DE1652218A1 - Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung - Google Patents

Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung

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DE1652218A1
DE1652218A1 DE1967U0013633 DEU0013633A DE1652218A1 DE 1652218 A1 DE1652218 A1 DE 1652218A1 DE 1967U0013633 DE1967U0013633 DE 1967U0013633 DE U0013633 A DEU0013633 A DE U0013633A DE 1652218 A1 DE1652218 A1 DE 1652218A1
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

  • Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung Die Erfindung bezieht sich auf Ultraschall-Bearbeitung /ultrasonic machining/ von harten Materialtn,-beisp-ielsweise* Keramikstoffen, und auf sich hierfür eignende Bearbeitungseinrichtungen oder -geräteo Ausführungsformen von Ultraschall-Bearbeitungsmaschinen eLnd in der britischen Patentschrift 987 801 der Anmelderin beschrieben. Bei der beschriebenen Maschine wird die Rate des Werkzeugvorschubs . durch das Hinzufügen oder Wegnec:unen von Gewichten (zu oder) von einer Gegenlast bestimmt, welche der Be.-weg,ung der bearbeitenden Last entgegenwirkt" Die Gewichtänderungsmethode hat sich als zufriedenstellend erwelisen, erfordert aber die Verwendung einer großen Auswahl von Gewichten, um die Empfindlichkeit zu gewährleisten, welche zur Deckung des Bereichs (bzw. für den Bereich) der :flerkzeugdurchmesser erforderlich ist. Falls die Rate der Entfernung von Material die Rate des Vorschubs übersteigt, bringen unstabile Zustände ein Schlagen, Zittern oder Rattern des Jerkzeugs mit sich. Falls auf der anderen Seite die Vorschubsrate die Schneid- oder Schleif-Leistungsfähigkeit des Ultraschall-Leistungsausgangs überschreitet, welcher die Amplitude des Übertragers /transducer/ beherrscht, zeigt die Schleifaktion. die Tendenz, zusammen mit der---Resonanz nach dem Übertrager-Kopf infolge des Nichtvorhandenseins von Spielraum zwischen-Sonde bzw. Werkzeugspitze /probe/ und Werkzeug zum Stillstand' zu kommen. Es -ist auch erwünscht, der Möglichkeit von Bruch und Abbröcklung /shipping/ des Werkstücks nach den Durchbruch bzw. Durchstoßen der -"Verkzeugspitze auf ein Minimum entgegen-, zuwirken, und dies kann dadurch erreicht werden, daß sichergestellt wird, daß die,Werkzeug-Vorschubrate mit der Rate der Materialentfernung übereinstimmt Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Ultraschall-Bearbeitungsgerät zu schaffen, welches eine verbesserte Form der Vorschubratenkontrolle bzw; -regulierung aufweist. Erfindungsgemäß weist eine Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung ein durch bzw. mit Schleifmittel imprägniertes Werkzeug, einen Ultraschall-Generator zum Lktivieren der i.Yerkzeugsp itze, Mittel zum Drehen des Werkzeugs relativ zum VTErkstück sowie Mittel auf, um die Werkzeugspitze auf das Werkstück zu mit einer Rate (oder Ausmaß) vorzuschieben, welche der Rate der Materialentfernung vom Werkstück pnportional ist.
  • Vorzusweise sind das Werkzeub und.die Ultraschall-Übertrager-Einheit vertikal bewegbar, und ;yu-,ch eine I=@asse, welche an oder auf einem Kolben gehalten wird, wird eine Gegenlast bzw. ein Ausgleich gegenüber dieser Einheit geschaffen, wobei btrömungsmittel-Druckeinrichtungen vorgesehen sind, um so de:1 Kolben in einer kontrollierten Weise zu halten und zu bewegen: Der Kolben besteht aus einer Scheibe, welche mit losem Gleitsitz in einer zylindrischen $oh-ung angeordnet ist, und die Strömunggsmit tel-Druekeinriehtungen enthalten. eine- Pumpe welche in einen Strömungsmittel-Kreislauf eingebracht ist und Strömunösmittel nach der Unterseite des Kolbens fördert, sowie ein Drucksteuerventil, welches einen Strdmungsrnittelaustritt voin Kreislauf her regelt.
