DE1514408C - Korpuskularstrahlmikroskop - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahl- Stellung heben, ehe die Schwenkbewegung ermikroskop, wobei insbesondere an ein Elektronen- folgt.

mikroskop gedacht ist. Derartige Geräte besitzen eine Im Prinzip wird bei der Erfindung also ein Aus-Mikroskopsäule, deren das Strahlerzeugungssystem gleich zwischen den unterschiedlichen Höhen der und den Kondensor enthaltender oberer Teil in 5 verschiedenen Objektkammern durch geeignete Wahl der Regel mittels einer kranartigen Vorrichtung von des Spielraumes der Größe der Hebbewegung des dem eine Objektkammer bildenden darunter liegen- oberen Teils der Mikroskopsäule getroffen,
den Teil der Mikroskopsäule durch Anheben und Zweckmäßigerweise sind die die Hebbewegunc be-Schwenken entfernbar ist. Das Anheben erfolgt da- wirkenden Elemente der Vorrichtung im Hinblick bei in Richtung der Mikroskopachse, während das io auf eine Hebbewegung von etwa 6 bis 10 cm aus-Schwenken quer zur Richtung der Achse durchge- gebildet. So groß ist nämlich in der Regel der Spielführt wird; vgl. den Prospekt »ELMISKOP 1A«, raum der Höhen der für die verschiedenen Unterder Fa. Siemens & und Halske A. G. aus dem Jahr suchungen benötigten Objektkammern.
1960 und die USA.-Patentschrift 2 370 373. An sich bestehen mehrere Möglichkeiten, um die Zum Anheben des oberen Teiles der Mikroskop- 15 kranartige Vorrichtung für die Objektkammern unsäule in die zum Schwenken erforderliche Stellung terschiedlicher Höhe verwendbar zu machen. Beigenügt in der Regel eine Bewegung um etwa 2 cm. spielsweise könnte man daran denken, den Stütz-Im Rahmen der modernen Untersuchungstechnik, punkt dieser Vorrichtung entsprechend der jeweilibeispielsweise bei ferromagnetischen Materialien, hat gen Höhe der eingesetzten Objektkammer zu veres sich als wünschenswert erwiesen, derartige Objekte so ändern. Dies führt aber zu Neukonstruktionen, die unter definierten äußeren Einflüssen hinsichtlich ihrer in einfacher Weise dadurch umgangen werden kön-Veränderungen zu beobachten. Diese Untersuchungs- nen, daß man die Vorrichtung in folgender Weise technik macht es erforderlich, beispielsweise Spulen aufbaut:

zur Heizung oder zur Erzeugung definierter Magnet- Die Vorrichtung enthält, wie aus der ein Ausfelder, Spannvorrichtungen u. dgl. in die Objektkam- 35 führungsbeispiel der Erfindung wiedergebenden mer hineinzubringen. Hieraus resultiert das Erforder- Figur ersichtlich, die senkrecht angeordnete Stange 1, nis eines gegenüber der üblichen Untersuchungstech- die an ihrem oberen Ende die beispielsweise gabelnik vergrößerten Objektraumes, d. h. einer Objekt- artige Halterung 2 für den das Strahlerzeugungssyskammer, deren Höhe größer ist als die der üblichen tem und den Kondensor enthaltenden oberen Teil 3 Objektkammern. 3° der Mikroskopsäule 4 trägt. Von der Mikroskopsäule Man könnte sich prinzipiell dadurch helfen, daß sind in der Figur ferner der die Objektkammer bilman die Mikroskope von vornherein mit höheren dende Teil 5 sowie der das Objektiv enthaltende Teil 6 Objektkammern versieht. Trägt man der dadurch dargestellt; darunter befinden sich in an sich bekannhrvorgerufenen höheren Ausgangslage des das Strahl- ter Weise die weiteren Abbildungslinsen (Projektiverzeugungssystem und den Kondensor enthalten- 35 linse und gegebenenfalls Zwischenlinse) und der Endden oberen Teils der Mikroskopsäule bei der Dirnen- bildtubus.

