DE19521716C2 - Prozeßrohr mit Endverschluß - Google Patents
Prozeßrohr mit EndverschlußInfo
- Publication number
- DE19521716C2 DE19521716C2 DE1995121716 DE19521716A DE19521716C2 DE 19521716 C2 DE19521716 C2 DE 19521716C2 DE 1995121716 DE1995121716 DE 1995121716 DE 19521716 A DE19521716 A DE 19521716A DE 19521716 C2 DE19521716 C2 DE 19521716C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- flange
- wedge
- process tube
- base ring
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4409—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber characterised by sealing means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
- C30B31/06—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion material in the gaseous state
- C30B31/10—Reaction chambers; Selection of materials therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L23/00—Flanged joints
- F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D5/00—Supports, screens, or the like for the charge within the furnace
- F27D5/0068—Containers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F27D99/0073—Seals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Prozeßrohr mit einem endseitigen
Flansch für einen Prozeßofen in der Halbleiterherstellung.
Prozeßöfen dienen zur Behandlung von Gegenständen unter be
stimmten vorgegebenen Prozeßbedingungen. Aus der Halblei
tertechnik sind beispielsweise Prozeßöfen bekannt, mit denen
Halbleiterscheiben unter vorgegebenen Druck- und Temperatur
bedingungen prozessiert werden, um vorgegebene Schichten zu
erzeugen. Beispielsweise können mit derartigen Öfen, die auch
als Reaktoren bezeichnet werden, die Epitaxieschichten, Iso
lationsschichten oder leitfähige Schichten auf der Halb
leiterscheibe erzeugt werden. Diese Schichten werden übli
cherweise durch Abscheidung aus einer Gasphase des abzuschei
denden Materials hergestellt.
Insbesondere für die Herstellung von TEOS-, TEAS-, Nitrid-
Siliziumoxid- oder Polysiliziumschichten werden derartige Re
aktoren mit erniedrigtem Gasdruck betrieben. Schematische An
ordnungen der Reaktoren oder Prozeßöfen sind beispielsweise
aus der Veröffentlichung D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich:
Technologie hochintegrierter Schaltungen, Springer-Verlag,
1988, Seite 36 bekannt.
Grundsätzlich ist die Abdichtung eines Endverschlusses pro
blematisch. Selbst für Öfen, die bei Temperaturen unterhalb
1000°C betrieben werden, ergibt sich für die Dichtung des
Flansches ein Wärmeproblem. Obwohl der Flansch aufgrund eines
auftretenden Temperaturgradienten nicht mehr den hohen Tempe
raturen der inneren Prozeßkammer ausgesetzt ist, muß der
Flansch gekühlt werden, da die bekannten Dichtungen, den z. B.
bei Niedertemperaturöfen auftretenden flanschseitigen Tempe
raturen bis 350°C nicht standhalten.
Die Kühlung des Flansches führt zu Kältezonen, die ihrerseits
Ablagerungen bewirken, die je nach durchgeführtem Prozeß un
terschiedlich, aber immer nachteilig sind. Diese Ablagerungen
führen zu einem häufig notwendigem Austausch des Prozeßrohres
und zu einer Erhöhung der Defektdichte auf den prozessierten
Gegenständen, insbesondere den Halbleiterscheiben. Darüber
hinaus ist bei bestimmten Prozessen, beispielsweise bei einer
TEOS-Abscheidung die Prozeßstabilität durch den Temperatur
gradienten zwischen Rohr und Flansch aufgrund der Flanschküh
lung niedrig.
Neben der Dichtung betrifft ein anderes Problem der Flan
schanbindung an das Prozeßrohr die Befestigung des Flansches.
Üblicherweise werden Edelstahlschrauben eingesetzt, deren Ge
winde bei längerem Betrieb verrieben werden bzw. anders aus
gedrückt, die Schrauben fressen. Bei einem wie vorstehend ge
schilderten notwendigen Austausch des Prozeßrohres können
dann die Schrauben reißen, wodurch zusätzliche Reparaturko
sten entstehen, und die Stillstandszeiten anwachsen.
US 1,936,815 offenbart eine Wärmetauschvorrichtung, insbeson
dere zur Oberfächenkondensation von Dampf, in der eine Viel
zahl von typischerweise einigen Tausend metallischen Röhren
mit einem Ende in einer Röhrenplatte verankert sind. Zur Ver
ankerung sind zwei metallische, ineinandergreifende keilför
mige Dichtringe vorgesehen.
