-
Tiefpaßfilter für elektrische Schwingungen Die Erfindung betrifft
ein Tiefpaßfilter für elektrische Schwingungen, das nach Art gedruckter Schaltungen
als erdsymmetrisches Streifenleitungsfilter derart ausgebildet ist, daß zwischen
zwei Isolierstoffplatten wenigstens ein Leitungszug angeordnet ist, dessen Wellenwiderstand
größer ist als der Wellenwiderstand zweier mit diesem Leitungszug beidseitig verbundener,
die Anschlußleitungen des Tiefpaßfilters bildender Leitungszüge, und bei dem weiterhin
an den Enden des meitungszuges höheren Wellenwiderstandes weitere, als einseitig
offene Stichleitungen ausgebildete Leitungszüge angeschaltet sind, deren Wellenwiderstand
kleiner ist als der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen, und bei dem weiterhin
die den Leitungszügen abgewandten Oberflächen der Isolierstoffplatten mit einem
durchgehenden metallischen Belag versehen sind.
-
Tiefpaßtilter, deren Grenzfrequenzen zwischen etwa 300 und etwa 1500
NHz liegen, werden häufig noch mit sogenannten konzentrierten Schaltelementen, d.h.
also mit Spulen und Kondensatoren, aufgebaut. Solche Schaltungen lassen sich häufig
verhältnismäßig raumsparend aufbauen, jedoch tritt die Schwierigkeit auf, daß insbesondere
die Induktivitäten kaum mit genügender Genauigkeit reproduzierbar herzustellen sind,
wodurch der für den Abgleich des Filters erforderliche Aufwand verhältnismäßig hoch
wird. Darüberhinaus zeigen solche Filter Dämpfungseinbrüche im Sperrbereich, deren
Frequenzlage wegen der auftretenden Fertigungsstreuungen praktisch nur schwer vorauszusehen
ist.
Um diesen Schwierigkeiten zu begegnen, ist es bereits bekannt geworden, Tiefpaßfilter
als Streifenleitungsfilter in der Art gedruckter Schaltungen auszubilden, bei deren
Dimensionierung eine bei koaxialen Mikrowellenfiltern bereits bekannte Technik dahingehend
angewendet wird, daß mehrere einzelne Leitungselemente mit jeweils gleicher elektrischer
Länge in Kette geschaltet werden. Die Wellenwidwerstände dieser einzelnen Leitungselemente
sind dabei abwechselnd kleiner und größer als der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen.
Derartige Filter haben jedoch den Nachteil, daß für das gesamte Filter eine verhältnismäßig
große Baulänge erforderlich ist.
-
Eine spürbare Verringerung der erforderlichen Baulänge läßt sich demgegenüber
mit einem weiterhin bekannten, als Streifenleitungsfilter ausgebildeten Tiefpaßfilter
erreichten, dessen Aufbau schematisch in Fig. la dargestellt ist und dessen Grundkonzept
beispielsweise durch die Zeitschrift "IEEE Transactions on Mictowave Theory and
Techniques", Januar 1964 Seiten 94 bis 111, bekannt geworden ist. Ein derartiges
Filter besteht aus zwei Isolierstoffplatten, die je mit enem durchgehenden metallischen
Belag versehen sind, der als Massebelag dient und der in einem Vierpol die durchgehende
Leitung nachbildet. Zwischen den beiden Isolierstoffplatten ist die in Fig. la dargestellte
Leitungsstrukter angeordnet, die nach Art der Druck- oder Ätztechnik auf eine der
Platten aufgebracht ist. Die Anschlußleitungen des Filters sind mit 8 und 8 bezeichnet
und könne beispielsweise an einen zur besseren Übersicht nicht näher dargestellten
koaxialen Anschluß herangeführt sein. Die Leitungen 8 und 8' sind über Leitungsabscbnitte
2, 4 und 6, deren Wellenwiderstand größer als der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen
8 und 8t ist, miteinander
verbunden. Senkrecht zu den Leitungszügen
8, 2, 4, 6 und 8' liegen weitere Leitungszüge, die mit den Bezugsziffern 1, 3, 5
und 7 versehen sind und deren Wellenwiderstand kleiner ist als der Wellenwiderstand
der Anschlußleitungen 8 bzw. 8'. Alle Leitungsabschnitte haben untereinander die
gleiche Länge 1.
