DE1924975C3 - Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Oberfläche eines Werkstttcks oder dergleichen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Oberfläche eines Werkstttcks oder dergleichenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und auf eine Vorrichtung zur Überprüfung der Oberfläche eines
Werkstücks od. dgl, bei dem die jeweils über eine bestimmte Profillänge ermittelten Spitzen- und Tal-Werte
der Profilhöhe mittels eines Wandlers in entsprechende elektrische Signale umgesetzt werden.
Es ist bereits eine Einrichtung zur Prüfung der Oberflächengüte bekannt (DE-PS 8 94 452), bestehend
aus eimern die zu prüfende Oberfläche abtastenden Tas.er mit elektrischen oder optisch-elektrischem
Fühler und elektrischem Verstärker oder mit sonstiger geeigneter Einrichtung. Bei dieser bekannten Einrichtung
werden proportional zu den vertikalen Auslenkungen des Tasters und zu seinem horizontalen Weg
bezüglich der abzutastenden Oberfläche Verstellantriebe betätigt welche die verschiedenen mathematischen
Rechenoperationen ausführende und entsprechend der darzustellenden Funktion gekoppelte, als Ergebnis eine
größere Zahl von Oberflächenmaßzahlen zur Kennzeichnung der Oberflächengüte anzeigende Rechenwerke
antreiben. Diese Art der Prüfung der Oberflächengüte ist nun relativ kompliziert, und außerdem kann
es bei dieser Art der Oberflächenprüfung relativ leicht zu Verfälschungen der Meßergebnisse kommen, und
zwar wegen der relativ komplizierten vorgesehenen Vorrichtungen.
Es ist ferner bereits ein Oberflächenprüfgerät mit einem parallel zur Prüfoberfläche zu verschiebenden,
senkrecht dazu arbeitenden Taster und einem die Oberflächengestalt anzeigenden Meßinstrument bekannt
(DE-PS 9 77 396), welches der Taster über einen Verstärker steuert. Bei diesem bekannten Oberflächenprüfgerät
sind Einrichtungen zur Erzeugung von Spannungen und Strömen vorgesehen, welche sowohl
den vom Taster abgenommenen Maximal- als auch den aus den Momentanwerten abgeleiteten Mittelwerten
der Oberflächengestalt entsprechen. Außerdem sind bei dem betreffenden bekannten Prüfgerät die erwähnten
Einrichtungen wahlweise an das zur Anzeige der Mitteloder Maximalwerte geeignete Anzeigeinstrument anzuschalten.
Von Nachteil bei dieser bekannten Art der Oberflächenprüfung ist jedoch der Umstand, daß der
Abstand und die Verteilung der Profilspitzen einen erheblichen Einfluß auf die Anzeige bzw. Anzeigegenauigkeit
haben.
6S Es ist ferner ein Oberflächenmeßgerät zur Anzeige
des mittleren Wertes der Rauheit unter Verwendung eines integrierenden Kondensators bekannt (DE-Pat.
Anm. P 8347 IX/42b), bei dem mit zunehmender
Aufladung des Kondensators das Potential des Ladekreises angehoben wird. Auf diese Weise gelingt, es
zwar, einer Oberflächengestalt proportionale elektrische Strom- und Spannungsänderungsn mittels rechnender
Einrichtungen so auszuwerten, daß auf Anzeigeinstrumenten Oberflächenmeßzahlen insbesondere
für den mittleren Wert der Rauheit abgelesen werden können. Von Nachteil hierbei ist jedoch ebenfalls der
Umstand, daß der Abstand und die Verteilung von Profilspitzen einen erheblichen Einfluß auf die Genauigkeit
der Anzeige haben. Im übrigen ist der bei dieser Art der Gberflächenprüfung erforderliche Aufwand relativ
hoch.
Es sind auch schon ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung und Messung der Unregelmäßigkeiten
von Oberflächenprofilen vorgeschlagen worden (DE-AS 15 48 302), wobei durch fortlaufende
Abtastung des Oberflächenprofils durch einen Meßtaster
über einen elektromechanischen Meßübertrager ein elektrisches Meßsignal erzeugt wird, welches
proportional zu der von einem vorgegebenen Bezugsniveau aus bestimmten Amplitude des Istprofils der
Oberfläche ist und so aufgespeichert wird, daß eine dem abgetasteten Oberflächenprofil entsprechende kontinuierliche
Aufzeichnung entsteht Dabei werden aus der gespeicherten Meßsignalaufzeichnung zwei elektrische
Signale abgeleitet, von denen das erste Signal ein durch fortlaufende Integration der Meßsignalaufzeichnung
über eine vorbestimmte Prüfspanne gewonnenes Mittelwertsignal darstellt, in welchem bestimmte Teile
der Meßsignalaufzeichnung je nach dem vorzugsweise symmetrischen Abstand zum Mittelpunkt der Prüfspanne
unterschiedliche Anteile haben, während das zweite elektrische Signal dem ursprünglichen momentanen
Meßsignal im Mittelpunkt der Prüfspanne entspricht Außerdem werden die beiden abgeleiteten elektrischen
Signale zur Bildung eines quantitativen Maßes für die Oberflächenjinregelmäßigkeiten miteinander verglichen.
Dieses Verfahren bedingt jedoch einen zuweilen unerwünschten hohen Aufwand.
Im Zusammenhang mit der Bestimmung eines Oberflächenprofils ist es auch schon bekannt (siehe das
Buch »Prüfen und Messen der Oberflächengestalt« von I. Per then, 1949, Seiten ϊ12, 113), Tast- und
Lichtschnitte liefernde entsprechende Meßgeräte einzusetzen. In diesem Zusammenhang ist es auch bekannt,
daß ein Lichtschnitt die Gestalt der Oberfläche zwar anschaulich zeigt, daß hingegen aber der Tastschnitt
einen größeren Oberblick und ein besseres Ausmessen gewährleistet Über eine Summierung bzw. Mittelwertbildung
von ermittelten Meßwerten zum Zwecke der Auswertung eines Mittelwertes eines Parameters des
jeweils überprüften Oberflächenprofils ist in dem betreffenden Zusammenhang jedoch nichts bekannt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Weg zu zeigen, wie auf besonders einfache Weise der
Mittelwert der Spitzen und/oder Täler eines Oberflächenprofils angezeigt werden kann.
Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe durch die in Anspruch 1 gekennzeichneten Verfahrensschritte.
Zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung ist es zweckmäßig, eine Vorrichtung mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 2 zu verwenden. Hierdurch ergibt sich der Vorteil eines
besonders geringen konstruktiven Aufwands.
Zweckmäßige weitere Ausgestaltungen der Vorrichtung sind in den Ansprüchen 3 \)\s 8 gekennzeichnet
Anhand von Zeichnungen wird die Erfindung nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher
erläutert
Fi g. 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung gemäß der Erfindung in einem Längsschnitt
Fi g. 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung gemäß der Erfindung in einem Längsschnitt
Fig.2 und 3 zeigen in Diagrammen schematisch Oberflächenprofile in vergrößerter Form zum Zwecke
der Verdeutlichung der Funktion der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung.
ίο Fig.4 zeigt einen Schaltplan von elektronischen
Schalteinrichtungen, die anstelle eines bei der Vorrichtung gemäß F i g. 1 verwendeten Drehschalters verwendbar
sind.
Fig.5 veranschaulicht in einem Diagramm die zeitliche Steuerung der in Fig.4 gezeigten elektronischen Schalteinrichtungen.
Fig.5 veranschaulicht in einem Diagramm die zeitliche Steuerung der in Fig.4 gezeigten elektronischen Schalteinrichtungen.
F i g. 6 zeigt einen im Verlaufe der Ansteuerung der in Fig.4 gezeigten elektronischen Schalteinrichtungen
ermittelten möglichen Profilverlauf einer überprüften Oberfläche.
F i g. 7 zeigt eine zur Ansteuerung der in F i g. 4
dargestellten elektronischen Schalteinrichtungen verwendbare Zeitsteuerschaltung.
