DE1589698A1 - Einrichtung zur Herstellung magnetischer Speicherplatten - Google Patents

Description

Pcrfenicravrali Dr.-Ing. Wilhelm Beichel Fiankfuii/Mcriii-l

Eigenes Zeichen: 5268 - Fs/Ja

Disc Pack Corporation, Hawthorne, California, USA

Einrichtung zur Herstellung magnetischer Speicherplatten

Die Erfindtuig bezieht sich ,auf eine Einrichtung zur Herstellung magnetischer Speicherplatten uifc einen oszillierenden Spritzapparat zum Verteilen des Sprühmateriais auf der Platte und mit Einrichtungen zum Verschieben der Platte relativ zum Spritzapparat, während sin ringförmiger Bereich der Platte mit den Sprühmaterial bedeckt wird.

Es ist bekannt, daß Speicherplatten aus dünnen Iiaterialplatten bestehen, deren Oberfläche ringförmig mit einer dünnen Oxydschicht überzogen ist. "Die Information wird in der Oxydschicht mit Hilfe von Speichei'ir.öpfen gespeichert, die sich in einem geringen Abstand relativ zur Oberfläche der Speicherplatte bewegen. .JJi'i Erfindung beschäftigt sich mit der Einrichtung und dem

Ve r fahr en, um eine zusammenhängende dünne Schicht einer- magn sehen Oxyddispersion auf der Oberfläche dec ringförmigen Metallteils anzubringen, wodurch diese zur Speicherplatte wird.

Eine bekannte Beschichtungseinrichtung besteht aus einer verschiebbaren Halterung, auf welcher die su beschichtende Platte mit Hilfe einer Hasice befestigt wird, die von Hand auf den zentralen Teil der Platte aufgelegt wird. Ein oprühapparat ist au einem Arm befestigt, der um eine vertikale Achse schwenkbar ist. Während der oszillierenden Beilegung des Spritzapparats wird die verschiebbare Halterung und die Platte unter demselben langsam vorbeibewegt, so daß die Oberfläche der Platte mit einer 0x7/dschicht überzogen wird. Da der Spritzapparat mit einer konstanten Amplitude oszilliert und die zu beschichtende Platte einen kreisförmigen Umfang auf v/eist, wird ein beträchtlicher Anteil des Beschichtungsmaterials an der Piaute vorbei versprüht. Um den Anteil des innerhalb der Beschichtungseinrichtung verbleibenden auf ein Minimum zu reduzieren, wurde versucht, mit einem durch die Beschichtungseinrichtung gerichteten Luftstrom hoher Geschwindigkeit das nicht auf die Speicherplatte auftreffende Sprühmaterial abzusaugen.

Das Vorhandensein von übersprühendem Material ist aus zumindest drei Gründen in der Beschichtungseinrichtung unex'vrünscht. 1. DiS für die Beschichtung verwendete magnetische Oxyduaterial ist außerordentlich teuer, so daß der übersprühende Materialanteil einen Verlust darstellt, der die Herstellungskosben erheblich vergrößert.

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.Durch da·":" übe. ^sprühend·:- Haterir.i wird die Inn^iseit:; der Besciiieiituaigs einrichtung ve X¹UIiX'einigt, d.h., da die Umgebung, iii welchem die opeicherplatte zux* Beschichtung angebracht wird, absolut rein sein muß, wird durch das sich Aufbauen größerer liengaides Beschichtungsmaterials an den Wänden der aitfinir"imr,\:l;amiuer die Gefahr einer Dunsterzeugung und das Jüntstr-hen von die Oberfläche der beschicliteten Speicherplatte borühremd-ju Katerialteiichen immer größer, no daß diese verunre-Liigt werden kann, und dadurch für den beabsichtigten Gei α¹ T.UCJ ii- ζ'.-je ck unge e igne b wii'd.

ί)·ιζ aus dem Sj>ritaapparat austretende Beschichtung.oiaaterial liat die i'oriti kleiner hohler Blasen. Wenn diese hohlen Blasen durch den ürvrit^apparat gegen die Obei'flache der Platte geschleudex't v/erden, platzen diese und geben das darin enthaltene Gas frei. Wenn diese Blasen jedoch mit verhältnismäßig geringer Energie auf der Oberfläche der Platte auftreffen, ist es gut möglich, daß sie nicht platzen, und daß das Besciiichtimgsiiiatex'ial nicht mehr in homogener Form sondern mit Gaseinschlüssen austrocknet. Wenn dahex* die Reinigungsluft verwirbelt wix*d, oder wenn aus anderen Gründen übersprühendes Material nicht entfernt wird und dieses sich langsam auf der Oberfläche der Platte absetzt, ist es nicht zu vermeiden, daß diese mit einer Menge von Gaseinschlüssen austrocknet. Da 'während dem Poliex^orozess die Oberfläche der Platte einem Abrieb unterworfen ist, wei'den die obex^en 'feile dieser Bläschen abgeschlif- :'!·'■'.! T₁Id /ex'uiefungen odei¹ Poren in dem Beschichtuiigsmaterial der !-'latte hervox^gcxmfen. Diese Poren erschweren die Aufzeichnung Ο'.,·...-.- ;3·ν;;ί ΐι :\i.'! :;ο;·;αχ- ixuvioglich.

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Bei einer bekannten Einrichtung wurde versucht, diesen Nachteil mit einer großen Menge von Reinigungsluft zu überwinden, die zur Beseitigung des pprühabfalls durch die Einrichtung befördert wird. Da die Reinigungsluft einerseits gefiltert und andererseits .hinsichtlich der Temperatur und Luftfeuchtigkeit überwacht werden muß, werden die Herstellungskosten durch die große Menge der benötigten Reinigungsluft ebenfalls erhöht. Zusätzlich v/erden wegen der inneren .Formgebung der Beschichtungskammer eine Vielzahl von Luftwirbeln erzeugt, welche die Beseitigung des übergesprühten Materials behindern und ein Absetzen des überschüssig versprühten Materials auf der Scheibe und den Wänden der Beschichtungskammer verursachen.

Eine weitere bei bekannten Beschichtungseinrichtuiigen auftretende Schwierigkeit besteht darin, daß sich das Beschichtungsmaterial auf der Oberfläche der Platte ungleichmäßig in Form sich überlappender Ziegel ablagert. Damit wird das Überzugsmaterial in sich wiederholenden Mustern, die nicht ineinander verfließen, aufgetragen. Die sich daraus ergebende beschichtete Oberfläche ist ungleichmäßig mit dem Beschichtungsmaterial überzogen.

Ein weitere!" Nachteil einer bekannten Beschichtungseinrichtung besteht darin, daß der Beschichtungsprozess nicht mit der gewünschten Schnelligkeit abläuft. Ein Grund dafür ist die Tatsache , daß die Maske auf dem zentralen Teil der Platte mit Hand abgelegt wird. Dadurch wird Zeit verbraucht, und außerdem i;;t der Nachteil damit verbunden, daß die Möglichkeit einer Vei-urireinigunf der Platte vergrößert wird.

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Gemäß der Erfindung wird eine begrenzte Schicht einer Dispersion magnetischen Oxyds schnell und wirkungsvoll auf die Oberfläche der Platte aufgetragen. Das Beschichtungsmaberial wird auf die Platte in Form einer sich überlappenden Schlangenlinie aufgebracht, wodurch eine sehr gleichmäßige Beschichtung erzielt wird. Vorzugsweise wird das Beschichtungsmaterial in einem sich nicht wiederholenden Muster aufgetragen, welches sowohl radial als auch in Umfangsrichtung über die Platte sich ausbreitet. Damit verläuft die Beschichtiingsbah.il über jeden Teil der Platte mehrmals, wobei die Bahn sich gegenüber den vorausgehenden Bahnen leicht verschiebt, so daß eine Überlappung des Schichtmaterials gewährleistet ist.

Auf Grund der vorliegenden Erfindung kann der übergesprühte Anteil des Beschichtungsmaterials auf einem Minimum gehalten werden, wodurch die Möglichkeit der- Verschmutzung des Inneren der Beschichtungseinrichtung wesentlich verringert wird. Wegen des geringeren Anteils des unnütz versprühten Materials kann auch die erforderliche Menge an Reinigungsluft wesentlich verringert werden, wobei im Vergleich mit bekannten Beschichtungseinrichtungen nur noch ein Zehntel der Reinigungsluft benötigt wird. Die BeSchichtungskammer ist derart ausgebildet, daß eine Verwirbelung der Reiiiigungsluft weitgehenst vermieden wird, wodurch die Wirksamkeit der Absaugung des übergesprühten Matex'ials verbessert wird. Die Beschichtungseiririchtring gemäß der Erfindung arbeitet aehr schnell und völlig automatisch, so daß nur noch die zu bes chi chi" υ nd υ Platte von Hand in die Einrichtung eingelegt und nach

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der F ^rtigsteilung weggenommen werden inuß. üor vollautomatisch . Betrieb ist sehr vox'tellhaft, da das Herstellungsverfahren im Vergleich mit dem Handbetrieb oder dein halbautomatischen Betrieb wesentlich beschleunigt und die Möglichkeit der Verunreiriigmig der Platte weitgehenst reduziert v/erden kann.

