DE1590867A1

DE1590867A1 - Verfahren zur Herstellung von Widerstandselementen

Info

Publication number: DE1590867A1
Application number: DE19651590867
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Victory Engineering Corp
Current assignee: Victory Engineering Corp
Priority date: 1965-02-03
Filing date: 1965-12-23
Publication date: 1970-04-16
Also published as: GB1054525A; US3392054A

Description

ΓΑΤΕ NTANWALTE

DR.-INQ. H. FINCKE DIPL.-ING. H. BOHR DIPL.-INQ. S. STAEQER

Nrnriif. 22 4M1

8 MÜNCHEN 0,

Dr. Expl.

23.De? 1965 1590867

Mappe 6475 Case V-31

zur Patentanmeldung der.

Firma VICTORY ΕΝ&ΙΜΕΕΒΙΗα CORPORATION, Springfield, New Jersey, V. St„ v. Amerika

betreffendι

"Verfahren zur Herstellung von vriderstandeelemsnten¹*

Die Priorität der Anmeldung in den Vereinigten Staaten von Amerika vom 3. Februar 1965 wird in Anspruch genommen,

Die Erfindung betrifft eiektrieche tfideretawJselemente, insbesondere ein verbessertes Verfahren zur Heretellung von Dtinnfilmwiderständen der Art, die gegen Temporaturänderungen empfindlich oind UEd die als "Thermistoren" bezeichnet werden.

BAD ORIGINAL

009816/0933

-2-

-Z-

Bei der Herstellung von Sheraifttoren Ist ·· erwünscht, einen . Aufbau mit kleiner Zeitkonetante ku verwenden, d.h., der thermistor- soll eo konstruiert sein, dauer schnell erwärmt oder ι abgekühlt werden kann und dementsprechend eohnoll auf Temperaturänderungen durch charakteristische Änderungen des elektrischen tfiderstandes anspricht. Sine Möglichkeit, dieses Ziiol au erreichen, besteht darin, 'dem Thermistor die For* eines dünnen HLättchens au geben. . · . . ·

Bei- bekannten Verfahren zur Herstellung von blättchenförmigen Thermistoren wurde im Allgemeinen zunächst eine Faste aus den vorgesehenen Metelloxyden in einem geeigneten SrSger hergestellt, die Faste auf einer glatten Oberfläche« beispielsweise einen optisch glatten GIastrager, ausgestrichen, die Faste getrocknet, von !Drager abgenommen und bei höherer Temperatur gebrannt. Dieses Verfahren hatte eine Ansahl von Mach teilen, vor .allem muSten dünne, zerbrechliche Blättchen behandelt werden, und die Blättchen hatten eine neigung, eich beim Brennen zu krummen» Diete Heigung· zum Krümmen oder sram Verziehen wird eines Gradienten pn der Zusammensetzung des Fastenfilms über dessen Dicke augeechrieben, der dadurch hervorgerufen iet, daß schwerere Partikel in der Faste sich in der Nähe der Unterseite des Pilmee konsentricren.

n diese Schwierigkeiten zu vermeiden, aind verschiedene andere Verfahren vorgeschlagen worden. So ist beispielsweise vorge-

009816/0933 bad original

1590887

Bchlagen worden, den erwähnten Gradienten dadurch hu verringern, daß eine Hischung von Oxyden verwendet wurde, die zu «wei verschiedenen Korngrößen seraahlen eind, ua die Packungefraktion xu vergrößern. Dieses Verfahren hat deutliche Vorteile, ist jedoch allein keine vollständige Lösung dee Problems. ' .

Mn anderes Verfahren besteht darin, die Paste direkt in.einen Hohlrau» in dem Block tu verstreichen, an dem das Material angebracht werden soll, und es zusammen mit dem Block au brennen, statt zunächst das Blättchen su fönen und au brennen und es dann an den Block au kleben. Mit diesem Verfahren werden einige der oben erwähnten Nachteile vermieden, es treten jedoch Schwie-

rigkeiten auf, die Dicke und Gleichförmigkeit des Blättchene *u kontrollieren· ■

Hftoh einem weiteren Verfahren wird «mächet eine aetar oder wei niger flüssige Paste aus den Metalloxyden in einem thermoplastischen Binder hergestellt, diese auf die Oberfläche einer Vassermenge innexbalb eines .fiegrenzungsdaames getropft, um die Aus-, breitung des schwimmenden Pilms zu begrensen, das sohwinmende. Material auf einem perforierten keramischen Block aufgenommen und die Paste auf den Block gebrannt·

Yprfn.hren weist auch einige Vorteile gegenüber den älte ren Verfahren auf, ee ist jedoch schwierig zu kontrollieren, weil die Dicke dos fertigen Blättchens von vielen Paktoren ab-

BAD ORIGINAL 009816/0933

hängt, darunter der Konzentration der Oxyde in der Paste, der Viskosität des Trägers, der Größe des auf die Wasserfläche gegebenen Tropfens und der Fläche innerhalb dee Begrenzungsdammes.

Durch die Erfindung soll deBhalb ein verbessertes Verfahren zur Herstellung von Blättchen-Thermistoren verfügbar gemacht werden.

Vor allem soll ein zuverlässiges Verfahren zur Herstellung von Thermistoren verfügbar gemacht werden» die extrem dünn sind und eine extrem kurze Ansprechzeit haben.

Veit er soll ein Verfahren dieser Art verfügbar gemacht werden, bei dem keine zerbrechlichen Blättchen behandelt werden nüssen.

Weiterhin soll ein Verfahren verfügbar gemacht werden, bei den eine Krümm- oder Verziehneigung des Blattchens ebenso vermieden wird wie eine neigung des BlattChens, auf Grund von Zusammensetzunge- oder Sichtegradienten durch die Dicke des Blättchens vom Träger abzublättern.

Weiter soll durch die Erfindung ein Verfahren verfügbar gemacht werden, bei dem die Dicke des Blattchens leicht kontrolliert werden Icann, gieichiöraig ist und nur.von einer minimalen Anzahl von Variablen abhängt.

009816/0933

BAD ORIGINAL

Erfindungsgemäß wird oine Dispersion von Oxydpartikeln in einem iräger niedriger Oberflächenspannung und niedriger Viskosität verwendet.

Ferner wird erfindimgsgemäQ eine schwimmende Dispersion von Oxydpartikeln verwendet.

Forner wird erfindungsgemäß den schwimmenden Partikeln ermöglicht, sich frei über die Oberfläche des flüssigen Schwimm» mediums auszubreiten, und denn werden die schwimmenden Partikel horizontal zu einem im wesentlichen kontinuierlichen PiIm von der Stärke eines Partikels zusammengedrückt.

Weiterhin wird erfindungagemäß dieser Film vom flüssigen Medium dadurch abgenommen, daß ein keramischer Block unter den Flüssigkeitsspiegel gebracht und unter einem Winkel durch den.Film herausgezogen wird.

Weitere Ziele, Merkmale und Vorteile ergeben sioh aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung.

Die Erfindung besteht in der Auswahl und Anordnung von Verfahrens schritt en, die im Folgenden noch ngher erläutert sind.

Bei einer beeondcro zweckmäßigen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines tentperaturempfindlionen

BAD ÜRiGINAL

009816/0933

Vfidarot and eelement es wird eine Mischung aus Metalloxyden Bit eines Dieperaionatrager kombiniert, wird diese Mischung auf einer Fliissigkeitsoberflache zum Schwimmen gebracht, so daß eine Dispersion der Oxyde auf der Oberfläche gebildet wird, wird diese Dispersion horizontal zusammengedrückt, so daß ein im wesentlichen kontinuierlicher Film mit einer Dicke von einem Partikel gebildet wird, wird der film auf einen Träger aufgenommen, und der PiIm und der Träger werden bei einer Temperatur gebrannt, die wenigstens gleich der Sintertemperatur der Metalloxyde ist.

In der Zeichnung seigern

Pig. 1 eine perspektiviache Ansicht der Eur Bildung eines Oxydmaterialfilns nach dem erfindungsgeaäBen yerfahren ver- .

wendeten Vorrichtung}

Pig. 2 einen schematlschen Schnitt durch die Vorrichtung nach Fig. 1 mit Herstellung dor Art und Weise, in der der Film von der Flüssigkeitsoberflache weggenommen wirdι und

Fig· 3 eine perspektivische Teilansicht eines nach einer Aueführungeform des erfindungsgemäßen Verfahrene hergestellten Widerstandselementes.