-
Für die Tefpaßstruktur nach Fig. la ist in Fig.lb das elektrische
Ersatzschaltbild unter Verwendung von Zweidrahtleitungen dargestellt und es sind
für wirkungsgleiche Leitungsabschnitte die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. la
verwendet. Die Leitungsabschnitte 8 und 8' stellen die Anschlunleitungen dar und
haben den Wellenwiderstand Zo. Den Leitungsabschnitten 2, 4 und 6 sind die Wellenwidwerstände
Z2' Z4 und Z6 zugeordnet. Die Leitungsbschnitte 1, 3, 5 und 7 bilden einseitig offene
Stichleitungen jeweils mit dem Wellenwiderstand Z, Z3 Z5 und 27. Der geometrischen
Länge 1 der einzelnen Leitungsabchnitte in Fig. la ist im elektrischen Ersatzschaltbild
nach Fig.lb die elektrische Länge b zugeordnet, die sich nach an sich bekannten
Pormeln in Winkelgraden ausdrücken läßt.
-
Die Struktur nach Fig. la und b ähnelt einer LC-Abzweigschaltung,
wobei anstelle jedes L ein Vierpol-Leitungselement, anstelle jedes C ein am Ende
offenes Leitungselement vorhanden ist und alle diese Leitungselemente wieder die
gleiche elektrische Länge b, jedoch verschiedene Wellenwiderstände Zv haben. Ein
derartiges Filter hat je einen (n+1)/2-facheen Dämpfungspol bei b=#/2, 3#/2 5#/2
usw. und einen (n-1)/2-fachen Dämpfungspol bei w = oo, wenn n der Grad des Filters
ist, d.h. n ist die Zahl aller Leitungselemente. Eine exakte Dimensionierung ist,
basierend auf einer älteren Arbeit von E.M.T. Jones in "IRE-Convention Record",
1956, par 5,
Seite 19, "Synthesls ol wlac-oans miel'cbave filters
to have prescribed insertion loss", mit den Methoden der Netzwerksynthese möglich.
Die geometrische Gesamtlänge ist wegen der endlichen Breite der Stichleltungen meist
wesentlich größer als 1(n-1)/2.
-
Bekanntlich haben alle Leitungswlement-Tiefpässe periodisch wiederkehrende
Durche. Ist bD die eektrische Länge der Leitungselemente für #=#D (mit #D=2#fD und.
fn als Grenzfrequenz), so beginnt der zweite, im allgemeinen unerwünschte Durchlaßbereich
bei b'D=#-bD Um das Verhältnis #'D/#D=b'D/bD=(#-bD)/bD möglichst groß zu machen,
wird man bD so klein wie möglich wählen. Hierdurch verringert sich zwar zusätzlich
die erforderliche Baulänge, Jedoch weichen die in Schaltungen nach den Fig.ia bzw.
Ib auftretenden Wellenwiderstände um so mehr vom Wellenwiderstand zo der Anschlußleitungen
8, 8' nach größeren und kleineren Werten ab, Je kleiner b wird. Die Grenze für bD
liegt dort, wo die hochohmigen Leitungselemente zu schmal für eine ätztechnische
Fertigung werden und es zeigt sich, daß bD im allgemeinen größer als 300 gewählt
werden muß. Aufgrund dieser durch die Praxis gesetzten Grenze ergeben sich noch
immer relativ große Abstände zwischen den einzelnen als Stichleitungen wirkenden
Leitungsabschnitten, so daß insbsondere bei Tiefpaßfiltern, bei denen zur Erzielung
der geforderten Filtercharakteristik eine größere Anzahl von Stichleitungsabschnitten
erforderlich ist, eine ver-.
-
hältnismäßig langgezogene Anordnung unvermeidlich ist.
-
Es hat dies zur Folge, daß der für die gesamte gedruckte Schaltung
zur Verfügung stehende Raum nicht optimal ausgenutzt wird.
-
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein als Streifenleitungsfilter
ausgebikdetes Tiefpaßfilter anzugeben,
bei dem die Vorteile der
Streifenleitungsteehnik erhalten bleiben, jedoch der für ein derartiges Filter erforderliche
Platzbedarf erheblich verringert wird.