In F i g. 1 ist eine Vorrichtung zur Überprüfung der Oberfläche eines Werkstücks od. dgl. gezeigt Dieser Vorrichtung ist eine Reihe von Speicherelemente darstellenden Kondensatoren 10 zugehörig, die alle den gleichen Kapazitätswert besitzen. Die Anzahl der Kondensatoren 10 entspricht dabei der Anzahl der Oberflächenabschnitte, bezüglich derer eine Mittelwertbildung hinsichtlich ihres Profils vorzunehmen ist Im vorliegenden Fall sind fünf Kondensatoren 10 vorgesehen. Diese Kondensatoren 10 sind so angeordnet daß sie nacheinander einem Oberflächenprofil entsprechende elektrische Signale in Form von Spitzenladungen aufnehmen. Das betreffende elektrische Signal wird dabei von einem Wandler 13 geliefert, der an einem sich über eine zu untersuchende Oberfläche 12 bewegenden Taststift 11 angeschlossen ist Der Wandler 13 und der Taststift 11 bilden Teile einer bewegbaren Anordnung, die über die zu überwachende bzw. zu überprüfende Oberfläche 12 geführt wird. Für die Bewegung dieser bewegbaren Anordnung dient eine von einem Motor angetriebene Welle 14 der Vorrichtung. Die Vorrichtung weist ferner ein Gehäuse 15 auf, von dem in F i g. 1 lediglich ein Teil gezeigt ist
In F i g. 1 ist eine Vorrichtung zur Überprüfung der Oberfläche eines Werkstücks od. dgl. gezeigt Dieser Vorrichtung ist eine Reihe von Speicherelemente darstellenden Kondensatoren 10 zugehörig, die alle den gleichen Kapazitätswert besitzen. Die Anzahl der Kondensatoren 10 entspricht dabei der Anzahl der Oberflächenabschnitte, bezüglich derer eine Mittelwertbildung hinsichtlich ihres Profils vorzunehmen ist Im vorliegenden Fall sind fünf Kondensatoren 10 vorgesehen. Diese Kondensatoren 10 sind so angeordnet daß sie nacheinander einem Oberflächenprofil entsprechende elektrische Signale in Form von Spitzenladungen aufnehmen. Das betreffende elektrische Signal wird dabei von einem Wandler 13 geliefert, der an einem sich über eine zu untersuchende Oberfläche 12 bewegenden Taststift 11 angeschlossen ist Der Wandler 13 und der Taststift 11 bilden Teile einer bewegbaren Anordnung, die über die zu überwachende bzw. zu überprüfende Oberfläche 12 geführt wird. Für die Bewegung dieser bewegbaren Anordnung dient eine von einem Motor angetriebene Welle 14 der Vorrichtung. Die Vorrichtung weist ferner ein Gehäuse 15 auf, von dem in F i g. 1 lediglich ein Teil gezeigt ist
Die in F i g. 1 dargestellte Vorrichtung enthält ferner durch einen Drehschalter gebildete Schalteinrichtungen
16, die mit der Welle 14 derart gekoppelt sind, daß sie sich zusammen mit dieser drehen. Die Schalteinrichtung
16 weist einen Dreharm 16a auf, der nacheinander mit Anschlußklemmen 17 bis 21 der Kondensatoren 10 in
Berührung gelangt, wenn sich die Schalteinrichtung 16 in entgegengesetzt dem Uhrzeigersinn verlaufender
Richtung (unter Zugrundelegung der Ansicht gemäß F i g. 1) dreht. Die Kondensatoren 10 sind zunächst über
ein elektrisch leitendes Erdungssegment 22 geerdet Dreht sich die Schalteinrichtung 16, so bewirkt deren
Dreharm 16a, daß Signale von aufeinanderfolgenden Oberflächenabschnitten von einem an dem Wandler 13
angeschlossenen Aufnahmeverstärker 23 nacheinander an die einzelnen Kondensatoren 10 abgegeben werden.
