DE1941655A1 - Hochfrequenz-Generatorschaltung - Google Patents

Description

Hochfrequenz-Generatorschaltung

Die Erfindung betrifft eine Hochfrequenz-Generatorschaltung zur Verwendung für Generatoren, die zum Arbeiten mit einer einzigen Arbeitsfrequenz ausgelegt sind, und insbesondere abgestimmte Ausgangsschaltungen und Schaltelemente dafür sowie Gitterschaltungen, die für eine Heutralisierung sorgen.

Gemäß dem derzeitigen Stand der Technik wird es als erforderlich angesehen, die Ausgangsschaltung der Leistungsröhre eines Hochfrequenz-Generators, der zum Arbeiten mit einer festliegenden Arbeitsfrequenz ausgelegt ist, für alle Betriebsleistungen abgestimmt zu halten, um u.a. zu verhindern, daß übermäßig hohe Anodenströme entstehen, die zu einer dauernden Beschädigung der Röhre führen wurden, wenn man sie über einen längeren Zeitraum hinweg fließen läßt. TJm einen abgestimm-

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ten Betriebszustand aufrechtzuerhalten, ist es erforderlich, regel-, bare Kapazitäts- und Induktivitäts-Schaltelemente im abgestimmten Ausgangskrei*s vorzusehen und die Größen dieser Schaltelemente immer dann zu regeln» wenn eine Änderung in den Betriebsbedingungen der Anlage erfolgt, in der der Hochfrequenz-Generator arbeitet. DieNotwendigkeit zum ständigen Regeln des Generators zum Aufrechterhalten eines abgestimmten Zustande im Ausgang der Leistungeröhre ist ein Ärgernis, für das man lange eine Lösung gesucht hat, für das man aber bisher keine zufriedenstellende Lösung gefunden hat. Durch die Erfindung wird ein Ausgangskreis für einen Hochfrequenz-Generator geschaffen, der einen Betrieb des Generators über seinen Uenn-Leistungsbereich gestattet, ohne daß irgendwelche Schaltelemente im Ausgangs- ^ kreis als Folge einer Änderung in der Betriebsleistung geregelt wer-™ den müssen. Bei der Beschreibung der Erfindung wird gelegentlich auf Größen von Schaltelementen und auf andere Messungen in dem Systembetrieb Bezug genommen, um für ein besseres Verständnis der Erfindung zu sorgen, es versteht sich aber, daß solche Größenangaben für Schaltelemente und andere Beschreibungen von Betriebsbedingungen in Zahlenwerten nur beispielhaft sind und die Erfindung nicht auf die angegebenen Zahlenwerte beschränken.

Um eine Leistungsröhre zu schaffen, die über ihren vollen Nenn-Leistungsbereich arbeiten kann, ohne daß Einstellungen in dem abgestimmten Ausgangskreis erforderlich sind, ist es notwendigerweise eine Voraussetzung, daß die Bohre ihren Betrieb aufrechterhalten kann, wähk rend der Ausgangskreis außer Resonanz ist. Der erste Schritt dazu, dieses Ergebnis zu erzielen, besteht in der Wahl einer Leistungsröhre nicht für einen Betrieb unter in Resonanz befindlichen Voraussetzungen, sondern vielmehr unter außer Resonanz befindlichen Bedingungen. Das erfordert natürlich, daß die zusätzlichen Belastungen auf die verschiedenen Elemente der Röhre als Folge nicht abgestimmter Betriebsbedingungen in Rechnung gestellt werden. Infolgedessen müssen die Anodenspannung der Röhre, die Schirmgitterspannung, die Schirmgitter-Stromstärke, die Anodenverlustleistung und die Gitterverlustleistung eine Nenn-Größe ha-

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ben, die ausreicht, um mit den vorausgesehenen Bedingungen fertig zu werden. Als allgemeine Hegel erfordert das eine Röhre mit dem Zweibis Vierfachen der Nennleistung einer Röhre, die bei einem abgestimmten Ausgang erfolgreich arbeitet. Das allein jedoch sorgt nicht für das angestrebte Ergebnis, da durch einen einfachen Austausch einer Röhre durch eine Röhre mit einer zweimal so großen Nennleistung die Röhre mit größerer Leistung immer noch nicht imstande ist, den Stromstärken zu widerstehen, die während des Betriebs induziert wurden, wenn der Ausgangskreis sich außer Resonanz befindet, da diese Stromstärken irgendwo zwischen dem Fünf- und Zehnfachen der Größe liegen, die während des in Resonanz befindlichen Betriebs auftritt, die Stromstärken auf jeden Fall aber weit überschreiten, die sogar eine Röhre mit doppelter Nennleistung unter fortgesetztem Betrieb aufnehmen kann. Die, Erfindung sieht deshalb die Kombination eines Ausgangskreises mit I einer Überforderten Leistungsröhre vor, der Widerstands- und Kapazi·^ tätselemente hat, welche so gewählt sind, daß bei der Betriebsfrequenz des Generators Widerstandscharakteristiken geschaffen werden, die den Strom, der während eines außer Resonanz befindlichen Betriebs in den Anodenkreis fließt, auf eine Stärke begrenzen, mit der die Röhre sicher fertig werden kann. Gleichzeitig Bind die Widerstandscharakteristiken der Induktivitäta- und Kapazitäts-Schaltelemente des Ausgangskreises nicht so begrenzend, daß die normale Funktion der Röhre gestört wird. Wenn ein Generator mit einer Nennleistung von 1000 Watt vorgesehen sein soll, werden die Leistungsröhre und deren Ausgangskreis auf die Betriebsbedingung eines Ausgangs von 1000 Watt abgestimmt, bei der erwartet werden kann, daß der Wirkungsgrad im Betrieb (die erforderliche Gleichstromleistung zur Erzeugung der gewünschten Ausgangsleistung) 90 $ oder mehr beträgt. Wenn der Generator so eingestellt wird, daß er bei etwas weniger als 1000 Watt Ausgangsleistung arbeitet, ist der Ausgangskreis der Leistungsröhre nicht langer darauf abgestimmt, was zu einer Abnahme im Wirkungsgrad mit einer einhergehenden Erhöhung in der Anodenstromstärke führt. Da die Röhre einen Ausgang unter außer Resonanz befindlichen Bedingungen erzeugen muß, muß an die Röhre mehr Eingangsleistung geliefert werden, um bestimmte Aus-

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gangsleistungen unter 1 Kilowatt zu erzeugen, als das erforderlich ist, um einen Ausgang von einem Kilowatt unter den abgestimmten Bedingungen zu erzeugen. Das erklärt die Notwendigkeit, eine Röhre vorzusehen, die eine Nennleistung von mehr als 1000 Watt Sat.

