DE1640604A1

DE1640604A1 - Verfahren und Vorrichtung zum UEberziehen unter Vakuum von Materialien in Form von Scheiben,Tafeln od.dgl. durch kathodische Verdampfung der UEberzugssubstanz

Info

Publication number: DE1640604A1
Application number: DE1965G0042887
Authority: DE
Inventors: Edgar Brichard
Original assignee: Glaverbel Belgium SA
Current assignee: AGC Glass Europe SA
Priority date: 1964-03-12
Filing date: 1965-02-19
Publication date: 1971-02-04
Also published as: LU45647A1; BE658485A; FI45111C; FI45111B; FR1425640A; AT255225B; DE1640604B2; DK130797C; NL6503137A; NL132566C; ES307466A1; SE314268B; DE1640604C3; GB1058024A; US3414503A; DK130797B; CH429363A

Description

Dr.-lng. Heinrich Schtiier

Patentanwalt
AACHEN, Zollernstr. 1

Telefon: 3 219.2 und 25182

\Dr-

Aachen, den 18. Februar 1965 Mein Zeichen: P 11 594

GLAVERBEL, 79, Avenue Louise, Brüssel (Belgien)

Priorität aus der luxemburgisehen Patentanmeldung Nr. 45.647 vom 12. März 1964

Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen unter Vakuum von Materialien in Form von Scheiben, Tafeln od.dgl. durch kathodische Verdampfung der Überzugssubstanz

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Überziehen unter Vakuum von Materialien

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in form von Scheiben, Tafeln od.dgl., insbesondere von Glasscheiben, durch, katodische Verdampfung einer Substanz, wobei man wenigstens eine dem Verdampfen dienende Elektrode parallel zu einer zu überziehenden Scheibe fortbewegt.

Es ist bekannt, daß sich die Elektrode oder die Elektroden, die dem Verdampfen dienen, beim Überziehen durch kathodische Verdampfung zur Erreichung einer gleichmäßigen Schicht nahe an der zu überziehenden Fläche befinden müssen.

Bei einem bekannten Verfahren werden die zu überziehenden Scheiben, !Tafeln od.dgl. horizontal in ein und derselben Ebene angeordnet, und zwar im oberen Teil eines senkrechten zylindrischen Behälters. Die dem Verdampfen dienenden Elektroden sind unter den Scheiben, Tafeln od.dgl. angeordnet, und zwar zwischen der Vertikalachse und der Wandung des Behälters. Nach Herstellung des Vakuums und, nachdem die Elektroden unter Spannung gesetzt worden sind, läßt man die Scheiben, Tafeln od.dgl. um die senkrechte Achse rotieren, so daß ihre ganze Oberfläche ein oder mehrere Male zur Bearbeitung an den Elektroden vorbeiläuft.

Man bringt dann das Innere des Behälters wieder auf den atmosphärischen Druck, um die Scheiben, Tafeln od.dgl. herauszuheben und neue einzusetzen.

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Dieses Verfahren hat schwerwiegende Nachteile.

Die Gesamtoberflache, die in einem Arbeitsgang bearbeitet «erden kann, ist begrenzt auf diejenige des Behälterquerschnitte. Außerdem sind die unter diesen Bedingungen erzeugten Niederschläge unregelmäßig. Einerseits sind die horizontal angeordneten Scheiben, Tafeln od.dgl. entlang iaren Rändern unterstützt und weisen folglich * eine Durchbiegung auf derart, daß ihr zentral gelegener Teil den iälektroden näher ist als ihr Hand. Andererseits uird den Scheiben, Tafeln öd»dgl. eine kreisförmige Bewegung erteilt, und es verweilen daher die dem Rotationszeircrun benachbarter Oberflächen länger über den Elektroden als diejenigen« die <äsf©n entfernt sind.

Um diesen Unterschied der Bauer der Einwirkung auf die Scheiben, !Tafeln od.dgl. bei demselben Abstand der Elektroden auszugleichen, hat man vorgeschlagen, diesen die Form von Sektoren zu geben, deren Winkelscneitel zusammenfällt' mit dem Zentrum der Rotation der Scheiben, Tafeln od.dgl.

Die Praxis zeigt, daß die Benutzung solcher Elektroden zu einem dünneren Niederschlag in der Jkme naae beim Rotationszentrum führt, unter anderem wegen der rascheren Abnutzung der Elektroden im Scheitel ihres Winkels·