  • Zur Verdeutlichung der ürfindung wird nunmehr einte Ausführungsform der Erfindung anhand der sie beispielsweise wiedergebenden Zeichnung näher beschrieben, und zwar zeigst rig. 1 eine geschnittene Ansicht .eines Ultraschall-Bearbeitungskopfes, Fig. 2 eine schematische Ansieht einer Ultraschallwerkzeugmaschine, die das Vorschubsteuersystem veranschaulicht, während die Fgn. 3 bis 10 verschiedene--Ausführungsformen von Werkzeugeinsätzen wiedergeben, die sich für Ultraschall-Bearbeitung eignen.
  • Die Werkzeugmaschine weist einen U], _#raschall-Bearbeitungskopf auf, der zur Ausführung einer Vertikalbewegung über einem Kreuzschlitten-Arbeitstisch angebracht' ist. Das Werkzeug ist an bzw. über einem Gehäuse bzw. Schrank montiert, das bzw.-der einen Ultraschall-Generator, Verstellgetriebe, Hydrauliktänk und Pumpen enthält.
  • Der Ultraschall-Bearbeitungskopf weist einen Kristall-Ultraschall-Übertrager oder--sender /crystal type ultrasonic transducer/ und einen Schallkonverter /sonic converter/, auf,, welche mit einem länglichen zylindrischen Gehäuse 1 drehbar gehalten werden. Der Übertrager und Konverter werden mittels eines Elektromotors 2 zusammen in Drehung versetzt, wobei die Einheit durch eine Klauenkupplung 3 hindurch angetrieben wird, welche am Ende der Motorwelle befestigt ist. ylie sich besonders aus Figo` 1 ergibt,. befindet sich der Übertrager in einer zylindrischen Hülle 4welche an einer Ebonit-bzw. Hartgummi-Antriebswelle 5 befestigt ist, und zwar mittels eines rl.schbauteils 6, der mit der Welle 5 einstückig ausgebildet ist. Ei.ne@Gruppe von vier Kupferschleifringen 7, welche mittels Isolierzwischenringen 8 voneinander getrennt sind, sind an der und um die Welle 5, angrenzend an den. Flansch 6, befestigt. Elektrische Adern g sind individuell mit der unteren Fläche jedes der Schleifringe 7 verbunden, und jede Ader verläuft längs eines separaten Durchgangs, welcher in der Welle 5-nach dem Inneren der Hülle 4 vorhanden ist. Die Welle 5 ist über den Schleifringen 7 und Zwischenringen 8 auf einen kleineren Durchmesser abgestuft bzw. reduziert, und ein Kugelkranzeinsatz 10 ist zwischen-dem letzten Zwischenring und einer Buchse 11 angebracht.
  • Der Schallkonverter 12 ist am freien bnw. offenen Ende -des Übertrager-Gehäuses befestigt, und das äußere Ende des Konverters 12 weist ein Teilstück 14-mit reduziertem Durchmesser auf. Das Ende des Teilstücks 14 ist mit einer mit Gewinde versehenen Bohrung ausgestattet, in welcher viele unterschiedliehe Schleif- oder Schneidwerkzeuge /abrasive grobes/ 15 befestigt werden könnexi.
  • In der=Übertrager-Hülle 4 ist ein Kristall-Ultraschall-Übertrager (nicht dargestellt) in bekannter Weise am Konverter 1,2 befestigt, wodurch beim-Betrieb der Übertrager jtesonanz im Konverter 12 aufbaut bzwo hervorruft. Ein Kühlungs-Motor und ein Gebläse /fan/ (nicht dargestellt) ist ebenfalls im Gehäuse .untergebracht; der Kühl-Motor ist am Flansch-Bauteil-6 befestigt, und das Gebläse ist in dem Bereich einer Gruppe von Durchlässen 16 in der Übertrager-Hülle lokalisiert. Es besteht keine Antriebsverbindung zwischen dem Gebläse und dein Übertrager. Zwei der Adern 9 sind mit dem Kühl-Motor verbunden, und die anderen beiden Adern g führen zum Übertrager. Ein Kugelkranz 17 hält den Konverter 12 drehbar an einer Stelle, welche beim Betrieb einer Stelle. minimaler Vibration des_ Konverters 12 entspricht. Der Kugelkranz 17 ist in dein Ende des Gehäuses 1 mittels einer mit Gewinde versehenen-Endkappe 18 lokalisiert, und das andere Ende des Gehäuses 1 ist mit einem Außenflansch=Bauteil 19 verlötet oder verschweißt. Der Bauteil 13 ist mit vier ;3chrauben 20, welche gleichmäßig um den Flansch herum angeordnet sind, am Gehäuse des Motors 2 befestigt.