Venn Hochfrequenz-Generatoren dazu verwendet werden, Leistung 'beispielsweise, für Plasmamaschinen zu liefern, die durch Belastungen gekennzeichnet sind, welche sich von voller Belastung auf eine Belastung von Null ändern können, ist es nicht ungewöhnlich, daß extrem hohe_x Spannungen (zig Kilovolt) augenblicklich am Ausgang der Leistungsröhre entstehen. Diese hohen Spannungen am Ausgang der Leistungsröhre reichen aus, um Koronaemissionen (Flammen) hervorzurufen, von denen es bekannt ist, daß sie zu schwerwiegenden Beschädigungen der Generatoren führen, die solchen Bedingungen ausgesetzt sind. Die Erfindung sieht die Verwendung eines Kondensators- im Ausgangskreis vor, der aus Metallplatten gebildet iet, die so fungieren, daß eine eventuelle hohe Spannung, die am Ausgang der Leistungsröhre auftreten kann, in einer ,solchen Weise formt, daß Koronaemissionen verhindert werden₉um damit die Gefahren zu beseitigen, die damit einhergehen.

Es gibt zwei bekannte allgemeine Lösungen zum Anlegen von Leistung an das Gitter der Leistungsröhre eines Hochfrequenz-Generators. Beide Lösungen haben schwere Nachteile. Bei Hochfrequenz-Generatoren, die für eine Ausgangsleistung von 300 oder 400 Watt ausgelegt sind, ist es allgemein eingenommene Übung, daß ein Steuersender mit geringer Verstärkung eingesetzt werden kann, der irgendwo zwischen 10 und 20$ der gewünschten Ausgangsleistung erfordern kann, um das Gitter auszusteuern. Diese Lösung hat den Vorteil der Stabilität. Wenn die Leistungen eines HF-Generators jedoch den Bereich des Kilowatts erreichen, wird es unmöglich, einen Steüersender für das Gitter vorzusehen, der selbst bis zu 200 Watt Leistung benötigt. Deshalb wird es erforderlich, die zweite allgemeine Lösung in Betracht zu ziehen, nämlich Steuerlei-Btung für das Gitter der Leistungsröhre vorzusehen, wobei ein Hochverstärkungssystem zu verwenden ist, bei dem es möglich ist, daß ein klei-

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ner Bruchteil von einem ¥att für die gesamte Aussteuerung sorgt, die für einen Generator mit einer Leistung von einem Kilowatt erforderlich ist. Solche hochverstärkenden Systeme sind jedoch ihrer Uatur nach unstabil und erfordern dementsprechend außerordentlich teure und mechanisch voluminöse Stützschaltungen, um UnstaMlitäten während des Betriebes zu verhindern. Die Erfindung sieht einen Gittersteuerkreis vor, der trotz der hohen Verstärkung weder gegenüber bekannten Schaltungen teuer noch von der Verwendung mechanisch großer Schaltelemente abhängig ist, die solche Anlagen kennzeichnenderweise klobig machen. Erfindungsgemäß wird das durch die Verwendung einer OBzillatorschwingkreisspule und durch eine wirkungsvolle Verringerung der Eingangsimpedanz zum Gitter erreicht, um damit die Notwendigkeit entfallen zu lassen, daß extrem große Abstimmungsfehler zwischen dem Steuergitterkreis und dem Gitter selbst ausgeglichen werden müssen. Darüber hinaus sorgt der Gitterkreis gemäß der Erfindung für eine stabile Funktion über einen Neutralisierungskreis, der den gefährlichen Zustand beseitigt, daß die Röhren-Anodenspannung vom Gitter nur durch den Ueuträlisierungskondensator getrennt ist, was für die bekannten Neutralisierungsstromkreise charakteristisch ist.

Demgemäß bezweckt die Erfindung die Schaffung eines Ausgangskreises für die Leistungsröhre eines HP-Generators, mittels dessen die Röhre mit Leistungen betrieben werden kann, die von denen abweichen, auf die der Ausgangskreis abgestimmt ist, ohne daß es erforderlich ist, daß die Resonanz wieder hergestellt wird, und ohne daß Ströme in der Anode induziert werden, die über der größten Stromstärke liegen, auf die die Röhre ausgelegt ist und die die Anode über einen längeren Betrieb aufnehmen kann.

Veiter soll gemäß der Erfindung ein Kondensator im Ausgangskreis der Röhre eines HF-Generators geschaffen werden, die aus im Abstand angeordneten Metallplatten gebildet ist, welche so wirken, daß am Kondensator eingeprägte hohe Spannungsentladungen in einer solchen Weise geformt werden, daß gefährliche Koronaemissionen vermieden werden,

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um damit zu verhindern, daß "bei Torliegen solcher hohen Spannungen die Gefahr einer Beschädigung des Generators gegeben ist.

Weiter soll gemäß der Erfindung ein Gitterkreis für die Leistungsröhre eines HF-Generators geschaffen werden, der den Gittersteuerkreis auf das Gitter durch die Verwendung eines OszillatorSchwingkreises abstimmt und für eine Neutralisierung sorgt, um die nachteiligen Effekte einer verteilten Kapazität zu beseitigen» ohne daß der gefährliche Zustand entsteht, daß die Anoden-Spannung vom Gitter nur durch den neutralisierenden Kondensator getrennt ist, wie das beim Stand der Technik der Fall ist.

