DE1596827A1

DE1596827A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer duennen Schicht

Info

Publication number: DE1596827A1
Application number: DE19671596827
Authority: DE
Inventors: Pierre Bohain; Emile Plumat; Albert Servais
Original assignee: Glaverbel Belgium SA
Current assignee: AGC Glass Europe SA
Priority date: 1966-05-18
Filing date: 1967-03-18
Publication date: 1971-04-01
Also published as: SE317475B; NL6706804A; DK120773B; ES337717A1; LU51137A1; JPS5030651B1; US3683848A; JPS4841248B1; FI45753C; AT265562B; IL27816A; FI45753B; NO119443B; GB1179636A; CH481847A; ES349597A1; US3519467A; BE694289A

Description

DR. MÜLLERtBORE DlPL.-ING. GRALFS DR. MANlTZ

PATENTANWÄLTE

Braunschweig,

Unser Zeichen: I/Deu - G 1624-

G-I a ν e r b el
79.» Avenue Louise
Brüssel 5- / Belgien

Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer dünnen Schicht

Priorität: Luxemburg vom 18. Mai 1966 Hr.. 51.137

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung einer dünnen Schicht auf mindestens einer der Flächen einer Glasscheibe, wobei die dünne Schicht aus mindestens einem Metalloxyd bosbehb, das aus einem Metall salz in i'orm einer organiochen Lösung hergestellt ißt.

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Es sind mehrere Verfahren zur Erzeugung dünner Schichten auf Glasscheiben bekannt, bei denen eine Lösung metallorganischer Salze verwendet wird, aus der nach Beseitigung des Lösungsmittels eine dünne Schicht aus Metalloxyden entsteht. Bei einigen der bekannten Verfahren wird die Glässcheibe bis nahe zum Erweichungspunkt des Glases erwärmt. Wenn die Glasscheibe diese Temperatur erreicht hat, wird sie sofort in eine Lösung von Alkohol und Essigsäure, die Zinnchlorid enthält, getaucht. Die Glasscheibe wird einige Sekunden in der Lösung gehalten und dann herausgezogen und in freier Lufb oder eventuell in einem Ofen abgekühlt. Diese Verfahren sind hinsichtlich der Gleichförmigkeit der Dicke der erzielten dünnen Schicht i»renig zufriedenstellend. Weiterhin haben diese Verfahren den Nachteil, daß das Glas vor dem Eintauchen auf eine hohe Temperatur.erwärmb werden muß und daß immex* beide Flächen einer Glasscheibe behandelb werden müssen, selbst wenn es wünschenswert ist, nur auf einer Fläche eine dünne Schicht zu erhalten. (US-Patafcschrifb 2 429

Naoh anderen bekannten Verfahren wird eine Glasscheibe in eine Lösung meballorganischer Salze getaucht, die in einem unter einer Sohutzkammer angeordneten Behälber enthalten lab. Nach dem Eintauchen wird die Glasscheibe

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in das Innere der Schutzkammer zurückgezogen. Dann wird das Lösungsmittel entfernt, indem die Glasscheibe aus der ,^Schatzkammer herausgenommen wird. Schließlich kann die so "behandelte Glasscheibe einer. Erwärmung unterzogen werden. Die Ergebnisse, die mit diesen Verfahren erzielt werden, sind hinsichtlich der Gleichförmigkeit der Dicke der erzeugten Schicht wenig interessant j und weisen wegen des schlechten Anhaftens der Lösung an bestimmten Stellen der Glasscheibe Fehlstellen auf. Auch mit diesen Verfahren lassen sich nur beide Flächen der Glasscheibe behandeln, selbst dann, wenn nur eine Fläche mit einer dünnen Schicht überzogen werden soll. (Belgische Patentschrift ^O 850).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, mit der auf einfache Weise sowohl eine als auch beide Seiten einer Glasscheibe mit einer dünnen Tletalloxydschicht von gleichmäßiger Stärke ,überzogen werden können.

Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Glasscheibe zunächst einer Atmosphäre, die Dämpfe des Lösungsmittels enthält, ausgesetzt wird, daß dann die Lösung auf mindestens eine der Scheibenflächen aufgebracht wird und daß schließlich auf dieser Fläche eine dünne

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Metalloxydschicht gebildet wird, indem die überzogene Glasscheibe mindestens einer weiteren, wärmer eingestellten Atmosphäre ausgesetzt wird.