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OfHGtNAL

Kan hat auch vorgeschlagen, Scheiben, Tafeln od.dgl. durch kathodische Verdampfung zu überziehen, indem man eine ebene oder gebogene Scheibe oder Tafel aus Glas in einem Unterdruckbehälter anordnet und eine Verdampfungselektrode derart bewegt, daß sie ein-oder mehrere Kaie die untere Seite der Scheibe oder Tafel bestreicht« Wenn man Schichten verschiedener Art niederschlagen muß, bewegt man gleichzeitig mehrere Elektroden verschiedener Art, die man getrennt in Betrieb setzt. Der untere Teil des £ehälters enthält den Mechanismus sur Erzeugung der Bewegung der Elektrode oder der Elektroden und muß außerdem die horizontalen Bewegungen der aa die Elektrode oder die Elektroden augescnlosseüen Leitungen endlichen, die ihrer elektrischen Speisung und ihrer Kühlung dienen. B@i dieser Vorrichtung ist, ebenso v/ie bei der vorher beschriebenen, die in einem Arbeitsgang behandeivs Oberfläche ebenfalls begrenzt auf den ^uersciiiiitu, ien c.er Behälter in der Höhe der Scheibe, Tafel od*%l, nat, und die GleicL-förmi-iceit der Scnic&t ist in Frage gestellt dv.rc.ti die Durchbiegung, die die Scheibe, T&iix ca»dgl. hat»

fis sei auüerdem ciarauf hingewiesen* άε,Ζι >eine 4er vor-» Suehend bescucieber-en Vorriehtu^^tr. es gestattet, ws^ü. äles nötig war«, gleichzeitig die i^el Macuen clej? Sch* j be, Tafel od.dgl-. :ΐ"- b

d der Erfindung ist ,v:". . "'-■ - . ^->,:-j. zum ul^rzi-^ fioc^r.uiie, ¥erdajEpfu/:s: .·.;■.,'■■ ..- vrkuum, mit welchem

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man Schichten sehr gleichmäßiger Dicke gleichzeitig auf eine fläche oder auf beide flächen mehrerer Scheiben, Tafeln od.dgl. aufbringen kann, so daß dieses Verfahren gestattet, die Arbeitskapazität nennenswert zu steigern.

Man kann beispielsweise in einem einzigen Arbeitsgang in einem zylindrischen Behälter eine Oberfläche überziehen, die zwanzigfach größer ist als diejenige, die man nach den bekannten Verfahren in einem Behälter von im wesentlichen gleichem, Durchmesser behandeln kann.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren bewirkt man gleichzeitig den Überzug von zwei oder mehr Oberflächen, indem man eine oder mehrere Elektroden von geeigneter form zwischen und entlang diesen Oberflächen, die vorher mit gegenseitigem Abstand im wesentlichen parallel zueinander eingesetzt worden sind, hin und her gehen läßt.

Die Elektroden können vertikal zwischen den Paaren von Scheiben, Tafeln od.dgl. eingesetzt sein und horizontal zwischen diesen bewegt werden, aber vorzugsweise setzt man die Elektroden horizontal ein und bewegt sie vertikal.

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Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Diese Vorrichtung weist einen mit einer Vakuumquelle verbundenen Behälter auf und umfaßt einen Support zur Halterung wenigstens einer zu überziehenden Scheibe, Tafel od.dgl., wenigstens eine Elektrode parallel zur zu überziehenden Scheibe, Tafel od.dgl., einen Mechanismus zur Bewegung der Elektroden parallel zu dieser Scheibe, Tafel od.dgl., Leitungen zur elektrischen Speisung und zur Kühlung der Elektroden.

ZJio 2rfind'JH32gs=SSe Verrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß der genannte Support derart eingerichtet ist, daß man vertikal einander gegenüber wenigstens zwei zu überziehende Scheiben, Tafeln od.dgl. haltern kann, und daß zwischen den zwei in !frage kommenden Scheiben, Tafeln od.dgl. wenigstens eine Elektrode angeordnet ist, die durch den genannten Mechanismus parallel zu den Scheiben, Tafeln od.dgl. fortbewegt wird, und daß alle beweglichen Elektroden gleichzeitig betätigt werden. Vorteilhafterweise werden sie durch einen einzigen Mechanismus betätigt.

Vorzugsweise sind die Elektroden horizontal angeordnet und werden vertikal bewegt.

Bei einer speziellen Ausführungsform werden die Elektroden durch eine horizontal verlaufende Armatur getragen,

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die mit; Gewindestüeken versehen ist, v/elche in Eingriff sind mit vereikalen «Senraubenspindeln, die ihrerseits nacheinander in zweierlei Sinn in Rotation versetzt werden können, um so die JSlektroden sich nach oben nass uaten bewegen zu lassen.

Bei einer anderen- speziellen Aüsführungs-foria werden die jiie<vtro-icn gfetracsa durea eine horizontal verlsi'eude A,r;„,itur_$ aie z\^reisQh®n vartüaieii IFüteuagea ge f .;ur* ist un-2 durüli iLettesi abwßislissliif .a&ea ooea

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diese horizontale Führungen auf für Zwischenstützen, deren Stellung in horizontaler Richtung verstellbar ist. Außerdem dient jede dieser Zwischenstützen als vertikale Gleit- und Spannschiene für Haltezapfen von einstellbarer Höhe, die die Scheiben., Tafeln od.dgl. am betreffenden Chassis haltern. Bei bestimmten einem Chassis angehörenden Zv.ischenstützen weisen die Haltezapfen nach dessen einer Seite, und bei anderen Zwiscaenstützen desselben Chassis weisen die xialtezapfen nach dessen anderer Seite.