Das deutsche Gebrauchsmuster 88 06 626 offenbart eine
Schraubverbindungsvorrichtung für ein Glasrohr mit einem An
schlußrohr. An einem endseitigen Gewinde des Glasrohres ist
eine Überwurfmutter angeordnet, in deren Innerem das An
schlußrohr von drei Keilringen umgeben ist, die das Anschluß
rohr nach dem Festschrauben der Überwurfmutter sichern.
Die deutsche Offenlegungsschrift 1 813 260 beschreibt ein
Quarzrohr und einen endseitigen Flansch, zwischen deren End
flächen eine nicht näher beschriebene Dichtung angeordnet
ist. Der Außenmantel des Quarzrohres ist in Richtung der End
fläche konisch erweitert. Um den Druck auf die Dichtung zwi
schen dem Quarzrohr und dem Metallflansch auch bei höheren
Temperaturen konstant zu halten, ist ein Mechanismus vorgese
hen, der die unterschiedliche thermische Ausdehnung von Quarz
und Stahl ausgleicht. Dieser Mechanismus umgreift das konisch
erweiterte Ende des Quarzrohres mit Hilfe von vier Keil
ringsegmenten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Prozeßrohr an
zugeben, das eine verbesserte Abdichtung des endseitigen Ver
schlusses ermöglicht.
Diese Aufgabe löst die Erfindung mit den Merkmalen des Pa
tentanspruchs 1.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie
len näher erläutert, die in den Figuren der Zeichnung darge
stellt sind. Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch einen ersten endseitigen Ver
schluß eines horizontal angeordneten Prozeßrohres,
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen zweiten endseitigen Ver
schluß eines horizontal angeordneten Prozeßrohres,
Fig. 3 einen Querschnitt und eine Draufsicht auf einen Basis
ring,
Fig. 4 einen Querschnitt durch einen ersten endseitigen
Flansch gemäß Fig. 1,
Fig. 5 einen Querschnitt und eine Draufsicht auf eine Bajo
nettklaue,
Fig. 6 Querschnitte durch einen Zylinder und einen darin ge
führten Kolben,
Fig. 7 einen Querschnitt durch den keilförmigen Dichtring,
Fig. 8 Querschnitte durch verschiedene weitere Dichtungen,
Fig. 9 Querschnitte zur Erläuterung der Abdichtung des Flan
sches gegen einen Deckel,
Fig. 10 einen Querschnitte durch einen zweiten endseitigen
Flansch gemäß Fig. 2 und ein Detail zur Erläuterung der
Abdichtung des Flansches gegen den Deckel,
Fig. 11 Querschnitte des Deckels und von Deckeldetails,
Fig. 12 einen Querschnitt durch einen dritten endseitigen Ver
schluß für ein vertikal angeordnetes Prozeßrohr und
Fig. 13 Querschnitte durch Details der Fig. 12.
Gemäß Fig. 1 ist ein Querschnitt durch einen endseitigen Ver
schluß eines horizontal angeordneten Prozeßrohres 1 darge
stellt. Der Verschluß enthält einen Basisring 2, einen end
seitigen Flansch 3 und einen keilförmigen Dichtring 4. Basis
ring 2 und Flansch 3 sind mit Hilfe einer Preßvorrichtung mit
den Elementen 5 bis 7 gegeneinander gepreßt.
Der Basisring 2, der in Fig. 3 detaillierter dargestellt ist,
ist gegen den Außenmantel des Prozeßrohres mit einem Zen
trierring 10 (Fig. 8d) abgedichtet, der in die Öffnung O10 (Fig. 3a)
eingelegt ist. Am äußeren Umfang hat der Basisring einen Ba
jonettanschluß 20. Der Basisring enthält weiterhin Öffnungen
OF1 und OF2, in die Führungs- bzw. Zentrierstifte eingreifen
können.
Der in Fig. 4 näher dargestellte Flansch 3 enthält am rohrsei
tigen Ende eine schräg zur Rohrachse verlaufende Ringfläche
RF, die in einem vorgegebenen Winkel W1 zur Rohrachse derart
verläuft, daß mit dem Rohrmantel ein zum Rohrende hin ausge
richteter keilförmiger Spalt entsteht. Der Flansch 3 enthält
weiterhin eine Nase, an der ein Geräteanschluß 9 angesetzt
werden kann, um die erforderlichen Prozeßgase abzuführen. In
dem Bereich, der mit dem Ende des Prozeßrohres in Kontakt zu
kommen hat, sind Nuten O11 und O12 vorgesehen, in die ein
Einlegeband 11 bzw. ein Rohranschlag 12 als Dichtpuffer (Fig.