Die Beschickungseinrichtung gemäß der Erfindung umfaßt ein Gehäuse mit einer darin befindlichen Beschichtungskamiiier. Diese enthält eine Halterung, vorzugsweise in Form einer Spindel, auf welcher die Platte befestigt und innerhalb der Beschichtungskaramer verdreht wird, wobei zumindest ein bestimmter begrenzter 'Uciil der einen Oberfläche der Platte freiliegt. Ein Spritzapparat int innerhalb der BeSchichtungskammer derart montiert, daß das Bcschichtungsmaterial auf die freiliegende Oberfläche der Tlatto gespritzt wird, während diese von einem Ilotor angetrieben gedroht wird. iJer Spirit ζ apparat pendelt üblicherweise in radialer Richtung über der sich drehenden Platte und ei^vmöglicht, daß das av.ngesprühte Beschichtungsmaterial mit allen Teilen der freiliegenden Oberfläche in Berührung kommt, und dadurch diese mit einer Vielzahl von öprühbahnen überzieht, so daß eine Beschichtung entsteht, die in Umfangsrichtung mehrfach aufgetragen ist und .rieh in radialer dichtung über die ganze Breite der freiliegend·.,! Oberfläche der Platte erstreckt.

Wenn man den Spritzapparat stationär festhält, entsteht oiij .vuwa elliptisches Sprüimiuster. V/enri der 8prJ.tzapT>ara"b dartegea b,:-/o;;i; wird, wird das Beschiehtungsmaterial auf der Oberfläche der .oclui.-

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b^ entlang ilncr Balm aufgetragen. Uni die Scheibe gleichmäßig :.vi: bo.3chicliten, nüssen die Bahnen überlappen und mehrfach hin vjLid hergehen, so daß die Scheibe in der Tat gleichmäßig t;nd völlig üb\t.'i:'zogeii wird. Wenn dies in der beschriebenen Weise ausgeführt wird, wix>d jeder Teil der Platte mit mehreren Lagen des 3eGchichturigsr.iaterialE überzogen, liobei jede mit einem elliptisclien oprühmustei¹ unter verschiedenen Winkeln aufgetragen wird.

G-einäß dei* lirxindung ivird dies durch eine Beviegung des Spritaapparats ersielt, die nicht in Phase mit der Drehbewegung der Platte ist, d.h., wenn der Spritzapparat mit χ Schwingungen / liinute hin und herpendelt und sich die Platte mit η Umdrehungen/ Ilinute dreht, soll der quotient aus n/x und x/n keine ganze Zahl sein. Wenn z.B. der Spritzapparat achtzehn Schwingungen/Hinute ausführt, soll sich die Platte siebzehnmal um ihre Achse drehen. In diesem Fall erstreckt sich das sich wiederholende gleiche Bahnraustor über etwas weniger als 180 des Umfangs. Das bedeutet, daß, bei den darauffolgenden Umdrehungen der Scheibe,die Bahn des aufgesprühten Materials kein sich wiederholendes Muster durchläuft, da die Sprühbahn während jeder Umdrehung der Scheibe mit sich ändernder V/inkell age des Srxritzapparats aufgetragen wird, so daß die hin und hergehenden Bahnen sich überlappen. Dadurch wird eine sehr gleichmäßige Beschichtung der Platte erzielt. Vorzugsweine wixxl das oprühiaaterial aus dem Spritzapparat nach unten auf die horizontal liegende Platte versprüht.

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Um den Anteil des über den Hand der Platte hinausgosprühten Materials zu vermindern, wird die radial zur Platte verlaufende Schwenkbewegung des Spritzapparats begrenzt, um zu verhindern, daß ein größerer Anteil des Beschichtungsmaterials in einen Bereich außerhalb der Umfangskante der Platte gerichtet wird. 2s ist Jedoch auch wünschenswert, die zum Zentrum der Platte gerichtete Radialbewegung des Sj)ritzapparats zu begrenzen, so daß die Sprühbahn nur geringfügig über die innere Begrenzungslinie hinausläuft. Mit diesem Merkmal der Erfindung wird verhindert, daß die Abdeckmaske, die über dem Zentrumsbereich der Platte in der Nähe der inneren Begrenzungsliriie angeordnet ist, unnötig mit Beschichtungsmaterial besjxrüht wird.

Da die sich drehende Platte mit einer geringeren Tangentialgeschwindigkeit bezüglich der inneren Begrenzungslinie und mit einer gi'ößeren Tangentialgeschwindigkeit bezüglich der äußeren Umfangslinie umläuft, wird, wenn keine Vorsichtsmaßnahmen getroffen werden, eine größere Menge des Beschichtungsmaterials auf die radial innenliegenden Bereiche aufgetragen. Um dies zu kompensieren, oszilliert der Spritzapparat vorzugsweise derart, daß sich die Spritzdüse von der freiliegenden Oberfläche der Scheibe entfernt, wenn die Düse gegen das Zentrum der Scheibe schwingt. Dadurch wird das Sprülimuster der Bahn aufgeweitet und das Beschichtungomatei'ial während der gegen das Zentrum gerichteten Bewegung dünner aufgetragen. Außerdem ist der Antriebsmechanismus für die schwingende Bewegung des Spritzapparats derart konstruiert, dnß eine zu langsame Pendelbewegung in !vicJituiij; auf das

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Zentrum der Platte verhindert wird. Damit wird im wesentlichen die langsamere tangentialgeschwindigkeit der Scheibe im Bereich der inneren Begrenzungslinie kompensierb.

Vorzugsweise wird die Pendelachse in einer im wesentlichen senkrecht zur Ebene der Platte verlaufenden Ebene angeordnet, wobei sich die beiden Ebenen längs einer Linie schneiden, die nicht durch die Platte verläuft. Zum Beispiel, wenn die Sprühdüse des Spritzapparats vertikal nach unten gerichtet ist, verläuft eine vertikale Linie durch die Schwenkachse des Spritzapparats etwa 5 cm außerhalb des äußeren Umfangs dei¹ Platte vorbei, wenn eine Platte mit einem Durchmesser von ungefähr 34-,5 cm angenommen wird. Vorzugsweise wird die Pendelbewegung mit dem Spritzapparat ausgeführt, da dies mechanisch sehr einfach durchführbar ist.

Ein einfacher Mechanismus für diesen Zweck besbeht aus einer armformigen Halterung, die mit einer Exzenterrolle versehen ist, welche mit einer drehbar montierten Herzscheibe zusammenwirkt. Der Opiatsapparat ist an der armförmigen Halterung befestigt. Die Herzscheibe ist iim eine Achse drehbar, die durch das Innere der iierzscheibe verläuft. Mit dieser sehr einfachen Anordnung kann die gewünschte Schwingbewegung des Spritzapparate· genau ausgeführt werden.

Die _Lieinigungsluft für dia Beschichtungskammer wird vorzugsweise von oiner außerhalb gologenen Quelle aus gill.^fort. Die Menge der benötigten Reinigu.-i/rsluft beträgt etwa 0,5""' :n "'/Minute, was sehr

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viel weniger ist, als bei bekannten Beschiclrbmigseinidchttmcoa bisher benötigt wurde. Der Luftstrom wird vorzugsweise automatisch mit Hilfe von elektromagnetisch gesteuerten Klappen ^efjgelt. Wie im folgenden noch näher be s ehr i ob en wird, '/eist iio BeSchichtungskammer relativ glatte Wände auf und ist nur mit einem Hinimum an VorSprüngen versehen, die eine Turbulenz oder Verwirbelung der durchströmenden tieinigungsluft verursachen. Ins besondere ist die Bodenfläche der Beschichturigr-.knmmer fx'oi yo ι irgendwelchen querverlaufenden Unregelmäßigkeiten, welche den größten Einfluß auf die Verwirbelung der durch die Kanimaz- strömenden Reinigungsluft ausüben.

Die über den Hand der Scheibe versprühten Anteile des Besc^:iichtungsmaterials sollten in jedem S'all den Boden der Be schichtung:; kammer erreichen, da vorzugsweise ein Verteilerkopf vorgesehen ist, der eine .Reinigungslösung über den Boden verteilt. Vorzugsweise ist die Bodenfläche in Richtung der Strömung der x-teinicunpj luft geneigt, so daß die Reinigungslösung auf der Bodenflächo abfließt. Damit kann durch Verringerung des übersprühten Materialante ils, durch die Schaffung einer wirksamen Strömung der ^.ioiaigungsluft tmd durch das Vorsehen einer über den Boden der Beschichtungskammer fließenden Reinigungslösung die Ablagerung von Verunreinigungen innerhalb der Beschichbungükanimer wait sehend st ■ reduziert werden.

Die Platte ist innerhalb der Beschichttmgskammer auf einer .Joixidel befestigt, welche vorzugsweise am Boden der Kammer montiert

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isfc. .iir-i ist eine Maske vorgesehen, um einen schmalen ringförmigen Streifen entlang einer inneren Umfangslinie abzudecken und die Scneibe ;;;en;en die Spindel vorzuspannen. Die Hasice ist gegenüber dt:r .jr.-i-id'^l verschiebbar, so daß ein Zwischein¹ aum entsteht, durch vrel'j.'i-an die Scheibe auf der Spindel abgelegt oder von dieser entf i.!.'iit werde u kann.

jJio; :J;piiidel ist vorzugsweise an dem Boden der BeSchichtungskammer döi'^-fb befestigt, daß sie zwischen einer ausgefahrenen Stellung "and einer eingezogenen Stellung verschiebbar ist, in welcher sie sich näher bei dei" Wand befindet als in der ausgefahrenen Stellung- -Die Hacke ist automatisch zwischen einer ersten Stellung, in welcher sie nicht mit der Spindel axial ausgerichtet ist und das Ablegen der Platte auf der Spindel ermöglicht, und einer zweiten Lage verschiebbar, in welcher sie im wesentlichen mit der Achse Ciev Spindel ausgerichtet ,jedoch in einem axialen Abstand davon angeordnet ist. Wenn in dieser zweiten Position der Maske die Spindel in die ausgefahrene Lage gebracht wird, wird die Platte fest zwischen dor Maske und der Spindel verklemmt. Dieser Vorgang kann völlig automatisch und sehr sclrnell ablaufen.