Bei einer anderen Ausführungsform, die besonders vorteilhaft ist für das Überziehen jeder der Seiten der Scheiben, Tafeln od.dgl., weisen die Chassis vertikale Führungen für horizontale Zv.ischentr aver sen von in vertikaler Richtung einstellbarer Stellung auf. Die Scheiben, Tafeln od.dgl. sind zwischen diesen Traversen angeordnet und daran gehaltert durch federnde Klammern in U-Form, die rittlings auf den genannten Traversen angeordnet sind und deren Enden die oberen und unteren Kanten der Scheiben, Tafeln od.dgl. umfassen.

Weitere Besonderheiten und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung zur beigefügten Zeichnung, in welcher schematisch und lediglich als Beispiel einige Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt sind·

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Die Fig. 1 ist eine Draufsicht auf einen Schnitt gemäß der Schnittlinie I-I der Fig. 2 eben oberhalb der vertikalen Führungen für die auswechselbaren Chassis, die die zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.dgl. tragen.

Die Fig. 2 ist eine Vorderansicht von einem Längsschnitt nach der Schnittlinie II-II der Fig. 1.

Die Fig. 3 ist in größerem Maßstabe eine Seitenansicht von einem auswechselbaren Chassis·

Die Fig. 4 und 5 sind in größerem Maßstabe vertikale Schnitte durch das auswechselbare Chassis gemäß Fig. 3 entsprechend den Schnittlinien IV-IV bzw. V-V in Fig. 3.

Die Fig. 6 ist ein Querschnitt nach der Linie YI-VI der Fig. 4.

Die Fig. 7 ist eine Seitenansicht einer anderen Ausführungsart des Chassis·

Die Fig· 8 ist in größerem Maßstabe ein vertikaler Schnitt durch die Enden eines Paares von Elektroden, die durch eine doppelte Armatur getragen sind»

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Die Fig. 9 ist ein elektrisches ächaltschema von einer Installation zur automatischen Umkehrung des Drensinnes eines Motors, der die vertikale -Fortbewegung der Elektroden steuert, jeweils am finde von deren Weg.

Die Fig. 10 ist ein vertikaler Schnitt durch eine andere Vorrichtung, bei der die abwechselnde vertikale Fortbewegung der Elektroden bewirkt wird ohne Umkehrung des Drehsinnes des Elektromotors, der diese Fortbewegung steuert.

Die Fig. 11 ist ein Schnitt analog demjenigen von Fig. 8, jedoch für den Fall, daß zwei Elektrodenpaare Vorgesehen sind, von denen jedes Paar dem Niederschlag einer Substanz dient, die verschieden ist von derjenigen, die vom anderen Paar niedergeschlagen wird, ve» und von denen jedes Paar unabhängig von dem anderen in Betrieb gesetzt werden icann.

Die Fig. 12 und 15 stellen analog der Ausführungsart gemäß KLg. % zwei andere Vorrichtungen nach der Erfindung dar.

In den verschiedenen Figuren bezeichnen dieselben Bezugsziffern identische (Teile.

ί
Sowohl in der vorstehenden wie auch in der nachstehenden,

Beschreibung ist der Ausdruck "Elektrode" gebraucht wor- *© ^ "^; 0098 86/0658 "

den ohne Unterscheidung zwischen "Anode" und "Kathode". Tatsächlich werden die Einrichtungen zum Überziehen im allgemeinen mit Wechselstrom gespeist , und jede Elektrode ist isomit abwechselnd .anode und Kathode.

Die Vorrichtung gemäß den Fib· 1 und 2 v/eist einen Behälter 1 auf mit einer vertikalen Wandung 2, einem 3oden 5 und einem auswechselbaren Deckel 4. Der Behälter kann über eine mit einem Hahn 6 versehene Leitung 5 mit einer Vakuum^uelle verbunden v/erden, die nicht gezeichnet ist.

Der Deckel 4 weist einen Aufhangering 7 auf zur Erleichterung seines Aufsetzens und Abhebens mit einem Hebezeug. Eine Dichtung 8 ist vorgesehen zwischen ihm und dem oberen Hand der Wandung 2, um das Vakuum unter der Kontrolle des Hahnes 6 herstellen und aufrechterxialten zu können.

Horizontale 2ahmen 9 und 10 sind an den Enden der Wandung 2 befestigt, und zwar durch Streben etwa wie 11. Diese äahmen haltern vertikale Gleitschienen 12 von U-Form, die als Führungen dienen für die auswechselbaren Chassis 15, welche die zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.dgl. tragen, z.B. zu metallisierende Glasscheiben. Diese Gleitschienen weisen einen unteren Abschluß 12' auf, auf dem das entsprechende Chassis ruht, wenn es an Ort und Stelle ist.

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Die Chassis 13, von denen eines mit Einzelheiten in den Fig. 3 bis 6 dargestellt ist, weisen zwei äußere Stützen 14 auf, die durch eine obere Traverse 15 und eine untere Traverse 16 miteinander verbunden sind. Die obere Traverse 15 trägt Aufhängeringe 17· Nahe den oberen und unteren Traversen sind die äußeren Stützen verbunden durch horizontale Führungen über Zwischenstutzen 18, deren Stellung in horizontaler Ricütung verstellbar ist·

Gewisse dieser Zwischenstutzen sind nicht gezeichnet worden, um die Fig. 3 nicht unnötig zu überfüllen. Die obere horizontale Führung ist gebildet durch Flacheisen 19 und die untere horizontale Führung durch Flacheisen 20.

Jede der Zwischenstützen ist gebildet aus einem fiohr von viereckigem querschnitt und weist seitlich einen vertikalen Schlitz 21 auf, in dem sich Schrauben 22 bewegen, die der Befestigung von Gleitstücken 23 dienen, deren Stellung in der Höhe einstellbar ist. Diese Schrauben tragen auch Haltezapfen 24, die dazu dienen, die zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.dgl. am betreffenden Chassis zu haltern. Eine dieser Scheiben, Tafeln od.dgl. ist in Fig. 3 dargestellt, wo sie mit 25 bezeichnet ist. Einige der Zwischenstützen von jedem Chassis weisen ihren vertikalen Schlitz 21 an einer Seite des betreffenden Chassis und die anderen an der entgegengesetzten Seite

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auf. Die in der Höhe verstellbaren Haltezapfen, die sich an einer Seite des Chassis befinden, können so dazu dienen, Scheiben, Tafeln od.dgl. dieser Seite zu haltern, während diejenigen der entgegengesetzten Seite dazu dienen können, Scheiben auf dieser zuletzt genannten Seite zu haltern.

Es sei darauf hingewiesen, daß infolge der Unabhängigkeit der Einstellung der auf den verschiedenen Zwischenstützen befindlichen Haltezapfen ein Chassis dazu dienen kann, Scheiben, Tafeln od.dgl. verschiedener Abmessungen auf irgendeiner Seite zu tragen·

An jeder Zwischenstütze 18 sind befestigt einerseits eine Platte 26, die ausreichend groß ist, um sich gegen eine Kante der Flacheisen 20 abzustützen, und andererseits eine mit Gewinde versehene Platte 27, die zwischen den Flacheisen 19 angeordnet ist. Diese zuletzt genannte Platte spielt die Bolle einer Schraubenmutter für einen Schraubenbolzen 28, welcher durch Schraubung in dieser Schraubenmutter eine Platte 29 gegen eine Kante der Flacheisen 19 abstützt. Indem man in der Schraubenmutter 27 den Schraubenbolzen 28, dessen Kopf auf der von zwei Flacheisen 19 getragenen Platte 29 ruht, schraubt, kann man das Rohr 21 nach oben bewegen, bis die an seinem unteren Ende befestigte Platte 26 in Berührung kommt mit den unteren Kanten der Ilacheisen 20. In diesem Augenblick ist die betreffende Zwischenstütze

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in bezug auf die Flacheisen 19 und 20 in ihrer Stellung befestigt. Bas ist in einer solchen Stellung, wie die Zwischenstützen 18 mit der Scheibe, Tafel od.dgl. 25 aus Glas in Fig. 3 dargestellt sind.

Man erkennt aus Fig. 3ι daß jede Zwischenstütze 18 zwei Paare von Haltezpafen 24 aufweist. Es läßt sich so die Halterung von zwei oder drei Scheiben, Tafeln od.dgl., die übereinander auf einer Seite des Chassis angeordnet sind, bewirken. Eine größere Zahl von Haltezpafen könnte, wie man sieht, auf jeder Zwischenstütze vorgesehen sein.

Um die Fig. 1 und 2 zu vereinfachen, sind nur dargestellt Scheiben, Tafeln od.dgl. 25 aus Glas auf den zwei Seiten eines einzigen auswechselbaren Chassis 13« Es versteht sich von selbst, daß alle Chassis zu überziehende Scheiben, Tafeln od.dgl. tragen können.

Die beschriebenen Chassis sind insbesondere geeignet für das Überziehen einer einzigen Fläche jeder Scheibe, Tafel od.dgl.