8c, b) für eine axiale bzw. radiale Abdichtung des Flansches
zum Rohr eingebracht werden können.
An der vom Rohrende abgewandten Seite des Basisringes greift
eine Klaue 5 an, die mit einer Schraube S an einem Zylinder 8
befestigt ist. Die in Fig. 5 näher dargestellte Klaue 5 ist
bajonettförmig ausgebildet, um in das Bajonettgegenstück des
Basisrings 2 eingreifen zu können. Die Klaue weist Öffnungen
OS auf, durch die die Schrauben S zur Befestigung an dem Zy
linder 6 geführt sind. Es ist nicht erforderlich, daß die
Klaue einen umlaufenden Ring bildet.
Der in Fig. 6a näher dargestellte Zylinder hat eine Öffnung
O7, in der ein Stahlringkolben 7 geführt ist. Auf die endsei
tige Stirnfläche des Kolbens 7 drückt eine Dichtmanschette 8
als Dichtung, die in Fig. 8a) detailliert dargestellt ist. Der
Zylinder 6 ist mit der Klaue 5 verschraubt. Durch einen
Druckanschluß D läßt sich in die Kolbenführung O7 des Zylin
ders 6 ein Druckgas, vorzugsweise Stickstoff einführen, das
über die Dichtung 8 auf den Zylinder 7 wirkt.
Wie anhand der Zusammenstellungszeichnung der Fig. 1 erkennbar
ist, greifen die Preßvorrichtung und der Basisring aufgrund
des Bajonettverschlusses in engem Kontakt ineinander. Der
Kolben 7 der Preßvorrichtung drückt bei Beaufschlagung des
Zylinders mit einem Druckgas gegen ein Gegenstück G des Flan
sches 3, so daß der Flansch 3 und der Basisring 2 relativ ge
geneinander gedrückt werden. Dadurch wird der an der Ringflä
che RF des Flansches angesetzte keilförmige Dichtring 4 in
den zwischen den Flansch und dem Prozeßrohr gebildeten keil
förmigen Spalt gepreßt.
Der Dichtring 4, der in Fig. 7 detailliert dargestellt ist,
kommt mit seiner Sitzfläche SF1 mit der Ringfläche RF des
Flansches und mit seiner Sitzfläche SF2 mit dem Außenmantel
des Prozeßrohres 1 in Kontakt. Der Keilwinkel W2 des Dicht
ringes 4 ist vorzugsweise kleiner als der Winkel W1, den die
Ringfläche RF mit der Rohrachse einschließt. Beispielsweise
kann W1 18° oder mehr betragen, während W2 17° beträgt. Der
Dichtring 4 hat eine Druckfläche DF, die in einem Winkel W3
zur Normalen auf die Rohrachse geneigt ist, damit eine ent
sprechende Preßfläche des Basisrings auf die Dichtung drücken
kann. Vorzugsweise ist W2 gleich W3. Die Preßfläche PF des
Basisrings 20 ist in einem Winkel W4 zur Normalen auf die
Rohrachse geneigt, der W3 entspricht.
Der keilförmige Dichtring 4 enthält Polytetrafluorethylen mit
dem Handelsnamen Teflon. Entweder ist der Dichtring rein aus
Teflon oder aus Teflon mit einer Verstärkung aus glasfaser
verstärktem Kunststoff. Gleiches gilt für die Dichtungen 8,
10, 11 und 12. Üblicherweise ist Teflon für Temperaturen bis
320°C spezifiziert. Teflon hat die Eigenschaft, bei höheren
Temperaturen zunehmend zu fließen. Im Ausführungsbeispiel
wird der keilförmige Dichtring 4 auch bei einem Fließen auf
grund der Keilanordnung stärker in den keilförmigen Spalt
zwischen Prozeßrohr 1 und Flansch 3 gedrückt. Dadurch, daß
der Keilwinkel des keilförmigen Dichtrings kleiner als der
Keilwinkel der Ringfläche RF des Flansches 3 ist, erfolgt die
Abdichtung insbesondere an der Keilspitze. Aufgrund des Un
terdrucks im Prozeßrohr und des Drucks des Basisrings auf die
Druckfläche DF der keilförmigen Dichtung 4 wird demnach die
Dichtung in den Keilspalt gezogen und dichtet trotz der
Fließeigenschaften von Teflon an der Keilspitze mit der größ
ten Dichtkraft.