  • Das Gehäuse 1 ist mit einer ersten Gruppe von Durchlässen 21 versehen, welche mit den Durchlässen 16 in der Übertrager-Hülle fluchten. Eine zweite Gruppe von Durchlässen 22 ist im Gehäuse 1 an einer Stelle vorhanden, welche einer Stelle maximaler Vibration des Schallkonverters entspricht.
  • Eine Vierstift-Steckdose-42 ist an einer Verlänäerung .des Motorgehäuses befestigt, und jeder'Stift der Steckdose ist mit dem entsprechenden Schleifring durch vier herkömmliche unter Federspannung stehende Büreten-B"utei-Ie.43 hindurch. elektrisch verbunden. Der Generator wandelt einen elektrischen Eingang von 200-250 Volt bei 56-60-Hertz in Ultraschall-Zeistung bei 20 Kilohertz: um, wobei ein elektrischer Durchschnittsausgang von 100 W mit. einer, Spitze von 200 W erzielt wird. Die Anolitude reicht von 0,00025 bis 0,0005 Zoll (0,00635 bis .0,0127 mm). Wenn man einen icalibrierten /calibrated/ Stufenschalter verwendet, kann der Leistungsausgang des Generators auf acht verschiedene Stufen bzw. Grade zwischen 0 und 100W eingestellt werden. Eine Frequenzeinstellung /tuning control/ und ein Amperemeter ermöglichen.ene leichte Einstellung auf die wirkungsvollste Frequenz zum Bearbeiten:. Die Maschinenkopf- und Antriebsmotor-Bauteilgruppe ist an einer linearen Kugelgleitbahn /linear ball slicte/ 23 angebracht, welche an einer Kopfkonsole 24 eines herköimmlichen säulenartigen Rohrständers 25 befestigt ist. Die Konsole kann durch Drehung des Handgriffs 26 in üblicher Weise an der Säule auf und ab bewegt werden. Der Kopf wird in Form einer Masse 27 mit einer Gegenbelastung versehen, welche mittels eines biegsamen. Kabels oder Seils 28 mit dem: Kopf in Verbindung steht: Das Seil läuft über Führungsrollen 29, welche an_ vorragenden Teilstücken der Konsole gelagert sind. Die.Gegenlast-Yiasse 27 ist etwa 5 bis S lbs.
  • (2 ?,70 bis 3 630 g) schwerer als der Kopf und weist ein zylindrisches Bleigewicht /lead weibht/ und .einen Kolben 30 auf. Der Kolben, in Form einer Scheibe ausgebildet, welche einen größeren-Durchmesser als-das Bleigewicht aufweist, hat einen losen Gleitsitz m einer zylindrischen Bohrung 31, welche. sich in einer Hülse 32 befindet. Die Hülse 32 ist wiederum in einem tankartiger, Umhüllungsbauteil 33' untergebr,--,cht,: welcher an der Kopf-Konsole 24. befest.t ist. Ein Armkreuz-Bauteil /spider member/ 3q-, welcher all der-Spitze der zylindrischen Bohrung lokalisiert ist, gewährleistet eine Zentralisierung des Bleigewichtes in Bezug auf die Bohrung: Bei dem beschriebenen Gerät-weist das Bleigewicht eineu Durchmesser von 2,5" (64 mrn) und der Kolben einen Durcl-messer von 3" (76 inm) auf.