sionierung der zum Anheben dieses Säulenteils die- An ihrem unteren, mit dem Gewinde 7 versehenen nenden Vorrichtung Rechnung, so läßt sich diese Teil stützt sich die Stange 1 in der Gewindebuchse 8 ohne weiteres für ein mit einer höheren Objektkam- ab, die mittels der Kegelradübertragung 9 durch Bemer versehenes Mikroskop verwenden. 40 tätigung der Handkurbel 10 in Drehung versetzt Auf der anderen Seite ist es aber häufig erforder- werden kann. Diese Drehbewegung bewirkt, ausgelich, mit einem Korpuskularstrahlmikroskop bei hend von der dargestellten Höhe der Stange 1, zueinem kleinen Durchmesser des Korpuskularstrahls nächst eine Hebbewegung der Stange, die von dem auf dem Objekt zu arbeiten, der sich nur durch einen senkrecht verlaufenden Teil 11 des Führungsschlitzes möglichst kleinen Abstand zwischen dem fokussie- 45 12 in der feststehenden Kulissenführung 13 im Zurenden Kondensor einerseits und dem Objekt an- sammenwirken mit dem Querstift 14 in der Stange 1 dererseits realisieren läßt. Aus diesem Grund müssen erzwungen wird. Gemäß der Erfindung ist dieser bei einem Mikroskop, das sowohl zu Untersuchun- senkrecht verlaufende Bereich 11 des Führungsgen mit feinem Fokus als auch zu Untersuchungen Schlitzes 12 so lang bemessen, daß der obere Teil 3 mit zusätzlichen Sulen od. dgl. in der Objektkammer 50 der Mikroskopsäule unabhängig von der Höhe der geeignet sein soll, Maßnahmen zum Auswechslen von jeweils eingesetzten Objektkammer 5 vor Einsetzen Objektkammern unterschiedlicher Höhe getroffen der Schwenkbewegung quer zur Mikroskopachse 15 sein. Dabei besteht verständlicherweise der Wunsch, in diejenige Stellung gehoben ist, die der Austausch an der bewährten Konstruktion des Mikroskops und der Objektkammer mit der größten Höhe erfordert, der zum Abheben des oberen Teils der Mikroskop- 55 Demgemäß beträgt die Länge des Schlitzteiles 11 bcisäule dienenden Vorrichtung möglichst keine Ände- spielsweise 6 bis 10 cm oder auch mehr, falls eine rungen prinzipieller Art vornehmen zu müssen. noch höhere Objektkammer notwendig ist.

Ein Korpuskularstrahlmikroskop, das den oben- Nach Vollendung dieser Hebbewegung gelangt der

genannten Forderungen genügt, ist erfindungsgemäß Stift 14 in den Bereich des zweiten, quer zur Stange 1

dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Objektkam- 60 verlaufenden Teils 16 des Schlitzes 12. Dieser Teil

mem unterschiedlicher Höhe wahlweise in die des Schlitzes erzwingt nunmehr unter dem Einfluß

Mikroskopsäule einsetzbar sind und die Hebbewe- der gedrehten Handkurbel 10 eine Drehbewegung der

gung des oberen Teils der Mikroskopsäule in Rieh- Stange 1 und damit die Schwenkbewegung des Teils 3

tung der Mikroskopachse bewirkenden Elemente der der Mikroskopsäule, wodurch die Objektkammer 5

Vorrichtung derart ausgebildet sind, daß diese den 65 zum Austauschen freigegeben wird,

oberen Teil der Mikroskopsäule unabhängig von der Man erkennt, daß ebenfalls zur Anpassung an die

jeweils eingesetzten Objektkammer stets in die zum unterschiedlichen Höhen der Objektkammern 5 die

Einsetzen der höchsten Objektkammer erforderliche Vakuumleitung 17 flexibel ausgebildet ist.

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Mikroskopsäule, deren das Strahlerzeugungssystem und den Kondensor enthaltender oberer Teil mittels einer kranartigen Vorrichtung von dem eine Objektkammer bildenden darunter liegenden Teil der Mikroskopsäule durch Anheben in und Schwenken quer zur Richtung der Mikroskopachse entfernbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Objektkammern unterschiedlicher Höhe wahlweise in die Mikroskopsäule einsetzbar sind und die die Hebbewegung des oberen Teils der Mikroskopsäule in Richtung der Mikroskopachse bewirkenden Elemente der Vorrichtung derart ausgebildet sind, daß diese den oberen Teil der Mikroskopsäule unabhängig von der jeweils eingesetzten Objektkammer stets in die zum Einsetzen der höchsten Objektkammer erforderliche ao Stellung heben, ehe die Schwenkbewegung erfolgt.

2. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Hebbewegung bewirkenden Elemente der Vorrichtung im Hinblick auf eine Hebbewegung um etwa 6 bis 10 cm ausgebildet sind.

3. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine senkrecht angeordnete, an ihrem oberen Ende eine Halterung für den oberen Teil der Mikroskopsäule aufweisende und sich mit ihrem unteren, ein Gewinde tragenden Teil in einer Gewindebuchse abstützende Stange, ferner Mittel zum Drehen der Gewindebuchse sowie eine die Stange umgreifende Kulissenführung enthält, deren mit einem Querstift in der Stange zusammenwirkender Führungsschlitz sich &us einem quer zur Stange verlaufenden oberen Bereich (Schwenkbewegung) und einem in Richtung der Stange verlaufenden unteren Bereich (Hebbewegung) zusammensetzt, dessen Länge durch die Entfernung zwischen den Stellungen des oberen Teils der Mikroskopsäule beim Einsetzen der höchsten Objektkammer einerseits und bei eingesetzter niedrigster Objektkammer andererseits bestimmt ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen