wärmesenken aus Metall oder Keramik,
welche mit einem Schaltungsträger, z. B. einem Silizium-Substrat oder
einem Hybrid-Substrat verbunden werden, und wobei der Schaltungsträ
ger so gekapselt wird, daß Umwelteinflüsse minimiert werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert.
Dabei zeigt:
Fig. 1 Draufsicht auf ein Viertel eines bereits vorumspritzten Leiter
rahmens (lead frame) mit integrierter Wärmesenke und angedeute
ter Bestückung;
Fig. 2 Schnitt durch das Gehäuse und die Kontaktstelle des Lead frames
vor dem etwaigen Verschließen und
Fig. 3 Schnitt durch das Gehäuse nach dem Verschließen.
Speziell von ihren etwaigen Einsatztemperaturen geeignete Werkstoffe
für die Kapselung sind dabei Polyphtalamid (PPA), Polyethersulfon (PES),
Polyetherimid (PEI), Polyphenylensulfid (PPS), LC-Polymer (Polyester,
LCP), Polyetherketon (PEEK) und Polybenzimidazol (PBI). Module, die mit
diesen Thermoplasten gehäust sind, erlauben prinzipiell einen Einsatz
bei Temperaturen von oberhalb 120°C, insbesondere von 120-260°C.
Das Kapselverfahren mit Thermoplasten, insbesondere Hochtemperatur
thermoplasten, ist im Gegensatz zum Moldverfahren von Duroplasten, ein
Spritzgußverfahren. Dies bedingt eine unterschiedliche Konstruktion des
Bauteils und der notwendigen Werkzeuge. Neu ist hierbei auch, daß nach
Ausführen der Kapselung ein innerer Hohlraum gebildet ist, in dem sich
die elektronischen Bauteilkomponenten befinden. Vorzugsweise werden
neben keramischen Kühlkörpern metallische Kühlkörper verwendet.
Es wird zuerst ein Rahmen gespritzt, der anschließend mit einem Deckel
verschlossen wird.
Wie in Fig. 1 und 2 dargestellt, ist der sogenannte lead frame
zunächst mit einer isolierenden Schicht 2 versehen. Das Ganze wurde in
eine Form eingelegt, in der sich bereits die Wärmesenke 3 befand. Diese
Anordnung wurde mit einem Kunststoffrahmen 4 umspritzt.
Der Vorteil der Erfindung besteht darin, eine hochpolige Anordnung mit
Anschlußkämmen zu kapseln und damit insbesondere auf Leiterplatten
montierbar zu machen.
Ein wesentlicher Vorzug der Erfindung besteht darin, daß der
Leiterrahmen direkt auf einer harten Unterlage aufliegt, so daß die
anschließende Verschweißung der einzelnen Kontaktzungen des
Anschlußkamms mit dem Bauelement ohne Schwierigkeiten erfolgen kann.
Das bedeutet, daß an der Stelle 5 ein Gold- oder Aluminiumdrähtchen
auf die Kontaktzunge 6 aufgesetzt und mit Druck mit dieser verschweißt
werden kann, ohne daß diese nachgibt (s. Fig. 6). Das Bonddrähtchen
wird auf der anderen Seite mit elektrischen Anschlüssen auf dem
Bauelement 7 verbunden. Anschließend wird der Deckel 9 aufgesetzt und
mit dem Rahmen 4 verschweißt. Es gelingt so eine dichte Kapselung,
obwohl nur ein schmaler gespritzter Rahmen auf dem Leiterrahmen
vorhanden ist.
Das kunststoff-Spritzgußgehäuse besteht erfindungsgemäß aus einem
Hochtemperatur-Thermoplast, vorzugsweise PPS (Polyphenylensulfid).
Dieses Material soll hochrein verarbeitet werden und hat dann eine
Dauergebrauchstemperatur von ca. 220°C. Der Leiterrahmen hat eine
große Anzahl von Anschlüssen, welche hier als Kontaktzungen bezeichnet
werden. Diese Kontaktzungen 6 haben eine Stärke von < 0,8 mm.
Es können Leiterrahmen mit einer großen Anzahl von Anschlüssen ver
arbeitet werden mit Kontaktzungen, die Abstände bis hinunter zu etwa
300 µm Zwischenraum mit einer Zungenbreite von typischerweise 300 µm
aufweisen (pitch z. B. 635 µm).
Das Gehäuse 4 wird durch gleichzeitiges Umspritzen der Wärmesenke 3
hergestellt. Die Wärmesenke besteht aus Metall oder Keramik und hat
eine Montagemöglichkeit für Kühlkörper. Wenn die Wärmesenke aus Metall
besteht, muß sie an der Oberfläche dort isoliert werden, wo die Kontakt
zungen nach innen aus dem Gehäuse herausragen. Dafür ist eine isolie
rende Schicht 2 vorgesehen, welche durch Auflaminieren oder ein an
deres Verfahren wie CVD, PVD, Eloxieren etc. hergestellt wird. Wenn die
isolierende Schicht 2 als Folie vorgesehen ist, kann diese mit einem Kle
ber an den Kontaktzungen befestigt werden.