  • Das untere Ende der .7ohruiz,; steht iiiit einem hydraulischen Zuführsystein über eine Flüssigkeiti] eitunt5 35 in Ver*Lindui,.@. Das Hydraulil-,system weist eine Flüssigkeitspumpe 36 und einen Behälter oder Speicher 37 auf. ;sie Pumpe ist zeit dem S_eicher über eine Einlaßlcitung 38 verbunden und fördert >zwo entleert zurück nach dem Speicher über eine Äüslaßleitung 39. Die n4.i;e der l'lüssigiLeitsabgabe wird durch ein Ventil 4C, das in der Leitung 39 lokalisiert ist, -,e:Yteuert. Die I_'lüssig keit::lcitüi"= 35 Un c@ stellt mit der Leitung 39 in Verbinduilv/liefert w@lüssigkeit ncch der Unterseite des Kolbens. Die FlüssiLkeit fließt am Kolben vorbei bzw. tritt am Kolben aus, entleert sich aus dem oberen Teil des Zylinders in den I3iiil-iil.l-un t--,sba.uteil 33 und kehrt dann über eile Leitung 41 nach dem Speicher zurück. Ein Druc,iiie.3ser q.` . ist in der Zeitung 35 voze.e;3elieii, um die riciitiLe .rein stellun, des Ventiles 40 zu eri :ichtern, und die Flüj sigkeitsl.c@itun_eii 35 und 4.1 sind in -einer biegsamen Dauart vorg cselicn, um eilte vertiuzulc":sexi.
  • kale Einstellung der 1'op-C-Konsole 24 Beim Betrieb liefert die Pumpeinheit Flüssigkeit -- in Farm von leichtem Mineralöl -- bei Drücken von bis zu 60 psi (4,2 kg/cm 2) nach dem Volumen unter dem Kolben 30. Der Druckmitteldruck wird mittels Ventil 30 einreguliert, bis der Druck gerade ausreicht, um die Gegenlast-Masse zu halten'. Durch weitere Einstellung des Ventils 30 kann der Werkzeug-Kopf mit einer Rate gesenkt werden, welche mit der Rate der Materialentfernung in Beziehung steht und die für ein besonderes Werkstück gewünscht wird, wobei die Werkzeugfläche, welche in Kontakt mit dem. Werkstück oteht, in Betracht gezogen werden muß.
  • Das Vorsehen einer konstanten bzw. gleichbleibenden Flüssigkeitsströmung ara Kolben vorbei reduziert jede Neigung zu einer erratischen bzw. unkontrollierten Bewegung des Kolbens und des Gewichtes und verhindert, daß ein örtlicher Druck .-an den Werkzeugflächen aufgebaut wird, wodurch während des .ganzen Bearbeitungsvorgangs eine gleichmäßige Schneidrate gewährleistet wird. ' Bei Benutzung geeigneter Werkzeuge kann die Maschine verwendet werden, um Bohr-, Abschle f--bzw.-Fräsarbeiten und Schraubengewinde-Arbeitsgänge, d.h. Vorgänge zum Zierstellen von Schraubengewinde an Materialien,- wie beispielsweise Glast Aluminiumoxyv4 und nukleare Keramikstoffe /nuclear ceramics/,, m durchzuführe, . Im allgemeinen weht j--®des Werkgaug einen kreisförmigen 4Jueraahnitt auf, wird aus dtabstahl hergestellt und so ausgebildet, 'daß to der' gewünschten Form eines Bearbaitungevorganga angepaßt ist. Das Werkzeug kann mit einem hohlen oder vollen Schaft 51 versehen sein, und das obere Endstück 52 des ächafteN ist mit einem üchraubengewinüe versehen, so daB es lnit einer mit Gewinde versehenen Bohrung im Ulfraschall-übertragerhorn bzw. -vors-rung verschraubt werden kann. Jeder Schaft ist mit einem Schulterteilstück 53 versehen, das am Horn anliegt. üc.ch dem Formvorgang wird die Spitze oder die Schneidfläche 54 auf jedem Werkzeug mit einem Diamantschleifmittel impräniert bzw. belegt, und zwar vorzugsweise durch elektrisches Aufle"en /by electrodepositing/ einer Schicht aus Diamantstaub von etwa 0,ß05 Zoll (0,127 mm) Stärke-auf die besagte Oberfläche.