Mit diesem Verfahren ist es möglich, die Gleichförmigkeit der Dicke einer dünnen Metalloxydschicht merklich zu verbessern, wenn die Glasscheibe einer Atmosphäre ausgesetzt wird, die Dampfe des Lösungsmittels enthält. Es" scheint, daß diese Verbesserung in der Gleichförmigkeit der Dicke der dünnen Schicht in erster Linie einem besseren Haften der Lösung an der Oberfläche der mit dem Lösungsmittel befeuchteten Glasscheibe zugeschrieben werden kann. Im Hinblick auf diese, bessere Haftung kann die Lösung je nach Bedarf mit einer oder mit beiden

. Flächen in Berührung gebracht werden, ohne daß die Glasscheibe eingetaucht werden muß. Bisher ist der Eintauchvorgang in dem einen wie in dem anderen Fall als interessant betrachtet worden, um eine relativ regelmäßige dünne Schicht zu erzeugen. Für den Fall, daß eine dünne Schicht

'nur auf einer der Flächen einer Glasscheibe erzeugt werden soll, ist das Verfahren gemäß der Erfindung besonders wirtschaftlich.

Bei Versuchen hat sich gezeigt, daß es besonders vorteilhaft ist, während des Aufenthalts der Glasscheibe in der Atmosphäre diese mit Dämpfen des Lösungsmittels bis nahe

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zum Sättigungspunkt anzureichern, "bevor die Glasseheibe mit der Lösung in Berührung gebracht wird. Unter diesen • Bedingungen kann die Einwirkungszeit auf d-fc-e Glasscheibe herabgesetzt werden, ohne dabei Vorteile einzubüß-en.

Dio Dicke der dünnen Metalloxydschicht kann dadurch eingestellt werden, daß die Konzentration des Metallsalzes in der organischen Lösung verändert wird. In vielen Anwendungsfällen, beispielsweise bei der Herstellung optischer Schichten, bietet diese Eigenschaft

den des -Verfahrens gemäß der Erfindung/besonders nennenswerten

Vorteil, bestimmte Schichtdicken erzielen zu können.

±n_t anderen Fällen kann die Dicke der dünnen Metalloxydnchient auch dadurch eingestellt werden, daß die Konzentration der Dämpfe des Lösungsmittels in der Atmosphäre, der di^!e überzogene Glasscheibe ausgesetzt wird, verändert wird. Auch kann die Dicke der dünnen Metalloxydschicht dadurch eingestellt; werden, daß in der Atmosphäre, der alri überzogene Glasscheibe ausgesetzt wird, eine bestimmte Konzern bunt,.lon der Dämpfe des Lösungsmittels eingestellt una die Aufenthaltsdauer dor Glasscheibe in dieser Atmosphäre- verändert wird.

VortoilhafberweLse wird die Lösung dadurch auf die .-Scheiben!lache aufgebracht, daß sie über diese■ !»'lache .

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gegossen wird. Diese Verfahrensweise ist besonders dann angebracht, wenn nur eine Scheibenfläche mit einer dünnen Schicht überzogen werden soll. Weiterhin läßt sich diese Verfahrensweise den verschiedenen Stellungen, die die zu überziehende Scheibenfläche einnehmen kann, gut anpassen. Natürlich werden die Scheiben sehr oft in die extremen Stellungen, vertikal und horizontal gebracht, da sie in dieser Lage leicht zu transportieren sind.

Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Diese Vorrichtung umfaßt eine Kammer, Einrichtungen zur Erzeugung einer mit Lösungsmitteldampf en angereicherten Atmosphäre von Raumtemperatur in der Kammer, Einrichtungen zum Entfernen der Lösungsmitteldämpfe aus der Kammer, Einrichtungen, mit denen die Lösung in der Kammer auf die Scheibenfläche aufgebracht wird, mindestens eine weitere Kammer mit wärmer eingestellter Atmosphäre und Einrichtungen zum Halten und

der Scheiben durch die Kammern.

O¹Iir größere Serien wird eine andere Ausführungsfoxnn gewählt, bei der die Scheiben kontinuierlich durch dlo Vorrichtung laufen. Eine üolclio Anordnung umL'aßt zwei Kamm am mit einer Atmosphäre von Raumtemperatur, die·

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"beide mit den Einrichtungen zur Erzeugung einer mit

«■Lösungsmitteldämpfen angereicherten Atmosphäre versehen sind und "bei denen die Einrichtungen zum Aufbringen der Lösung und zum Entfernen von Lösungsmitteldämpfen in der zweiten Kammer angeordnet sind.

Mit solchen Vorrichtungen läßt sich auf einer oder "beiden Flächen einer Glasscheibe eine dünne Schicht von sehr gleichmäßiger Dicke herstellen. Für den Fall, daß nur eine Fläche überzogen werden soll, erweist sich die Vorrichtung gemäß der Erfindung als sehr wirtschaftlich.

In den meisten Anwendungsfällen der Vorrichtung wird zur Aufbringung der Lösung auf eine Scheibenfläche ein Flüssigkeitsverteiler verwandt, der in geringem Abstand von der Scheibenfläche parallel zu dieser angeordnet ist. Diese vorteilhafte Ausführungsform der Vorrichtung wird besonders gern bei Anordnungen angewandt, in denen die Glasscheiben die extremen Stellungen, vertikal und horizontal einnehmen, in denen sie sich leicht transportieren lassen.

Die Erfindung ist in der Zeichnung in mehreren AusfühWgsbeispielen veranschaulicht und im nachstehenden im einzelnen beschrieben.

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Fig. 1 zeigt einen vertikalen Schnitt durch eine Anordnung mit einer ersten Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung.

Pig. 2 zeigt einen partiell vertikalen Schnitt längs der Linie H-II aus Fig. 1.

Fig. 3 zeigt einen vertikalen Schnitt durch eine Anordnung mit einer anderen Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung.

Fig. 4 zeigt einen vertikalen Schnitt durch eine Anordnung mit einer weiteren Ausführuhgsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung.

Fig. 5 zeigt einen vertikalen Schnitt längs der Linie V-V aus Fig. 4.

In Fig. 1 und 2, die eine Einrichtung zeigen, "bei der eine erste Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung Anwendung findet, sind drei Kammern 1, 2 und 3 dargestellt, die in vertikaler Richtung übereinander angeordnet sind.

Die unterste Kammer 1 besteht aus Seitenwänden 4 und 5» Längswänden 6 und 7 sowie einem Boden 8. Durch die

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Seitenwände 4 und 5 sowie die Längswände 6 und 7 erstrecken sich im unteren bzw. oberen Bereich Anschlußrohre 9a und 9b, 9c und 9d, 10a und 10b, 10c und 1Od, die mit in der Zeichnung schematisch dargestellten Ventilen 11a und 11b, lic und 11d, 12a und 12b bzw. 12c und 12d versehen sind. IXirch den Boden 8 erstreckt sich außerdem eine Absaugleitung 13, die mit einem Ventil 14- versehen ist. Zum Absperren der Kammer 1 sind unmittelbar über der Kammer 1 zwischen der Kammer 1 und der Kammer 2 vier bewegliche Trennwände 15 vorgeßenen. Jn Fig.. 1 und 2 sind die Trennwände 15 in ausgefahrener Stellung dargesbellt; zum Öffnen der Kammer 1 werden die Trennwände 15 in seitlich angeordnete Gehäuse Io zurückgezogen.

Die Kammer 2 ist aus Seitenwänden wie 17 und 18 gebildet, -die in Verlängerung der Seitenwände 4 und 5 der Kammer 1 angeordnet; sind. In den unteren und oberen UereichV&er Seitenwände wie 17 und 18 3ind ebenso wie bei Kammer 1 Anschlußrohre wie 19a und 19b bzw. 20a und 20b angeordnet, die mit Ventilen 21a und 21b bzw. 22a und 22b versehen Bind. Zur Trennung der Kammer 2 von der Kammer sind bewegliche Trennwände 23 angeordnet, die den Trennwänden 15 enbapreohen. In 1'¹Ig". 1 sind die Trennwände 23 in für üie vorgesehene Gehäuse 24 zurückgezogen dargestellt.

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Die ausgefahrene Stellung der Trennwände 23 ist gestrichelt dargestellt.

Die Kammer 3 ist ebenfalls aus Seitenwänden wie 25 und gebildet, die in Verlängerung der Seitenwände wie 17 bzw. 18 der Kammer 2 angeordnet sind. Durch die Seitenwände erstrecken sich Anschlußrohre wie 27a und 27b bzw. 28a und 28b, die mit Ventilen 29a und 29b bzw. 30a und 30b versehen sind. Ebenso wie bei der Kammer 2 sind für die Kammer 3 bewegliche Trennwände 31 vorgesehen. In Ij¹Ig. 1 sind die Trennwände 31 in für sie vorgesehene Gehäuse 32 zurückgezogen dargestellt. Die ausgefahrene Stellung der Trennwände 31 ist gestrichelt dargestellt.