In dem Falle, wo die zwei Seiten bzw. zwei Flächen überzogen werden sollen, verwendet nan vorzugsweise ein Chassiä solcher Art, wie es beispielsweise als Variante in Fig. 7 dargestellt ist. Dieses Chassis weist vertikale Führungen auf, von denen jede aus zwei

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Flacheisen 83 - 84 gebildet ist, die einander gegenüber an den Enden der Traversen 15» 16 befestigt sind und die Längsschlitze 85 tragen. Traversen 66 können verschoben werden zwischen den Eisen öp-64- und tragen an ihren linden Klemmschrauben 8?, die in den Schlitzen geführt sind und die genannten Traversen in passender Höhe festzustellen gestatten. Jie ocneiben, Tafeln od.igl. 25 sind zwischen diesen Traversen angeordnet und an ihnen gehaltert durch federnde Klammern oder ^

lilexmen 88, deren Enden die 2änder der .jcneiben, Tafeln od.dgl. umschließen«

Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient zum überziehen der verschiedenen Scheiben, Tafeln od.dgl. durch kathodische Verdampfung. Sie umfaßt hierzu horizontal angeordnete Elektroden, die parallel sind zu den Scheiben, Tafeln od.dgl., welche durch auswechselbare Ghassis getragen werden, zwischen denen die jeweilige Elektrode angeordnet ist. Jede i^le^trode dient also zur (( gleichzeitigen Behandlung eines Paares von Scueiben, Tafeln od.dgl., zwischen denen sie sich befindet und die durch die angrenzenden Ghassis getragen werden.

Bei der Ausführungsform gemäß den Fig. 1, 2 und 8 sind Elektroden 30 und 32 übereinander angeordnet und an Armaturen 31 bzw. 33 befestigt, die eine iorm haben, die analog derjenigen der horizontalen Rahmen 9 inid

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ist, zwischen denen sie vertikal verschoben werden können. Die Armaturen 31 und 33 sind untereinander verbunden mitStegen 34 (Pig· 1 und ²), die gleichzeitig der Befestigung von Gewindest ..Cxcen 35 dienen, welche in Eingriff sind mit vertikalen Schraubenspindeln 36. Letztere Können nacheinander in zwei entgegengesetzten Drexisinnen in Umdrehung versetzt werden, um so die gemeinsame Abwärtsbewegung oder Abwärtsbewegung der Elektroden 30 und 32 .zu bewiricen. Die Schraubenspindel 36 sind vertikal gehaltert in Lagern 37» zwischen welcaen die Gewindestiicke 35 bewegt werden Können.

Die äußersten Stellungen der Armaturen 31 und 33 und folglich der Elektroden 30 und 32 gehen über das obere und untere Niveau der zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.dgl. hinaus, damit der Überzug gleichmäßig ist. Die Rahmen 9 und 10, an denen die vertikalen Führungen 12 befestigt sind, müssen oberhalb bzw. unterhalb der äußersten von den Armaturen 31 und 33 eingenommenen Stellungen angeordnet sein, damit sie die Bewegungen der Elektroden 30 und 32 nicht behindern.

Diese Elektroden sind als Röhren ausgebildet, in welchen man eine Kühlflüssigkeit zirkulieren läßt. Hierzu sind ihre Enden mit Leitungen wie z.B. 37 (Pig· 8) verbunden unter Zwischenschaltung von isolierenden Hüllen 38. Die

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Leitungen 37» die beispielsweise als Zuleitung für diese Kühlflüssigkeit dienen, sind in Verbindung mit einem Verteilungsbehälter wie z.B. 39 (Hg. 2), der mit Kühlflüssigkeit gespeist wird über eine Leitung 40, die bis zur Außenseite des Behälters 1 reicht. Den Leitungen 37 entsprechende Leitungen sind verbunden mit dem entgegengesetzten Ende der Elektroden 30 und 32, um die Kühlflüssigkeit abzuleiten zu einem anderen Verteilungsbehälter 41, der durch eine Leitung 42 mit der Außenseite des Behälters 1 in Verbindung steht. Zur Vereinfachung der Fig. 2 sind die Leitungen zwischen den Verteilern 39 und 41 und den Elektroden 30 und 32 nicht gezeichnet.

In der Fig. 8 sind auch dargestellt elektrische Leitungen 43 und 44, die in Kontakt sind mit den Elektroden 30 bzw, 32 und die diese unter die Spannung setzen, die zur kathodischen Verdampfung nötig ist, die ihrerseits notwendig ist zum "Überziehen der Scheiben, Tafeln od.dgl. Die Leitungen 43 und 44 der verschiedenen Paare von Elektroden enden in einem Verteiler 45 (Pig. 2), der über ein Kabel 46 an eine nicht gezeichnete Stromquelle angeschlossen ist.

Ein einzelnes Paar von Leitungen 43 und 44 ist dargestellt in der Fig. 2.

Die gleichzeitige Rotation der vertikalen Schraubenspindeln 36 wird bei der Vorrichtung gemäß den Fig. 1

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ORlGlNAt JNSPBCTiO

und 2 bewirkt durch einen in der Drehrichtung umkehrbaren Elektromotor 4?» welcher ein Untersetzungsgetriebe 48 antreibt. Auf dessen Ausgangsachse ist befestigt ein Zahnrad 49, das in Eingriff ist mit einer endlosen Kette 50, die über die Zahnräder 51 läuft, die auf den vertikalen Schraubenspindeln 36 befestigt sind. Die Kette 50 wird zwischen den Zahnrädern 51 von einer Plattform 52 getragen, auf der sie gleitet.