Eine derart auf den Leiterrahmen aufgebrachte Folie hat den Vorteil,
sich der Kontur des Rahmens anzupassen, so daß beim Spritzguß des
Gehäuses 4 ein Materialaustritt durch die Zwischenräume des Anschluß
kamms weitgehend vermieden wird. Gleichzeitig wird der Anschlußkamm
durch die Folie stabilisiert.
Bei einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird eine Folie aus bei
spielsweise PPS in Form eines quadratischen Rahmens auf die Unterseite
des Leiterrahmens gelegt und unter Einwirkung von Wärme in einer Art
Schmelzkleberprozeß mit diesem verbunden.
Der Deckel 9 wird zum Schluß mit dem Rahmen mit Hilfe von geeigneten
Fügetechniken verbunden. Als Fügetechniken kommen vor allen Dingen
das Reibschweißen, das Laserschweißen das Ultraschallschweißen oder
das Kleben in Frage.
Claims (15)
1. Gehäuse für Bauelemente der Mikroelektronik mit einem Gehäuse
boden, bei welchem die Anschlüsse für die Bauelemente in Form
eines Leiterrahmens mit Kunststoff umspritzt sind und einem
Deckel, welcher nach dem Einbringen der Bauelemente und der
Herstellung der elektrischen Verbindung der Bauelemente mit den
Anschlüssen mit dem Gehäuseboden verbunden ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Gehäuse aus einem Hochtemperatur-Thermoplast besteht,
welcher eine Dauergebrauchstemperatur von mindestens 120°C
aufweist, daß das Gehäuse einen gut wärmeleitenden Boden (3)
aufweist, daß auf diesem Boden (3) eine Isolationsschicht (2) an
gebracht ist, daß zwischen dem Boden (3) (welcher zum überwie
genden Teil aus einer Scheibe (3) aus gut wärmeleitendem Material
besteht, welche von dem Kunststoff des Untergehäuses (4) um
spritzt ist) und den zungenförmigen Anschlüssen (1) des Leiter
rahmens eine Isolationsschicht (2) angeordnet ist, derart, daß die
Enden der zungenförmigen Anschlüsse (1) auf dem Boden (3) des
Untergehäuses (4) direkt aufliegend angeordnet sind.
2. Gehäuse nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Untergehäuse (4) und/oder der Deckel (9) überwiegend
aus einem Thermoplast besteht.
3. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polyphtalamid (PPA) besteht.
4. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polyethersulfon (PES) besteht.
5. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polyetherimid (PEI) besteht.
6. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polyphenylensulfid (PPS) besteht.
7. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus LC-Polymer (Polyester, LCP) besteht.
8. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polyetherketon (PEEK) besteht.
9. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß es überwiegend aus Polybenzimidazol (PBI) besteht.
10. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrische Isolationsschicht (2) zwischen den Anschlüssen
und dem Gehäuseboden (3) aus einem Kunststoffband besteht.
11. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrische Isolationsschicht (2) zwischen den Anschlüssen
und dem Gehäuseboden (3) aus einem Kunststoffband besteht.
12. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrische Isolationsschicht (2) aus einer Kunststoffmasse
hergestellt ist.
13. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß Boden (3) und Deckel (9) aus dem gleichen Material gefertigt
sind.
14. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Boden (3) des Gehäuses zum überwiegenden Teil aus einer
Scheibe (3) aus gut wärmeleitendem Material besteht, welche vom
Kunststoff des Untergehäuses (4) umspritzt ist.
15. Verfahren zum Herstellen eines Gehäuses für elektrische Bauele
mente der Mikroelektronik mit einem Gehäuseboden, bei welchem
die Anschlüsse für die Bauelemente in Form eines Leiterrahmens
mit Kunststoff umspritzt sind und einem Deckel, welcher nach dem
Einbringen der Bauelemente und der Herstellung der elektrischen
Verbindung der Bauelemente mit den Anschlüssen mit dem Gehäu
seboden verbunden wird,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Leiterrahmen, welcher zungenförmige Anschlüsse für
elektrische Kontakte aufweist, an der Stelle, an der die Anschlüsse
(1) durch die Wand des Untergehäuses hindurchtreten, mit einer
rechteckförmigen schmalen Bahn (2) aus einem elektrisch isolie
renden Material bedeckt wird, daß diese Anschlüsse, welche noch
einen sogenannten Leiterrahmen (lead frame) bilden mit der elek
trisch isolierenden Unterseite auf einen rechteckigen Boden (3)
ausgerichtet aufgelegt werden, und daß in einer Spritzform
anschließend der Boden (3) und die Anschlüsse (1) von Kunststoff
derart umspritzt werden, daß ein Rahmen für das Untergehäuse
(4) entsteht, aus dem nach außen die Anschlüsse (1) ragen, daß
die Anschlüsse außen durch Stanzen vereinzelt und auf die vor
gesehene Länge gebracht werden und daß nach Montage der auf
einem Substrat befindlichen Bauelemente und deren Verbindung
mit den Anschlüssen (1) der Gehäusedeckel aufgelegt und mit dem
Gehäuseunterteil verbunden wird.
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: DAIMLERCHRYSLER AG, 70567 STUTTGART, DE TEMIC TELE |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERN |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERN |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERNBERG, |
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8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20140301 |