In Verlängerung der Seitenwände 25 und 26 der Kammer 3 sind zwei Metallständer 33 und 34· angeordnet, die über der Kammer 3 an ihren oberen Enden Rollen 35 bzw. 36 tragen. Über die Rollen 35 und 36 laufen zwei Kabel 37 bzw. .38, an deren unteren Endenein Zugscheit 39 befestigt ist, das mit den Kabeln durch die drei Kammern 1, 2 und 3 gezogen werden kann. Das andere Ende jedes Kabels wickelt sich auf eine von einem Hobor angetriebene Trommel. In tfig. 1 sind Trommel und Wobor nicht dargestellt. An dem Zugsoheit 39 sitzen Zangen 40, die eine Glasscheibe 41 tragen können. Die an den Zangen aufgehängte

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Scheibe 41 kann leicht durch die drei Kammern 1, 2 und transportiert werden.

Die Kammer 1 umfaßt weiterhin im oberen (Teil einen .Flüssigkeitsverteiler 42 zum Übergießen der Scheiben. Dieser ist an beiden. Baden mit Rohrleitungen 4$ bzw. "verbunden, die mit Ventilen 45 bzw. 45 versehen sind und zu Behältern 4-7 bzw. 48 führen, die zur Zufuhr einer Flüssigkeit 49 dienen. Die beiden Behälter 47 und 48 sitzen auf !Prägern 50 bzw, 51, die außen an den Seitenwänden 1? bzw- 1Θ der Earner 2 befestigt sind.

Die oben beschriebene und in den Fig. 1 ,und 2 dargestellte Anlage arbeitet wie folgt·

Nachdem die Glasscheibe 41 in die Kammer 1 unter das Niveau der Gehäuse 16 hinuntergelassen ist, wird die Kammer 1 verschlossen, indem die beweglichen Trennwände 15 aus den Gehäusen 16 herausgezogen werden. Die Anschlußrohre 9a, 9"b_s 9c und 9d sowie 10a, 10b, 10c und 1Od werden an einen in den Fig. 1 und 2 nicht dargestellten Behälter angeschlossen. Dieser enthält Dämpfe des Lösungsmittels bei gewöhnlicher "Temperatur. In diesem Beispiel besteht das verwendete lösungsmittel aus Äthylalkohol. Dann werden die Ventile"11a, 11b, 11c und 11d sowie 12a, 12b, 12c und 12Jgeöffnet, so daß die Alkoholdämpfe in die

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Kammer 1 einströmen können. Diese bespülen die Glasscheibe 41 und sind in diesem Beispiel so weit angereichert, daß in der Kammer 1 eine nahezu gesättigte Atmosphäre entsteht. Wenn die Oberflächen der Glasscheibe 41 so durch die Alkoholdämpfe befeuchtet sind, werden die Ventile 45 und 46 geöffnet, so daß, wie in Fig. 2 dargestellt, eine Fläche 52 Übergossen wird. Die Flüssigkeit 49a, mit der die Fläche 52 Übergossen wird, ist in diesem Falle eine alkoholische Lösung eines Titanesters, wobei 8 Gramm TiOp in einem Liter Lösung enthalten sind -und die Viskosität etwa zwei Centipoise beträgt. Etwa eine Minute lang wird eine

2 Flüssigkeitsmenge 49a von etwa einem Liter pro m xsl der zu beschichtenden Fläche über die Glasscheibe gegossen, so daß sich, wie in Fig. 2 dargestellt, eine Flüssigkeitsschicht 53 bildet. Wenn die Flüssigkeit 49a über die ganze Oberfläche 52 der Glasscheibe 41 herabgerieselt ist, wird die nicht benötigte Flüssigkeitsmenge, die im unteren Teil der Kammer 1 aufgefangen wird, durch die .Leitung 13 nach Öffnung des Ventiles 14 entnommen, •nachdem die Ventile 11a, 11b, 11c und 11d sowie 12a, 12b, 12c· und 12d vorher geschlossen worden sind. Nachdem die nicht benötigte Flüssigkeit entfernt ist, wird das Ventil 14 geschlossen und es wird wie folgt verfahren, um die in der Kammer 1 verbliebenen Alkoholdämpfe zu