Das Ausgangsmaterial für das erfindungagemäße Verfahren ist ein Material, das nach dem Brennen oder Härten einen hohen Wider-

009816/0933

—7—

stands-Teiiperaturkoeffisienten hat. übliche Materialien iur Herstellung von Thermistoren sind bekannt und brauchen in einzelnen nicht beschrieben zu werden. Solche üblichen Materialien sind beispielsweise "Tripeloxycl"-Zußßinmensetzungen. Ein Beispiel einer solchen Zusammensetzung ist das folgende:

Gewicht eprο sent an Metall und Oxyd

Manganoiyd Mn^O₄ 56,0 Hickeloxyd NiO 14,0 Cobaltoxyd CogO* 3QiO

100,0

Andere Anteile und andere Metalloxyde können ebenfalls verwendet werden, wie für den Fachmann wohl ersichtlich ist. Gewünschten» falls können, anstelle der Oxyde selbst auch Verbindungen rerwenäet werden, die beim Brennen die Oxyde ergeben« Solche Ver-. bindung en sollen auch im Folgenden gemeint «ein, wenn ron "Metalloxyden" gesprochen wird.

Die Metalioxydmischung wird so fein gemahlen, daß die Partikel Querschnitt abmessungen von weniger als ein Mikron haben· Vorzugsweise ist das Ausgangsmaterial bereits fein geteilt, es hat beispielsweise Querschriittabmessungen von 1,1 bis 1,4 Mikron. Auegangsmaterialien, die bereits fein unterteilt sind, werden bevorzugt, weil dann der Aufwand für den Mahlvorgang verringert wird, iijdem Material von weniger als einem Mikron Partikeldurch-

; 009816/0933 bad original

1 —β—

messer erzielt werden soll. Das Mahlen kann zweckaüßigerweise in einer abriebfesten Kugelmühle mit Kugeln aus Xonerde erfolgen. .

Sobald das Thermistomaterial zur erforderlichen Feinheit gemahlen ist, wird es vorzugsweise mit einem Disperaionevehikel · kombiniert, um des Schwimmen auf dem fills ο igen Hedium zu unterstutzen. Ea ist möglich, das DisperBionsmedium wegzulassen und einfach die trockenen Oxyd· auf dea flüeeigen Hedlun schwinen eu lassen, ee i*t jedoch schwierig, eine gute Di»pereion auf der yiiieeigkiiteoberflache ssu erhalten und ferner ist ee schwierig, dit Oxyde daran su hindern» daß sie sich beneteen und abf· sinken, sofern kein Diepereionetrflger rerwendet wird.

Der Bispersionsträger soll ein Material niedriger Viskosität und niedriger Oberflächenspannung ο·1η und aoll in de« sub Aufschwimmen verwendeten flüssigen Hedium (normalerweise Vaseer) unlöslich sein. Die Aufgabe dieses Dispereionsträgere besteht darin, den Partikeln das Auebreiten über die Oberfläche der SchwimnflUssigkelt zu erleichtern'· Ein Kunststoffbinder odtr dergleichen soll deshalb vermieden werben. Viele Dispersionsträger können verwendet werden, wie für den Fachmann klar sein dürfte_; Ein besonders wirksamer Diepersionsträger ist jedoch eine Lösung von 5# Amylacetat in Toluol der Qualität, die als geeignet zum Nitrieren bezeichnet wird.

*Μ> ORIGINAL 009816/0933 -9-

Die Kengθ des verwendeten Bispersionsträgers ist nicht kritisch, sofern genügend verwendet wird, um die Partikel sn überziehen und sie daran zu hindern, leicht voa Wasser benetst *u werden. Der Bequemlichkeit halber ist jedoch vorzuziehen, so viel Dispereionetrager zu verwenden, daß eine Flüssigkeitssuspension oder eine dünnflüssige Paste der Metalloxyde gebildet wird»

Die Metalloxyde 10 werden dann auf der Oberfläche einer Vasserraenge 11 zum Schwimmen gebracht, indem sie mit einem Spatel. 12 aufgenommen und auf der Oberfläche abgelegt werden. Statt dessen kann eine flüssige Suspension 13 der Metalloxyde auf die Oberfläche des Vfassera aus einem Trenntrichter 14 auf getropft werde-. In jedem Falle können sich die Oxyde frei über die Κολίγο jerf lache ausbreiten, so daß ein Pile 16 gebildet wird. Me aufgegebene Menge soll so klein sein, daß die Oxydpartikel genügend Raum haben, sich vollständig zn dispergieren, d.h. die Partikel sollen nicht gezwungen sein, sich in einer Schichtdicke ale einer Partikelstärke an irgendeiner Stelle auf einender legen. .