Ein elektrisch leitendes Zwischenverbindungssegment 'i4 der Schalteinrichtung 16 schaltet dann nacheinander
die geladenen Kondensatoren 10 zusammen. Die Gesamtladung sämtlicher Kondensatoren 10 wird mit Hilfe
eines Meßinstrumentes 25 angezeigt, welches über einen Summierverstärker 26 an dem Segment 24 ange-
schlossen ist.
Während die vorstehend erwähnten Kondensatoren zur Speicherung von den Profilspitzen der überprüften
Oberfläche 12 entsprechenden elektrischen Signalen dienen, sind noch weitere Kondensatoren (nicht
dargestellt) vorgesehen, die zur Speicherung von den Profiltälern der überprüften Oberfläche 12 entsprechenden
elektrischen Signalen dienen. Diese weiteren Kondensatoren sind an der Stelle 28 an dem
Aufnahmeverstärker 23 angeschlossen. Die den Profilspitzen und Profiltälern der überprüften Oberfläche 12
entsprechenden Signale werden über entsprechende Sperrdioden 29 den Spitzen- bzw. Tal-Kondensatoren
darstellenden Kondensatoren 10 in der jeweiligen Kondensatorenreihe zugeführt.
Am Ende einer Überprüfung einer Oberfläche durch Ausführung einer entsprechenden Abtastbewegung
werden die Spitzen- und Tal-Kondensatoren gemeinsam an das Meßinstrument 25 angeschaltet, welches
einen sehr hohen Eingangswiderstand besitzt und welches die mittleren Ladungen der Kondensatoren
anzeigt. An dieser Stelle sei bemerkt, daß auch, verschiedene Meßinstrumente 25 vorgesehen sein
können, um die Ladungen auf den einzelnen Kondensatoren 10 individuell anzuzeigen und/oder um die
Ladungssumme der Kondensatoren anzuzeigen. Im übrigen sei an dieser Stelle noch bemerkt, daß in
Abweichung von den dargestellten Verhältnissen die Schalteinrichtung 16 durch eine elektronische Schaltanordnung
ersetzt sein kann. Auf eine derartige Ausbildung wird im Zusammenhang mit F i g. 4 noch
eingegangen werden.
In F i g. 2 ist ein Verlauf des Oberflächenprofils der mittels eines Taststiftes überprüften Oberfläche 12
gezeigt. Dabei ist eine Reihe von gleichen Zeitabschnitten durch vertikal verlaufende Linien begrenzt angedeutet
worden. Die Profilspitzen und die ProFiltäler sind dabei jeweils durch eine waagerecht verlaufende Linie
angedeutet.
In F i g. 3 ist ein Ausschnitt eines Profilverlaufs gezeigt, wie er für eine überprüfte Oberfläche 12
kennzeichnend sein kann. Dabei geht hervor, daß die Erfassung von Profiltälern und Profilspitzen während
voneinander getrennter Zeitspannen erfolgen kann.
Im Zusammenhang mit der in F i g. 1 dargestellten und zuvor erläuterten Vorrichtung sei noch bemerkt,
daß neben der Anzeige eines Endmittelwertes in jedem Abschnitt nacheinander der Maximalwert angezeigt
werden kann. Auf diese Weise erhält man dann eine Anzeige bezüglich des Grades der Unregelmäßigkeit
des Profilverlaufs von Oberflächenabschnitt zu Oberflächenabschnin,
wie dies in in F i g. 2 angedeutet ist
Die Zeitspanne zwischen aufeinanderfolgenden Anzeigen kann einen geeigneten und konstanten Wert
haben, z. B. eine Sekunde. Dieser Wert ist dabei abhängig von der Bewegungszeit des Taststiftes 11. Die
betreffende Anzeigezeit kann durch geeignete Übersetzung zwischen der verwendeten Auswahl-Schalteinrichtung
und der Abtastbewegungseinrichtung erzielt werden. Um eine Geschwindigkeitsänderung zu
vermeiden, kann eine geeignet angetriebene Schalteinrichtung für jede Abtastbewegungszeit vorgesehen
sein, so daß die Umschaltung dadurch erfolgen kann, daß von einem Satz von Bürstenarmen auf einen
anderen Satz von Bürstenarmen umgeschaltet wird. Die
betreffende Umschaltwirkung ist in Fig.3 veranschaulicht
Anstatt der Zusammenschaltung von Spitzen-Kondensatoren 10 (bzw. der Tal-Kondensatoren) am Ende
einer Abtastbewegung können alle diese Kondensatoren
mit einem Hauptkondensator verbunden werden, der die ihm zugeführten Ladungen mittelt. Die Spitzen-
und Tal-Signale werden dabei nacheinander dem einen oder dem anderen Kondensator und dann dem
Hauptkondensator zugeführt.