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entfernend Zunächst v/erden einerseits die Anschluß rohre '10a, 10Td, 10c und -IOd mit einem in der Zeichnung nicht dargestellten Behälter verbunden, der Luft von einer relativen feuchtigkeit von etwa 30 % enthält, und andererseits die ab lauf leitung 13 mit einem in der Zeichnung nicht darge- £.bellten an-aeren Behälter, in welchem ein Unterdruck erzeugt v/erden kann. Dann werden die Ventile 12a, 12b, 12c und 121 und 14 geöffnet, so daß die Alkoholdäitipf e abgesaugt v/erden können und gleichzeitig Luft von einer relativsn Feuchtigkeit von etwa 30 % in die Kammer 1 ein- ;;tröiaen kann.

liHCii der Entfernung der iilkoholdämpf". werden die Trennv/ön-ie 1'5 in die Gehäuse 16 zurückgezogen und die be-* fouchixfce Glasscheibe-wird in die Kammer 2 bis zu einem ii-ive.au angehoben, bei dem nach dem i>iirchgang der bej." οι ι c rite ton Glasscheibe die Trennwände 1^r) und 23 aus iiiren Gonäusen 16 bzw. ?Λ ausgefahren werden können. Wenn die ll/jmri^x' 2 nc verschlossen int, werdfin die Anschlußrohre wie- Ύ)·\ und 19b mib in i'ig. 1 nicht dargestellten Luftvorwärmern verbunden und e.n v^erden die Ventile- 21a und 21b ;;e-jffnob', so daß in die Kammer 2 auf 70° erwärmto Luft einströmen kann. Auf diese Weifse wird das in der üchichb 5:3 noch verbliebene organische Lösungsmitbel schnell entfernt. Um eine gute Trocknung herbeizuführen, wird bei dieaom BeinpLel die Glasscheibe etwa 6 Miimben lang der Tt'Hfperabur ^ofi ^r/Ü 0 auageaebzb.

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Nach der Trocknung werden die Trennwände 23 in die Gehäuse 24 zurückgezogen und die Glasscheibe wird schnell in die Kammer 3 gebracht. Um einen Wärmeschock auf die Glasscheibe zu vermeiden, wird die Kammer 3 in diesem Falle auf eine Temperatur von etwa 70 0 erwärmt, bevor die Glasächeibe nach der Trocknung hereinkommt. Zur Aufheizung der Kammer 3 werden die Trennwände 31 aus den Gehäusen 32 vorgezogen und es werden, nachdem die Ansciilußrohre wie 27a und 27b mit weiteren in Fig. 1 nicht dargestellten Luftvorwärmern verbunden sind, die Ventile 29a und 29b geöffnet, um die auf 70° C erwärmte Luft in die Kammer 3 einströmen zu lassen. Nachdem die Glasscheibe in die Kammer 3 gelangt ist, werden die Trennwände 23 erneut aus den Gehäusen 24 vorgezogen. Dann wii'd auf zunehmend höhere Temperatur erwärmte Luft durch diese weiteren Luftvorwärmer geschieht, die leistungsstärker als jene sind, die zur Aufheizung der Kammer 2 verwendet werden. Die Luft, mit der die Glasscheibe in der Kammer 3 zusammengebracht wird, wird auf ebwa 450° C erwärmt, und es wird diese Temperatur zum Brennen der Schicht etwa Minuten aufrechterhalten. Während des Aufenthaltes der Glasscheibe in dieser realtiv wannen Umgebung wird das Titanhydroxid in Tibanoxyd übergeführt. Nach der Brennzeib" wird die Temperatur der in die Kammer 3 sbrömenden Luft zunehmend abgeseiikb, bis «ie eine biefexⁱo Temperatur erreicht, die sich, sowohl auf die Glasscheibe als auch auf die dünne Titanoxydschichb nicht nachteilig auswirkt.

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Bei dem oben beschriebenen Verfahren liegt die Stärke der erzielten dünnen Schicht in der Größenordnung von 60

Die Einrichtung eignet sich für die Einzelfertigung oder kleine Serien. Für größere Serien ei§en sich besser die im folgenden beschriebenen Einrichtungen.