Un diese Verschiebung der Maske zwischen der ersten und zweiten Lage durchzuführen, ist ein Arm vorgesehen, mit welchem die Maske in dor zweiten liage in dex¹ ITähe der Seitenwand der Beschichtungska-i! i-':-e gehalten wird. Der Arm kann außerdem in eine dritte Position gebracht werden, in welcher er in der .Seitenwand unter- ;^'3brf.to}it i;ii-d. Durch diese dritte Position wird sichergestellt,

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daß während des Betriebs des Spritzapparats eine Verwirbelung der Reinigungsluft verhindert wird.

Die Beschichtungseinrichtung wird elektrisch und völlig automatisch gesteuert. Die Beschichtungseinrichtung benötigt nur 38 Sekunden, um eine Seite der Platte völlig und exakt zu beschichten.

Eine beispielsweise Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt$ es zeigen:

Fig.1 eine perspektivische Ansicht einer -Einrichtung zur Beschichtung von Speicherplatten, die zur Darstellung des Inneren teilweise gebrochen dargestellt ist;

Fig.2 eine Draufsicht auf die Beschichtungseinrichtung mit fehlender Deckfläche;

Fig.5 eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht der Beschichtungseinrichtung;

Fig.4 eine Stirnansicht der Beschichtungseinrichtung mit fehlender Stirnfläche;

Fig.5 eine vergrößerte Teilansicht des Spritzapparats zum Aufbringen des Beschichtungsmaterials sowie dessen Antrieb;

Fig.6 eine vergrößerte Draufsicht auf die Herzscheibe, welche zur Erzeugung der Schwingbewegung des Spritzapparats verwendet wird;

Fig.7 eine teilweise geschnittene Vorderansicht der Spindel, die zur Halterung der Platte in der Benchichtungskammer verwendet wird;

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. Fig.8 eine vergrößerte Teilansicht des Gestänges, um die Maske in verschiedene Positionen zu bewegen;

Fig.9 einen Schnitt längs der Linie 9-9 der Fig.8, welcher das Gestänge zeigt, um den Arm und die Maske zusammen mit dem beweglichen Anschlag in eine zurückgezogene Position zu verschieben;

Fig.10 eine Draufsicht auf die Platte mit dem Verlauf einer Beschichtungsbahn;

Fig.11 und 12 das Schaltbild einer bevorzugten Schaltung für die elektrische Steuerung der Beschichtungseinrichtung.

In den Fig.1 bis 4 ist die Beschichtungseinrichtung gemäß der Erfindung mit dem Bezugszeichen 15 versehen. Die BeSchichtungseinrichtung besteht im allgemeinen aus einer BeSchichtungskammer 33, in welcher auf einer Spindel 67 eine Platte 69 drehbar gelagert ist. Ein Spritzapparat 203 ist über der Platte 69 an Halterungseinrichtungen 205 derart befestigt, daß das Beschichtüngsmaterial gegen die Platte gesprüht wird. Die Beschichtungseinrichtung umfaßt ein Gehäuse 17 mit einer Tür 19 an der oberen Deckwand, durch welche ein Zugang zum Inneren des Gehäuses geschaffen wird. Die Tür 19 ist vorzugsweise aus einem transparenter» Material, z.B. aus Glas, hergestellt und ist in der Ebene der oberen Deckfläche des Gehäuses 17 verschiebbar. Ein mit einem Riemenantrieb 23 versehener Motor 21 (Fig.1 und 2) ist vorgesehen, um die Tür 19 automatisch zu öffnen und zu schließen. Im geöffneten Zustand gibt sie den Zugang zum Inneren des Gehäuses

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völlig frei und im geschlossenen Zustand wird das Gehäuse dicht verschlossen. Obwohl eine Vielzahl von mechanischen Möglichkeiten zum automatischen Öffnen und Schließen der Tür 19 gegeben ist, wird vorzugsweise eine Anordnung verwendet, wie sie in der Patent-

anmeldung D 53 387 VIb/4-9d beschrieben ist.

Ein unter einem Winkel angeordnetes Schaltfeld 25 ist an der vorderen Ecke des Gehäuses 17, wie in i'ig.1 dargestellt, angebracht. Auf dem Schaltfeld 25 sind Kontrollampen 27 und ein Starb knopf 29 angebracht. Die Kontrollampen 27 zeigen an, in welcher Betriebsphase sich die Beschickungseinrichtung befindet, nachdem sie mit Hilfe des Startknopfes 29 für den automatischen Betrieb gestartet ist. Eine abnehmbare Abdeckung 31 ist auf der linken Seite der Oberfläche des Gehäuses 17 im Bereich der vorderen Ecke (J¹Ig. 1) angebracht. Die Abdeckung 31 gibt den Zugang zu einer Anzahl nicht dargestellter Druckknopfe frei, mit welchen die Beschickungseinrichtung von Hand gesteuert v/erden kann. Die Abdeckung 31 ist normalerweise nach der Inbetriebnahme des Gerätes geschlossen. Wie am besten aus den J?ig.1 und 3 entnommen v/erden kann, ist im Innern des Gehäuses 17 eine Beschichtungskamner 33 und eine Kammer 35 zur Aufnahme der mechanischen Steuer- und Antriebseinrichtungen vorgesehen, die zwischen der Deckfläche des Gehäuses 17 und dem linksseitigen oberen Teil der Beschichtungskammer angeordnet ist. Die BeSchichtungskammer 33 umfaßt einen hohlen rechteckigen Abschnitt 37 für den austretenden Luftstrom mit einer Austrittsöffnung 39» eine ebene geneigte Wand 41, die

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nach oben in die mit der Tür 19 verschließbare Öffnung 43 übergeht, und eine Eintrittsöffnung 45 in der Seitenwand 47. Die Beschiclitungskapiniox· 33 ist außerdem mit einem vorsugsx^eise ebenen Boden 49 versehen, welcher von der Wand 47 aus gegen die Austritt soff iiung 37 abwärts geneigt verläuft. Der Boden 49 ist vorzugsweise völlig glatt und frei von irgendwelchen querverlaufenden Unregelmäßigkeiten, welche eine Turbulenz in der Beschichtuiigskammer 33 verursachen können. Innerhalb des Gehäuses 17 kann die ßeschichtuiigskammer 33 mit Hilfe geeigneter konstruktiver Elemente starr befestigt sein.

Die iieiiiiguiigsluft kann der Beschichtungskammer 33 von einer äußeren nicht dargestellten Quelle aus durch einen im allgemeinen vertikal verlaufenden Einlaß 51₅ ein Luftfilter 53 und die Einlauföffnung 45 der Beschichtungskammer zugeführt werden. Die Luftversorgung kann zur Einlaufsoffnung 5^ z.B. von einer zentralen Luftaufbereitungsanlage aus geliefert werden. i^ilür eine abweichende Ausführungsform kann auch im Gehäuse 17 ein Gebläse vorgeselien werden, welches die Raumluft durch die Beschichtungskammer 33 befördert. Der Strom der Keinigungsluft tritt durch die Aus tritt so ff iiung 39 aus. Es ist sehr wichtig, daß einerseits die Temperatur der iteinigungsluft überwacht wird und andererseits die Luft völlig rein und frei von Ilaterialteilchen ist, welche die beschichtete JrTatte oder andere Teile der Einrichtung innerhalb der Beschichtungskammer 33 verunreinigen können. Es hat ~ich herausgestellt,- daß die Verwendung eines 3/10-Mikrofilters für doix Horiimlbetrieb ausreichend ist.

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Es sind ferner Einrichtungen zur Steuerung des Stromes der Reinigungsluft durch die BeSchichtungskammer 33 vorgesehen. Derartige Einrichtungen sind in Fig.i und 3 dargestellt und umfassen eine Drosselklappe 55', welche an einen Stab 57 angeschweißt ist,, der sich über die volle Breite des Einlaufs 51 erstreckt. Der Stab ist innerhalb des Einlaufe 5^ schwenkbar gelagert und ist außerdem mit einer elektromagnetischen Hubeinrichtung oder einer luftgedämpften Hubeinrichtung 59 über einen am Stab 57 festangeordneten Hebel 61 und einen Hebel 63 verbunden, der um seinen Mittel· punkt drehbar und an seinem einen Ende geschlitzt ist. Die elektromagnetische Hubeinrichtung 59 besitzt einen mit seinem einen Ende am Hebel 63 befestigten Kolben 65, durch dessen Bewegung der Stab 57 und damit die Drosselklappe 55 steuerbar ist. Es ist offensichtlich, daß durch die Winkelstellung der Klappe 55 im Einlaß 5'1 ⁽i^er Strömungsfluß im Einlaß gesteuert werden kann. In der geöffneten Stellung der Klappe kann z.B. eine Luftmenge von etwa 0,56 m^/Minute die BeSchichtungskammer 33 durchsetzen.

In den Fig.1, 3» 4- und 7 ist die Spindel 67 zur Halterung und Verdrehung der Platte 69 in der Beschichtungskammer 33 dargestellt. In Fig.7 ist die Spindel in detaillierter Form dargestellt. Die Platte 69 besitzt eine obere Oberfläche 7'' und eine untere Oberfläche 73» eine Kante 75 entlang dem äußeren Umfang und eine innere Umfangslinie 77· w"ie in Fig.7 dargestellt, bedeckt eine Maske 79 die öffnung der kreisförmigen Platte und greift an einem schmalen "kreisförmigen Streifen entlang der inneren Umfangslinie 77 an der Platte an. Der Teil der uboren Obox·

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fläche, welcher innerhalb der Beschichtungskammer 33 freiliegt, stellt den au beschichtenden !eil 81 der Platte dar. Die Spindel 67 dient der Befestigung der Platte 69 und der Drehung derselben um eine zentrale Achse der Platte, wobei die zentrale Achse vorzugsweise vertikal verläuft und die Ebene der Platte eine Horizontalebene ist.

Das Gehäuse 17 ist mit zwei unter der Bodenwand 49 parallel verlaufenden Rahmenteilen 83 und 85 versehen. Wie aus Fig.7 hervorgeht, hat die Bodenwand 49 der Beschichtungskammer 33 eine Öffnung 87, durch welche eine langgestreckte Hülse 89 vertikal hindurchragt. Die Hülse 89 ist durch Verschweißen an einer Basisplatte 91 befestigt, welche ihrerseits von den Hahmenteilen 83 und 85 gehaltert wird.

Die Hülse 89 ist von einem vertikal verlaufenden Rohr 93 umgeben, welches mit der Bodenwand 49 verbunden ist. Innerhalb der Hülse 89 sind zwei Gleitlager 95 und 97 befestigt, in welchen eine Welle 99 drehbar und in axialer Richtung verschiebbar gelagert ist.

Eine Rolle 101 ist an dem unteren Ende der Welle 99 mit Hilfe einer Madenschraube 103 befestigt. Die Welle 99 wird innerhalb der Hülse 89 mit einem Hebel 105 gehaltert. Der Hebel 105 ist um einen Hittelpunkt drehbar an einem Flansch 107 befestigt, welcher von der Basicplatte 91 nach unten absteht. An dem einen Ende des Hebels 105 ist eine Kugel 109 angebracht, die an der Unterseite der Wello 99 anliegt, und auf welcher die Welle vertikal

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In Flg.7 ist die Welle 99 in ausgefahrener Stellung dargestellt. Die Welle 99 kann durch einen Motor 111 in eine aingezogene Stellung gebracht werden. Der MQtor 111 ist an dem iiahinonteil 35 befestigt und treibt eine drehbare Nockenscheibe 113 an. Die iiockenoberflache 115 der Scheibe 113 ist mit zwei Anschlägen 117 und 119 versehen. Eine Holle 121, die am anderen Ende dec Hebels 105 befestigt ist, liegt an der Nockenoberfläche 11S an, da der Hobel 105 durch eine Zugfeder 123 und das Gewicht der Welle 99 gegen. die Nockenscheibe gedrückt wird. Um die Welle 99 in die eingezogene Lage zu bringen, wird der Motor 111 betätigt und die liockenfläche 113 im Uhrzeigersinn verdreht, wodurch sich infoige der Schwenkbewegung des Hebels 105 die Kugel 109 senkt und damit die Welle 99 auf Grund ihres Gewichtes nach unten sinkt. Die Anschläge 117 und 119 begrenzen die Drehbewegung der Nooke.

Im Bereich des oberen Endes der Welle 99 ist ein Hing 125 befestigt. Der Hing wird von einer Schutzhülse 127 umgeben, die zwischen der Hülse 89 und dem Rohr 93 nach unten verläuft. Das obere Ende der Welle 99 ist abgedreht, so daß eine Schulter 129 entsteht, welche mit der oberen Fläche des Hinges 125 bündig ist. An dem Hing 125 ist eine Plattenauflage 131 mit Hilfe einer Schraube 133 derart befestigt, daß die Plattenauflage mit der Welle 99 umläuft. Die Plattenauflage 131 besteht aus einem zylin-. drischen Teil 135» der nach oben hervorsteht und einem ringförmigen Teil 137, auf welchem der innere Umfang der Ilabte 69 ruht. Das obere Ende der Welle 99 steht aus der Öffnung 139 in der Plattenauflage 131 hervor.

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Es ist offensichtlich, daß die Plattenauflage 131 zusammen mit der Welle 99 vertikal zwischen zwei Endpositionen verschiebbar ist. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Plattenauflage zwischen einer ausgefahrenen und einer eingefahrenen Endstellung verschiebbar. Außerdem dreht sich die Plattenauflage zusammen mit der Welle 99·

Die Maske 79 ist mit einer axialen Ausnehmung 14-1 versehen, deren unterster Teil in Form einer konischen Führungsfläche 143 ausgebildet ist. Die Führungsfläche 143 führt das obere Ende der Welle 99 in· die Ausnehmung

Die Maske 79 ist außerdem mit einer zylindrischen Ausnehmung 14-5 von verhältnismäßig großem Durchmesser versehen, in welche der zylindrische 'Heil 135 der Plattenauflage paßt. Außerdem weist die Maske 79 einen Hand 147 auf, welcher an der Platte 69 anliegt und diese fest gegen die Oberfläche 137 der Plattenauflage 131 drückt.

Uh die Maske 79 aus der Lage mit zentraler Ausrichtung auf die Plattenauflage 131 zu verschieben, ist sie mit einem nach oben hervorstehenden Vorsprung 149 versehen, der an seinem oberen Ende a inen J?laiiech 151 mit größerem Durchmesser aufweist.

Die Maske 79 wirkt mit der Plattenauflage 131 in folgender Weise zusammen, v/omi sich die Plattenauflage 131 in abgesenkter Position befindet; uiil die HaskB 79 nicht mehr axial auf die Platten-

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auflage ausgerichtet ist, kann eine Platte 69 auf der Spindel abgelegt werden. Darauf wird die Maske automatisch zentrisch mit der Welle ausgerichtet, wobei jedoch ein Abstand von der Platte 69 und der Plattenauflage 131 und damit von der Welle 99 bestehen bleibt. Zu diesem Zeitpunkt wird die Plattenauflage durch Betätigung des Motors 111 angehoben und die Platte 69 fest zwischen der Maske 79 und der Plattenauflage verklemmt. Darauf wird die Halterung für die Maske in die seitliche Wand der BeSchichtungskammer zurückgezogen. In diesem Zustand befinden sich die einzelnen Teile in einer Lage zueinander, wie sie in Pig.7 dargestellt ist. Sobald der Beschichtungsvorgang beendet ist, wird die Plattenauflage 131 automatisch zurückgezogen und die Maske 79 automatisch gegenüber der Platte 69 seitlich verschwenkt, womit die Platte 69 freigegeben ist und herausgenommen werden kann.

Zur seitlichen Verschiebung der Maske 79 ist ein Arm 153 und ein Gestänge 155 (Fig.1,2,8,9) vorgesehen. Der Arm 153 ist langgestreckt und ist an seinem äußeren Ende mit einem Maskenhalter 157 versehen. Der Maskenhalter 157 ist mit einer U-förmigen Ausnehmung 159 versehen, welche den Vorsprung 149 unterhalb des Flansches I51 umfassen kann. Damit kann die Maske 79 an dem Arm 153 dadurch festgehalten werden, daß der Flansch 151 auf dem Maskenhalter 157 aufliegt.

Wie aus den Fig.1, 2, 8 und 9 hervorgeht, ist der Arm 153 an einem hohlen vertikal verlaufenden Wellenstutzen 161 um eine

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vertikale Achse drehbar befestigt. Der Arm 153 ist an dem Wellenstutsen 161 angeschweißt, der' seinerseits an einer Halterung befestigt ist. Diese Halterung 163 ist an einem Teil des Gehäuses 17 angebracht. Der Wellenstutzen 161 und der Arm 153 stehen aus dar Öffnung 165 in. der Seitenwand 167 eier BeSchichtungskammer 33 hervor.

Das Gestänge 155 umfaßt einen Motor 169, an dem ein Treibarm befestigt ist. Es ist offensichtlich, daß bei der Erregung des Motors 169 der Treibarm 171 geschwenkt wird, und dadurch eine Schwenkbewegung des Armes 153» wie in .Pig.2 und 8 dargestellt, verursacht wird. Der Motor 169 ist vorzugsweise an einem Rahmenteil 177 des Gehäuses 17 befestigt.

Der Arm 153 ist zwischen einer eingezogenen Lage, in welcher er an der Seitenwand 167 cLer BeSchichtungskammer 33 anliegt, und einer Zwischenlage sowie einer völlig ausgefahrenen Lage verschiebbar, wobei in der völlig ausgefahrenen Lage die Maske 79 axial mit der Plattenauflage 131 ausgerichtet ist. Es sind Anschläge vorgesehen, um diese drei Lagen des Armes 153 zu fixieren. Der erste Anschlag wird von der Seitenwand 167 gebildet, an welcher der Arm im völlig eingezogenen Zustand anliegt. Der Motor 169 kann in dieser Lage im Erregungszustand verbleiben und versucht den Arm 153 gegen die unbewegliche Seitenwand 167»ohne daß er beschädigt wird, anzupressen. Ein zweiter in Fig.8 dargestellter Anschlag 179 greift an dem mittleren Gestängeteil 173 an ,

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und bestimmt somit die ausgefahrene Lage des Armes 153. -Ein Anschlag 179 kann in geeigneter Weise an dem Rahmenteil 181 des Gehäuses 17 angebracht werden und ragt nach unten in die Bewegungsbahn des mittleren Gestängeteils 173-

Ein beweglicher Anschlag 183 greift an dem Gestängeteil 173 an und legt die Zwischenlage des Armes 153 (JJ'ig.8 und 9) fest. Der verschiebbare Anschlag 183 befindet sich normalerweise in ausgefahrener Lage, so daß der Gestängeteil 175 nach einer bestimmten Verschiebebewegung an diesem anliegt. Der verschiebbare Anschlag 183 ist zurückziehbar mit Hilfe einer magnetischen Hubeinrichtung 185} welche am Rahmenteil 187 des Gehäuses in geeigneter Weise befestigt ist. Somit wird bei Erregung der elektromagnetischen Hubeinrichtung 185 der verschiebbare Anschlag 183 aus der Bewegungsbahn des Gestängeteils 175 zurückgezogen, wodurch die Verschiebung des Arms 153 in die völlig ausgefahrene Lage freigegeben wird.