Vorzugsweise bewirkt man automatisch die Umkehrung des Drehsinnes des Elektromotors 47, wenn die Elektroden 30 und 32 das obere und untere Niveau überschritten haben, das die von den auswechselbaren Chassis 13 getragenen Scheiben» Tafeln od.dgl. erreichen können. Hierzu kann man eine elektrische Schaltung verwenden, die Bndschalter 53 und 54 (Pig. 2) aia Ende des steigenden Weges und Endschalter 55 und 56 am Ende des fallenden Weges aufweist, die Teile einer elektrischen Schaltung ausmachen, wie solche in der Fig. 9 dargestellt ist, Die Schalter 53 und 55 sind normalerweise geschlossen, während die Schalter 54 und 56 normalerweise offen sind.

Der Motor 47 ist ein Dreiphasenmotor, der mit drei Stromzuführungsleitungen 57, 58, 59 verbunden.ist. Diese können verbunden werden mit den entsprechenden Leitungen H, S und $ eines Dreiphasennetzee durch Schließung eines dreipoligen Schalters 60» der gesteuert ist durch.

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ein Schütz (Relais) 61, oder mit den entsprechenden Leitungen R₁ T, S durch Schließung eines anderen dreipoli_fcen Schalters 62, der gesteuert ist durch ein 3ciiütz 6$.

Diese beiden dreipoligen Scüalter sind normalerweise offen und nur geschlossen, wenn die betreffende Schützspule von einem Strom durchflossen ist. Diese wird . von einer .Stromquelle gespeist, die schematisch durch (| einen Akkumulator 64 dargestellt ist und mit welcner die Leitungen 65 und 66 verbunden sind.

Die Leitung 65 ist verbunden mit dem Schütz 61 und dieser mit· einem Druckknopf 67, der seinerseits verbunden ist mit einem handbetätigten Schalter 68, welcher normalerweise geschlossen ist. Dieser zuletzt genannte Schalter ist verbunden mit der Leitung 66.

Die Leitung 65 ist außerdem verbunden mit den Schütz und diesejs mit einem Druckknopf 69, der seinerseits verbunden ist mit einem handbetätigten Schalter 70, welcher normalerweise geschlossen ist. Dieser zuletzt genannte Schalter ist verbunden mit der Leitung 66.

Wenn man den Druckknopf 67 kurzzeitig schließt, durchläuft der Strom die Spule des Scnützes 61 und bewirkt die Schließung des dreipoligen Schalters 6C sowie eines

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Haltekontaktes 71» der in Serie liegt mit dem Endschalter 53 am Ende des steigenden Weges, und zwar in einem Zweig, der abzweigt von einem anderen, welcher den Druckknopf 67 und den Handschalter 68 enthält. Der Schalter 53 ist normalerweise geschlossen. Man kann somit unverzüglich den Druckknopf 67 in seine öffnungsstellung zurückkehren lassen, ohne daß der über die Leitungen H, S, T des Netzes zugeführte Strom aufhört, den Motor 47 über die Leitungen 57» 58 und 59 zu speisen. Wenn man annimmt, daß die Armaturen 31 und 33 am unteren Ende der Schraubenspindel 36 waren und daß die Speisung des Motors 4-7 entsprechend einem Rotationssinne erfolgt ist, bei dem diese Schraubenspindeln die Armaturen 31 und 53 nach oben bewegen, erkennt man, daß deren Iiachobenbewegung die Öffnung des Endschalters 53 sm Ende des steigenden Weges eine Kleine Zeit vor der Schließung des Endschalters 54- am Ende des fallenden Weges bewirkt. Die öffnung des Schalters 53 läßt den Stromfluß in der Spule des Schützes 61 aufhören und somit die Speisung des ilotors 47 aufhören.

Gleichzeitig bewirkt die Schließung des Schalters 54-den Stromfluß in der Spule des Schützes 63. Die Schließung des dreipoligen Schalters 62 bewirkt die Verbindung der Leitungen 57, 58 und 59 mit den entsprechenden

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Leitungen R, T und S des Netzes, was den Motor 47 in einem Sinne laufen läßt, der umgekehrt demjenigen ist, in welchem #er während des Geschlossenseins des dreipoligen Schalters 60 lief.

Die Schließung des dreipoligen Schalters 62 ist begleitet von der Schließung eines Haltekontaktes 72, der eine Rolle spielt, die analog ist derjenigen des Haltekontaktes 71» jedoch in dem lalle, wo das Anlaufen des Motors 47 im Sinne der Abwärtsbewegung der Armaturen 31 und 33 durch die zeitweilige Schließung des Druck-Knopfes 69 gesteuert gewesen wäre.

Die Abwärtsbewegung der Armaturen 31 und 33 setzt sich fort bis zu dem Augenblick, wo diese die Endschalter 55 und 56 am Ende des fallenden Weges berühren. Die öffnung/£ji des Schalters 55 laßt den Stromfluß in der Spule des Schützes 63 aufhören, wodurch der Motor 47 aufhört gespeist zu werden. Eine kleine Zeit danach schließt sich durch die Schließung des Schalters 56 erneut der Speisekreis für die Spule des Schützes 61, was den Motor in dem Sinne laufen läßt, der der Aufwärtsbewegung der Armaturen 31 und 33 entspricht.