Der Film hat dann die erforderliche Stärke von einer Partikelgröße, ist jedoch diskontinuierlich, weil die Partikel in der horizontalen Ebene voneinander getrennt sind. Um den PiIa kontinuierlich zu machen_r wird ein Begrenaungsdamm 15 im Sinne 9er in Fig. 1 dargestellten Pfeile auf den schwimmenden FiIa su bewegt. Der Damm schiebt den Film vor sich her und drückt ihn

BAD ORlQlNAt

009816/0933

-10-

bio der PiIa is wesentlichen. kontinuierlich let «pd

kein freier Raum zwischen Partikeln bleibt. Dieser Punkt wird leicht festgestellt, wenn sich Falten oder überlappende feile to SiIn bilden. Der Baum wird dann angehalten und die flüchtigen Materialien (Toluol und Amylaoetat) lädt nan verdampfen.

Wenn ein etwas dickerer Film erwünscht ist» kann dieser leicht auf kontrollierte Weise hergestellt Werden» indem der Damm,weiter nach innen bewegt wird, um den Film auf der Plüssigkeits- . oberfläche weiter zusammenzudrücken. Der sueammengedrückte Film wird dann ein mehrschichtiger Film. See Diokenwachstum iet, kontrolliert und gleichmäßig, verglichen mit den ungleichförmigen Filmen, die hergestellt werden, Venn die Partikel ssu Beginn auf einen begrenzten Teil der Flüeaigkeiteoberfläche beschränkt sind.

Der nächste Schritt ist, den Film von der Vase eroberfläch·· auf

einen Träger 17 abzuheben. Die Art dee Träger· hängt voa ▼•γι

wendungozweck des Thermistors ab, ee kenn ein keramischer oder metallischer Trag er verwendet werden. Typische keramische Träger sind BeO, MgO, Al₂Os, Bornitrid und Quara. Keramiken oder Metal» Ie, die den Brenntemperaturen standhalten können, die sum Härten der ThermistorojQrde verwendet werden, Bind brauchbar. Im Falle der oben angegeberon Oxydmiechung beträgt die verwendete Temperatur etwa 1300⁰C, was ein typischer Wert ist.

Ein typischer metallischer Träger ist Nickel. bad OBlQlNAL

009816/0933 -¹¹~

15908S7

Der Träger wird zunächst von organischer Hat er ie befreit, indem er auf 200⁰C erwärmt wird, und der Träger wird dann in destilliertem WasBer feucht gehalten, bis er zur Benützung bereit ist.

üia den Oxydfilm aufzunehmen, wird der Träger mit einer Pincette unter einem Winkel von 90° zur Filmoberflache gehalten und durch den Film nach unten gestoßen. Der Träger wird ,in eingetauchtem Zustand zu einem Winkel von etwa 45° «um Film gedreht und nach vorn und oben durch den Film gehoben, so daß der Film auf den Träger aufschwimmt. Überschüssiges Wasser kenn abgezogen werden, indem die Unterkante des beschichteten Trägers mit Filterpapier in Berührung, gebracht wird.

Der beschichtete Träger wird, dann weiter getrocknet, beiepieisweiöe indem er einer Infrarotstrahlung oder Heizlampen zwei Stunden lang ausgesetzt wird.

Der beschichtete-Träger ist dann aura Sintern oder Härten bereit, und daa wird durch Brennen·bei höheren Temperaturen durchgeführt. Das Brennen kann bei Temperaturen bis zu 1300⁰C bis zu 16 Stunden lang durchgeführt warden. Während des Brennens verbindet sich der Film mit dem Träger und die einzelnen Partikel des Films οintern zusammen.

Uui den gehärteten Thermistor in eine elektrische Schaltung eineubauen, ist es erforderlich, ihn mit Elektrodenkontakten bu

BAD ORIGINAL

009816/0933 ^_12-

versehen. Sie Kontakte können aus irgendeinem leitenden Werkstoff bestehen, der als dünne, gleichmäßige Schient aufgebracht werden kann.und der chemisch gegen den !Träger und das Thermistormaterial inert ist. Silber, Gold, Platin und Legierungen dieser und anderer Werkstoffe werden gewöhnlich verwendet· In Verbindung Bit erfindungegenäßen Thermistoren haben sich glänzende Platinkontakte (platinum bright contacts) bewährt, die bei Temperaturen

zwischen 400 und 800⁰C gebrannt sind.