-
Ausgehend von einem Tiefpaßfilter für elektrische Schwingungen, das
nach Art gedruckter Schaltungen als erdsvmmetrisches Streifenleitungsfilter derart
ausgebildet ist, daß zwischen zwei Isolierstoffplatten weigstens ein Leitungszug
angeordnet ist, dessen Wellenwiderstand größer ist als der Wellenwiderstand zweier
mit diesem Leitungszug beidseitig verbundener, die Anschlußleitungen des Tiefpaßfilters
bildender Leitungszüge, und bei dem weiterhin an den Enden des Leitungszuges höheren
Wellenwiderstandes weitere, als einseitig offene Stichleitungen ausgebildete Leitungszüge
angeschaltet sind, deren Wellenwiderstand kleiner ist als der Wellen2widerstand
der Anschlußleitungen, und bei dem weiterhin die den Lelitungszügen abgewandten
Oberflächen der Isolierstoffplatten mit einem durchgehenden metallischen Belag versehen
sind, wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß der Leitungszug
höheren Wellenwiderstandes gefaltet ist, und daß der Abstand der den kleineren Wellenwiderstand
aufweisenden Leitugszüge derart gewählt ist, daß die Beziehung #gamma(µ-1) (µ+1)gt1/2
gammaLµ erfüllt ist; hierbei bedeuten: den auf den Wellenleitwert gammao=1/Zo der
Anschlußleitungen bezogenen Wellenleitwert des leitungszuges höeren Wellenwiderstabdes,
wenn Zo der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen ist und den 1)(}1+1) den auf
den Wellenleitwert gammao der hnschlußleitungen bezogenen Kopplwellenleitwert, der
zwischen zwei benachbarten, am Leitungszug mit dem Wellenleitwert gammaLµ angeschalteten
Leitungszügen Kleineren Wellenwiderstandes wirksam ist.
-
Bei der Erfindung wird von der oberlegung ausgegangen, daß eich der
Abstand zwischen den ei,ylnen.lhleitungsabschnitten erheblich verringern läßt, wenn
die in Fig. 1 mit den Besugsziffern 2, 4 und 6 bezeichneten Leitungsabschnitte,
deren Wellenwiderstand größer ist als der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen
8 und 8', nicht als langgestreckte, sondern als gefaltete Leitungezüge ausgebildet
werden. Durch diese Maßnahme ergibt sich zwar eine zusätzliche Kopplung zwischen
den einzelnen gefalteten Leitungshälften und auch zwischen den als Stichleitungen
wirkenden Leitungsabschnitten, die zunächst als störende Erscheinung zu bewerten
sind. Wie sich zeigt gelingt es jedoch, diese zusätzlichen Kopplungen in die Bemessung
des Tiefpaßfilters einzubeziehen.
-
Anhand eines Ausführungsbeispielsbeispiels wird die Erdindung nachstehend
noch näher erläutert Es zeigen in der Zeichnung: Fig.1a und b ein bereits erläutertes
bekanntes Filter; Fig.2a und b ein Filter gemäß der Erfindung; Fig.3 die Schaltung
des zu Fig. 2 ä1uivalenten normierten Tiefpasses.
-
im Ausführungsbeispiel der Pig.2, bei dem die Flig.2a eine Draufsicht
auf die Leitungsstruktur und die Fig.2b eine Ansicht in Richtung des Pfeiles A von
Fig.2a zeigt, ist die aus dielektrischem Material bestehende Schaltungsplatte 9
zu erkennen. Auf einer Seite der Platte 9 ist ein durchgehender metallischer Belag
10 aufgebracht, der zweckmäßig so groß ausgebildet ist, daß der Großteil aller elektrischen
Streufeldlinien, die von den auf der
gegenüberliegenden Seite angebrachten
Leitungszügen ausgehen, auf ihn auftreffen. In Fig.2b sind auch die auf der anderen
Seite der Isolierstoffplatte 9 liegenden Leitungszüge 8, 1 und 2 zu erkennen Zur
Erzielung eines erdsymmetrischen Aufbaus liegt auf den Leitungszügen eine zur Platte
9 gleichartige Platte 9' dielektrischen Materials, auf deren Außenseite ein weiterer
durchgehender metallischer Belag 10' aufgebracht ist. Die Beläge 10 und 10' bilden
gemeinsam den Masseanschluß und können beispielsweise über die Außenleiter koaxialer
Anschlußleitungen miteinander verbunden werden für diesen Fall sind die Innenleiter
der koaxialenialen Anschlußleitungen mit den Anschlußstreifenleitungen 8 bzw. 8'
zu vrbinden.