Fig. 3 zeigt eine andere Ausführungsforiii der Vorrichtung gemäß der Erfindung. Bei dieser Einrichtung sind drei Kammern 54-, 55 und 56horizontal nebeneinander angeordnet, wobei ein Pfeil 57 die Durchlauf richtung der Glasseheiben anzeigt. In Pfeilrichtung sind die Kammern 5²I-, 55 und 56 durch vertikale Wände 58, 59 ₅ 60 bzw. 61 abgegrenzt und können zeitweilig durch bewegliehe Trennwände 62, 63, 64 und 65 verschlossen werden. Im geöffneten Zustand sind die Trennivände in Gehäusen 66, 67» 68 bzw. 69 untergebracht, aus denen sie längs der vertikalen Wände herabgelassen werden können. Oben sind.die drei Kammern 54-, 53 und 56 durch Decken ?0, 71 und 72 verschlossen. Hach Fig. ziehen sich durch Jede der drei Decken zwei Anschlußrohre, wobei die Decke 70 Anschlußrohre 73 und 74- aufweist, die mit Ventilen 75 bzw. 76 versehen sind, Die Decke 71 weist Anschlußrohre 77 und 78 auf, die mit Ventilen 79 bzw. 80 versehen" sind und die Decke 72 weist Anschlußrohre 81 bzw. 82 mit Ventilen 83 bzw. 84- auf.

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Nach, unten. Mn sind die drei Kammern 54» 55 "und 56 durch eine keramische Verkleidung· 85» ein MetalTbe£|cen 86, das eine mit einem Yentil 88 versehene Abflußleitung δ? aufweist, bzw» durch einen mit keramischem Material ausgelegten Boden 89 verschlossen.

Über die drei Kammern 54·» 55 "und 56 erstreckt sich eine Schiene 90, die von den vertikalen Wänden 58, 59, 60 und 61 getragen wird. Auf der Schjaie 90 laufen Rollen 91, an denen Haltezangen 92 für Glasscheiben 93, 94- und

95 vorgesehen sind, wie in Fig. 3 dargestellt.

Im oberen Teil der Kammer 55 ist ein Flüssigkeitsverteiler

96 angeordnet, dessen Mitte an eine mit einem Yentil 98 versehene Rohrleitung 97 angeschlossen ist, die zu einem mit Flüssigkeit 100 gefüllten Behälter 99 führt. Der Behälter 99 wird von Konsolen 101 und 102 getragen, die an den Gehäusen 67 bzw. 68 befestigt sind.

'Die oben beschriebene und in Fig. 3 dargestellte Einrichtung arbeitet folgendermaßen:

Die Glasscheibe 93 wird-in die Kammer 5^- eingebracht und es werden die Trennwände 62 und 63 herabgelassen. Nachdem die Anschlußrohre 73 und 7^- mit einem in Fig. J nicht dargestellten Behälter, der Dämpfe des Losungs-

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mittels "bei gewöhnlicher Temperatur enthält, angeschlossen sind, werden'die| Ventile 75 und 76 geöffnet, um die Dämpfe des Lösungsmittels in die Kammer ^A- eintreten zu lassen. Bei diesem Beispiel besteht das verwendete organische lösungsmittel aus Butylalkohol. Um einen ausreichenden niederschlag auf der Oberfläche der Glasscheibe 93 zu erreichenj wird die Atmosphäre, die bis nahe zum Sättigungspunkt mit Alkoholdämpfen angereichert ist,

In der Kammer 55 ist eine andere Glasscheibe 94- gezeigt, die die Kammer 54- bereits durchlaufen hat und dabei den in Verbindung mit der Scheibe 93 oben beschriebenen Bedingungen ausgesetzt worden ist. In diesem Beispiel wird die Glasscheibe 9⁷I einer mit Alkoholdämpfen gesättigten Atmosphäre ausgesetzt, die vorher durch Öffnung der Ventile 79 und 80, die in den Anschlußrohren 77 bzw. ^r/ö vorgesehen sind, eingelassen worden ist. Die Anschlußrohre 77 und 7Ö sind mit einem in 1'¹Ig. 3 nicht dargestellten Behälter verbunden, der die Dämpfe des Lösungsmittels bei gewöhnlicher Temperatur enthält. Nach dieser Behandlung wird die Glasscheibe auf einer Seite Übergossen, indem das Ventil 98, das die Flüssigkeit- 100 absperrt, geöffnet wird. In diesem Falle besteht die Flüssigkeit 100a aus einer alkoholischen Losung eines Eater« und enthält 20 Gramm TiOo pro Liter

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der Lösung. Innerhalb einer Minute wird eine Flüssigkeits-