Sie Kontakte können an voneinander entfernten Punkten auf der freien Oberseite des Thernistornaterials angesetzt werden. Wenn der Träger ein Leiter ist, beispielsweise Niokel, kann, der Träger als ein Kontakt dienen. Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird eine Schicht Leitermaterial, beispielsweise Platin, auf einen keramischen oder metallenen Träger aufgebracht, ehe der Thermistormaterialfilm darauf aufgebracht wird. Der Ther-r aistorfilm wird dann aufgebracht, getrocknet und gebrannt,wie oben beschrieben, und schließlich wird eine zweite Schicht Leitermaterial Über das Thermistormaterial gebracht und dort eingebrannt. Dieses Vorgehen ergibt einen Aufbau wie in Fig. 3 dargestellt, nämlich aus einem Träger 17» einer leitenden Schicht 18, einer gesinterten Thermistoroxydschicht 19 und einer zweiten leitenden Schicht 20 auf der Oberseite der OxydBchicht 19·

Der niedergeschlagen© Film eua leitendem Metall kann auf verschiedene Weise aufgebracht worden, wie dem Fachmann, bekannt

BAD OR1O*^NAL 009816/0933

-13-

ie-8. Beispielsweise kann das Metall durch Kathodenzerstäubung aufgebracht werden, nachdem alle Teile abgeschirmt worden Bind, auf die kein leitendes Metall niedergeschlagen werden soll, oder indem eine trockene Metallschicht aufgebracht wird, oder eine ^Dispersion des Metalls in einem flüchtigen oder thermisch aersetzbarsn Träger, und das Ganze bei Sintertempsratur gebx'annt

wird. Statt einer trockenen Beschichtung oder Dispersion des Metalls selbst kann, eine Schicht oder Dispersion einer Verbindung aufgebracht werden, die sich beim Brennen zersetzt, wodurch ein Metallniederschlag zurückbleibt.

Sie widerstandselemente, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden, sind in im wesentlichen allen bekannten Anwendungefällen von temperaturempfindlichen Widerständen brauchbar, beispielsweise in Alarmsyatemen, Temperaturregelschaltungen, Infrarotdetektoren usw. Wenn die erfindungsgemäß hergestellten Elemente in solchen Anwendungefällen verwendet werden, ergibt: sich eine wesentlich bessere Empfindlichkeit und Gleichförmigkeit des Ansprechens, well die Thermistoroxydschicht außergewöhnlich dünn und gleichförmig ist. Die Elemente zeigen auch eins extrem kurze Ansprechzeit auf Grund der geringen Masse des dünnen Thermistorfilms, der deshalb sehr schnell erwärmt oder abgekühlt wird.

Es worden aber nicht nur Thermistoren mit besseren Betriebe- . eigenschaften nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt,

009816/0933

-14-

dieees Verfahren ist auch leicht und billig durchzuführen, verglichen Bit bisher vorgeschlagenen Verfahren. Es wird erfindungegemäß jedo Notwendigkeit vermieden, dünne, zerbrechliche Blättchen aus Thermictoroxydicaterial zu behandeln, wodurch Bruchverluete verringert werden. Se tritt auch keine Neigung auf» daß das Oxydiaaterial während dea Brennens bricht, sich krümmt oder verzieht, oder vom Träger abblättert, was auf Grund von Partikelgrößengradienten durch die Dicke des Filme auftreten- kann. Nachdem der Film zu Beginn nur ein Partikel stark ist, können solche Gradienten nicht auftreten.

BAD ORDINAL·

009816/0933

Claims

Pat ent

1. Verfahren sun Heroteilen von elektrischen tfiderstandeelemeriten, gekennselchnet durch die Kombination folgender Schritte: Bb wird ein fein geteiltes Metalloxydmaterial hergestellt, dieses Metalloxydmaterlal wird auf einer Flüssigkeitsoberfläche bub Aufschvfiicnen gebracht, so daß eine Dispersion des Metalloxydeaterials euf der Oberfläche gebildet wird, diese Dispersion wird horizontal eucanjBiengedrückt, so daß ein im wesentlichen kontinuierlicher Film von der Stärke eines Partikels gebildet wird, der Ills wird auf einen Träger aufgenommen, und der Träger und der FIIb werden bei einer Temperatur wenigsten· gleich der Sintertemperatur des Met alloxydmateriale gebrannt·

2. Verfahren zum Herstellen eines elektrischen. Widerstandselementee, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Schrittet Es wird ein· fein unterteiltes Metalloxydmaterial hergestellt, dieses Metalloxydmaterlal wird mit einen 'Dlepersionstr&ger in einer Menge kombiniert, die wenigstens ausreicht, die Partilcel des Hotalloxydinateriale zu überziehen, das Metalloxydmaterial wird auf einer Flüssigkeitooberfläche zum Aufschwimmen gebrach·?;, eo daß eine Disporoiori dea Metalloxydmateriftls

BAD ORIGINAL

009816/0933

-16-

auf der Oberfläche gebildet wird» dleee Dispersion wird horizontal zuBamnengeschoben, so daß ein im wesentlichen kontinuierlicher PiIm von der Stärke eines Partikels gebildet wird, dieser Film wird auf einen träger aufgenommen, und der Träger

und der Film werden bei einer Temperatur gebrannt, dio wenigsteno gleich der Sintertemperatur des Metalloxydmaterials 1st.

3. Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Widerstandselementee, gekennzeichnet durch dio Kombination folgender Schritte: Ea wird ein fein unterteiltes Hetalloxydmaterlal hergestellt, das Metalloxyd wird in einem Dispersionsträger suspendiert, so daß eine Suspension gebildet wird, die Suspension wird auf einer PlÜBsigkeitsoberflöcho zum Aufsohwimmen gebracht, so daS eine Dispersion de· Hetalloxydmaterials auf der' Oberfläche gebildet wird, die Dispersion wird horizontal susaanengedrttekt, so daß ein im wesentlichen kontinuierlicher FiIa von dtr Stärke eines Partikel9 entsteht, der PiIm wird auf einen Träger aufgenommen und der PiIm und der Träger werden bei einer Temperatur gebrannt, die wenigstens gleich der Sintertemperatur des Netalloxydmaterials ist.

4· Verfahren nach Anspruch 3, dadurch Gekennzeichnet, dafi der DiBpersionetrager eine Kisohung von Toluol und Aaylacetat 1st.

5· Verfahren sum Herstellen eines elektrischen Wideratandeelemen teo, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Schritte»

BAD ORIGINAL

009816/0933

~ 17 -

Ea wird ein fein unterteilte« Metalloxydmaterial hergestellt, das Metalloxydmaterial wird auf einer Flttseigkeitsoberfläche sun Aufschwimmen gebracht» so (JaS eine Dispersion des Metall* oxydmaterlsls auf der Oberfläche gebildet wird» die Dispersion wird horizontal zusammengedrückt, so defl ein in wesentlichen kontinuierlicher Film von der Stärke eines Partikels gebildet wird, der PiIm wird auf eine» Träger niedergeschlagen, der Träger und der PiIn werden bei einer Temperatur gebrannt, die wenigstens gleich der Sintertemperatur des Metalloxydmaterials ist, und wenigstens ein Teil des Films wird alt einen leitenden Metall beschichtet. ν

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennselohnet» daß der gebrannte Pile sit den leitenden Metall an wenigstens swei diskreten, voneinander entfernten Flächen der iilaoberflache beschichtet wird*

Verfahren nach Anepruoh 5, dadurch gekennseiohnet, dafl Träger ein leitendes Metall ist.

8. Verfahren nach Anepruoh 5, dadurch gekennzeichnet, dad der Träger ein nichtleitendes Material ist, und dafl der Träger Tor dem Biederechi ag des Metalloxydfilms nit einen leitenden Metall beschichtet wird·

BAD ORIGINAL

-18-

009816/0933

9. Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Wideretandselementes, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Schritte: Es wird ein fein unterteiltes Metalloxydmaterial hergestellt, das Metalloxydmaterial wird avf einer Plüasigkeitsoberflache sum Aufschwimmen gebracht, so daß eine Dispersion des Netalloxydmaterials auf der Oberfläche gebildet wird, die Dispersion wird horizontal zusammengedrückt, so daß ein im wesentlichen kontinuierlicher mehrschichtiger Film entsteht, der PiIm wird auf einen Träger aufgenommen, und der Träger und der PiIm werden bei einer Temperatur gebrannt, die wenigstens gleich der Sintertemperatur des Metalloxydmaterials ist.

MTMTAMMUfI M.RNCUL Dm.4M.KIOMl

BAD ORIGINAL

009816/0933