-
Zum besseren Vergleich sind beim Ausführungsbeispiel der Fig.2 genau
so viel Leitungselemente wie auch beim Ausführungsbeispiel der Fig.1 verwendet und
es sind wiederum wirkungsgleiche Abschnitte mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet.
-
Im Ausführun gsbeispiel der Fig.2a haben die Leitungsabschnitte 2,
4 und 6 wiederum einen Wellenwiderstand, der größer ist als der Wellenwiderstand
der Anschlußleitungen 8 und 8'. Die als Stichleitungen wirkenden Leitungsabschnitte
1, 3, 5 und 7 haben einen Wellenwiderstand, der kleiner ist als der Wellenwiderstand
der Anschlußleitungen. Die Leitungsabschnitte 2, 4 und 6 sind gefaltet, wodurch
zwischen den als Stichleitungen wirkenden Abschnitten 1, 3, 5 und q Koppelleitwerte
auftreten, die mit #gamma13' #gamma35 und #gamma57 bezeichbet sind.
-
Diese Kopppelwellenleitwerte sind auf den Wellenleitwet gammao der
Anschlußleitungen 8, 8' bezogen und es gilt die Beziehung gammao =1/Zo, wenn Zo
der Wellenwiderstand der Anschlußleitungen ist. Der Abstand der Stichleitungen 1,
3, 5 und 7 muß nun so gewählt werden, daß, in allgemeiner
Schreioweise
ausge@@@@@@, #gamma(µ-1)(µ+1)gt#1/2 gammaLµ gilt. YhU ist dabei der auf den Wellenleitwert
gammao der Anschlußleitungen bezogene Wellenleitwert des Leitungszuges höheren Wellenwiderstandes
der jeweils zwei benachbarte Stichleitungsabschnitte verbindet. Bezogen auf die
Stichleitungsabschnitte 3 und 5 bedeutet die vorstehende Bedingung: #gamma35gt#gammaL4
Wie aus Fig.2a ferner zu erkennen ist, sind den Leitungsab-Schnitten 2, 4 und 6
die Wellenleitwertw gammaL2' gammaL4 und gammaL6 zugeordnet, die zwischen den einzelnen
Leitungshälften der gefalteten Leitungsabschnitte 2, 4 und 6 auftretenden Kopplungen
sind durch auf gammao bezogene Leitwerte #gamma2' #gamma4 und #gamma6 berücksichtigt.
-
Im Ausführungsbeispiel der Fig.2 ist ein für die Praxis besonders
günstiges Ausführungsbeispiel insofern dargestellt, als die einzelnen Stichleitungsabschnitte
1, 3, 5 und 7 als rechteckförmige leitende Beläge ausgebildet und derart auf der
Isolierstoffplatte 9 angeordnet sind, daß ihre eine Begrenzung durch eine gerade
Linie 12 erfolgt. Die elektrische Länge der Stichleitungsabschnitte ist mit b bezeichnet
und es sind nun auch die gefalteten Leitungen 2, 4 und 6 derart ausgebildet, daß
ihr maximaler Abstand von der Begrenzungslinie 12 ebenfalls den Wert b hat. Auf
diese Weise läßt sich ein möglichst gedrängter Aufbau aller Leitungszüge erreichen.
-
Im folgenden soll noch die Bemessung und die Wirkungsweise der in
Fig.2a gezeigten Struktur erläutert werden.
-
Man kann sich die Schaltungsstruktur nach Fig.2a dadurch entstanden
denken, daß man bei der Struktur nach Fig.1a die gegenüber den Anschlußleitungen
8 den größeren Wellenwiderstand aufweisenden Leitungselemente 2, 4, 6 faltet und
derart verlängert, daß das gefaltete Element wieder
die elektrische
Länge b bekommt. Durch die Faltung entsteht zwangsläufig eine elektromagnetische
Kopplung zwischen den beiden Leitungselementhälften; weiterhin entsteht durch das
damit verbundene Zusammenrücken der am Ende offenen Stichleitungsabschnitte 1, 3,
5, 7 zwischen benachbarten Stichleitungsabschnitten eine elektromagnetische Kopplung.
Diese letztere Kopplung ist durchaus erwünscht und beeinflußt die Eigenschaften
des Tiefpasses wesentlich.
-
Der in Fig.2a gezeigte Streifenleitungs-Tiefpaß ähnelt äußerlich einer
Schaltung aus konzentrierten Elementen.
-
Er ist jedoch - im Gegensatz zu Ausführungen mit z.B.
-
wendelförmig gestalteten Induktivitäten - einer exakten Berechnung
auch bei Grenzfrequenzen im Mikrowellenbereich zugängig.
-
Im folgenden werden Dimensionierungsformeln für einen derartigen streifenleitungs-Tiefpaß
mit maximal flacher oder Tschebyscheffscher Durchlaßcharakteristik angegeben.
-
Die Bemessungsformeln gelten für einen solchen Tiefpaß, der je einen
n-fachen Dämpfungspol bei br = #/2, 3#/2, 5#/2 usw. hat, wenn n der Grad des Filters
ist, d.h n ist die Zahl aller Leitungselemente.
-
Die aus den Selektionsforderunen gegebenen Frequenzen fD und fS mit
fD als Durchlaßgrenzfrequenz und fS als Sperrfrequenz werden nach Gleichung (1)
und (2) in den sogenannten Leitungs-Frequenzjparameter # transformiert:
Hierbei ist #r die Kreisfrequenz, bei der die elektrische Länge
der Stichleitungen 1, 3, 5, 7 den Wert #/2 hat.
-
Mit Rücksicht auf den erforderlichen Plächenbedarf wird man die Länge
der Stichleitungell, d.h. bD möglichst klein wählen. Ein in der Praxis brauchbarer
Wert liegt beispielsweise bei bD#15°. Hat man den Wert für bD festgelegt, so ergibt
sich aus Gleichung (i) der Wert für und daraus die geometrische Länge l der Stichleitungen
nach Gleichung (3):
wobei Er die relative Dielektrizitätskonstante der Isolierstoffplatten 9 und 9',
c die Lichtgeschwindigkeit und fr die zur Kreisfrequenz #r gehörende Frequenz -sind.
-
Die infolge des Streufelds am offenen Leitungsende notwendige Verkürzung
ist hierin noch nicht berücksichtigt.
-
Aus den geforderten Werten für den maximal zulässigen Reflexionsfaktor
rD im Durchlaßbereich und die Sperrdämjpfung aS bei fS, sowie aus dem nach Gleichung
(2) errechneten Wert @s ergeben sich der erforderliche Grad n - der für die folgenden
Formeln als ungerade vorauagesetzt ist - und die Elementewerte des äquivalenten
normierten Tiefpasses.
-
Ein solcher Tiefpaß ist in Fig.3 dargestellt, und zwar für den Grad
n=7, den auch die in Fig.2a gezeigte Schaltung hat. Die Indizes der Elemente in
Fig.3 entsprechen zur besseren Übersicht den Bezugsziffern der Elemente von Fig.2a.
-
Die gestrichelt eingezeichneten Aspazicaten C2, C4 und C6 sollen zunächst
unberücksichtigt bleiben; der Zusammenhan dieser Elemente mit der Schaltungss Zur
nach Fig.2a wird später noch erläutert.
-
Zum Auf bau eines Filters n-ten Grades wären in der Schaltung nach
Fig.3 entsprechend n Schaltelemente vorzusehen.
-
Die Elementewerte C1. L2, C3...Cn lassen sich nach den mehoden der
betriebsparametertheorie errechben.Beispielsweise sei hier auf die Arbeit von Saal
und UIbrich "On the Design of Filters by Synthesis" in der Zeitschrift "IRE-Transactions
on Circuit Theory", Dezember 1958, Seiten 284 ff. und eine weitere Arbeit von Saal
"Der Entwurf von Filtern mit Hilfe des Katalogs normierter Tieefpässe" in der zeitschrigt
"Frequenz", Band 15, 1961, Heft 4, verwiesen.