Die Erfindung wird im nachfolgenden anhand von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. In den Zeich nungen sindi

Fig. 1 - Ein elektrisches Schaltbild, das den Gitterkreis

einer Leistungsröhre für einen HF-Generator zeigt,

Fig. 2 ein elektrisches Schaltbild, das einen Ausgangskreis

für die Leistungsröhre eines HF-Generators zeigt,

Fig. 3 ein elektrisches Schaltbild, das einen äquivalenten

Stromkreis zu dem in Fig. 2 gezeigten Stromkreis zeigt, wobei alle Schaltelemente konzentriert worden sind, und

Fig. 4 sia Schaubild der mechanischen Ausführung verschiedener der in Fig. 2 schematisch dargestellten elektrischen Schaltelemente«

In Fig. 2 und 4 stellt eine Röhre 11 eine Leistungsröhre dar, die zum Betrieb bei einer bestimmten Hochfrequenz ausgelegt ist (I3t56 Megahertz). Zu ihr gehörin eine Anode 12, eine geerdete Kathode 13 und ein Gitter 14· Die Anode 12 nimmt Betriebsspannung von einer Quelle 16 über eine Drosselspule 17 auf, die zwischen der Anode und der Quelle eingeschaltet ist. Ein Überbrückungskondensator 18 ist dazu vorgesehen» eventuelle

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Hochfrequenzimpulse, die die Spule 17 passieren könnten, daran zu hindern, zur Quelle 16 zu gelangen und an ihr Beschädigungen hervorzurufen. Das Gitter 14 steuert die Leißtungsröhre und wird selbst durch einen Kreis 19 gesteuert, der im nachfolgenden noch zu beschreiben sein wird. Wenn der Generator mit einem Nennausgang von 1000 Watt arbeiten soll, muß die Röhre 11 bei Werten arbeiten können, die die Bedingungen überschreiten, die normalerweise für einen solchen Nennausgang vorausgesetzt werden, da durch die Erfindung ein Betrieb bei außer Resonanz befindlichen Ausgangsbedingungen erforderlich ist.

Bei der Wahl einer Röhre 11 ist es also erforderlich, zunächst die verschiedenen Stromstärken und Spannungen zu berechnen, die die Einzelteile der Röhre aufnehmen können, wobei zu berücksichtigen ist, $ daß die Röhre mit einem AusgangsStromkreis arbeiten muß, bei dem Abstimmungsdiskrepanzen bzw. außer Resonanz befindliche Betriebsbedingungen auftreten. Das Ergebnis der Auswähl wird eine Röhre sein, die scheinbar das Mehrfache der erforderlichen Nennleistung hat, die aber in Wirklichkeit fast ihre gesamte Herzleistung erfordert, um für längere Zeiträume gemäß der Erfindung zu arbeiten. Das Verfahren zur Bestimmung der zu erwartenden Anodenspannung und -Verlustleistung, der SchirmgitterSpannung, der Schirmgitterstromstärke und der Gitter-Verlustleistung ist bekannt, ebenso wie das Verfahren zur Auswahl einer Röhre, um solchen Voraussetzungen gerecht zu werden.

Die Anode 12 ist kapazitiv über ein Kondensator-Hetzwerk 22 und ein Pi-Netzwerk, das durch einen Vakuumkondensator 23, eine Spule 24 und ^ Kondensatoren 26 gebildet ist, mit einer Ausgangsüb erträgungsleitung 27 gekoppelt, die die Leistung vom Generator an die gewünschte Verbraucherstelle liefert. Da die Impedanz der Röhre charakteristischerweise mehrere tausend Ohm beträgt, während die charakteristische Impedanz von Übertragungsleitungen im allgemeinen etwa 50 Ohm ist, ist es ein bekanntes Konstruktionsverfahren, ein Pi-lietzwerk zwischen dem Ausgang der Röhre und der Übertragungsleitung vorzusehen, um einen Ausgleich für die Impedanzdiskrepanz zu schaffen. Da die Impedanz der

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Röhre u.a. eine Funktion der Leistung.ist, mit der die Röhre arbeitet, benutzen Pi-Netzwerke, die zum Abstimmen solcher Röhren auf eine Übertragungsleitung angesetzt werden, notwendigerweise Kondensatoren und Induktionsspulen, die regelbar sind, um ein Regeln des Pi-Netzwerkes mit Änderungen in den Betriebsgrößen der Röhre zu ermöglichen und damit eine einwandfreie Abstimmung zwischen der Röhre und der Ausgangsübertragungsleitung aufrechtzuerhalten. Wenn die Röhre und die Übertragungsleitung durch das Pi -Set ζ werk abgestimmt sind, ist der Ausgangskreis der Röhre, abgestimmt, und die Röhre arbeitet in ihrer wirkungsvollsten Weise. Bekannte Generatoren sind so ausgelegt, daß es erforderlich ist, die Induktivitäts- und Kapazitäts-Sohaltelemente des Pi-Hetzwerkes immer dann zu regeln, wenn eine Änderung in der Betriebsgröße in der Röhre 11 auftritt, um ständig für einen abgestimmten Betriebszustand zu sorgen. Me Notwendigkeit zum ständigen Abstimmen des Ausgangekreises ist störend und birgt Gefahren in sich, insofern nämlich, daß dann, wenn keine ordnungsgemäße Wartung vorgenommen wird, Zustände in der Röhre hervorgerufen werden können, die zu einer dauerhaften Beschädigung der Röhre führen können und die im einzelnen die Form von Strömen annehmen, die den größtzulässigen Wert überschreiten, auf den die Röhre ausgelegt ist. -. /

Gemäß der Erfindung ist ein Ausgangskreis vorgesehen, der keine Änderungen in der Größe der Schaltelemente des Pi-Netzwerks erfordert, so daß die Leistungen der Röhre 11 oder andere Betriebsbedingungen geändert werden können, ohne daß eine damit einhergehende neue Einregelung des Generator-Anodenkreises erforderlich 1st. Bas wird dadurch erreicht, daß eine Leistungsröhre 11 mit den erforderlichen Betriebsnenngrößen vorgesehen wird, die, wie oben erwähnt, die Betriebsnenngrößen überschreiten, die bisher für eine bestimmte Generator-Ausgangsnennleistung als angemessen angesehen wurden. Bas allein reicht jedoch nicht aus, um das gewünschte Ergebnis zu erreichen, da ein Betrieb unter außer Resonanz befindlichen Bedingungen zu Stromstärken in der Anode der Röhre führt,

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die zwischen dem Fünf- und Zehnfachen der Stromstärke betragen, die vorhanden ist, wenn der Setrieb unter abgestimmten Bedingungen durchgeführt wird, und die bei weitem die höchstzulässigen Stromstärken überschreiten, für die die Röhre ausgelegt ist. Demgemäß ist es erforderlich, eine stromstärkenbegrenzende Einrichtung vorzusehen, die das Entstehen extrem hoher Stromstärken verhindert, wenn ein Betrieb unter außer Hesonanz befindlichen Bedingungen erfolgt.