Man sieht also, daß die Elektroden 30 und 32 automatisch von unten nach oben und von oben nach unten bewegt werden, wobei sie parallel sind den Scheiben, Tafeln od.dgl., zwischen denen sie angeordnet sind.

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Diese automatische abwechselnde Bewegung hält so lange an, bis man einen der Handschalter 68 oder 70 öffnet» Die Öffnung eines dieser Schalter macht unwirksam die automatische Schließung des Endschalters am Ende des betreffenden Weges, die normalerweise die Umkenrung der Richtung bewirken würde.

In ?ig. 10 ist eine Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt, bei welcher der Motor für die Bewegung der Elektroden parallel zu den zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.dgl. während der ganzen Dauer des Überziehvorganges im selben Sinne laufen kann. Bei dieser Variante sind die Armaturen 31 und 33 durch Stege 34· verbunden, die unter Zwischenschaltung einer Kulisse 75 angetrieben werden, die daran festsitzt und in der ein Dorn 74· läuft, der von einer Kette 75 getragen ist. Letztere läuft auf den Zahnrädern 76 und 77» von denen das eine ständig im selben Sinne in Umdrehung gesetzt wird durch einen Motor 4-7 und ein Reduziergetriebe, das beispielsweise einen Treibriemen aufweist, 4er über Riemenscheiben 79 und 80 verschiedenen Durchmessers läuft. Die Kulisse 73 bewegt sich in einer vertikalen Führung 81, die an der zylindrischen Wandung 2 durch Stege 82 befestigt ist.

Die Pig. 11 zeigt eine andere Ausführungsart der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die zwischen den Flächen

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der zu überziehendea Scheiben, Tafeln od.dgl. 25 zwei Paare von Elektroden 30 und 32 und 30' und 32' aufweist, die gemeinsam bewegbar sind. Das erste Paar von elektroden dient dem Niederschlag einer Schicht aus einem Material, das verschieden ist von dem durch das zweite Paar niedergeschlagenen. Die elektroden 30 und 32 dienen z.B. für den Niederschlag einer Kupferschicht, wänrend die Elektroden 30' und 32* dem i-iiedersculag einer Schicht aus Aluminium oder Wismutoxyd dienen. Diese Hiederscnläge vterden aufeinanderfolgend bewirbt, indem man die JsleKtroden 30 und 32 über die Leitungen 43 und 44 und die üleKtroden 30' und 32' über die Leitungen 43' und 44' zu verschiedenen Zeiten h anschließt·

In der Vorricntung _fcemaß Fig. 12 sind nur die i.lektroden 30, die die Kathoden bilden, parallel zu den zu überziehenden Scheiben, Tafeln od.ugl. 25 bewegbar. üine gemeinsame Anode 32¹¹ ist am Boden 5 des 3enälters 1 angeordnet. Sine groue Zahl von Teilen in dessen Inneren ist nicht gezeichnet, um die Figur zu vereinfachen. Aus demselben Grunde ist nur eine kleine <3anl von 2ragechassis für die iScneiben, Tafeln od.dgl. dargestellt. Die Anode 32" kann auch durch die Masse der ApparaOur gebildet werden.

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In Fig, 13 ist eine andere Vorrichtung gemäß der Erfindung dargestellt, bei welcher in dem Zwischenraum zwischen den von zwei benachbarten Chassis getragenen Scheiben* Tafeln od.dgl. jeweils nur eine einzige Elektrode angeordnet ist. In diesem Falle wird einfi Paar von Elektroden von zwei benachbarten Elektroden gebildet, d.h., daß beispielsweise die geradzahligen Elektrodenpaare mit einer Pnase verbunden sind, während die ungeradzahligen Elektrodenpaare mit der anderen Phase verbunden sind.

Alle Merkmale, die in der vorstehenden Beschreibung erwähnt und/oder in der Zeichnung dargestellt sind, sollen, sofern der bekannte Stand der Technik dies zuläßt, für sich allein oder auch in beliebigen Kombinationen oder Teilkombinationen als erfindungsweseatlich angesehen werden, auch wenn sie in den Ansprüchen nicht enthalten sind.

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Claims

Pat ent ansprüche

1) Verfahren zum Umerziehen unter Vakuum von Gegenständen, insbesondere Scneiben, Tafeln od.dgl. aus Glas, durch kathodische Verdampfung einer Substanz, wobei man wenigstens eine Elektrode entlang der zu überziehenden Fläche bewegt, dadurch gekennzeichnet, daß man gleichzeitig das Überziehen von zwei oder mehr Flächen bewirkt durch Hin- und Hergehenlassen einer oder mehrerer Elektroden von geeigneter Form zwischen und entlang den genannten Flächen, die vorher mit gegenseitigem Abstand im wesentlichen parallel zueinander eingesetzt worden sind. .