Bei der in F i g. 1 gezeigten Vorrichtung können die zwischen leitenden Segmenten vorhandenen Isolierbereiche
eine etwas größere Breite besitzen als der Dreharm. Auf diese Weise ist erreicht, daß die auf dem
jeweiligen Kondensator befindliche Ladung nicht mit der auf dem Nachbarkondensator befindlichen Ladung
in Verbindung gelangt. Erst wenn das betreffende Segment mit den mit den Kondensatoren 10 verbundenen
Bürsten in Berührung gelangt, erfolgt eine solche Verbindung.
In Fig.4 ist eine elektronische Schaltanordnung gezeigt, die benutzt werden kann, um eine gesonderte
Aufzeichnung oder Trennung der Signale zu erreichen, die von aufeinanderfolgenden Oberflächenabschnitten
einer überprüften Oberfläche erhalten werden. Zu diesem Zweck wird wie in F i g. 4 gezeigt, der Eingang
der betreffenden Schaltanordnung zu Beginn der
Überprüfung des jeweiligen Oberflächenabschnitts kurzzeitig geerdet. Die zeitliche Steuerung der
Schaltanordnung gemäß Fig.4 kann durch einen Oszillator oder durch eine eine vorgegebene Hauptfrequenz
untersetzende Einrichtung bewirkt werden. Bei der in F i g. 4 dargestellten Schaltanordnung handelt es
sich um elektronische Festkörper-Schalteinrichtungen. Das mit Hilfe des Taststiftes 11 aufgenommene und mit
Hilfe des Wandlers 13 abgegebene sich ändernde Signal Vo wird über Schaltkontakte Sund eine Diode Dgeleitet
und zur aufeinanderfolgenden Aufladung von Kondensatoren Q bis Cn herangezogen. Die betreffenden
Kondensatoren werden dabei in aufeinanderfolgenden Zeitintervallen auf die Spitzenwerte der jeweiligen
Signale aufgeladen. Die betreffenden Spitzenwerte werden dabei gleichzeitig dem Gitter einer Röhre
zugeführt, die als Kathodenfolger geschaltet ist An der Anode der Röhre liegt ein positives Potential E\, und an
der Kathode der Röhre liegt über einen Kathoden-Lastwiderstand R ein negatives Potential Ez. Der Kathodenfolger
besitzt eine hohe Eingangsimpedanz, die eine Ableitung der auf den Kondensatoren befindlichen
Ladungen verhindert Die Ausgangsimpedanz des Kathodenfolgers ist niedrig. Das von dem Kathodenfolger
abgegebene Ausgangssignal wird mit Hilfe eines Meßinstrumentes M überwacht Dieses Meßinstrument
M wird zunächst so eingestellt daß es für ein NuH-Gitterpotentiai die Anzeige Nuii liefert Die
betreffende Einstellung erfolgt durch Ändern eines Potentials £3.