In Fig. 3 ist die Leistungsröhre 11 mit einem Anodenkreis geaeigt, der das elektrische Äquivalent des in Fig. 2 gezeigten Kreises ist, wobei alle die verschiedenen !Teile konzentriert sind. Wenn a

der Kreis abgestimmt ist, bestimmt der !Resonanzkreis, der durch den äquivalenten Kondensator 31 und den äquivalenten Induktor 32 gebildet ist, die Stromstärke in dem Kreis, und da die Röhre zum Betrieb mit einem abgestimmten Ausgangskreis ausgelegt ist, befindet sich die betreffende induzierte Ausgangsstromstärke innerhalb des erwarteten Betriebsbereichs der Röhre. Wenn sich der Kreis jedoch außer Resonanz befindet, stellen die Widerstandselemente 33» zu denen der HF-Widerstand der verschiedenen Schaltelemente gehört, den vorherrschenden stromstärkenbegrenzenden Faktor dar, und das ist in bekannten Konstruktionen nicht ausreichend, um die in dem Anodenkreis vorhandene Stromstärke so zu begrenzen,

daß der Nennwert der Röhre 11 überschritten wird. Gemäß der Er- _t

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findung wird der PieNetzwerkkondensator 26 durch eine Anzahl von Kondensatoren 26a gebildet, die elektrisch parallel zueinander angeordnet sind und besonders'ausgewählt, sind, um relativ niedrige Widerstandscharakteristiken zu haben. Ein idealer Kondensator ist ein solcher, der eine reine Kapazität mit einem unendlich großen Widerstand hat. Die Qualität von Kondensatoren wird deshalb in Beziehung zum Widerstand gesetzt, den sie haben, wobei die besten Kondensatoren die sind, die den höchsten Widerstand haben. Die Spule 24 hat ebenfalls bestimmte Widerstandscharakteristiken,

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die eine Funktion der geometrischen Ausgestaltung der Spule sind und die dadurch erhöht oder verringert werden können, daß man die geometrische Gestalt der Spule ändert, wie das bekannt ist. Eine weitere Widerstandsquelle für den Widerstand 23 ist der koppelnde Kondensator 22, der gemäß der Sarstellung in Fig. 2 aus einer Anzahl von Widerständen 22a gebildet ist, die zwischen drei Platten 22b miteinander gekoppelt sind, welche selbst Kondensatoren bilden, die bestimmte Widerstandscharakteristiken haben. Durch Verwendung einer Vielzahl von Kondensatoren 26a, die aus anderen als Hochleistungskondensatoren ausgewählt sind, und durch entsprechende Ausgestaltung der Spule 24 und entsprechende Wahl der Kondensatoren 22a ist es möglich, einen punktförmig verteilten Widerstand 33 α*, zu erzielen (bei-der HF-Betriebsfrequenz des Generators), der die "¹^ Stromstärke in dem Anodenkreis während außer Resonanz befindlicher Betriebsbedingungen begrenzt, und zwar unter die Stromstärke, bei der die Bohre beschädigt werden kann. Es ist jedoch wichtig, daß der Widerstand 33 nicht so groß ist, daß er einen ausreichenden Strom in dem Anodenkreis verhindert, um ein Weitergehen der gewünschten Funktion der Röhre zu ermöglichen. Demgemäß soll der Widerstand 33 ^r einen Strom in dem Anodenkreis während außer Resonanz befindlicher Betriebsbedingungen sorgen, der gerade unter dem höchstzulässigen Anoden-Nerinstrom liegt, um für eine ordnungsgemäße Funktion der Röhre zu sorgen, gleichzeitig aber die Röhre vor einer Beschädigung zu schützen.

Η Da die Größe des Widerstandes, der erforderlich ist, um den Anodenstrom ordnungsgemäß zu begrenzen, eine Funktion verschiedener Betriebsbedingungen (Frequenz, Leistung usw.) ist sowie der betreffenden Charakteristiken der Röhre selbst, kann keine Formel angegeben werden, um die Widerstandscharakteristiken der Kondensatoren 22a und 26a und der Spule 24 zu wählen, deren Wahl liegt vielmehr mehr oder weniger im Geschick des Fachmanns, dem das gewünschte Ergebnis bekannt ist. Bezogen auf den Stromwideistand, sind die Komponenten des Anodenstromkreises so gewählt, daß diesem Stromkreis ein Widerstand relativ zum Widerstand der Röhre gegeben wird, der bei

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der Betriebsfrequenz ausreichend niedrig ist, um den effektiven Widerstand der Komponenten im AusgangsStromkreis zum Anodenstromkreis als stromstärkenbegrenzende Einrichtung zurückwirken zu lassen.

Durch diese Widerstandscharakteristiken in den Kapazitäts- und Induktivitätsbauteilen des Ausgangskreises, die zu eines äquivalenten Widerstand 53 führen» der die größte Stromstärke in dem Anodenstromkreis während eines Betriebs unter außer Resonanz befindlicher Bedingungen begrenzt, wird durch die Erfindung zum ersten Mal ein Hochfrequenzgenerator geschaffen, der bei Auslegung zum Betrieb bei einer einzigen frequenz über seinen gesamten Leistungsbereich betriebsfähig bleibt, ohne daß eine Regelung des AusgangsStromkreises , ^ erforderlich ist. Zusätzlich zu der Bequemlichkeit, die ein sol- '" eher Stromkreis bietet, besteht auch.der Vorteil, daß man den Generator unbeaufsichtigt arbeiten lassen kann, wobei man sich darauf verlassen kann, daß bei einer Änderung der Leistung der Rohrs oder bei Änderung irgendwelcher sonstiger Voraussetzungen, die den Ausgangsstromkreis außer Resonanz bringen, die Röhre nicht schwerwiegend beschädigt wird.

