DE19502828A1 - Mustergenerator für ein Halbleiter-Testgerät - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Mustergenerator in einem Halbleiter-Testgerät.

Im folgenden wird der Hintergrund der Erfindung erläutert. Fig. 4 zeigt ein Beispiel eines allgemeinen Aufbaus eines Halbleiter-Testgerätes.

Weiterhin stellt Fig. 5 ein Beispiel für einen Mustergenerator 1 dar, der in einer herkömmlichen Technologie ausgeführt ist.

Bei der herkömmlichen Technologie weist der Mustergenerator eine Mehrfach-Flip- Flop-Schaltung 5 auf, die parallel schnell eine Adresse 4 zu einem Testvektor-Speicher 2 gibt, und eine Sequenzsteuerschaltung A 3, die die Adresse 4 des Testvektor-Speichers wie in Fig. 5 gezeigt seriell von 1 bis n erzeugt.

D.h., der Testvektor-Speicher 2 empfängt die Adresse 4 von einer Sequenzsteuerschaltung A 3 mittels einer Flip-Flop-Schaltung 5 und gibt Daten 6 für die Testvektor-Ausgangssignale 7 des Mustergenerators 1 aus.

Indessen beträgt die Kapazität des Testspeichers 2 ungefähr einige 10 000 Worte bis zu einigen Millionen Worten, und seine Adressenlänge ist notwendigerweise ungefähr von 10 bis 30 Bits.

Daher erfordert eine gewisse Anzahl der Mehrfach-Flip-Flop-Schaltung 5 zwischen der Sequenzsteuerschaltung A 3 und dem Testvektor-Speicher 2 eine sehr große Anzahl von Schaltungen und resultiert daher in einer großen Ausdehnung einer Verteilerschaltung des Mustergenerators 1 und hat auch hohe Kosten zur Folge.

Bei der herkömmlichen Technologie wird die Adresse 4 durch die Sequenzsteuerschaltung erzeugt, wobei sie mittels der Flip-Flop-Schaltung 5 zu jedem Testvektor-Speicher 2 geschickt wird.

Die Daten 6 werden jeweils als Ausgangssignal des Testvektor-Ausgangs 7 ausgegeben.

In letzter Zeit wurde es nötig, die Anzahl von Bits der Adresse 4 bei diesem Aufbau zu vergrößern, da die Kapazität des Testvektor-Speichers sehr groß wurde.

D.h., daß Probleme bei der Vergrößerung der Stufenzahl der Flip-Flop-Schaltung auftreten, was die Größe des Mustergenerators 1 erhöht und eine Vergrößerung der Speicherkapazität erschwert.

Die vorliegende Erfindung hat zur Aufgabe, die genannten Probleme in einfacher Weise zu beseitigen.

Demgemäß ist es ein Gegenstand der Erfindung, einen Mustergenerator zu schaffen, bei dem die Schaltungsgröße für den Fall, daß die Steuerkapazität groß und tief ist, nicht vergrößert wird.

Die Vergrößerung der Speicherkapazität eines Mustergenerators kann in einfacher Weise ausgeführt werden.

Allgemein weist der Mustergenerator einen NOP-Befehl auf, der direkt ein Testmuster erzeugt und ein Muster wird in wiederholter Weise durch einen Wiederholbefehl (REPEAT) erzeugt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird zusätzlich zu jedem Testvektor-Speicher 2 ein Adressen-Erzeugungsabschnitt 10 vorgesehen, um einen Zugang zu dem Testvektor- Speicher 2 zu schaffen, der mehrere Testmuster in dem Mustergenerator 1 speichert.

Ebenso gibt eine Sequenzsteuerung B 8 ein Steuersignal aus, das den Adressen- Erzeugungsabschnitt 10 indirekt mittels der Flip-Flop-Schaltung steuert.