Im Betrieb umfaßt der am Arm 153 befestigte Maskenhalter 157 die Maske 79 in der mittleren Position des Armes während die Platte 69 auf der Plattenauflage 131 aufliegt. Der Arm 153 bewegt die Maske 79 sodann automatisch in die äußerste Lage, in welcher die Platte 69 zwischen der Maske 79 und der Plattenauflage 131 durch die vertikale Ausfahrbewegung der Welle 99 fest verklemmt wird. Der Arm 153 wird sodann automatisch gegen die Wand 167 zurückgeschwenkt. Da der Maskenhalter 157 eine U-förmige Ausnehmung 159 aufweist und die Maske durch das obere Ende der Welle 99 (i?ig.7)

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iii ihrer Lage festgehalten wird, gleitet der Maskenhalter frei unter dem Flansch 151 der Maske hervor, sobald die Plattenauflage 131 angehoben oder in der angehobenen Stellung gehalten wird. Während dieser Zeit wird die elektromagnetische Hubeinrichtung 185 erregt, so daß der verschiebbare Anschlag 183 die Bewegung des Armes 153 in. die zurückgezogene Position nicht behindert. In dieser zurückgezogenen Position liegt der Arm an der seitlichen Wand 167 an, so daß keine Wirbel bzw. keine Verwirbelung des Stroms der Reinigungsluft verursacht wird. Sobald der Beschichtungsvorgang beendet ist, schwenkt der Arm 153 in die völlig ausgefahrene Lage, wobei die U-förmige Ausnehmung 159 in den Vorsprung 149 der Maske 79 eingreift. Das Zurückziehen der Plattenauflage 131 gibt die Maske frei, so daß diese an dem Arm hängend in die mittlere Lage verschwenkt werden kann.

Zum Drehen der Platte 69 ist ein Antrieb 189 vorgesehen. Der Antrieb 189 umfaßt einen Elektromotor 191 (E"ig.1 bis 3), der in , der Kammer 33 befestigt ist, eine Antriebswelle 193 und eine WeI- , Ie 195> die über ein Getriebe 197 mit der Welle 193 verbunden ist.' An dem unteren Ende der Welle 195 ist eine Rolle 199 befestigt, die durch einen Transmissionsriemen 201 mit der Rolle 101 am unteren Ende der Welle 99 verbunden ist. '

Um das Beschichtungsmaterial auf die freiliegende Oberfläche 81 der Platte aufzubringen, ist ein Spritzapparat 203 vorgesehen.

Als Beschichtungsmaterial, welches durch den Spritzapparat 203 !

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auf die Platte aufgetragen wird, kann irgendein für die Herstellung von Speicherplatten übliches magnetisches Oxydmaterial Verwendung finden.

Um den Spritzapparat 203 für eine in einer radialen Ebene der Platte erfolgende ochwingbewegung aufzuhängen, ist eine Montageanordnung 205 vorgesehen (Fig.5)· Diese Anordnung umfaßt einen Lagerblock 207, der mit zwei durch den Block verlaufenden parallelen Bohrungen 209 und 211 versehen' ist. In den Bohrungen 209 "und 211 sind Wallen 213 und 215 in Lagern 217 drehbar gelagert. An der Welle 215 ist eine Nockenscheibe 219 befestigt, die sich mit dieser dreht. Wie aus Fig.6 entnommen werden kann, ist diese Nockenscheibe mit einer herzförmigen Ausnehmung 221 auf der äußeren Oberfläche versehen, durch welche herzförmige Führungsflächen 223 und 225 gebildet werden. Die Drehachse der Nockenscheibe 219 verläuft vorzugsweise senkrecht zur Ebene der Nockenscheibe und durchdringt diese innerhalb des durch die Führungsflächen 223 umschriebenen Bereichs.

Der Lagerblock 207 kann gemäß Fig.3 in geeigneter Weise an dem Gehäuse 17 innerhalb der Kammer 35 befestigt sein. Ein Arm 227 ist starr mit der Welle 213 verbunden und ist mit einer Exzenterrolle 229 versehen, welche in die Ausnehmung 221 eingreift und an den Führungsflächen 223 und 225 entlanggleitet. An dem Arm 227 ist außerdem im Bereich des unteren Endes ein Montageteil 231 befestigt, mit welchem der Spritzapparat 203 starr verbunden ist. Durch die Drehung der Nockenscheibe 219 wird der Arm 227 in eine

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Pendelbewegung versetzt, die einen "bestimmten vorgegebenen Sektorbereich überstreicht. Vorzugsweise sind die Grenzlagen derart gewählt, daß die eine mit der senkrechten Lage des Spritzapparats übereinstimmt und die andere genügend weit aus der vertikalen Lage ausgelenkt ist, damit der innere Umfangsbereich der Platte einwandfrei besprüht wird. Mit dem senkrecht nach unten gerichteten Spritzapparat verläuft dessen zentrale Achse ungefähr in einer Entfernung von 2,5 ^is 5cm an der äußeren Umfangslinie der Platte vorbei. Damit wird sichergestellt, daß die Platte vollständig und gleichmäßig beschichtet wird und gleichzeitig der Anteil des über die Platte hinausgesprühten Beschichtungsmaterials für jede Auslenkbewegung im wesentlichen der gleiche bleibt. Damit kann der Verlust des Beschichtungsmaterials auf einem Minimum gehalten werden.

Um die Nockenscheibe 219 in Drehbewegung zu versetzen, ist an dem anderen Ende der Welle 215 eine Rolle 233 angebracht. Wie aus den i*ig.1 und 3 hervorgeht, ist auf der Antriebswelle 193 eine weitere Holle 235 befestigt. Ein Antriebsriemen 237 verbindet die Rollen 235 und 233 und verursacht damit die Drehbewegung der Welle 215 und der damit verbundenen Nockenscheibe 219-

Wie aus Figi.5 hervorgeht, ist die Montage anordnung 205 mit dem Montageteil 231 fest verbunden. Damit oszilliert der Spritzapparat 203 zusammen mit dem Arm 237· Der Spritzapparat 203 kann

ι in beliebiger Weise aufgebaut sein, wenn er in der Lage ist, das

BeSchichtungsmaterial gegen die Platte 69 zu versprühen. Vorzugs-

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weise wird hierfür ein pneumatisch betriebener Spritzapparat verwendet.

Die Achse der Welle 213 ist gleichzeitig die Schwingachse, um welche der Spritzapparat pendelt. Damit der Spritzapparat eine kleinere Menge des Beschichtungsmaterials über den inneren Umfargsbereich 77 der Platte 69 versprüht, ist die Pendelachse derart angeordnet, daß sich die Sprühdüse 239 von der exponierten Oberfläche 81 der Platte wegbewegt, wenn sie in Richtung auf das Zentrum der Platte verschwenkt wird. Vorzugsweise liegt die Pendelachse in einer Ebene, welche im wesentlichen senkrecht zu der Ebene der Platte 69 verläuft, wobei die Schnittlinie der beiden Ebenen nicht durch die Platte verläuft, d.h., bei einer senkrecht nach unten gerichteten Sprühdüse 239 verläuft die Verlängerung der Zentralachse der Sprühdüse an der Platte 69 mit einem vorherbestimmten Abstand vorbei, der die Größe von 2,5 bis 5 cm haben kann.

Die Pendelachse des Spritzapparates ist außerdem derart angeordnet, daß dieser entlang einer Radialebene der Platte hin und herschwingt, d.h., die Pendelachse liegt in einem seitlichen Abstand über der Drehachse der Platte. Die herzförmige Ausnehmung 221 der Nockenscheibe 219 ist derart geformt, daß die Grenzlagen der Schwenkbewegung des Spritzapparates festgelegt sind und damit der Anteil des über die äußeren Kanten der Platte hinausgesprühten Beschichtungsmaterials auf ein Minimum verringert wird. In gleicher Weise wird durch die herzförmige

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AuBiiehuung 221 auch die innoi-e Grenzlage dec Spritzapparates festgelegt und damit verhindert, daß ein wesentlicher Anteil des Beschiohuuiigsmaterials über die innere Umfangslinie 77 eier Platte 69 vorsprüht wird.