-
Die Streifenleitungs-Ausführung besteht nun aus offenen Stichleitungselementen
mit den Grundwell leitwerten gammaC1' gamma...gammaCn und den zeischen denselben
wirksanmen Koppelwellenleitwwerten #gamma13' #gamma35...#gamma' sowie aus (n-1)/2
gefalteten Leitungselementen mit den Grundwellenleitwerten gammaL2' gammaL4...gammaL(n-1)
und den zwischen deren Hälften wirksamen Koppelwellenleitwerten #gamma2' #gamma4...#gamma(n-1)
(siehe Fig.2a).
-
Diese Wellenleitwete errechnen sich aus den Elementen Ci, L2, C3...Cn
des normierten Tiefpasses wie folgt. webei µ=2,4...(n-1) und v-3,5...(n-2) sind:
| yC1 =C1 . cot bD-yL2 |
| yCv =Cv . cot bD-y(v-1)-y(v+1)#(5) |
| yCn =Cn . cot bC-yL(n-1) |
Hierbei sind die Werte für Y frei wählbar und man wird sie zweckmäßigerweise möglichst
klein wählen, während für die Werte #y13, #y35 usw. die Bedingung gilt: #y(µ-1)(µ+1)=1/2yLµ
(6) Diese Wellenlcitwerte sind auf den Wellenleitwert yo=1/Zo der Anschlußleitung
normiert. Aus diesen Wellenleitwerten lassen sich nach bekannten Methoden die geometrischen
Abmessungen der Streifenleitungselemente festlegen, z.B. nach der Arbeit von Getsinger
"Coupled Rectangular Bars Between Parallel Plates", die in der Zeitschrift IRE-Transactions
on Microwave, Theory an Techniques, 19629 Nr.1, S.65 ff. erschienen ist.
-
In Gleichung (6) gilt das Gleichheitszeichen für solche Filter nach
Pig.2ä, bei denen alle Dämpfwlgspole, wie eingangs bereits erläutert wurde bei der
Kreisfrequenz #r und deren ungeradzahligen Vielfachen liegen. Ersetzt man in Gleichung
(6) das Gleichheitszeichen durch das "Größer"-Zeichen, d.h.
-
dannläßt sich eine bellchige Frequenzverteilung der Dämpfungspols
erzwingen. Gleichung (6) geht dadurch in Gleichung (7) über #gamma(µ-1)(µ+1)=C(µ-1)(µ+1)cot
bD+1/2gammaLµ (7) webei unter C(µ-1)(µ+1) die in Fig.3 gestrichelt eingezeichneten
Kapazitäten C2, C4 und C6 zu verstehen sind.
-
Bekanntlich lassen sich mit Tiefpaßschaltungen, bei denen die im Längszweig
liegenden Induktivitäten durch Kapazitäten überbrückt sind, Dämpfungspole bei beliebig
vorgebbaren Frequenzen erzielen. Der Berechnungsgang für die übrigen Schaltelemente
verläuft in der vorstehend bereits angegebenen Weise.
-
Die vorstehenden Überlegungen gelten auch für erdunsymmetrisch ausgebildete
Streifenleitungsfilter, bei denen jeweils nur eine Isolierstoffplatte verwendet
ist, die auf einer Seite die Schaltungsstruktur und auf der anderen den durchgehenden
metallischen Belag trägt. In Fig.2b würde dies bedeuten, daß beispielsweise die
Isoliersteffplatte 9' und der zugehörige Belag 10' forrfallen.
-
Die angegebenen Bemessungsformeln gelten entsprechend, wobei lediglich
zu berücksichtigen ist, daß die effektive Dielektrizitätskonstante bei diesem Leitungstyp
von der Breite des jeweiligen Lleitungszuges abhängig ist.
-
Wie bereits erwähnt, ist bei der beschriebenen Tiefpaßstruktur die
minimale, noch praktisch realisierbare elektrische Länge der Leitungselemente etwa
halb so groß wie bei bisher bekannten Strukturen. Das resultiert daraus, daß die
Werte für gammaLµ' die die Breite der gefalteten Leitungselemente bestimmer, etwa
doppelt so
groß sind wie bei bekannten Strukturen. Es ergibt sich
dadurch der Vorteil, daß einerseits der Fläenengedarf bei gleichen Selektionseigenschaften
wesentlich kleier ist und andererseits das für die Breite des Sperrbereichs maßgebende
Verhältnis wMD/D sich bis etwa um den Faktor 2 größer erzielen läßt.
-
3 Patentansprüche 3 Figuren