Als Ergebnis wird die Schaltungsgröße stark reduziert und eine Vergrößerung der Kapazität des Testvektor-Speichers kann leicht ausgeführt werden. Daher kann ein Mustergenerator, der die Signale für ein Halbleiter-Testgerät zur Verfügung stellt, im Vergleich zur herkömmlichen Technologie in geringer Größe ausgeführt werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels, das in den begleitenden Zeichnungen dargestellt ist, näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm des Aufbaus eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Mustergenerators,

Fig. 2 eine Zeitverlaufstabelle, die den Taktungszusammenhang zwischen Signalen eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mustergenerators zeigt,

Fig. 3 ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Sequenzsteuerabschnitts gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt,

Fig. 4 ein Blockdiagramm, das den allgemeinen Aufbau eines Halbleiter-Testgerätes zeigt, und

Fig. 5 ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines herkömmlichen Mustergenerators zeigt.

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm eines Mustergenerators gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist ein Mustergenerator 1 eine Adressen- Erzeugungseinrichtung 10 mit der Anzahl n auf, die auf die gleiche Nummer n eines Testvektor-Speichers 2 zugreift. Eine Sequenzsteuerung B 8 erzeugt ein Signal APInc 9, das die Adressen-Erzeugungseinrichtung 10 steuert, und eine Mehrfach-Flip-Flop- Schaltung 5 gibt das Signal APInc 9 schnell zu der jeweiligen Adressen- Erzeugungseinrichtung 10.

Fig. 2 zeigt eine Zeitverlaufstabelle eines Mustergenerators 1 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Die Adressen-Erzeugungseinrichtung 10 ist durch einen Schrittzähler (oder Aufwärts- Abwärts-Zähler) ausgeführt.

Die Adressen-Erzeugungseinrichtung 10 empfängt ein Hochpegelsignal APInc 9 mittels der Flip-Flop-Schaltung 5 und führt dann einen Zahlschritt in der positiven Richtung aus.

Dies stellt einen NOP-Befehl dar, der direkt ein Testmuster erzeugt.

Weiterhin empfängt die Adressen-Erzeugungseinrichtung 10 ein Signal APInc 9 auf niedrigem Pegel mit der Flip-Flop-Schaltung 5, wobei in diesem Fall kein Zählschritt in positiver Richtung ausgeführt wird, sondern die Adresse zu dem letzten Zeitpunkt gehalten wird.

Dies stellt einen REPEAT-Befehl dar, der nur ein Testmuster wiederholt erzeugt.

Fig. 3 ist ein Blockdiagramm, das eine Sequenzsteuerung B 8 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Sequenzsteuerung B 8 einen Speicher 14 auf, der eine Sequenz speichert. Eine Sequenz-Adressen-Erzeugungseinrichtung 13 schafft Zugriffe auf den Sequenzspeicher 14. Ein Wiederholungszähler 15 zählt von einem vorbestimmten Wert herunter. Eine ONE-Erfassungsschaltung 16 erfaßt einen Zählwert 1.

Der gegebene voreingestellte Wert ist ein Wiederholungswert, der zuvor in dem Sequenzspeicher 14 gespeichert ist.

Der Wiederholwert eines REPEAT-Befehls in dem Sequenzspeicher wird durch den Wiederholungszähler 15 ausgelesen und erniedrigt.

Das Signal APInc 9 wird ausgegeben, wenn der Wert "1" durch die ONE- Erfassungsschaltung 16 erfaßt ist.

Weiterhin wird eine Adresse um +1 erhöht, worauf das Signal APInc 9 ebenso zu der Sequenzadressen-Erzeugungseinrichtung gegeben wird, und eine nächste Adresse 14 wird zu dem Sequenzspeicher 14 gegeben.

Im Fall des NOP-Befehls ist die "1" für den Wiederholwert festgelegt.

Der Zähler 15 gibt sofort eine "1" aus.

Die ONE-Erfassungsschaltung 15 erfaßt dies und gibt das Signal APInc 9 aus.

Beispielsweise in dem Fall, daß eine Anzahl von 30 Bits ausgegeben wird, kann durch einen Aufbau gemäß der vorliegenden Erfindung die Zahl der Schaltungskombinationen im Vergleich mit einem Aufbau gemäß der vorliegenden Erfindung die Zahl der Schaltungskombinationen im Vergleich mit einem Aufbau in der herkömmlichen Technologie verlängert werden.

D.h., gemäß der herkömmlichen Technologie werden 90 (Verteilerschaltung durch Flip-Flop-Schaltung) × 64 (Anzahl der Testvektor-Speicher) × 30 (Anzahl der Ausgangsbits) = 172 800 Flip-Flop-Schaltungen notwendig.

Gemäß der vorliegenden Erfindung beträgt die Bitlänge zur Steuerung eines Adressengenerators nur 1 Bit. 89 (Verteilerschaltungen durch Flip-Flop-Schaltungen) × 64 (Adressengenerator-Abschnitt + eingestellte Anzahl des Testvektor-Speichers) × 1 (Steuersignal für den Adressengenerator) + 30 (Anzahl der Ausgangsbits) × 64 (Adressengeneratorabschnitt + die Anzahl des Testvektor-Speichers) ergibt 7.616 erforderliche Flip-Flop-Schaltungen.

Das Verhältnis der Anzahl von Flip-Flop-Schaltungen soll 172.800 (Beispiel für die herkömmliche Technologie) : 7616 (Beispiel bei der vorliegenden Erfindung) = 22,6 : 1 ergeben.

Im Fall der herkömmlichen Technologie werden alle Adressen durch den Sequenzsteuerabschnitt erzeugt, weiterhin werden sie durch die Flip-Flop-Network- Schaltung für die notwendige Bitanzahl verteilt, und daher ist eine Anzahl von 30 Bits in dem oben beschriebenen Beispiel notwendig.

Indessen weist der Sequenzsteuerabschnitt gemäß der vorliegenden Erfindung den Adressengeneratorabschnitt und den Testvektor-Speicher auf, und er erzeugt nur ein Steuersignal für den Adressengenerator-Abschnitt.

Zusätzlich weist das Steuersignal 9 für den Adressengenerator-Abschnitt minimal eine Zeile, beispielsweise ein APInc-Signal, auf.

Die durch die genannten Ausführungsbeispiele oben beschriebene Erfindung weist folgende Vorteile auf. Der Mustergenerator kann in einer extrem kleinen Schaltungsgröße aufgeführt werden, da nur das eine Steuersignal für den Adressengenerator-Abschnitt zu dem Adressengenerator-Abschnitt mittels der Flip- Flop-Schaltung verteilt wird.

Ebenso sind die Kosten aufgrund der geringen Schaltungsgröße wie oben beschrieben gering. Darüberhinaus, wenn die Kapazität der Bitlänge des Mustergenerators vergrößert wird, wird die Arbeit der Erweiterung erleichtert, wenn nur der Speicher um den Wert der vergrößerten Adressenlänge oder Bitlänge für den Adressengenerator- Abschnitt und den Testvektor-Speicher vergrößert wird.

Claims (4)

1. Mustergenerator für ein Halbleiter-Testgerät mit:

• - einem Adressengenerator-Abschnitt (10), dem ein Testvektor-Speicher (2) in gleicher Größen zugeordnet ist, wobei die Größe des Testvektor-Speichers (2) in Beziehung steht mit der Tiefe der Speichergröße eines zu testenden Speichers, und
• - einer Sequenzsteuerung B (8), die ein Steuersignal (9) erzeugt, und
• - einem Flip-Flop-Schaltungsnetzwerk (5), das das Steuersignal (9) zu jedem Adressengenerator (10) verteilt.

2. Mustergenerator für ein Halbleiter-Testgerät, dadurch gekennzeichnet, daß die Sequenzsteuerung B (8) das Steuersignal (9) bestehend nur aus einer Zeile erzeugt.

3. Mustergenerator für ein Halbleiter-Testgerät dadurch gekennzeichnet, mit:

• - einem Sequenzspeicher (14), der eine Sequenz speichert,
• - einen Sequenz-Adressengenerator (13), der auf den Sequenzspeicher (14) zugreift,
• - einen Wiederholzähler (15), der durch ein Ausgangssignal des Sequenzspeichers (14) verringert wird,
• - eine Erfassungsschaltung (16), die eine Entsprechung zwischen einem gegebenen Wert und dem Zellwert des Wiederholungszahlers (15) erfaßt, und
• - eine Sequenzsteuerung (8) die ein Steuersignal (9) erzeugt.

4. Mustergenerator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sequenzsteuerung B (8) das Steuersignal (9) durch eine einzelne Zeile erzeugt.