Ein wichtiges IIerk.na.1 der iSrfindung ist die außerphasige Schwingbewegung des Spritzapparates bezüglich der Drehung der Platte 69· Damit wird verursacht, daß das Beschichtungsmaterial auf die exponierte übe:cfläche 81 dar Platte mit einer Vielzahl sich überlappender hin und hergehender Bahnen aufgetragen wird. In Fig.10 ist eine Bahn 241 des Beschichtungsmaterials dargestellt. Die Sprühdüse 239 cLes Spritzapparates bewirkt, wenn sie stationär fest gehalt eil wird, ein etwa elliptisches Verteilungsmuster 24-3 des BeSchichtungsmaterials. Durch die Drehbewegung der Platte und die Pendelbewegung des Spritzapparates wird die Bahn 241 aus einer Vielzahl der elliptischen Muster 243 gebildet. Die dargestellte Bahn 241 entsteht, wenn der Spritzapparat während einer halben Umdrehung der Platte in einer Radialebene nach innen verschwenkt wird. Es ist offensichtlich, daß eine in gleicher V/eise geformte Bahn entsteht, wenn ein anderer Teil der exponierten Oberfläche 81 von der sich nach außen bewegenden Spritzdüse überstrichen

Bsi der speziellen dargestellten Ausfuhrungsform schwingt der Spritzapparat 203 während siebzehn Umdrehungen der Platte 69 achtzehnmal hin und her. Daraus ergibt sich eine Bahn 241, die etwas über die radiale Ausdehnung der Platte 69 verläuft und un

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gefähr einen Umfängst* er ei cn von etwas weniger als 180° überdeckt. Daraus ergibt sich, daß die Bahn 241 auf die Platte 69 unter einem etwas abweichenden Winkel bei der fortlaufenden Verdrehung der Platte aufgetragen wird. Damit wird sichergestellt, daß Jeder Teil der exponierten Oberfläche 81 der Platte gleichmäßig mit dem Beschichtungsmaterial überzogen wird. Damit wird auch sichergestellt, daß jeder Teil der exponierten Oberfläche 81 mit mehreren Bahnen 24-1 überzogen wird, welche hin und hergehend und sich überlappend, über die Platte verlaufen und eine völlige und gleichmäßige Beschichtung der Oberfläche sicherstellen. Mit anderen Worten ausgedrückt, die Bahn 241 wird während jeder Umdrehung der Scheibe 69 in. einem sich nicht wiederholenden Muster auf die exponierte Oberfläche 81 der Platte aufgetragen. Es hat sich ergeben, daß eine gleichmäßige Beschichtung erzeugt wird, wenn sich die Bahn 241 um mindestens 90 und nicht mehr als 270 über den Umfangsbereich erstreckt. Eine bevorzugte Ausführungsform verwendet eine über einen Umfangsbereich von etwas wenigei· als 180° verlaufende Bahn. Da der Motor 191 dazu verwendet wird, sowohl den Spritzapparat 203 als auch die Platte 69 anzutreiben, wird die gewünschte Beziehung zwischen der Pendelbewegung und der Umdrehung der Platte leicht eingehalten.

Es sind auch Einrichtungen vorgesehen, um das sich Absetzen des überschüssigen Sprühmaterials auf der Bodenwand 49 der Beschichtungskammer 33 zu verhindern. Hierfür ist ein Verteilerkopf 245 vorgesehen, der sich über die ganze Breite der Beschichttuigskammer 33 im Bereich der Schnittkante der Seitenwand 47 und der

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Bodenwand 49 erstreckt Ci¹Ig. 3). Der Verteilerkopf ist mit einem langgestreckten Winkelstück 247 abgedeckt, dessen eines Seitenteil bis knapp über die Bodenwand 49 verläuft und damit der durch den Verteilerkopf abgegebenen Flüssigkeit den Austritt und eine gleichmäßige Verteilung der über die Bodenwand zur Beseitigung der sich abgesetzten Anteile des Sprühmaterials fließende Flüssigkeit erlaubt. Es sind sowohl geeignete Einrichtungen vorgesehen, um das Abfließen der über die Bodenwand 49 sich verteilenden Flüssigkeit als auch deren Zuführung zum Verteilerkopf aus Vorrat sbehäl tern in geeigneter Weise zu ermöglichen.

Der Beschichtungsvorgang verläuft in der Einrichtung wie folgt: Zum Beginn einer Beschichtung wird die Platteηauflage 131 in die zurückgezogene Lage gebracht und der Arm 153 sowie die Maske 79 durch den verschiebbaren Anschlag 133 in der Zwischenlage zurückgehalten. Die Tür 19 wird automatisch im üffnungszustand gehalten und gibt den Zugang zur Beschichtungakammer 33 durch die Öffnung 43 frei.

Eine Bedienungsperson führt sodann eine Platte 69 in die Einrichtung derart ein, daß sie auf der Plattenauflage 131 zu ruhen kommt. Darauf wird der Startknopf 29 für den automatischen Funktionsablauf gedrückt. Anschließend schließt sich die 'für 19 automatisch und der Arm 153 sowie die Maske 79 verschieben sich gegen die Scheibo 69. Sobald sich die Maske 79 genau axial über der Scheibe 69 befindet, wird die Plattenauflage 131 automatisch an-

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gehoben und verklemmt die Platte zwischen der Plattonauflago und der Maske. Darauf wird der Arm 15? in dio völlig zurückgezogene Position verschoben, in welcher er in der Seitenwand 167 der BeSchichtungskammer 33 zu liegen kommt. Darauf wird die illappe 55 geöffnet, um den Zustrom der Keinigungsluft in die Boschichtungskammer 33 freizugeben, worauf seinerseits der liotor 19'· erregt wird und der Spritzapparat 203 zu schwingen und die Platte 69 zu drehen anfängt. Nach einer kurzen Verzögerung,während welcher die Platte 69 durch die vorbeiströmende Luft goreinigt wird, werden geeignete Steuereinrichtungen betätigt, dio das Versprühen des Beschichtungsmaterials durch den Spritzapparat 203 freigeben. Das Beschichtungsmaterial wird von dem Spritzapparat längs oiner Vielzahl von Bahnen 241, welche sich sowohl radial als auch in Liifangsrichtung über die exponierte Oberfläche 81 der Platte erstrecken, aufgetragen. Sobald die Platte 69 ausreichend beschichtet ist, wird der Sprühvorgang automatisch beendet, wogegen der Luftstrom weiterhin durch die Beschichtungskammer 33 aufrechterhalten wird, um das '.Trocknen und Aushärten des Beschichtungsmaterials auf der Platte zu unterstützen.

Während dieser ganzen Zeit wird die Reinigungsflüssigkeit über den Verteilerkopf 245 zugeführt, die über die geneigte Bodenwand 49 abfließt, und übersprühtes Beschichtungsmaterial von der Bodenwand abwäscht. Die Pendelbewegung des Spritzapparats 203 x/ird in der bereits beschriebenen Weise begrenzt, um das Übersprühen eines größeren Anteils des Beschichtungsmaterials zu verhindern. Da der Arm 153 völlig zurückgezogen ist, wird keinerlei Verwirbelung der durchströmenden .Reinigungsluft während des ßeschichtiuigsvorgangs ausgelöst. _ηαΛ1Α_/ιη«_β

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Während des Trocluiungsvorgangs bewegt sich der Arm 153 aus der völlig zurückgezogenen Lage in die völlig ausgefahrene Lage, in welcher der Maskenhalter 157 in. den über die Maske 79 hervorstehenden Vorsprung 1^9 unter dem Flansch 151 eingreift. Am Ende der Trockenperiode wird die Plattenauflage 131 durch den Motor 111 zurückgezogen und der Arm sowie die Maske in die Zwischenlage gebracht. Darauf wird der Luftstrom durch die Beschichtungskammer abgestellt und die Tür 19 zur Entfernung der Platte 69 aus der Beschichtungskammer 33 geöffnet. Außer dem Auflegen und Entfernen der Platte von der Plattenauflage 131 läuft der Beschichtungsvorgang völlig automatisch ab. Die Beschichtungsperiode umfaßt eine Zeit von ungefähr 38 Sekunden für jede Seite der Platte.

In den Pig.11 und 12 ist in schematischer Weise eine bevorzugte elektrische Schaltung für das Steuersystem der Beschichtungseinrichtung dargestellt. Mit den einzelnen Teilen der Einrichtung in der oben beschriebenen Anfangsposition und nach der Ablage der Platte auf der Plattenauflage 131 wird der Startknopf 29 für den automatischen Betrieb gedrückt, welcher den Startschalter (Pig.11) schließt. Damit wird das Hauptrelais MR erregt und die Anzeigelampe B-1 über einen geschlossenen Schalter zum Aufleuchten gebracht. Mit einem Arbeitskontakt mr-1 wird eine Haltewicklung des Hauptrelais ΙΈ eingeschaltet, dessen Betrieb durch die Anzeigelampe R-'\ angezeigt wird. Ein handbetriebener Schalter ALT kann ebenfalls dazu benutzt x^erden, um die Beschichtungseinrichtung in Betrieb zu nehmen.

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Das Schließen des Startschalters verursacht außerdem die .Erregung eines Relais SBR und einer Anzeigelampe B-2 über einen Ruhekontakt cer-1. Damit wird die Erregung eines Relais AUR über die Ruhekontakte xur und yur verursacht. Es können gleichzeitig mehrere Beschichtiingseinrichtungen benutzt v/erden. Jedoch kann es erwünscht sein, daß jeweils nur eine der BeSchichtungseinrichtungen mit Reinigungsluft versorgt wird. Dies wird durch die Kontakte xur oder yur erzielt, wovon einer geöffnet ist, wenn das Relais AUR einer der BeSchichtungseinrichtungen erregt wird. Damit wird die Erregung der übrigen Relais AUR verhindert. Wie später noch näher beschrieben wird, muß das Relais AUR erregt sein, wenn die dazugehörige Beschichtungseinrichtung mit Reinigungsluft versorgt werden soll. Hit der Erregung des Relais SBR wird ein Arbeitskontakt sbr-1 geschlossen, wodurch ein Selbsthaltekreis für das Relais SBR und das Relais AUR geschaffen wird.

Der Motor 21 wird normalerweise über zwei Ruhekontakte- cvt-1 und cvt-2 erregt. Hit dem Motor 21 im erregten Zustand wird die Tür 19 im üffnungszustand gehalten und dadurch der Zugang zum Inneren der BeSchichtungskammer-33 freigegeben. Die Erregung des Relais SBR verursacht die Schließung des Arbeitskontaktes sbr-2 sowie die Erregung des Zeitgebers CVT über einen Tür-Offenschalter und einen Ruhekontakt cer-2. Durch die Erregung des Zeitgebers OVT wird der Arbeitskontakt cvt-3 geschlossen und die Ruhekontakte cvt-1 und cvt-2 geschlossen, womit das am Motor 21 anliegende Potential umgekehrt wird und der Motor die Tür 19 schließt. Gleichzeitig wird eine An ζ iigelampe G-1 zum Aufleuchten gebracht; und

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eine zweite Anzeigelampe H-1' gelöscht. Ein Kontakt cvt-4-schließt einen Haltekreis für den Zeitgeber GVT. Mit dem Tür-Offenschalter und Tür-Geschiossensehalter ist es möglich, den Motor 21 von Hand zu steuern.

Der Motor 169 wird über den Kontakt mar-1, einen Schalter NGSD und einen Kontakt mar-2 erregt. Der Schalter NGSD wird automatisch geschlossen, wenn die Spindel 67 in ihre zurückgezogene Lage gebracht wird. Der Motor 169 kann auch über den Kontakt scr-3a erregt werden. Wenn der Motor 169 erregt ist, wird das Gestänge 175 gegen den nach oben hervorstehenden Anschlag 183 (Fig.9) zum Anschlag gebracht, so daß der Arm 153 und die Maske 79 in der Zwischenlage festgehalten werden. Die Erregung des Heiais SBH verursacht die Schließung eines Arbeitskontaktes sbr-3» wodurch ein Relais MAß über einen normalerweise geschlossenen Schalter und den Arbeitskontakt vat-2 erregt wird. Das Relais. MAR verursacht die Schließung des Kontakts mar-3 und die Öffnung der Kontakte mar-1 und mar-2, wodurch das Potential am Motor 169 umgekehrt wird und letzterer die Bewegung des Armes 153 und der Maske 79 in die völlig ausgefahrene Lage veranlaßt. Gleichzeitig leuchtet die Anzeigelampe G-2 auf und die Anzeigelampe R-2 erlischt. Mir das Relais MAR ist ein Haltekreis über den Ruhekontakt cer-3 und den Arbeitskontakt mar-4- vorgesehen. Es ist außerdem ein Schalter für die Ausfahr- und Rückfahrbewegung des Armes vorgesehen, um den Motor 169 von Hand steuern zu können.

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Der Motor 111 wird normalerweise über die Kontakte scr-1 und scr-2 erregt. Nach der Erregung des Motors 111 wird die Welle 99 und die Plattenauflage 1,31 in der zurückgezogenen Lage (i?ig.7) gehalten. Wenn jedoch der Arm 153 und die Maske 79 vertikal mit der Achse der Welle 99 ausgerichtet ist, nuß die Plattenauflage 131 angehoben werden, um die Platte zwischen der Auflage und der Maske zu verklemmen. Deshalb wird nach einer bestimmten Verzögerungszeit ein Arbeitskontakt cvt-5 geschlossen und das Relais SCR arregt und eine Anzeigelampe G-3 über den Kontakt sbr-4-, einen normalerweise geschlossenen Schalter zum Absenken der Spindel und den Arbeitskontakt cer-4- zum Aufleuchten gebracht. Dadurch wird der Arbeitskontakt scr-3 geschlossen und das Potential am Motor 111 umgekehrt, so daß das Anheben der Plattenauflage 131 in die ausgefahrene Position verursacht wird. Gleichzeitig erlischt die Anzeigelampe R-3· Über den Kontakt scr-4 wird ein Haltekreis für das Relais SCR geschaffen. Der Kontakt scr-3a wird ebenfalls durch das Relais SCR geschlossen.

In E¹Ig. 12 ist ein Schalter dargestellt, der automatisch mit der Bewegung der Plattenauflage 13I in die ausgefahrene Position geschlossen wird. Da der Kontakt aur-3 mit dem Ausfahren der Plattenauflage in die ausgefahrene Position unter der Annahme, daß die Kontakte xur und yur bereits geschlossen sind, geschlossen wird, wird ein Zeitgeber VAT für die Ventilationsluft, eine Anzeigelampe G-4, die elektromagnetische Hubeinrichtung 59 und die elektromagnetische Hubeinrichtung 185 erregt. Durch die Erregung der Hubeinrichtung 59 wird die Klappe 55 in die Offenlage bewegt

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und ermöglicht das Einströmen der Reinigungsluft in die Beschichtungskammer 33· Durch die Erregung der Hubeinrichtung 185 wird der verschiebbare Anschlag 183 zurückgezogen, so daß der Arm nicht langer in der Zwischenlage festgehalten wird. Durch die Erregung des Zeitgebers VAT wird der Kontakt vat-1 geschlossen und der Ruhekontakt vat-2 (Fig.11) geöffnet, um die Erregung vom Relais MAR zu nehmen. Dadurch wird das Potential am Motor 169 wiederum umgekehrt, wodurch letzterer den Arm 153 in. die völlig zurückgezogene Position bewegt, in welcher er in Berührung mit der Seitenwand 167 ist. Der Schaltkreis über den Motor 169 wird durch die Kontakte scr-3a, mar-1 und mar-2 vervollständigt. Der Ruhekontakt cer-5 und der Arbeitskontakt vat-3 liegen im Haltekreis des Zeitgebers VAT für die Ventilationsluft. Es ist ferner ein Schalter zum Ein- und Abschalten des Zeitgebers VAT für die Ventilationsluft vorgesehen, mit dem diese von Hand gesteuert werden kann. Gleichzeitig mit der Erregung des Zeitgebers VAT xtfird der Kontakt vat-4 geöffnet, wodurch die Anzeigelampe R-4-abgeschaltet wird.

Nach einer kurzen Verzögerungszeit, während welcher die Scheibe von der Reinigungsluft überströmt wird, wird der Kontakt vat-5 geschlossen und das Relais DSR über einen Kontakt aur-4-a, einen Plattenstoppschalter und einen Ruhekontakt cer-6 erregt. Gleichzeitig leuchtet eine Anzeigelampe G-5 auf und der Motor 191 beginnt die Platte zu drehen und den Spritzapparat 203 in. Schwingung zu vernetzen. Der Kontakt dsr-1 schließt einen Haltekreis für das Relais DSR, wogegen das Öffnen des Kontakts dsr-2 das

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Erlöschen der Anaeigelampe R-5 verursacht. Für die Handsteuerung des Motors 191 ist ein Start- und Stoppschalter für die Platte vorgesehen.

Der Schalter für den Spritzapparat hat zwei Kontakte gs-1 und gs-2, mit denen die Pendelbewegung des Spritzapparats gesteuert wird. Sobald der Spritzapparat 203 die vertikale Lage einnimmt, wird der Kontakt gs-2 geöffnet und der Kontakt gs-1 geschlossen, und zwar so lange, bis der Spritzapparat über die vertikale Lage zurückschwingt, wodurch der Kontakt gs-1 geöffnet und der Kontakt gs-2 geschlossen wird. Somit beginnt der Sprühvorgang in der vertikalen Lage des Spritzapparats, so daß, wenn das Relais DSR erregt ist, ein Zähler SGG für den Spritzapparat über die Kontakte aur—4-, dsr-3, gs-1 und cer-7 sowie über einen normalerweise geschlossenen Stoppschalter für den Sprühvorgang erregt wird. Gleichzeitig wird eine Anzeigelampe G-6 eingeschaltet und eine elektromagnetische Spule durch die Zählerkontakte sgc-1 erregt, welche nach der Erregung des Zählers SGG im geschlossenen Zustand bleibt. Es können geeignete Einrichtungen vorgesehen sein, um die beschriebene Wirkungsweise des Schalters für den Spritzapparat, des Schalters für die Spindel und des Schalters NGSD zu verursachen.

Die Erregung des elektromagnetischen Ventils für die Flüssigkeit betätigt ein konventionelles,nicht dargestelltes Steuersystem, welches verursacht, daß der Spritzapparat 203 zu sprühen beginnt und die Platte mit dem Sprühmaterial überzieht. Der Kontakt sgc-2

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wird geschlossen, um einen Haltekreis für den Zähler SGC aufzubauen. Sobald der Spritzapparat 203 seine vertikale Lage erreicht, wird der Kontakt gs-2 geöffnet und der Kontakt gs-1 geschlossen, um einen Elektromagnet GC für den Zähler pulsartig zu erregen. Somit wird der Zählerelektromagnet CC beim Erreichen jeder vertikalen Lage durch den Spritzapparat 203 mit einem Impuls erregt und jeder dieser Impulse vom Zähler SGC abgezogen. Nachdem eine bestimmte Anzahl Impulse gezählt wurde, wird der Kontakt sgc-1 geöffnet und die Erregung der elektromagnetischen Spule für die Flüssigkeit unterbrochen, so daß der Spritzapparat in seiner vertikalen Lage automatisch aufhört das Beschichtungsmaterial zu versprühen, wodurch das Beschichtungsmaterial hauptsächlich auf die Platte aufgesprüht wird. Wenn der Zähler SGC erregt ist, ist der Kontakt sgc-3 geöffnet und die Anzeigelampe R-6 abgeschaltet.