55- Die Kondensatoren Q bis Cn werden dadurch
nacheinander aufgeladen, daß mit ihnen verbundene Transistorschalter Q1 bis Qn nacheinander betätigt
werden, und zwar derart daS jeweils nur ein Transistorschalter geschlossen ist, d. h. sich im leitenden
Zustand befindet, während die jeweils übrigen Transistorschalter geöffnet bleiben, d. h. sich im nichtleitenden
Zustand befinden. Jeder Kondensator C\ bis Cn ist über
die niedrige Impedanz des jeweiligen leitenden Transistorschalters der Transistorschalter Qi bis Qn an
einer gemeinsamen Erdleitung angeschlossen, und zwar jeweils während der Dauer einer stets gleichen
Zeitspanne. Die Transistorschalter Qi bis Qn sind
zweckmäßigerweise jeweils durch einen Transistor des
npn-Leitfähigkeitstyps gebildet, welcher für seine Überführung in den leitenden Zustand ein positives
Potential und zur Überführung in den nichtleitenden Zustand ein negatives Potential an seiner Basis
erfordert.
Ist die Einschaltdauer des Transistorschalters Qn
beendet, so werden die Schaltkontakte S bzw. es wird der durch diese gebildete Schalter automatisch geöffnet,
und die Transistorschalter Q\ bis Qn werden alle
miteinander zusammengeschaltet. Die auf den Kondensatoren Q bis Cn gespeicherten Ladungen verteilen sich
sodann. Sind die Kondensatoren Q bis Cn alle gleich
groß, d. h. besitzen sie alle gleiche Kapazitätswerte, so ist das auftretende Endpotenial der zusammengeschalteten
Kondensatoren Ci bis Cn gleich dem Mittelwert der an den einzelnen Kondensatoren liegenden
Potentiale. Das Meßinstrument M liefert somit nacheinander eine Anzeige der Spitzenpotentiale und des
Mittelwertes.
Eine anschließend erfolgende Betätigung eines Transistorschalters Qc bei noch geschlossenen Transistorschaltern
Qt bis Qn hat zur Folge, daß sämtliche
Kondensatoren Ci bis Cn mit der Erdleitung verbunden
und entladen werden. Die Transistorschalter Q\ bis Qn
werden dann in den nichtleitenden Zustand überführt, wodurch die Anordnung zur Ausführung eines weiteren
Zyklus wieder bereit ist.
Die Funktion des Meßinstruments und die verschiedenen Ablauffolgen, die zu aufeinanderfolgenden
Zeitpunkten ta t\ ... t„ ablaufen, sind nachstehend
tabellarisch zusammengefaßt. Die betreffenden Zeitpunkte sind im übrigen auch in dem in F ϊ g. 6 gezeigten
Diagramm eingetragen.
to
t\ t\-t2
tn-tn+\
tn+\
te
Auslösung des Getriebes und des
Durchlaufmotors,
Auslösung des Meßhubes;
Herstellen einer Signalverbindung,
erstes Meßzeitintervall,
zweites Meßzeitintervall,
Durchlaufmotors,
Auslösung des Meßhubes;
Herstellen einer Signalverbindung,
erstes Meßzeitintervall,
zweites Meßzeitintervall,
r-tes Meßzeitintervall,
n-tes Meßzeitintervall,
Ende des Meßhubes: Meßinstrument
zeigt Mittelwert an;
Signalabschaltung,
Rückstellsystem, Meßinstrument
kehrt in die Nullage zurück.
In Fig.5 ist in einem Diagramm angegeben, innerhalb welcher Zeitspanne welche Steuerspannungen
der Steuerspannungen Vi bis V0 auftreten und während welcher Zeitspannen der die Schalterkontakte
^umfassende Schalter geschlossen ist.
In Fig. 6 ist ein möglicher Spannungsverlauf während der Zeitspannen fo bis fc gezeigt.