Gemäß Fig. 4 ist der Kondensator 22 durch drei im wesentlichen runde, vorzugsweise versilberte Platten 22b gebildet, die im Abstand zueinander angeordnet sind und in diesem Abstand voneinander durch zylindrische Kondensatoren 22a gehalten werden, die sowohl mechanisch als auch elektrisch mit aufeinanderfolgenden Platten verbunden sind. J Zwei Kondensatoren 22a sitzen zwischen der unteren und der mittleren Platte 22b auf ,einem einzigen Durchmesser, während zwei weitere zylindrische Kondensatoren 22a zwischen der oberen Platte und der mittleren Platte an gegenüberliegenden Enden eines Durchmessers sitzen, der im wesentlichen rechtwinklig zum Durchmesser liegt, worauf die unteren Kondensatoren 22a sitzen. Die untere Kondensatorplatte 22b liegt über dem Boden eines Rahmens 36 und wird durch ein Hochspannungsisolierstück 37 im Abstand gehalten, um ein Erden des Kondensators zu verhindern. Zusätzlich zum Hinzufügen einer Kapazität, die in

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dem System erforderlich ist, gestatten die Platten 22b die Absorption hoher Spannungen (zig Kilovolt) durch den Ausgangsstromkreis der'Leistungsröhre, ohne daß Koronaemissionen damit einhergehen, die die Bauteile sowohl des Kondensators selbst als auch die angrenzenden Bauteile beschädigen können. Die Platten wirken dahingehend, daß die Spannungsentladung in einer Weise geformt wird, bei der die Energie zerstreut wird, ohne daß eine ausreichende Konzentration in einer Funkenbildung gestattet wird, die zu einem Durchschlagen führen kann. Das Vorhandensein des erfindungsgemäß gebildeten Kondensators 22 ist von außerordentlicher Bedeutung, wenn der HP-Generator in Verbindung mit Plasmamasehinen verwendet wird, die eine etwas ungewöhnliche Belastungsbedingung für den Generator darstellen. Für Hochfrequenz-Generatoren, von denen man am häufigsten annimmt, daß sie Leistung für eine Antenne erzeugen, die ein Funksignal überträgt, wird die Belastung im wesentlichen als konstant und immer vorhanden angenommen. Bei der Erzeugung von EP-Leistung für eine Plasmamaschine können diese Betriebsbedingungen jedoch nicht vorausgesetzt werden, da es ohne weiteres innerhalb der erwarteten Betriebsbedingungen liegt, daß ein Zusammenbruch des Plasmas erfolgt, mit dem ein totaler Verlust der Belastung einhergeht, was zu recht großen Homentan-Spannungen führt, die im Auegangekreis der Leistungsröhre entstehen. Bas Vorhandensein des Kondensators 22 mit seiner Fähigkeit zum Unterdrücken der gefährlichen Bedingungen, die mit hohen Spannungen einhergehen, gestattet beispielsweise die Verwendung einer Plasmamasohine für Experimente, ohne daß die Gefahr besteht,, daß der unerwartete Verlust des Plasmas zu einer dauerhaften Beschädigung des Generators führt. Bas verleiht der gesamten Plasmamaschine natürlich eine flexiblere Anwendungsfähigkeit, was von entscheidender Bedeutung für Forschungsgerät ist.

Gemäß Fig. 1 wird das Gitter 14 der Leistungsröhre 11 durch einen Schwingkreis (nicht dargestellt) gesteuert, dessen Ausgang über eine Übertragungsleitung 41 übertragen wird, die eine charakteristi-

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sehe Impedanz von 50 Ohm hat. Sa bei den meisten Leistungsröhren die Gitterimpedanz mehrere zehntausend Ohm beträgt, besteht ein 'schwieriges Problem darin, zu versuchen, die 50 Ohm -Übertragungsleitung 41 auf das Gitter 14 abzustimmen, da eine so große Impedanz-Diskrepanz nur durch einen Stromkreis kompensiert werden kann, der Induktions- und Kapazitätsschaltelemente aufweist, die notwendigerweise einen Wert haben, der teure und mechanisch große Schaltelemente erfordert. Als erster Schritt zur Lösung des Problems der Lieferung von Steuerleistung von der Übertragungsleitung 41 zum Gitter 14 sieht die Erfindung eine Anzahl von temperaturabhängigen Vorwiderwänden vor, die parallel zueinander geschaltet sind und zusammen parallel zum Gitter 14 geschaltet wind. Sie Widerstände 42 sind so gewählt, daß sie zusammen einen Widerstand von ca. 1000 0hm haben, was den Effekt hat, daß die Impedanzbelastung in das Gitter ca. 1000 0hm wird. Sie Widerstände 42 verringern also die Größe in der Abstimmungs-Siskrepanz zwischen dem Gitter 14 und der Übertragungsleitung 41 erheblich. Neben der Verringerung der Abstimmungs-Siskrepanz dienen die Widerstände 42 auch dazu, ein Gitter mit geringer Impedanz zu erzeugen, das sich leicht steuern läßt.

Sie verbleibende Abstimmungs-Diskrepanz wird durch eine ungewöhnliche und neue Art der Verwendung einer Spule 43 behoben, die einen Oszillator-Schwingkreis mit einem Kondensator 44 bildet und durch einen sorgfältig ausgewählten Kondensator 46 mit der Erde verbunden ist. Ser Kondensator 46 ist so gewählt, daß er einen Widerstand bei der Betriebsfrequenz des Oszillators hat, der sehr niedrig ist, so daß die Verbindung 47 zwischen dem Kondensator und dem Induktor 43 ³^- einen HF-Impuls angeschlossen ist, der sehr nahe an der Erdleitung 48 liegt. Die Spule 43 ist so gewählt," daß sie bei der Betriebsfrequenz des Generators eine Impedanz hat, die größer als «lie Impedanz des Gitters I4 ist (zuvor angegeben als 1000 0hm als Folge des Vorhandenseins der Widerstände 42), jedoch nicht so groß, um es schwierig zu machen, einen Kondensator 44 vor-

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zusehen, der einen Schwingkreis mit dem Induktor bei der charakteristischen Frequenz des Generators bildet. Sie 50 Ohm-Übertragungsleitung 41 ist durch einen Koppel-Kondensator 41 mit einem Punkt am Induktor 43 verbunden« der genau 50 Ohm über der Erdleitung 48 liegt, so daß die Übertragungsleitung mit einer genau abgestimmten Belastung arbeitet. Bas Gitter 14 andererseits ist durch einen Leiter 52 mit einer Stelle am Induktor 43 verbunden, die 1000 0hm über der Erde 48 ist, so daS das Gitter 14 ein vollkommen abgestimmtes System hat. Diese erfindungsgemäße Verwendung einer Spule 43 beseitigt die Notwendigkeit zur Verwendung von Umformern und zugehörigen Kondensatoren, die teuer und mechanisch groß sind, ohne daß irgendwelche Vorteile in der Leistung verlo- jjk. rengehen.

Zusätzlich zum direkten Vorteil, der durch den zuvor beschriebenen Koppelungskreis erzielt wird, besteht ein zusätzlicher Vorteil darin, daß der Abstimmungskreis eine bequeme Einrichtung bildet, um eine Gleichstromvorspannung an das Gitter 14 anzulegen, ebenso wie es dadurch ermöglicht wird, eine Neutralisierungsschaltung für die Eöhre 11 zu bilden.

Es ist bekannt, daß es erforderlich ist, die verteilten Kapazitäten zu berücksichtigen, die notwendigerweise in einer Leistungsröhre der infrage stehenden Art vorhanden sind, wenn erhebliche Verluste im Wirkungsgrad vermieden werden sollen. In dieser Hinsicht ist es W ebenfalls bekannt, die Effekte verteilter Kapazität dadurch zu löschen, daß man einen Teil des Ausgangs der Röhre zum Gitter zurückspeist, und zwar über einen Weg, der einen Schwingkreis aufweist, um die Phase des Impulses relativ zur Phase des Impulses an der Anode 12 umzukehren. Ein gemeinsames Charakteristikum aller bekannten Neutralisierungsschaltungen besteht in der unerwünschten Situation, daß die Anodenspannung (2,5 Kilovolt) vom Gitter nur durch den Heutralisierungskondensator getrennt ist, derart, daß ein Ausfall des Kondensators, was eine Funkenbildung ermöglichen würde, zu einer vollständigen Zerstörung der Röhre führen würde. Gemäß der Erfindung ist

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die Anode 12 kapazitiv durch einen Kondensator 55 (Pig. 4) gekoppelt, der seinerseitβ mit einem Kondensator 54 verbunden ist, der mit der Spule 43 über einen Leiter 56 verbunden ist, welcher an die Verbindung 47 angeschlossen ist, die an eine niedrige Impedanz angelegt ist. Wenn ein Ausfall auftreten sollte, der die Anodenspannung an den Eingang zum Gitter legt, verhindern die Vorwiderstände 42 geringer Impedanz, daß die Spannung das Gitter beschädigt. Der Kondensator 55 ist in einer mechanischen Ausführung vorgesehen, die am besten aus Fig. 4 zu ersehen ist. Der Kondensator 53 ist durch eine versilberte Platte 53a gebildet, die durch isolierte Abstandshalter 57 an einer Stelle gehalten ist, die sich an den äußeren feil 53 der Anode 12 der Röhre 11 anschließt. Die Hasse des äußeren Teils 58 der Anode reicht aus, um mit der Platte 53* die Kapazität zu bilden, die erforderlich ist, us vom Ausgang der Röhre 11 die Leistungsmenge abzuleiten, die ausreicht, um die Neutralisierungsfunktion durchzuführen. Der Kondensator 54 dient als Sicherheitsfaktor dazu, das Gitter von der Anode 12 zu isolieren, während die Einführung des HeutralieierungBimpulsea durch den Schwingkreis der Spule 45 und den Kondensator 44 sicherstellt, daß die Neutralisierung bei genau der Frequenz bewirkt wird, bei der der Generator zu arbeiten ausgelegt ist. Se? Kondensator 46 hat eine weitere Funktion, nimlich als Abstimaungskondensator zu fungieren, um genau die Ausgangsleistung einzuregeln, die zum Gitter zur Neutralisierung zurückgeleitet wird, da nur dann, wenn der genau erforderliche Wert zur Verfügung gestellt wird, eine wirksame Neutralisierung stattfindet. Der Kondensator 44 ist ferner darauf einstellbar, daß für die genau erforderliche Kapazität gesorgt wird, um den Stromkreis mit der Betriebsfrequenz schwingen zu lassen.

Ein zusätzlicher Vorteil, der durch den Resonanz-Abstimmungskreis geschaffen wird, besteht in der Fähigkeit, an das Gitter 14 eine. Vorspannung anzulegen, ohne daß unerwünschte kapazitive oder induktive Reaktanzen eingeführt werden, die bekanntlich am Gitter ver-

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mieden werden müssen. Eine Gleichstrom-Vorspannungsquelle 6l ist an das Gitter über eine Drosselspule 62 angelegt, die mit dem Leiter 56 verbunden ist, der an die Verbindung 47 angeschlossen ist. Durch Einführung der Torspannung durch den beschriebenen induktiven Weg, zu dem die Spule 43 gehört, erhält das Gitter die erforderliche Gleichstromvorspannung, ohne daß damit irgendeine induktive oder kapazitive Reaktanz einhergeht, die zu der Impedanz des Gitters addiert wird, so daß die gewünschte Funktion ordnungsgemäß ausgeführt wird.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung (Fig. 4) besteht in einem Bügeln nannten "HF-Fenster",, durch das der Ausgang von der lnode der Röhre 11 zum Kondensator 22 geliefert wird, wobei diese beiden genannten Teile mechanisch in getrennten Räumen untergebracht werden können. Die Röhre 12 hat eine bestirnte Menge Wärme, die während des Betriebs abgestrahlt wird und die die Funktion anderer Teile des Systeme nachteilig beeinflussen kann, wenn sie dieser Wärme ausgesetzt werden. Das Leiterband 66, das die Anode der Röhre 11 mit dem Kondensator verbindet, passiert deshalb ein Loch 65, das in einem Teflon-Teil gebildet ist. Dieser Teil ist an einer Wand 70 befestigt, die die Röhre vom Kondensator trennt, um zwischen ihnen einen Luftzwischenraum zu halten. Der Teflon-Teil 67 ist so angeordnet, daß er eine Öffnung 68 verschließt, die in die Wand 70 geformt ist. Er sitzt so, daß sich das Loch 65 in der Kitte des Lochs 68 befindet. Das p> Loch 65 hat vorzugsweise eine geometrische Größe und Form, die im wesentlichen dem Querschnitt des Bands 66 entspricht, so daß beim Durchgang des Bands durch das Loch die Möglichkeit beseitigt wird, daß Luft durch die Wand 70 passieren kann. Indem man das Band 66 durch einen Teflon-Teil 'führt und einen erheblichen Abstand von den metallischen Teilen der Wand 70 hält, werden die Möglichkeiten einer Funkenbildung oder eines versehentlichen Erdens der Röhre im wesentlichen ausgeschaltet. Die Verwendung von Teflon als Werkstoff für das Fenster ist von Bedeutung wegen dessen Fähigkeit, Hochfrequenz-

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spannungen in der Größe mechanisoh widerstehen zu können, die von der Anode 11 zu erwarten sind.