2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch,gekennzeichnet, daß man die Elektroden horizontal zwischen den Paaren von Scheiben, Tafeln od.dgl. anordnet und-daß man sie vertikal zwischen diesen bewegt.

5) Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach wenigstens einem der Ansprüche 1 und 2, wobei die Vorrichtung einen an eine Vakuumquelle angeschlossenen Behälter aufweist mit einem Support zur Halterung wenigstens einer zu überziehenden Scheibe, Tafel od.dgl., mit wenigstens einer Elektrode parallel zu der zu überziehenden Scheibe, Tafel

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od.dgl·* flijjjj ei^gmrMechanisioaug.^ur Bewegiing;,der., ,-;;.-Elektroden parallel zu dieser Scneibe_t Tafel-od,dgl., mit Leitungen zur elektrischen Speisung und Kühlung der Elektroden, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte Support so eingerichtet ist, daß man vertikal einander gegenüber wenigstens zwei zu überziehende. Scheiben, Q?afein od.dgl. haltern kann, und daß zwischen den zwei diesbezüglichen Scheiben, Tafeln od.dgl. wenigstens eine Elektrode angeordnet ist, die durph-den genannten Mechanismus parallel zu den Scheiben, Tafeln od.dgl, bewegt wird.

4-) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die EleKtroden horizontal angeordnet sind und daß der genannte Mechanismus sie vertikal bewegt.

5) Vorrichtung nach Anspruch 4», dadurch gekennzeichnet, daß die ,Elektroden von einer horizontalen Armatur, getragen!werden, die mit. öewindestückeii versehen ist, weiche ±a;"Eingrif f :m&& Vertikalen;:. Schraubensp^indeln sindv&äieTnaühölnaader^in^ zwei (gntgegengesetzten -' ^r Drehsinnen in Hotation versetzt werden können^ mi die Elektroden auf- und abwärts bewegen zu lassen.

6) Vorriehtühg nach Anspruch 4, dadurch; gekennzeichriet, daß die £lektroden. durch eine horizontale Armatur getragen werden, die zwischen vertilcaien Führungen ge-

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führt ist und die abwechselnd nach oben und nach unten durch Letten angetrieben wird,

7) Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet« daß der Support für die Scneiben, Tafeln od.dfcl. vertikale Führungen für auswechselbare Chassis aufweist, die die »Scheiben, Tafeln od.dgl, tragen*

8) Vorrichtung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die genannten vertikalen Führungen als 6leitschlenen in U-Forn ausgebildet sind, die am Behälter befestigt sind und in die die Benannten auswechselbaren Chassis eingesetzt werden·

9) Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 und 7» dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Gleitschienen am Behälter befestigt sind unter Zwischenschaltung von Rahmen, die in der Nähe ihrer I&den oberhalb und _m

unterhalb der äußersten Stellungen angeordnet sind, die von der bewegbaren, die Elektroden tragenden Araatur eingenommen wird.

10) Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche bis 9t dadurch gekennzeichnet, daß die genannten auswechselbaren Chassis horizontale Führungen aufweisen für Zwischenstützen, deren Stellung in hori-

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zontaler Richtung verstellbar ist, und daß jede dieser Zwischenstützen als vertikale Gleit- und Spannschiene für Haltezapfen dient, deren Stellung in der Höhe verstellbar ist und die die Scheiben, Tafeln od.dgl. am betreffenden Chassis haltern, wobei gewisse einem Chassis angehörende Zwischenstützen mit ihren iialtezapfen nach dessen einer -oeite und die anderen Zwiscnenstützen desselben Chassis mit ihren Haltezupfen nach dessen anderer Seite weisen.

11) Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten horizontalen Führungen aus Flacheisen gebildet sind, die die äußeren stützen des betreffenden Chassis verbinden, während die Zwischenstützen einerseits mit einer an ihnen befestigten Hatte versehen sind, die sich gegen eine der i.-nten der Flacheisen abstutzen kann, die diese Stutzen an einem ihrer Enden fünren, und andererseits eine Schraubenmutter aufweisen, in welche eine Schraube eingreift, die durch Schraubung in dieser Schraubenmutter eine Platte gegen eine Kante der Flaelieisen abstützt, die diese Stützen an i^rem anderen Ende führen.

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OWGtNAL

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12) Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Zwiochenstützen aus -^ohren gebildet sind, die einen vertikalen Schlitz aufweisen, in welchem sich IQemmschrauben für Gieitstücke bewegen, die in diesen Rohren angeordnet sind und die die genannten Haltezapfen tragen.

13) Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 7 bis 9» dadurch gekennzeichnet, daß die auswechselbaren Chassis vertikale Führungen aufweisen für horizontale Zwisehentraversen, deren Stellung in vertikaler Sichtung verstellbar ist und die mit klammern versehen sind.

14-) Verfahren, wie vorstehend beschrieben.

15) Vorrichtung, wie vorstehend beschrieben und in der Zeichnung dargestellt.

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