Die nacheinander auftretenden, die Transistorschalter Qi bis Qn betätigenden Schaltspannungen Vi bis Vn
können von den Ausgängen aufeinanderfolgender Zählerstufen eines nicht zu einem Ring geschlossenen
Zählers abgenommen werden, der durch einen Multivibrator angesteuert wird und dessen letzte Zählerstufe
eine bistabile Kippstufe ist. Eine derartige Zeitsteuerschaltung ist in F i g. 7 gezeigt. Die Frequenz des
Multivibrators wird dabei entsprechend der benutzten Meß-Abtastlänge eingestellt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
•30 247/25
Claims (8)
1. Verfahren zur Überprüfung der Oberfläche eines Werkstücks od. dgL, bei dem die jeweils über
eine bestimmte Profillänge ermittelten Spitzen- und Talwerte der Profilhöhe mittels eines Wandlers in
entsprechende elektrische Signale umgesetzt werden, dadurch gekennzeichnet, daß im
Zuge der Überprüfung aufeinanderfolgender Abschnitte des Oberflächenprofils (12) die den Spitzen-
und Talwerten des jeweiligen Profilabschnitts entsprechenden elektrischen Signale nacheinander
durch eine Schalteinrichtung (16, Qi-Qn) an
aufeinanderfolgenden Oberflächenabschnitten entsprechende Spitzen- und Tal-Speicherelemente (10,
Ci-C) abgegeben und in diesen Speicherelementen gespeichert werden, mid daß der Inhalt der
einzelnen Speicherelemente (10, Ci-Cn) nacheinander
abgeführt und durch Mittelwertbildungs-Einrichtungen
(26) zur Anzeige (25, M) des Mittelwertes ausgewertet wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
Spitzen- und Tal-Speicherelemente (10, Q-Cn) vorgesehen sind, welche die den Spitzen- und Tal-Werten
des Oberflächenprofils in aufeinanderfolgenden Oberflächenabschnitten entsprechenden
elektrischen Signale aufnehmen und speichern, und daß Einrichtungen (26, Q\ — Qn) vorgesehen sind, die
den Inhalt der Speicherelemente abführen und durch Summierung eine Mittelwertbildung vornehmen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuereinrichtung (26, Qi-Qn)
vorgesehen ist, die nach Abtastung des Oberflächenprofils automatisch den Inhalt der Speicherelemente
an eine Summiereinrichtung (25, M) abgibt
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherelemente eine
Reihe von Kondensatoren (10, Ci — C) umfassen, die sequentiell arbeitenden Schalteinrichtungen (16,
Qi-Qn) derart zugeordnet sind, daß im Zuge der
Abtastung aufeinanderfolgender Überflächenabschnitte eines Oberflächenprofils die den Oberflächenabschnitten
entsprechenden Signale aufeinanderfolgenden Kondensatoren zuführbar sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die sequentiell arbeitenden Schalteinrichtungen (16) einen Dreharm (16a) enthalten,
der mit einer zur Querbewegung eines zu der Stiftauslenkungs-Meßeinrichtung gehörenden
Stifts (11) dienenden Einrichtung (14) derart verbunden ist, daß im Verlaufe der genannten
Querbewegung die Speicherelemente (10) einzeln nacheinander mit dem Wandler (13) verbunden sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die sequentiell arbeitenden Schalteinrichtungen Transistorschaheinrichtungen (ζ>ΐ — Qn)
enthalten, die den betreffenden Speicherelementen (Ci-Cn) zugeordnet sind und die an einer Zeitsteuerschaltung
(F i g. 7) derart angeschlossen sind, daß im Zuge eines sequentiellen Betriebs in gleichen
Intervallen jedes Speicherelement (G-Cn) individuell
mit dem die genannten elektrischen Signale liefernden Wandler (13) verbunden ist
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeitsteuerschaltung durch einen
von einem Multivibrator gesteuerten offenen Ringzähler gebildet ist, dessen letzte Stufe als bistabile
Schalteinrichtung betrieben ist und daß durch die von den einzelnen Stufen des Ringzählers abgegebenen
Ausgangssignale sämtliche Speicherelemente (C\ — Cn) über die entsprechenden Transistorschalteinrichtungen
(Qi-Qa) mit der Mittelwertbildungseinrichtung
(26) verbindbar sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß an die für die
Speicherung der den Spitzen- und Tal-Werten entsprechenden elektrischen Signale dienenden
Speicherelemente (10, Ci-C) Hauptkondensatoren anschaltbar sind, durch die eine Mittelwertbildung
der in den betreffenden Speicherelementen (10, Ci — C) gespeicherten Inhalte vornehmbar ist
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