Patentansprüche;

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Claims (4)

1. P 19 41 655.8 22. Dezember Ι969

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   • Patentansprüche:

   Hochfrequenzgenerator mit einer Ausgangsschaltung für eine Leistungsröhre, wobei der Generator Leistung an eine übertragungsleitung gibt und eine einzige Betriebsfrequenz hat, gekennzeichnet durch eine Schaltung mit Induktivitäts-Elementen und Kapazitäts-Elementen, die elektrisch zwischen die Anode (12) der Röhre (11) und die übertragungsleitung (27) geschaltet sind und einen Teil aufweisen, der zum Schwingen mit der Betriebsfrequenz des Generators dann abgestimmt ist, wenn die Röhre (11) Leistung in einer Größe abgibt, die gleich der Nennausgangsleistung des Generators ist und die bei allen anderen Ausgangsleistungen der Röhre (11) außer Resonanz befindlich ist, wobei die Induktoren und Kondensatoren, die die Schaltung bilden, so ausreichend niedrige Widerstandscharakteristiken bei,der Betriebsfre-^: quenz haben, daß/die Stromstärke des in der Anode (12) bei außer Resonanz befindlichen Betriebsbedingungen fließenden Stroms auf einen Wert begrenzt wird, der unter der höchstzulässigen Anodenstromstärke liegt, auf die die Röhre (11) ausgelegt ist. ·
2. 2.. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er ein Pi-Netzwerk aufweist, das durch zwei Kapazitätselemente und ein dazwischen liegendes Induktionselement gebildet ist, wobei das Netzwerk zum Schwingen mit der Betriebsfrequenz des Generators abgestimmt ist und die Betriebsleistung der Röhre (11), die eine Ausgangsleistung erzeugt, welche gleich der Nennausgangsleistung des Generators ist, unter diesen Bedingungen für eine Abstimmung > in der Impedanz der Röhre (11) auf die Impedanz der Übertragungsleitung (27) sorgt.

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3. 3· Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Kapazitätselemente, die das Pi-Netzwerk bilden, eine Anzahl einzelner; Kondensatoren aufweist, die elektrisch mit-einander zur Bildung eines einzigen Kapazitätselementes verbunden sind und relativ niedrige Widerstandscharakteristiken bei der Betriebsfrequenz des Generators haben.
4. 4. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das andere der Kapazitätselemente ein Regelkondensator ist, der eine genaue Abstimmung des Pi-Netzwerkes zum Schwingen mit der Betriebsfrequenz des Generators bei einem Betrieb der Röhre (11) mit einer Ausgangsleistung gestattet, die gleich der Nennausgangsleistung des Generators ist, _..-..- . ' ^;

   5. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Kapazitätselemente elektrisch zwischen die Anode (12) der Röhre (11) und die übrigen Teile des Ausgangekreises geschaltet ist und als Koppelkondensator fungiert »owie durch eine Anzahl einzelner Kondensatoren gebildet ist, die relativ niedrige Widerstandscharakteristiken bei der Betriebsfrequenz des Generators haben.

   6. Hochfrequenzgenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 5» wobei die übertragungsleitunE eine charakteristische Frequeriz hat, gekennzeichnet durch eine Leistungsröhre (11) mit einer Anqde (12), einem Gitter (I¹I) und einer Kathode (13), die so gewählt ist, daß sie so ausreichende Funktionseigenschaften hat, daß sie über lange Zeiträume hinweg mit AuscangsIeistungen unter der Nennausgangsleistung des Generators bei einem außer Resonanz befindlichen Ausgangsstromkreis arbeiten kann, durch einen Anoden-Kopplungskondensator, der elektrisch mit der Anode (12) der Röhre (11) verbunden ist und durch einen Anzahl elektrisch verbundener

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   Kondensatoren gebildet ist, die so gewählt sind, daß sie relativ nie_sdrige WiderstanfsCharakteristiken bei der Be-'· triebsfrequenz des Generators haben, und durch ein Pi-Netzwerk, das den Anoden-Kopplungskondensator mit der übertragungsleitung elektrisch verbindet und durch zwei Kondensatoren und einen Induktor gebildet ist, die Schaltwerte haben, die für eine Abstimmung der Impedanz der Röhre (11) auf die Impedanz der übertragungsleitung bei der Betriebsfrequenz und der Nennausgangsleistung des Generators sorgen, wobei einer der Kondensatoren des Pi-:Netzwerkes durch eine

   Anazhl von Kondensatoren gebildet ist, die elektrisch mit- ^ einander verbunden und aus Kondensatoren ausgewählt sind, W" ■ die relativ niedrige WiderstandscharakteriBtiken bei der Betriebsfrequenz des .Generators haben, wobei der Induktor relativ niedrige Widerstandscharakteristiken bei der Betriebs frequenz des Generators hat, und wobei der Anoden-Kopplungskondensator und das Pi-Netzwerk so ausreichende Widerstandscharakteristiken bei der Betriebsfrequenz des Generators haben, daß die Stromstärke in dem Anodenkreis der Röhre (11) auf eine Größe begrenzt wird, die unter der maximal zulässigen Anodenstromstärke der Röhre (11) liegt, wenn die Röhre, bei außer Resonanz befindlichen Betriebsbedingungen Leistung in einer Höhe abgibt, die unter der Nennausgangsleistung des Generators liegt.

   7. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 6«, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Kondensatoren des Pi-Netzwerkes durch eine Anzahl von Kondensatoren festgelegten Wertes gebildet ist und daß der andere Kondensate des Pi-Netzwerkes ein Regelkondensator ist, derart, daß das Pi-Netzwerk genau auf eine Resonanzbedingungen abstimmbar ist, wenn die Röhre (11) Leistung in einer Höhe abgibt, die gleich der Hennausgangsleistung des Generators ist.

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   8. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch β, dadurch gekennzeichnet, daß der Anoden-Kopplungskondensator metallische Scheiben aufweist, die in koaxialer Lage im Abstand zueinander angeordnet sind, und daß zu ihm zylindrisch geformte Kondensatoren gehören₉ die Durchmesser haben, die wesentlich kleiner als die Durchmesser der metallischen Scheiben sind, und die elektrisch und mechanisch mit aufeinanderfolgenden der Scheiben verbunden sind, derart, daß die Kondensatoren, ', die/zwischen einem gemeinsamen Scheibenpaar sitzen, sich in einer elektrischen Parallelverbindung miteinander befinden, wobei die Metallscheiben sowie die zylindrischen Kondensatoren, die zwischen ihnen angeordnet sind, für den Gesamtkapazitätswert des so gebildeten Kondensators sorgen.