Nachdem der Spritzapparat eine bestimmte Anzahl von Pendelschwingungen ausgeführt hat, wird der Kontakt sgc-4- geschlossen, um einen Zeitgeber DDT für die Trockenzeit zu erregen und eine Anzeigelampe G*-7 über einen Kontakt aur-5 einzuschalten. Dadurch wird der Kontakt ddt-1 geschlossen und das Relais MAR erregt sowie das Potential für den Motor 169 umgekehrt. Damit wird durch den Motor der Arm 153 gegen die Maske 79 verschwenkt, wobei dieser in den Vorsprung 149 eingreift. Während dieser Zeit wird die Reinigungsltsft kontinuierlich durch die BeSchichtungskammer 33 geführt, wodurch das Austrocknen des Beschichtungsmaterials auf der Platte und das Entfernen des versprühten Beschichtungsmate- ; rials aus der Beschiehtungskammer unterstützt wird. Auch der Mo-

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tor 191 "bleibt weiterhin in Betrieb. Der Kontakt ddt-2 wird geschlossen, wodurch die Anzeigelampe H-6 aufleuchtet und der Kon-' takt ddt-4- wird geöffnet, wodurch die Anzeigelampe R-7 gelöscht wird.

Nach einer bestimmten Verzögerungszeit wird der Kontakt ddt-3 geschlossen und ein Heiais CER erregt, welches durch den Kontakt cer-8 im Erregungszustand gehalten wird. Damit wird die Beschichtungseinrichtung in folgender Weise abgeschaltet. Zunächst wird der Kontakt cer-4- geöffnet und das Potential an dem Motor 111 umgekehrt, wodurch die Platte und die Plattenauflage 131 in die Zurückgezogene Lage verschoben werden. Der Kontakt cer-6 wird geöffnet und die Erregung des Heiais DSH unterbrochen. Der Kontakt cer-3 wird geöffnet, so daß, wenn die Spindel ihre zurückgezogene Lage einnimmt, der Spindelschalter geöffnet wird und die Erregung vom Zeitgeber VAT für die Ventilatorluft der elektromagnetischen Hubeinrichtung füg die Klappe 59 und der elektromagnetischen Hubeinrichtung 185 unterbrochen wird. Dadurch wird der Luftstrom der Reinigungsluft abgestellt und der Anschlag 183 nach oben bewegt, um den Arm 153 in der Zwischenlage festzuhalten. Der Kontakt cer-1 wird geöffnet, so daß bei dem Abfallen der Erregung vom Zeitgeber VAT für die Ventilationsluft der Kontakt vat-1 geöffnet wird und die Erregung vom Relais SBR abfällt.. Durch die Öffnung des Kontakts cer-2 wird der Motor 21 in Betrieb genommen und die Tür 19 geöffnet. Ferner wird durch die Öffnung der Kontakte cer-3 und sbr-3 das Relais MAR abgeschaltet, wodurch der Stromkreis über die Kontakte mar-1 und mar-2 sowie den

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Schalter NOSD geschlossen ist. Dadurch xfird der Motor 169 im Drolisimi umgekehrt, wodurch der Arm 153 in die mittlere Lage gebracht wird, in welcher er an dem verschiebbaren Anschlag 183 anliegt. Der Kontakt cer-7 wird geöffnet, um den Zähler SG-G zurückzustellen. Sobald die Tür 19 geöffnet wird, kann die Scheibe aus der Beschichtungskammer 33 entnommen werden. Obwohl Bandschalter in der Schaltung gemäß Fig.11 und 12 vorgesehen sind, wird die Einrichtung normalerweise automatisch betrieben und die Handsteuerung nur zum Einstellen der Haschine benutzt.

Patentansprüche

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Claims (1)

1. Patentansprüche

   1. Einrichtung zur Herstellung magnetischer Speicherplatten mit einem oszillierenden Spritzapparat zum Verteilen des Sprühmaterials auf der Platte und mit Einrichtungen zum Verschieben der Platte relativ zum Spritzapparat während ein ringförmiger Bereich der Platte mit dem Sprühmaterial bedeckt wird, gekennzeichnet durch Einrichtungen (189,197,201,99), um die Platte (69) zu verschieben und zu verschwenken,und Einrichtungen (189,237,205), um den Spritzapparat (203) in eine Pendelbewegung zu versetzen, derart, daß das Sprühmuster des Spritzapparats vorwärts und rückwärts zwischen einer äußeren und inneren Umfangslinie der Platte entlang einem ringförmigen Bereich versprüht wird.

   2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sprühmuster entlang einer bezüglich der Achse der Platte radialen Richtung bewegt wird.

   3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Pendelbewegung des Spritzapparats in beiden Richtungen begrenzt ist, um das Versprühen eines wesentlichen Anteils des Sprühmaterials über die innere oder äußere Umfangslinie der Platte zu vermeiden.

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   4. Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Spritzapparat um eine Hauptrichtung hin und herpendelt, welche auf die mittlere Zone des ringförmigen Bereichs ausgerichtet ist und gegen die Achse der Platte geneigt ist.

   5- Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Spritzapparat derart um eine gegenüber der Achse der Platte versetzte Achse pendelt, daß die Ebene durch die Pendelachse senkrecht zur Ebene der Platte die Plattenebene außerhalb der Platte schneidet.

   6. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5* dadurch gekennzeichnet , daß Einrichtungen (189_}237_} 205) derart vorgesehen sind, daß die Pendelbewegung des Spritzapparats langsamer verläuft, wenn das 3prühmu3ter in der Nähe der äußeren Umfangslinie auf der Platte auftrifft, und daß die Pendelbewegung schneller verläuft, wenn das Sprühmuster im Bereich der inneren Umfangslinie auf der Platte auftrifft.

   7· Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zum Erzeugen einer Pendelbewegung für den Spritzapparat eine Nockenscheibe (219) und eine Exzenterrolle (229) aufweisen, und daß die Nockenscheibe z.B. herzförmig ausgeführt ist.

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   8. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet , daß die Schwingperiode des Spritzapparats und die Umdrehungszeit der Platte voneinander verschieden sind und der Quotient aus beiden Größen keine ganze Zahl darstellt.

   9. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Schwingperiode des Spritzapparats und die Umlaufzeit der Platte derart aufeinander eingestellt sind, daß das Sprühmuster über eine Bahn zwischen 90 und 270 und vorzugsweise über eine Bahn von geringfügig weniger als 180 verläuft, wobei das Sprühmuster von der einen Umfangslinie zur anderen Umfangslinie der Platte wandert.

   10. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß die Platte horizontal gehaltert ist und der Spritzapparat nach unten sprüht.

   11. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß eine Kammer vorgesehen ist, die den Spritzapparat und die Scheibe urischlioßt und in !welcher Einrichtungen vorhanden sind, um eine Strömung der Heinigungsluft von einer Eingangsöffnung (45) zu einer Ausgangsöffnung (39) zu richten.

   12. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bodenwand (49) der Beschichtungskammer derart

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   aufgebaut ist, daß keine Unregelmäßigkeiten bezüglich des Luftstroms quer über dieselbe verlaufen.

   1o. Einrichtung nach Ansj^ruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß die Bodenwand (49) von der Einlaßöffnung (45) zur Auslaßöffnung (39) hin geneigt ist.

   14. Einrichtung nach Anspruch 12 oder 13} dadurch gekennzeichnet , daß Einrichtungen (24-5) vorhanden sind, um eine iieinigungsflüssigkeit über die Bodenwand (49) zu verteilen, und daß diese Einrichtungen vorzugsweise am oberen Ende der Bodeiiwand angeordnet sind.

   15· Einrichtung nach Anspruch 11, 12, 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet , daß eine elektromagnetische Hubeinrichtung (59) für eine Klappe (55) vorgesehen ist, um den Luftstrom zur Eingangsöffnung (4-5) zu steuern.

   16. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15» dadurch gekennzeichnet , daß eine Plattenauflage (1$1) zum Verdrehen der Platte vorgesehen ist, daß eine Maske (79) zum Vei-klemmen der Platte auf der Plattenauflage und zur Bestimmung der inneren Umfangslinie der Platte vorhanden ist, und daß Einrichtungen (169,155) zum automatischen Entfernen der Maske von der Plattenauflage vorgesehen sind, wodurch das Entfernen der Platte von der Plattenauflage ermöglicht wird.

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   17· Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß Steuereinrichtungen (113) vorgesehen sind, die in der Position der Maske (79) über der Plattenauflage (131) die Maske und die Plattenauflage zum Verklemmen der Platte axial zueinander zu verschieben in der Lage sind.

   18. Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontrolleinrichtungen (113) die Plattenauflage (131) heben und senken, wobei die-Steuereinrichtungen in der angehobenen Lage der Plattenauflage das Gewicht der Maske aufnehmen.

   19· Einrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske, wenn das Gewicht derselben auf die Plattenauflage einwirkt, außer Eingriff mit den Einrichtungen (165,155) zum automatischen Entfernen der Maske kommt, und daß Einrichtungen vorgesehen sind, um diese Einrichtungen (165,155) automatisch von der Maske abzuziehen.

   20. Einrichtung nach Anspruch 19 und Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtungen zum automatischen Entfernen der Maske von der Plattenauflage einen Arm (153) umfassen, der an seinem freien Ende die Maske trägt und an der Wand der BeSchichtungskammer anliegt, wenn er von der Maske abgezogen ist.

   21. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenauflage (131)

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   und die Maske (79) mit Vorsprängen bzw. mit Ausnehmungen ( versehen sind, die ineinandergreifen, wenn sich die Maske und die Plattenauflage einander nähern, wobei die Ausnehmungen und die Vorsprünge derart konisch ausgebildet sind, daß die Maske gegenüber der Plattenauflage zentriert wird.

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