2 menge 100,. von etwa einem Liter pro m der zu beschi/cenden Oberfläche über die Glasscheibe 94- gegossen, wobei eine in Fig. 3 nicht gezeigte Flüssigkeitsschicht entsteht, die der in Fig. 2 gezeigten Schicht 53 entspricht. Ebenso wie in dem vorangeheiö. en Beispiel wird die herabrieselnde, nicht benötigte Flüssigkeitsmenge 100 in dem Metallbecken 86 aufgefangen und durch Öffnung des Ventiles 88 durch die Leitung 87 abgelassen, nachdem . zuvor die Ventile 79 und 80 verschlossen worden sind. Nachdem die nicht benötigte Flüssigkeit entnommen worden ist, wird das Ventil 88 verschlossen und die in der Kammer 55 verbliebenen Alkoholdämpfe werden entfernt. Dabei wird wie folgt verfahren. Zunächst werden einerseits die Anschlußrohre 77 und 78 mit einem in der Zeichnung nicht dargestellten Behälter verbunden, der Luft mit einer relativen Feuchtigkeit von etwa 30 % enthält, und andererseits die Auslaßleitung87 mit einem in der Zeichnung nicht dargestellten Behälter, in welchem sich ein Unterdruck erzeugen läßt. Dann werden die Ventile 79» 80 und 88 geöffnet, so daß die Alkoholdämpfe in den Behälter gesaugt werden und gleichzeitig Luft mit einer relativen Feuchtigkeit» von etwa 30 % in die· Kammer 55 strömen kann.

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In der Kammer 56 ist eine weitere Glasscheibe 95 gezeigt, die die Kammer 55 bereits durchlaufen hat und dabei den in Verbindung mit der Glasscheibe 94- oben beschriebenen Bedingungen unterworfen worden ist. Wenn die Glasscheibe 95 in eier Kammer 56 ihre Stellung erreicht hat, werden die Trennwände 64- und 65"zum Verschließen der Kammer herabgelassen und es wird das Anschlußrohr 81 mit einem in JM g. 3 nicht dargestellten Luftvorwärmer verbunden. Dann wird das Ventil 83 geöffnet, so daß auf etwa 90° G erwärmte Luft in die Kammer 56 einströmen kann. Auf diese Weise wird das organische Lösungsmittel, das noch in der Schicht auf der Scheibenfläche verblieben war, entfernt. In diesem Beispiel -wird die Glasscheibe etwa 5 Minuten lang der Temperatur von 90° C ausgesetzt, um eine gute Trocknung zu erreichen.

In dem in ELg. 3 gezeigten Anwendungsfall ist die auf die Kammer 56, in der die Trocknung vollzogen wird, folgende Station, in der die auf der Glasscheibenfläche befindliche Schicht gebrannt wird,-nicht dargestellt, denn diese Behandlung ist leichter zu erreichen, als die vorangehenden und erfordert keine eingestellte Atmosphäre. Das Brennen kann sehr gut in einem Raum erfolgen, in welchem Infrarotlampen vorgesehen sind, zwischen denen die überzogene Glasscheibe hindurchläuft.

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Unter diesen Bedingungen wird die überzogene Glasscheibe bis auf eine Temperatur von 4-00° G aufgeheizt und 15 Mnuten lang bei dieser hohen Temperatur gehalten. Nach dem Brennen ist die Glasscheibe mit einer dünnen Titanoxydschicht von gleichmäßiger Dicke in der Größenordnung von 150 mu überzogen.

Die Fig. 4- und 5 zeigen noch eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung. Ein Förderer 103 umfaßt vertikale Ständer 104 und horizontale Träger, 105, zwischen denen TransportroIlen 106,angeordnet sind, und trägt drei Kammern 107, 108 und 109, die horizontal nebeneinander angeordnet sind und in Pfeilrichtung von den Glasscheiben durchlaufen werden. Bei diesem An-WEndungsfall sind die drei Kammern 107y 108 und 109 aus trogförmigen unteren Teilen" 111, 112 und 113 und deckeiförmigen oberen Teilen 114, 115 und 116 zusammengesetzt. Die trogförmigen Teile 111, 112 und 113 sind an den vertikalen Ständern 104 befestigt, während die dec.ke.lförmigen Teile 114, 115 und 116 auf Klötzen 117 und 118 - ruhen, die an die horizontalen Träger 104 angeschweißt sind. Durch die Deckel erstrecken sich je zwei Anschlußrohre 119 und 120, 121 und 122 bzw. 123 und 124, die mit' Ventilen 125 und 126, 127 und 128 bzw. 129 und I30 versehen sind. Die trogförmigen und deckeIförmigen Teile

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sind derart angeordnet, daß in den drei Kammern Eingänge 131, 132 "bzw. 133 und Ausgänge 134,'135 bzw. 136 entstehen, die relativ eng und über die Transportrollen ausgerichtet sind. Schließlich enthält die Kammer 108 noch eine Auslaßleitung 137» cLie an das trogförmige Teil 112 angeschlossen und mit einem Ventil 138 versehen ist, sowie einen Flüssigkeitsverteiler 139· Der Flüssigkeitsverteiler 139 ist mit dem. Ende einer Rohrleitung 140 verbunden, die mit einem Ventil 141 versehen ist und zu einem mit einer Flüssigkeit 143 gefüllten Behälter 142 führt..■ Fig. 4 zeigt noch drei Glasscheiben 144, 145 und 146, die von den Transportrollen -106" getragen werden, wobei dB Scheiben 145 und 146 mit einer Flüssigkeitsschicht 147 bedeckt sind.

Die oben beschriebene und in Fig. 4 und 5 dargestellte Einrichtung arbeiteb in gleicher Weise wie die in Fig. dargestellte Einrichtung. ·

Selbstverständlich sind noch weibere Ausführungsformen möglich, so daß die Erfindung nicht nur auf die in der Zeichnung dargestellten Beispiele beschränkt ist.

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Claims

Ansprüche

1. Verfahren zur Erzeugung einer dünnen Schicht auf

• mindestens einer der Flächen einer Glasscheibe, wobei die dünne Schicht aus mindestens einem Metalloxyd besteht, das aus einem Metallsalz in Form einer organischen Lösung hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasscheibe zunächst einer Atmosphäre, die Dämpfe des Lösungsmittels enthält, ausgesetzt wird, daß dann die Lösung auf mindestens eine der Scheibenflächen aufgebracht wird und daß schließlich auf dieser Fläche eine dünne Metalloxydschicht gebildet wird, indem die überzogene Glasscheibe mindestens einer weiteren, wärmer eingestellten Atmosphäre ausgesetzt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während des Auf enthalte der G-lasscheibe in der. Atmosphäre, die Dämpfe des Lösungsmittels enthält, die Atmosphäre mit den Dämpfen des Lösungsmitbels bis nahe zum Sättigungspunkt angereichert wird.

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3. Verfahren nach einem der Ansprüche. 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der dünnen Metalloxydschicht durch Änderung der Konzentration des Metallsalzes in der organischen lösung eingestellt wird.

4-. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet ,■ daß die Dicke der dünnen Metalloxydschicht durch Änderung der Konzentration der Dämpfe des Lösungsmittels in der Atmosphäre der diejbefeuchtete Glasscheibe ausgesetzt wird, eingestellt wird. -

5· Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der dünnen Metalloxydschicht durch Einstellung einer bestimmten Konzentration der-Dämpfe des Lösungsmittels in der Atmosphäre, der die befeuchtete Glasscheibe ausgesetzt wird, und durch Änderung der Aufenthaltsdauer der Glasscheibe in dieser Atmosphäre eingestellt wird.

6. Verfahrennach einem der Ansprüche 1 - 5₅ dadurch gekennzeichnet, daß -die Lösung auf die Scheibenfläche gegossen wird.

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7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Kammer (1), durch Einrichtungen zur Erzeugung einer mit Lösungsmitteldämpfen angereicherten Atmosphäre von Raumtemperatur in der Kammer C^-I)? durch Einrichtungen zum Entfernen der Lösungsmitteldampfe aus der Kammer (1), durch Einrichtungen, mit denen die Lösung in der Kammer (1) auf die Scheibenfläche aufgebracht wird, durch mindestens eine weitere Kammer (2, 5) mit wärmer eingestellter Atmosphäre und durch Einrichtungen zum Halten und Transportieren der Scheiben durch die Kammern.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7j gekennzeichnet durch zwei Kammern (54, 55) mi"b einer Atmosphäre von Raumtemperatur, die beide mit den Einrichtungen zur Erzeugung einer mit Lösungsmitteldämpfen angereicherten Atmosphäre •versehen sind und bei denen die Einrichtungen zum Aufbringen der Lösung und zum Entfernen von Lösungsmitteldämpfen in der zweiten Kammer (55) angeordnet sind.

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•9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß ei-ne Einrichtung, mit der die .Lösung auf die Seheibenfläche gebracht wird," einen J'liissigkeitsverteiler (^zlr2; 96; '139) umfaßt, der in geringem Abstand "von der Scheibenfläche parallel zu dieser angeordnet ist. ·

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