   9. Hochfrequenzgenerator nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Kondensator eine Anzahl dünner·Metallscheiben vorgesehen ist, die in koaxialer Lage im Abstand zueinander angeordnet und durch einen elektrisch leitenden Werkstoff gebildet sind, und durch im wesentlichen zylindrisch ausgebildete Kondensatoren, die elektrisch und mechanisch an aufeinanderfolgende der Scheiben angeschlossen sind, wobei die Durchmesser der zylindrisch geformten Kondensatoren klein im Vergleich zu den Durchmessern der Scheiben sind, und wobei zu der Gesamtkapazität des Kondensators der Wert der zylindrischen Kondensatoren sowie die Kapazität aufeinanderfolgender Scheiben gehören.

   10, Hochfrequenzgenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß als Gitterschaltung für die Leistungsröhre eine Quellenimpedanz, die im Vergleich zur Impedanz des Gitters (14) der Röhre (11) niedrig ist,- bestehend aus einem Oszillator-Schwingkreis, vorgesehen ist, der durch einen Induktor und einen Kondensator in Abstimmung zum Schwingen mit der Betriebs frequenz, des Generators gebildet ist, wobei die an der Spule des Oszillator-

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   Schwingkreises gemessene Impedanz von einem Wert in*der Nähe von Null auf einen Wert ansteigt, der größer ist als die Eingangsimpedanz des Gitters (14) der Röhre ill), durch Mittel, die die Leistungsquelle mit der Spule des Oszilla-. tor-Schwingkreises an einer Stelle an der Spule verbinden, an der die Impedanz genau gleich der Impedanz der Quelle ist, derart, daß die Quelle mit einer abgestimmten Impedanz arbeitet,. und durch Mittel, die das Gitte"i> (14) der Röhre (11) mit der Spule des Oszillator-Schwingkreises an einer Stelle der Spule verbinden, an der die Impedanz der Spule die gleiche vie die Impedanz des Gitters (14) der Röhre (11) ist, derart, daß das Gitter durch eine Quelle gesteuert ist, die eine Impedanz hat, welche auf die des Gitters abgestimmt ist.

   11. Hochfrequenzgenerator nach, Anspruch 8, gekennzeichnet; durch eine Anzahl von Widerständen (42), die elektrisch parallel miteinander verbunden sind und einen Gesamtwiderstand haben, der wesentlich niedriger als die Impedanz des Gitters (l4) der tföhre (11) ist, und die parallel zu dem Gitter (14) -" geschaltet sind, derart, daß die an das Gitter (14) angelegte Impedanz etwa gleich dem Wert der Widerstände (42) · ist, die parallel geschaltet sind und die Stelle an der Spule (43) des Oszillator-Schwingkreises bestimmt_s an die das Gitter (14) der· Röhre (11) angeschlossen ist.

   12. Hochfrequenzgenerator nach. Anspruch 11, gekennzeichnet durch einen Erdleiter (48), an' den der Kondensator des Qszillator-Schwingkreises angeschlossen ist, und durch einen Koppel-Kondensator, der elektrisch zwischen die Spule (43) des Oszillator-Schwingkreises und den Erdleiter (4S) geschaltet ist und bei der Betriebsfrequenz des Generators eine Impedanz hat, die kleiner als die Impedanz der Steuerquelle ist.

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   "σ13. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch Mittel, die einen Teil des Ausgangs der Röhre (11) kapazitiv mit der Verbindung (47) zwischen dem Koppelkondensator (46) und der Spule (43) des Oszillator-Schwingkreises koppeln, derart, daß ein Heutralisations-Netzwerk gebildet ist, das die Effekte der verteilten Kapazität der Röhre (11) neutralisiert.

   1.4. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhre (11) ferner eine außen liegende Anode (12) hat und daß die Mittel, die einen Teil des Ausgangs der Röhre (11) mit der Verbindung (47) zwischen dem Koppel-,kondensator (46) und der Spule (43) des Oszillator-Schwingkreises kapazitiv koppeln, durch einen elektrisch leitende metallische Platte gebildet sind, die im Anschluß an die Anode (12) an einer im Abstand dazu liegenden Stelle angeordnet ist und mit dieser einen Kondensator bildet.

   15· Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Koppelkondensator (46) regelbar ist und auf eine Kapazität eingeregelt ist, die die Höhe des Röhrenausgangs, der zum Gitter (14) der Röhre zurückgeleitet wird, auf genau die Höhe einregelt, die zum Bewirken einer Neutralisierung erforderlich ist.

   16. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch eine Gleichstrom-Vorspannungsquelle für das Gitter (14), die elektrisch zwischen den Koppelkondensator (46) und die Spule (43) des Oszillator-Schwingkreises eingeschaltet ist.

   ^.."Hochfrequenzgenerator nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß zum mechanischen Trennen

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   der Hochfrequenz-Leistungsröhre von einem Bauteil, mit dem die Leisfcungsröhre durch einen dazwischenliegenden Leiter in elektrischer Verbindung steht ein Wandteil mit einer vergrößerten öffnung (68) vorgesehen ist, die zwischen der Leistungsröhre (11) und dem Bauteil sitzt, das damit direkt elektrisch verbunden ist, und durch einen Teil (67) aus Teflon, der an der Wand befestigt ist und zum Schließen der vergrößerten öffnung (68) vorgesehen ist, wobei der Teflon-Teil (67) ein Loch (65) aufweist, das in der Mitte der vergrößerten öffnung (68) liegt, wenn sich der Teflon-Teil (67) in seiner Funktionsste-lung befindet, wobei das Loch (65) in" dem Teflon-Teil (67) für einen Durchgang für den elektrischen Leiter (66) sorgt, der die Röhre (11) mit dem Bauteil verbindet.

   18. Hochfrequenzgenerator nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Loch in dem Teflon*-Teil (67) etwa die gleiche geometrische Form und Größe wie der Querschnitt des Leiters (66) hat, der durch dieses Loch (65) hindurchgeführt ist.

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