  • Die Fig. 3 läßt ein Werkzeug bzw. Werkzeug-Formstück erkennen, welches sich für Bohrarbeiten, und falls es hont. ist, für Hohlbohrarbeiten eignet; die Fign. 4 und 5 veranschaulichen Werkzeuge, welche zu Präsarbeiten verwendet werden können, um T-förmige oder 82chwalbenschwanznuten herzustellen. Die rig. 6 zeigt ein Werkzeug, welches verwendet wird, um V-förmige Nuten /vee-shaped grooves/ herzustellen oder welches als Versenk-Werkzeug /counter sinking tool/ verwendet wird. Die fign.
  • 7 und 8 veranschaulichen Werkzeuge zum Schneiden von ei--igängigen und mehrgärgLgen Gewinden, wobei die Gewindefori,len so hergestellt werden, daß sie zu dem Winkel des zu schneidenden Gewindes passen. Die Fig. 9 gibt ein 2landrehweri,-.zeug und die Fig. 10 ®in Werkzeug wieder, um Löcher oder Iluten mit abgerundeten Böden herzustellen: Bei Verwendung des Gerätes können genau dimensionierte Bohrungen bzw. Löcher von 0,040 Zoll-bis -0,500 Zoll-(1 mm bis 12,7 mm) -vurchmesser mit Tiefen, welche bis 'f Zoll (25,4 mm) reichen, ohne Schwierigkeit in Glas und verschiedezie- nukleare Keramikstoffe .gebohrt werden. =Beispielsweise wurden Löcher mit 3/8 Zoll (9,5 mm) -Diurchmesser durch eine 3/i3 Zoll (9'5 mm) starke Glasplatte sauber gebohrt, indem; ein diamantbelegtes hohles Werkzeug verwendet; wurde, welches sich mit-l.«100 U/min drehte und mit maximaler tbertrager-Frequenz arbeitete. Der H,ydraulikdruck wurde eingestellt auf 3 psi (0, 21 .kg/cm2 ) und die benötigte Zeit betrug 1' Minute.
  • Ferner wurden Bohrversuche mit einem 1/8 Zoll (3,18 mm) starken Stück Aluminiumoxyd angestellt. Bei Verwendung von diamant-Delegten Hohlbohrern in der Größenordnung von 1/8 Zoll bis 1/2 Zoll (3,1b bis 12,7 mm) Durchmesser, welche bei maximaler Übertrager-r@requenz arbeiten, wobei cias Hydrauliksystem bei. 4 psi (0,2t3 kg/cm 2) unter- Druck gesetzt ,wird,. liegt die wirkungsvollste Bohrgeschwindigkeit bei 1.000 U/min. Unter diesen Umständen und Bedingungen wurde. das 1/,8 Zoll (3,18 mm) starke Aluminiumoxyd in 1/2 i:iinute- pro Bohrung durchdrungen bzw. durchbohrt, und zwar unabhängig von der Bohrergröße in diesem Bereich. Wenn kleinere volle diamantbelegte Bohrergrößen von 0,040 Zoll bis 09080 Zoll (1 mm bis 2 mm). vurohmesiser verwendet wurden, stieg die Bohrzeit auf 1 1/2 Minuten pro Bohrung an. Bei einem weiteren Bohrversuch rürden Löcher mit einem Durchmes2er von 7/16 Zoll (11,11 mm) durch 1/2 Zoll (12,7 iimi) starkes Aluminiumoxyd in 5 Minuten gebohrt, indem ein diamant-Uelegterhohler Bohrer verwendet wurde,-und, zwar bezeiner Geschwindigkeit oder Drehzahl von _1000 U/min, einem hydraulischen Druck von ¢ psi (0,28 kg/cm 2) sowie mit einer maximalen Übertrager-Frequenz.