Der keilförmige Dichtring 4 kann in einfacher Weise durch
Drehen eines Teflonstücks hergestellt werden. Es ist zu beto
nen, daß für die Winkel W1 und W2 auch andere Maße gewählt
werden können, beispielsweise W1 20° und W2 17° oder 18°.
Der Kolben 7 der Preßvorrichtung ist als Stahlringkolben aus
gebildet, der das Gegenstück G des Flansches gegen den mit
Hilfe des Zentrierrings 10 und der Bajonettanordnung der
Preßvorrichtung und des Basisrings fixierten Basisring 2
drückt. Zum Öffnen des Flansches ist es lediglich erforder
lich, den Druck auf den Kolben 7 zu entspannen, damit der
Druck des Kolbens auf das Gegenstück 6 verringert wird. An
schließend wird der Bajonettverschluß zwischen der Preßvor
richtung und dem Basisring geöffnet sowie der Flansch und an
schließend das Rohr entfernt. Der Einbau erfolgt in umgekehr
ter Reihenfolge, indem auf das neue Prozeßrohr zunächst der
mit dem Zentrierring 10 versehene Basisring 2 und anschlie
ßend der Flansch aufgesetzt wird, der mit Hilfe der Preßvor
richtung zum Basisring 2 ausgerichtet wird. Indem der Kolben
7 mit Druck beaufschlagt wird, wird der Flansch 3 gegen den
Basisring (2) gepreßt, so daß die Dichtung 4 in dem keilförmigen
Ringspalt drücken und das Prozeßrohr abdichten kann. Als
Druckgas für den Kolben 7 wird dem Zylinder 6 vorzugsweise
Stickstoff zugeführt, um Verunreinigungen zu vermeiden.
Fig. 2 zeigt im Querschnitt eine Zusammenstellung eines end
seitigen Verschlusses des Prozeßrohres, der sich für die An
bringung eines Deckels eignet. In ähnlicher Weise wie in Fig.
1 wird ein Flansch 30, der in Fig. 10 detailliert in einer an
deren Ausführung dargestellt ist, mit Hilfe einer nicht dar
gestellten Preßvorrichtung gemäß Fig. 1 gegen einen fixierten
Basisring 2 gedrückt, so daß die Dichtung 4 in einen keilför
migen Ringspalt drücken kann. Der Basisring 2 ist mit einem
Zentrierring (10) gegen den Rohraußenmantel zentriert. Der Flansch
30 ist mit Dichtmanschetten 11 und 12 gemäß Fig. 8b, c verse
hen, die den Flansch in axialer Richtung und in radialer
Richtung gegen das Prozeßrohr puffern. Der Flansch 30 hat ei
nen Auslaß A1, an dem eine Vorrichtung zum Einlaß oder zum
Auslaß von Prozeßgasen angebracht werden kann. Das Detail Y
des Flansches 30 gemäß Fig. 1 ist in Fig. 9b näher dargestellt.
In axialer Richtung enthält der Flansch 30 zackenförmige Rin
ge ZR1 und ZR2. In einer Abänderung zum Flansch 30 gemäß Fig.
2 mündet zwischen ZR1 und ZR2 ein Loch L, das mit einem An
schluß A2 zum Anschluß einer Gaszu- oder Abführanlage verbun
den ist. Das Detail Y mit Loch L und A2 eignet sich für eine
Abdichtung des Prozeßrohres mit differentieller Abpumpung,
mit der sich bei entsprechender Abdichtung des Flansches mit
Hilfe eines Deckels bei einem Rohrinnendruck von etwa 10-4
Torr Leckraten unterhalb von 0,5 mTorr/min erzielen lassen.
Die auf die zackenförmigen Dichtringe des Details Y drückende
Dichtung ist in Fig. 9a dargestellt.
Der in Fig. 11 dargestellte Querschnitt durch einen Deckel AD
hat eine ringförmige Dichtnut mit einem Detail X, das in Fig.
11b bzw. 11c näher dargestellt ist. In der Dichtnut sind ge
mäß Detail X ebenfalls zackenförmige Ringe angeordnet, die
den Ringen des Details Y gemäß Fig. 9 entsprechen und auf der
anderen Seite der Dichtung gemäß Fig. 9a gegen entsprechende
Zacken drücken.