  • Die Erfindung betrifft auch Abinderürigen der im beiliegenden Patentanspruch 1 umrissenen Ausführun,_jforiil üid bezieht, sich vor allem auch auf sämtliche Erfindun;@smerkmale, die ziu einzelnen -- oder in Kombination -- in der gesamten Beschreibung und Zeichnung offenbart sind. Patentansprüche

Claims (5)

  1. Patentansprüche 1. Ul-traschall-BearN2itungseinricht-utng mit einem schleifmitteluni ri#t-gOierten @ie LiIzzeug9 .:einer Ultraschall-Übertrager- und Konverter-Bauteilgruppe, um,die ,sierkzeugsptze zu aktivieren, it iuitteln zulli.Drehen des Werkzeugs relativ zu einem 'iterketii.ck und mit Mitteln, die 'rle@°kzeugs.j?i-tze geigen das V#lerkstück mit einer ;.zate vorzuschieben, welche der Rate der Iäaterialentfernung vom Ierkstfzck H)ro,jortional ist, dadurch gekennzeichnet, daß da' Je ^kzeug (15) und die Ultraschall-Übertrager- und Konverter-Bauteilgruppe (1) an einem Konsolenstäncier (25) senkrecht beweg-. bar sind und von einer Masse gegenbelastet werden, welche auf einem Kolb(:ri (30) gehalten wird-, - daB Strömungsmittel-Druckeinrichtungen voresehen sind, um den Kolben -zu halten und zu bewegen..
  2. 2, Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben aus einer Scheibe besteht, welche als loser Gleitsitz in einer zylindrischen Bohrung ausgebildet ist, und daß die Strömungsmittel-Druckeinrichtungen eine Pumpe aufweisest, welche in@einen Strömungsmittel-Kreislauf eingebracht ist und welche ein Strömungsmittel nach der Unterseite des Kolbens fördert, sowie ein Drucketeuerventil aufweist, um so den Strömungsmittelaustritt vom Kreislauf her zu regulieren. .
  3. 3. Ultraschall-Dearüeitungseinrichtuxg,. bei welcher ein .i4Taschinenkopf__eine ültraschall.-Übertrager- und Schall=Konnierter-=-Bauteilgruppe aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die sBauteil- _ öruppe drehbar belagert ist und daß Antriebsmittel- vorhanden sind., uni die Bauteilgruppe zu drehen, :"obei dt:r Kopf gleitbar an -einem KonsolcnStänder ai.gebracht ist, und daB eine @ler zstüc@@=Zo:_saser--;rorriciltung vorhanden ist, welche dem Ständer zugeordnet ist, daß S trömungsmittel=Druckeinrichtungen vorgesehen sind, um den Kopf relativ zur Verkstück=Ijohalisiervor_-ichtung zu bewegen, und daß Strömunösmitteldrucksteuervorrichtungen.vorhanden sind, um die Rate der Bewegung des hIaschinenkopfes zu verändern.
  4. 4. nach Anspruch 3, da= durch gekennzeichnet, daß der Schall-Koriverter mit einer Öffnung versehen ist, um das längliche Schaftteilstück, eines Werkzeugs aufzunehmen, wobei das Jerkzeug ein Kopfteilstück aufweist, welches so @.usgebildet ist, daß es ächneidflächen liefert, wobei die -Flächen mit einem Diamant-Schleifmittel-imprägniert sind:
  5. 5. Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch ¢, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf für eine senkrechte Bewegung über der Werkstück-Zokalisierungsvorrichtung angebracht ist und daß die Bewegung des Kopfes von einer Masse gegenbelastet ist, welche auf einen Kolben gehalten wird, wobei die Strömungsmittel-Druckeinrichtungen den Kolben halten.-6. Ultraschall-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben einen losen Gleitsitz in einer zylindrischen Bohrung aufweist, und daß die Jtrömungsmitt e1- -Druckeinrictit.fzii;en eine Pump, aufweisen, welche in einen StrömungsiiiJ.ttel=--'.reislauf ein)--,;bracht ist und die< strömungsmittel nach der Unterseite des wolbens fördert, und da.-73 ein einen S- trrmunt;siaittel-l@ustritt Arom Kreislauf her reguliert.
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