Gemäß Fig. 10 ist eine Dichtfläche des Flansches 30 darge
stellt, dessen Detail Z Fig. 10b detailliert zeigt. Diese ge
ringförmig gewölbte Dichtfläche eignet sich für Normalbe
dingungen, die Leckraten unterhalb 3 mTorr/min zulassen.
Fig. 12 zeigt im Unterschied zu den Fig. 1 bis 11, in denen ein
horizontal angeordnetes Prozeßrohr beschrieben ist, ein ver
tikal angeordnetes Prozeßrohr. Das vertikale Prozeßrohr 103
ist in einen Flansch 101 gesteckt und axial gegen dieses ab
gepuffert. Ein Basisring 100 drückt einen keilförmigen Dich
tring 102 in einen keilförmigen Spalt zwischen dem Flansch
101 und dem Prozeßrohr 103. In diesem Ausführungsbeispiel
sind der Flansch und der Basisring miteinander verschraubbar.
Fig. 13 zeigt die Details der Fig. 12.
Claims (9)
1. Prozeßrohr mit einem endseitigen Flansch (3) zur Prozes
sierung von Halbleiterscheiben, mit einem zugeordneten Basis
ring (2), wobei das Prozeßrohr, der Flansch und der Basisring
relativ zueinander derart angeordnet sind, daß ein keilförmi
ger Dichtring (4) in einen keilförmigen Spalt gepreßt wird,
der durch das Prozeßrohr (1) und eine schräg zur Rohrachse
verlaufende Ringfläche (RF) des Flansches (3) gebildet ist,
und daß der keilförmige Dichtring (4) eine schräg zur
Rohrachse verlaufende Dichtfläche (SF1) hat, die mit der
Rohrachse einen Keilwinkel (W2) einschließt, der kleiner ist
als der Winkel (W1), den die schräg zur Rohrachse verlaufende
Ringfläche (RF) des Flansches (3) mit der Rohrachse ein
schließt.
2. Prozeßrohr nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß in den Basisring (2) eine Preßvorrichtung (5, 6, 7, 8)
eingreift, die den Basisring und den Flansch gegeneinander
preßt.
3. Prozeßrohr nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Basisring einen Bajonettanschluß hat.
4. Prozeßrohr nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Preßvorrichtung eine am Basisring (2) angreifende
Klaue (5) und einen damit verbundenen Zylinder (6) enthält
und daß in den Zylinder ein Kolben (7, 8) geführt wird, der
gegen ein Gegenstück (G) des Flansches (3) drückt.
5. Prozeßrohr nach Anspruch 2 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Preßvorrichtung und der Basisring über ein Bajonett
ineinandergreifen.
6. Prozeßrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Basisring gegen den Rohrmantel des Prozeßrohrs und
daß der Flansch gegen den Rohrmantel und die Stirnfläche des Prozeßrohrs abgedichtet sind.
daß der Basisring gegen den Rohrmantel des Prozeßrohrs und
daß der Flansch gegen den Rohrmantel und die Stirnfläche des Prozeßrohrs abgedichtet sind.
7. Prozeßrohr nach einer der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der keilförmige Dichtring Polytetrafluoräthylen enthält.
8. Prozeßrohr nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der keilförmige Dichtring mit glasfaserverstärktem Kunst
stoff verstärkt ist.
9. Prozeßrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Basisring eine schräge Preßfläche (PF) hat, die gegen
eine abgeschrägten Fläche (DF) des keilförmigen Dichtrings
drückt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995121716 DE19521716C2 (de) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | Prozeßrohr mit Endverschluß |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995121716 DE19521716C2 (de) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | Prozeßrohr mit Endverschluß |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19521716A1 DE19521716A1 (de) | 1996-12-19 |
DE19521716C2 true DE19521716C2 (de) | 2000-03-30 |
Family
ID=7764407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995121716 Expired - Fee Related DE19521716C2 (de) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | Prozeßrohr mit Endverschluß |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19521716C2 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19800672C2 (de) * | 1998-01-10 | 2003-04-10 | Ct Therm Elek Sche Anlagen Gmb | Vakuumverschluss für Prozessrohre |
DE202011103798U1 (de) * | 2011-07-28 | 2012-10-29 | Michael Harro Liese | Schnellverschluss für Reaktoren und Konvertoren |
DE102012016048A1 (de) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Dockweiler Ag | Vorrichtung zum Temperieren eines Gefäßes in einer Kammer |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1936815A (en) * | 1931-12-01 | 1933-11-28 | Crane Packing Co | Tubular condenser and similar heat exchange apparatus |
DE1813260A1 (de) * | 1967-12-06 | 1969-07-10 | Nordstjernan Rederi Ab | Vorrichtung zum Verbinden von Bauteilen,insbesondere von Rohren |
DE1956737A1 (de) * | 1968-11-22 | 1970-06-04 | Petroles Cie Francaise | Vorrichtung zum Verbinden und Abdichten von Rohren |
EP0183510A1 (de) * | 1984-11-26 | 1986-06-04 | José Alex Perea, Jr. | Verbindung zum Anflanschen eines Rohres |
US4603893A (en) * | 1984-12-24 | 1986-08-05 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Pipe coupling joint |
DE8806626U1 (de) * | 1988-05-20 | 1988-08-04 | Bohlender, Hermann, 6970 Lauda, De |
-
1995
- 1995-06-14 DE DE1995121716 patent/DE19521716C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1936815A (en) * | 1931-12-01 | 1933-11-28 | Crane Packing Co | Tubular condenser and similar heat exchange apparatus |
DE1813260A1 (de) * | 1967-12-06 | 1969-07-10 | Nordstjernan Rederi Ab | Vorrichtung zum Verbinden von Bauteilen,insbesondere von Rohren |
DE1956737A1 (de) * | 1968-11-22 | 1970-06-04 | Petroles Cie Francaise | Vorrichtung zum Verbinden und Abdichten von Rohren |
EP0183510A1 (de) * | 1984-11-26 | 1986-06-04 | José Alex Perea, Jr. | Verbindung zum Anflanschen eines Rohres |
US4603893A (en) * | 1984-12-24 | 1986-08-05 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Pipe coupling joint |
DE8806626U1 (de) * | 1988-05-20 | 1988-08-04 | Bohlender, Hermann, 6970 Lauda, De |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19521716A1 (de) | 1996-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3447008A1 (de) | Dichtungsvorrichtung fuer ein schieberventil | |
DE3303486A1 (de) | Dichtungseinrichtung mit unmittelbarer metallberuehrung | |
DE4239956C2 (de) | Elektromagnetischer Durchflußmesser | |
DE4006411C2 (de) | Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten auf ein Substrat | |
DE2128604A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von einseitig verschlossenen rohren, insbesondere von rohren in waermetauschern fuer atomkernreaktoren | |
DE2709633A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum befestigen einer muffe in einer fluid-rohrleitung | |
DE19521716C2 (de) | Prozeßrohr mit Endverschluß | |
DD298440A5 (de) | Zylinderkopfdichtung fuer hubkolbenmaschinen, insbesondere brennkraftmaschinen | |
DE2124530B2 (de) | Einrichtung zum verschliessen schadhafter waermetauscherrohre | |
DE1650240A1 (de) | Dichter Anschluss | |
DD213055A5 (de) | Rohrhalter fuer kunststoffrohre, die unter wasserdruck geprueft werden | |
DE3310986A1 (de) | Rohrbuendelwaermeaustauscher mit rohrboeden aus kunststoff | |
DE3023422A1 (de) | Verschlussystem fuer einen beton- druckbehaelter, insbesondere fuer einen beton-druckbehaelter fuer kernreaktoren | |
EP0894194B1 (de) | Einspritzvorrichtung | |
DE2504996C2 (de) | Innendruckbehälter | |
DE10044675A1 (de) | Fitting oder Armatur | |
DE3513060C2 (de) | ||
DE4438879C2 (de) | Metallische Zylinderkopfdichtung | |
DE1814721A1 (de) | Deckelverschluss fuer Hochdruckbehaelter | |
DE19522474A1 (de) | Dichtungsanordnung für Absperrklappen | |
DE102004044636B3 (de) | Verbindungsbaugruppe und Verfahren zur Herstellung von Verbindungen an Hochdruck-Rohren in Fahrzeugklimaanlagen | |
DE2261862A1 (de) | Befestigung von rohren in dicken rohrboeden | |
DE447202C (de) | Isolator zur Durchfuehrung von Leitungen durch die Wandungen von Druckgasbehaeltern | |
DE19958156C2 (de) | Wärmetauscheranordnung | |
DE1525916A1 (de) | Deckelverschluss fuer Autoklav |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |