DE1466729A1 - Verfahren und Steuerschaltung zur aufeinanderfolgenden elektrischen Pruefung einer Vielzahl von Flaechenelementen - Google Patents

Verfahren und Steuerschaltung zur aufeinanderfolgenden elektrischen Pruefung einer Vielzahl von Flaechenelementen

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DE1466729A1
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Druschel William Otto
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Description

PATENTANWALT DIPL.-ING. H. E. BÖHMER
703 BDBLINGKN 8 I N DBLFIN CSK 8TRA.8 SE 4» 1466729
FERNSPRECHER (07031) ««13040
Böblingen, 17· Dezember I965 ki-sch
Anmelder: International Business Machines
Corporation, Armonk, N.Y. 10504
Amtl. Aktenzeichen: Neuanmeldung Aktenz. der Anmelderin: Docket 14 097
Verfahren und Steuerschaltung zur aufeinanderfolgenden elektrischen Prüfung einer Vielzahl von Flächenelementen
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur aufeinanderfolgenden elektrischen Prüfung einer Vielzahl kongruenter Flächenelemente, die eine geometrisch unregelmäßige flächenhafte Figur bilden.
Derartige Verfahren sind vorteilhaft bei der Herstellung von Transistor.en verwendbar, bei der eine dünne Platte aus einem Halbleitermaterial mit einem Durchmesser von etwa 25*4 mm auf einer Unterlage gebildet und dann in ein Qittermuster geschnitten wird, wodurch viele quadratische Stückchen, sogenannte Chips, mit einer Seitenlänge von etwa 0,76 mm entstehen. Jedes dieser Chips hat elektrische Ansohlußpunkte, die während die Chips noch mit ihrer Unterlage verbunden sind, mit einer Prüfsonde nacheinander verbunden werden. Beim Zerschneiden der Halbleiterplatte kommt es nun häufig vor, daß einzelne oder Gruppen von Chips beschädigt werclen, bzw· eine Trennung zum Nachbarchips nicht sauber erfolgt.
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Die Erfindung gibt ein Verfahren und eine Schaltung an, mit denen es möglich ist, derartige Halbleiterplatten selbsttätig, schnell und mit relativ einfachen Mitteln, also funktionssicher zu prüfen. Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß eine Fotografie von der zu prüfenden Figur hergestellt wird, die undurchsichtige und durchsichtige Stellen aufweist in Abhängigkeit davon, ob es sich um vollständige Flächenelemente der Figur oder um die Unterlage derselben handelt, daß die Fotografie auf einen Koordinatenschlitten aufgespannt wird und gegenüber der ebenfalls auf diesem Schlitten aufgespannten fotografierten Figur so ausgerichtet wird, daß die Koordinatenachsen der Fotografie und der Figur paarweise parallel zueinander verlaufen und ein für die elektrische Prüfung vorgesehener Prüfkopf über dem Flächenelement der Figur zu liegen kommt, über dessem zugeordneten Element der Fotografie ein fotoelektrischer Abfühlkopf sich befindet, daß die den Fiächenelementen der Figur entsprechenden Elemente auf der Fotografie nacheinander durch die Verschiebung des Koordinatenschlittens von dem Abfühlkopf abgefühlt werden und in Abhängigkeit vom Abfühlergebnls eine steuerschaltung mit Signalen beaufschlagt wird, die sowohl den Antrieb des Koordinatenschlittens als auch die Hubbewegungen des Prüfkopfes derart steuern, daß der Koordinatenschlitten nur über vollständigen Flächenelementen anhält und der Prüfkopf eine Senkbewegung und nach erfolgter elektrischer Prüfung eine Anhebebewegung ausführt. Das erfindungsgemäße Verfahren gibt demnach einen Weg an für die selbsttätige Unterscheidung zwischen Chips und Leerstellen in dem Gittermuster auf der Halbleiterplatte, wonach die Leerstellen selbsttätig von dem Prüfkopf übersprungen und folglich nur vollständige Chips getestet werden.
Weitere Merkmale der Erfindung sind den Ansprüchen zu entnehmen.
Einzelheiten der Erfindung sind nachstehend an Hand von in den Figuren veranschaulichten Ausführungsbeispielen für eine nach dem erfin-
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dungsgemäßen Verfahren wirkende Steuerschaltung und verschiedene Fotoausführungen der zu prüfenden Figur beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 ein Schema der Prüfeinrichtung mit einem Block
schaltbild der Steuerschaltung,
Fig. 2 eine Draufi^§cht einer auf einem Träger befindlichen Halbleiterplatte,
Fig. 5 ein Negativfoto der Platte nach Fig. 2 und Fig. 4 ein Positivfoto der Platte nach Fig. 2.
Die auf dem transparenten Träger 11 gebildete und in ein durch die Linien 12 (Fig. 2) gezeigtes Gitter geschnittenen Halbleiterplatte 10 ist zu testen. In der Platte 10 stellen die Linien 12 lichtdurchlässige Zwischenräume dar, die durch Entfernen des Halbleitermateriales entstanden sind. Gewöhnlich füllt die Platte nicht das ideale durch das Liniennetz 12 umrissene Gitter ausj die Figi 2 zeigt eine Zone 15 von Löchern zwischen dem Rand des idealen Gitters 12 und der Kante der Platte 10, sowie Stellen 14, an denen die äußersten Chips nur teilweise ein Quadrat im Gitter ausfüllen. Die Fig. 2 zeigt auch Löcher I5 in der Platte, wo Chips fehlen oder sonst ohne Test als mangelhaft erkennbar sind, und ein Chip 16, welches von den anderen durch ein Loch 17 isoliert ist. Der Träger 11 und der Grundriß des Gitters 12 sind ungefähr eineinhalb mal gegenüber der gebräuchlichen Größe vergrößert; die Quadrate im Gitter haben das Vielfache der tatsächlichen Größe der Chips.
In einem Arbeitsschritt dieses Verfahrens des Transistor-Testes wird die Chip-Platte gemäß der Fig. 2 fotografiert, um entweder ein in der Fig. 3 gezeigtes negatives Bild oder ein in der Fig. 4 dargestelltes positives Bild zu erzeugen. Die Fig. 1 zeigt das Licht-
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bild 18 willkürlich als das Negativ der Fig. 3· Vorzugsweise wird das Lichtbild der Fig. 3 und 4 durch Kontaktabzug gebildet, so daß sie in ihrer Größe mit der wirklichen Chip-Platte der Fig. 2 übereinstimmen; ein Film wird unmittelbar gegen eine Chip-Platte gelegt und von der gegenüberliegenden Seite des Trägers 11 aus belichtet. In den Filmen werden Löcher I9 (Fig. 3, 4) für die Einstellung in der Testeinrichtung nach der Fig. 1 abgebildet.
Im Negativfilm der Fig. 3 sind der gesprenkelte Bereich 20 außerhalb der Platte 10 und der den Löchern I5 entsprechende Bereich 21 lichtundurchlässig (die Gitterlinien 12 außerhalb der Platte 10 , erscheinen in keinem Lichtbild). Das Lichtbild der Fig. 3 entnält noch einen lichtundurchlässigen Bereich 22 (nicht unterscheidbar' vom Bereich 20), in dem das Bild der nur teilweise geformten Chips 14 abgeblendet wurde, so daß dieselben als Löcher erscheinen und nicht getestet werden. Die Darstellung in der Fig. 4 gleicht dem Träger- und Platten-Zusammenbau der Fig. 2 mit der Ausnahme des Bereiches 23* wo die den Teil-Chips 14 in der Fig. 2 entsprechenden dunklen Zonen eliminiert wurden; sie können z. B. mittels eines Handlochers ausgestanzt werden; wie in der Fig. 2 stellen die Gitterlinien lichtdurchlässige Zwischenräume zwischen den Chips dar.
Wie die Fig. 1 zeigt, ist die Lage der Fotografie 18 mittels der in die Löcher I9 eingreifenden Stifte 25 auf dem Schlitten 26 bestimmt. Die Platte 10 ist mit ihrem Träger 11 ebenfalls am Schlitten 26 mittels einer Vakuum-Aufspannung festgehalten. Der Träger 11 ist so ausgerichtet, daß die Linien 12 der Platte 10 parallel zu den Linien der auf dem Schlitten 26 aufgespannten Fotografie 18 verlaufen. Der Schlitten ist in bekannter V/eise aufgebaut und kann in der Richtung der Chip-Reihen durch eine X-Richtungs-Antriebseinrichtung 27 und in der Richtung der Spalten durch eine Y-Richtungs-Äntriebseinrichtung 28 angetrieben werden. Solche Antriebseinrichtungeh sind an sich bekannt. Eine weiter unten beschriebene Steuereinrich-
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tung spricht auf durch jede dieser Antriebseinrichtungen abgegebene, die Lage anzeigende Signale an und erzeugt Steuersignale. Jede der Antriebseinrichtungen 27 und 28 besitzt je einen Motor mit umkehrbarer Drehrichtung für die Bewegung des Schlittens 26 in der gewählten Richtung. Ein Steuermittel, ζ. B. ein nockengesteuerter Schalter, der kurz nach dem Start des Motors geschlossen und wenn der Motor die nächste Stellung erreicht, geöffnet wird, ist für die X-Antriebseinrichtung 27 vorgesehen, so daß nach einem kurzen Eingangssignal der Motor um einen Schritt weiterbewegt wird und nach einem anhaltenden Eingangssignal dauernd umläuft. Die Y-Antriebseinrichtung 28 weist für ihre Bewegung in einer der beiden Richtungen eine dem Steuermittel für die X-Antriebseinrichtung 27 ähnliche Einrichtung auf, so daß durch ein stetiges manuelles Eingangssignal der Schlitten in eine Startstellung zurückbewegt wird. Die Steuerung in der anderen Richtung kann von der gleichartig wie die für das Bewegen des Schlittens um nur einen Schritt erfolgen und findet statt nach einem Signal, das länger sein kann als die Zeit für einen Schritt. Die Antriebseinrichtungen 27 und 28 besitzen motorgesteuerten Nockenschaltern ähnliche Steuermittel, die Signale in den Leitungen 30 und 31 erzeugen, wenn die Einrichtung eine neue Stellung einnimmt. Wie weiter unten noch ausführlicher beschrieben igt, werden die X- und Y-Antriebseinrichtungen so betätigt, um den Schlitten 26 nach dem Bewegen entlang einer Reihe zur nächsten Reihe zu verschieben, worauf wiederum ein Bewegen entlang einer Reihe erfolgt, usw.
Ein geeigneter Prüfkopf 33 wird mechanisch durch eine Z-Richtungs-Antriebseinrichtung 34 in eine untere Stellung eingestellt, um die Anschlüsse der richtig eingestellten Chips für den elektrischen Test zu erfassen; er wird am Ende eines Testes in eine obere Stellung angehoben, so daß der Schlitten 26 zur nächsten Stelle verschoben werden kann. Die Z-Antriebseinrichtung entspricht im wesentlichen den Antriebseinrichtungen 27 und 28, und erzeugt in der Lei-
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tung 35 ein Signal, wenn sie ihre obere Stellung erreicht.
Eine geeignete Einrichtung für die Ausführung der gewünschten Reihenfolge der elektrischen Tests ist mittels des Prüfkopfes 33 elektrisch mit den Anschlüssen der Chips verbunden, wenn die Y-Antriebseinrichtüng 34 in ihrer AUS-Stellung ist. Die Test-Einrichtung ist so angeordnet, um am Ende des Testes ein Signal in der Leitung 36 zu erzeugen und um die Z-Antriebseinrichtung in ihre obere Stellung zu bringen.
Wenn die Einrichtung in einem Bereich kontinuierlicher Chips arbeitet (oder einer minimalen Anzahl von nahen Löchern, wie weiter unten erläutert ist), betätigt eine logische Schaltung,abwechselnd die A- und die Z-Antriebseinrichtungen 27 und 3^* um den Schlitten 26 entlang einer Reihe zu bewegen und den Prüfkopf 33 zum Erfassen der Chip-Anschlüsse zu senken. Die Und-Schaltung 38 ist so verbunden, um den Ünten-Eingang der Z-Antriebseinriehtung 34 kurzzeitig durch ein Signal in der Leitung 30 zu erregen, das anzeigt, daß die X-Antriebseinrichtung 27 die Stellung für den nächsten Test erreicht hat. (Die Eingangsleitung 40 zur Und-Schaltung 38 wird erregt gehalten, außer wenn die Einrichtung einen Bereich von Löchern in der Chip-Platte 10 bearbeitet.) Am Ende eines Testes wird die Z-Antriebseinriehtung 34 durch ein Signal in der Leitung 36 gesteuert, um in ihre obere Stellung zurückzukehren, so daß der Schlitten 26 zur nächsten Stelle in einer Reihe bewegt werden kann. Die Oder-Schaltung 41 und die Richtungs-Steuerung 42 wirken zusammen, um einen vorher ausgewählten Eingang 43 oder 44 der X-Antriebseinrichtung 27 für die Verschiebung des Schlittens 26 zu erregen, wenn ein kurzes Signal in der Eingangsleitung 45 zur Oder-Schaltung 41 anzeigt, daß die Z-Antriebseinrichtung 34 in ihre obere Stellung zurückgekehrt ist. (Die Eingangsleitung zur Oder-Schaltung ist nur erregt, wenn die Einrichtung einen Bereich von Löchern bearbeitet.)
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Die Richtungs-Steuerung 42 dient zum Umstellen des Ausgangssignales von der Oder-Schaltung 41 in der Leitung 47 von einem zum anderen Eingang 45 oder 44 der X-Antriebseinrichtung 27 im Ansprechen auf ein Signal in der Eingangsleitung 50, welches nur erzeugt wird, wenn die Einrichtung einen Lochbereich in der Chip-Platte bearbeitet. Die Kichtungs-Steuerung 42 kann eine bistabile Schaltung enthalten, welche im Ansprechen auf einen Impuls in der Leitung 50 von einem zum anderen von zwei Ausgängen umschaltet, und zwei Und-Schaltungen umfassen, von denen jede auf das Signal in der Leitung 47 und auf eines der beiden Ausgangssignale der bistabilen Schaltung anspricht, um die Leitung 47 mit der ausgewählten Leitung 43 oder 44 zu verbinden.
Die Lichtquelle 55 ist an einer Seite der Fotografie 18 angeordnet, um das Lichtbündel 56 auf eine Stelle der Fotografie zu richten, die mit der Stelle in der Platte 10 übereinstimmt, die sich in der Stellung für den Test befindet. Die lichtempfindliche Einrichtung 57 ist an der anderen Seite der Fotografie angeordnet, um auf das durch die transparenten Stellen der Fotografie dringende Licht anzusprechen; die Einrichtung 57 ist so angeordnet, um geeignete Signale zu erzeugen für die Anzeige, ob die Test-Stelle ein Loch oder ein Chip enthält, und um gesonderte Impuls für einzelne angrezende Chips oder angrenzende Löcher zu erzeugen. Wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, ist die lichtempfindliche Einrichtung 57 so angeordnet, um in der Leitung 58 ein Signal zur Anzeige eines Chips und in der Leitung 59 ein Signal zur Anzeige eines Loches zu erzeugen; die Oder-Schaltung 60 empfängt Eingangssignale über die Leitungen JO und 31 und erzeugt ein Ausgangssignal in der Leitung 61, wenn der Schlitten 26 in eine neue Stellung bewegt wird; zwei Und-Schaltungen 62 und 63 kombinieren die Signale in den Leitungen 58 und mit dem Signal in der Leitung 61 zu einem Signal in der Leitung 64, wenn ein Loch angetroffen wird, und zu einem Signal in der Leitung 65, wenn ein Chip angetroffen wird. Die Leitungen 64 und 65 können
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als die Ausgänge der lichtempfindlichen Einrichtung 57 betrachtet werden, weil die zwischenliegenden Komponenten nur das Ausgangssignal der Einrichtung 57 in einzelne Impulse für jede Stelle in der Chip-Platte unterteilen.
Eine die Speichereinrichtungen 68, 69 und 70 und die Und-Schaltungen 71 und 72 umfassende Schaltung ist so angeordnet, um auf eine Reihe von Löchern und Chips anzusprechen, um den Schlitten zum Wechseln der Reihen zu betätigen, das zweite Chip in der nächsten Reihe zu finden, die Richtung zu ändern und mit dem Testen des ersten Chips zu beginnen. In der Fig. 2 stellen die Stellen 75, 76, 77 und 78 die Arbeitsfolge dar, wenn ein Loch in der ersten Stelle der nächsten Reihe auftritt. Die Stellen 80, 81, 82 und 85 verdeutlichen eine etwas verwickelte Arbeit, bei welcher ein Chip an der ersten Stelle der nächsten Reihe auftritt. Die Speichereinrichtung 68 ist so verbunden, um durch einen ein erstes Loch 76 oder 81 kennzeichnenden Ausgangsimpuls in der Leitung 64 eingestellt zu werden, wodurch ihr "1"-Ausgang erregt und ihr "O"-Ausgang nicht erregt wird. Der nOM-Ausgang ist über die Leitung 40 mit dem einen Eingang der Und-Schaltung 38 verbunden, um diese, wie bereits beschrieben, normalerweise vorzubereiten. Die Einstellung der Einrichtung 68 ver hindert das Senken der Z-Antriebseinrichtung J54. Durch den Impuls vom "1"-Ausgang der Einrichtung 68 werden der Eingang 85 der Und- Schaltung 71 und der Unten-Eingang 86 der Y-Antriebseinrichtung 28 erregt, um einen Schritt abwärts zur nächsten Reihe zu bewirken.
Wenn der Schlitten die nächste Stelle erreicht (die Stelle 77 oder 82) erzeugt die Y-Antriebseinrichtung 28 ein Signal in der Leitung 31, durch welches die Speichereinrichtung 70 eingestellt wird, deren Signal vom W1"-Ausgang über die Leitung 46 zur Oder-Schaltung 41 für die dauernde Arbeit der X-Antriebseinrichtung 27 übertragen wird. Wenn in der ersten Stelle der nächsten Reihe ein Loch, z. B. das Loch auftritt, erscheint ein Signal in der Leitung 64 zur Einschaltung
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der Und-Schaltung 71 und zur Einstellung der Speichereinrichtung Durch das sich ergebende Signal vom "!"-Ausgang der Einrichtung 69 wird die Leitung 50 erregt, um die Richtung der X-Antriebseinrichtung 27 zu ändern; dasSignal wird auch zum Eingang 87 der Und-Schaltung 72 übertragen. Beim nächsten Chip, dem Chip 83, wird durch das Ausgangssignal in der Leitung 65 der zweite Eingang der Und-Schaltung 72 erregt, der daher einen Rückstell-Impuls zu den Speichereinrichtungen 68, 69 und 70 zu deren Rückstellung sendet; dieser Vorgang erlaubt es der Z-Antriebseinrichtung 34, den Test-Ablauf im Ansprechen auf ein Signal in der Leitung 30 zu beginnen, nachdem die X-Antriebseinrichtung ihren Zugang zur nächsten Stelle vollendet hat, und sie bewirkt dann das Anhalten der X-Antriebseinrichtung 27 bis zum nächsten Signal in der Leitung 45.
Wenn an der ersten Stelle ein Chip, z.B. das Chip 77» ist, erscheint kein Signal in der Leitung 50 und die Antriebseinrichtung setzt ihre Arbeit in der gleichen Richtung fort; wenn ein Loch J6 angetroffen wird, startet ein Signal in der Leitung 64-die Reihenfolge in der gleichen Weise, wie dies bereits für das Beispiel beschrieben wurde, in welchem das Loch 82 an der ersten Stelle der neuen Reihe aufgetreten ist·
Das Signal vom "!"-Ausgang der Speichereinrichtung 68 zeigt an, daß das erste Loch angetroffen wurde, das Signal in der Leitung >1 zeigt die Vollendung des Reihenwechsels an, das Signal vom n1"-Ausgang der Speichereinrichtung 69 zeigt an, daß das erste Loch nach einem Reihenwechsel angetroffen wurde, und das Ausgangssignal der Und-Schaltung 72 seigt an., daß das erste Chip nach der Richtungsänderung in der nächsten Reihe angetroffen wurde.
Bisher wurde die Arbeit der Steuerschaltung für den einfachen Fall beschrieben, in welchem keine zwischen Chips auftretenden Löcher I5 oder abgesonderte Chips t6 vorhanden sind. Vorzugsweise wird die
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Fotografie 18 retuschiert, wie dies für die Teil-Chip 14 beschrieben wurde, so daß die Einrichtung in der soeben beschriebenen weise durch das Testen der Löcher 15* 17 arbeiten wird (oder durch mechanisches Abtasten, aber nicht durch wirkliches Arbeiten der Z-Antriebseinrichtung). Die Schaltung in der Fig. 1 kann auch so angeordnet werden, um eine festgesetzte Anzahl solcher Löcher vor dem Start eines Reihenwechsels abzutasten, um diese Arbeitsweise vorzusehen· Das Strahlenbündel 56 der Lichtquelle 55 ist z. B. so gestaltet, um zwei oder mehrere benachbarte Stellen in der gleichen Reihe zu beleuchten, und die lichtempfindliche Einrichtung 57 ist so verbunden, um die Leitung 58 zu erregen, wenn an jeder der Stellen ein Chip vorhanden ist, und um in der Leitung 59 ein Signal zu erzeugen, wenn ein Loch an jeder Stelle auftritt. In dem Beispiel der Fig. 1, bei welchem die Fotografie ein Negativ ist, würde das durch jede transparente Stelle hindurchgehende Licht die Photozelle in der gleichen Weise betätigen, bei welcher, wie vorher beschrieben, jeweils nur eine Stelle beleuchtet wurde. Der Stromkreis kann durch einen in die Leitungen 64 eingeschalteten Zähler abgeändert werden, um einen Impuls nur nach einer festgesetzten Anzahl von benachbarten Löchern zu erzeugen.
Der Antrieb des Schlittens 26 und des Prüf kopf es 33 in der Fig. 1 sind nur als Beispiele anzusehen, um das Prinzip der Steuerung beschreiben zu können. Auch die mit der lichtempfindlichen Einrichtung 57 verbundene logische Schaltung ist lediglich für die Erläuterung der allgemeinen Arbeit bestimmt, die durch verschiedene logische Schaltungsanordnungen erzielt werden kann. Manche der für die Antriebseinriehtungen 27, 28 und J4 beschriebenen Funktionen der Motorsteuerungen können durch zusätzliche Komponenten in der logischen Schaltung ausgeführt werden.
Obwohl die Fotografie 18 vorzugsweise die gleiche Größe wir die entsprechende Platte 10 hat und zwecks Bewegung mit dieser Platte
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auf dem gleichen Schlitten aufgespannt ist, kann die Fotografie
größer oder kleiner gemacht werden, solangen bei der relativen
Bewegung in der XY-Ebene des Prüfkopfes 55 die Platte 10, das
Lichtbündel 56 und die Fotografie 18 zur Abtastung der Fotografie in Phase mit der Platte 10 angeordnet sind.
Bei der ausführlichen Beschreibung der Einrichtung wurdedie Fotografie zur Errichtung des Gitters für die Bewegung des Schlittens und für das Testen benutzt; zwei unterschiedliche Fotografien und getrennte Schaltungen können für diese beiden Funktionen vorgesehen werden, z. B. für die Schlittenbewegung, aber nicht das Testenfvon inneren Löchern 15 oder 17·
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    1. Verfahren zur aufeinanderfolgenden elektrischen Prüfung einer Vielzahl kongruenter Flächenelemente, die eine geometrisch unregelmäßige flächenhafte Figur bilden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fotografie von der zu prüfenden Figur hergestellt wird,, die undurchsichtige und durchsichtige Stellen aufweist in Abhängigkeit davon, ob es sich um vollständige Flächenelemente der Figur oder um die Unterlage derselben handelt, daß die Fotografie auf einen Koordinatenschlitten aufgespannt wird und gegenüber der ebenfalls auf diesem Schlitten aufgespannten fotografierten Figur so ausgerichtet wird, daß die Koordinatenachsen der Fotografie und der Figur paarweise parallel zueinander verlaufen und ein für die elektrische Prüfung vorgesehener Prüfkopf über dem-Flächenelement der Figur zu liegen kommt., über dessen zugeordnetem Element der Fotografie ein fotoelektrischer Abfühlkopf sich befindet, daß die den Flächenelementen der Fi«gur entsprechenden Elemente auf der Fotografie nacheinander durch die Verschiebung des Koordinatenschlittens von dem Abfühlkopf abgefühlt werden und in Abhängigkeit vom Abfühlergebnis eine Steuerschaltung mit Signalen beaufschlagtwird, die sowohl den Antrieb des Koordinatenschlittens als auch die Hubbewegungen des Prüfkopfes derart steuern, daß der Koordinatenschlitten nur über vollständigen Flächenelementen anhält und der Prüfkopf eine Senkbewegung und nach erfolgtegelektrischer Prüfung eine Anhebebewegung ausführt.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem ein Negativfoto von der zu prüfenden Figur hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Negativ Flächenelemente, die unvollständig sind, durch Retuschieren in Leerstellen umgewandelt werden.
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    J5. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem ein Positivfoto von der zu prüfenden Figur hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, daß unvollständige Flächenelemente aus dem Foto ausgelocht werden und somit Leerstellen darstellen.
    4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächenelemente der Fotografie derart abgefühlt werden, daß nach dem Abfühlen der einzelnen Flächenelemente einer Reihe eine Verschiebung des Koordinatenschlittens in der anderen Koordinate um die Teilung zweier Flächenelementreihen erfolgt.
    5. Verfahren nach Anspruch 2 oder 2* dadurch gekennzeichnet, daß Flächenelemente, die keine bzw. eine unvollständige Trennung zu benachbarten Flächenelementen aufweisen, ausretuschiert bzw. ausgelocht werden und somit Leerstellen darstellen.
    6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 5 und 2 oder 5* dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Flächenelementen des Fotos befindliche Leerstellen Hubbewegungen des Prüfkopfes unterbinden, wenn die Anzahl unmittelbar benachbarter Leerstellen eine vorherbestimmte Grenze überschreitet.
    7. Steuerschaltung für die Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abfühlkopf (57) zwei Ausgangsleitungen (58, 59) besitzt, von denen die eine (59) Signale führt beim Abfühlen einer Leerstelle und die andere (58) beim Abfühlen eines vollständigen Flächenelementes, daß jede der genannten Ausgangsleitungen an Je eine Und-Schaltung (62, 63) angeschlossen ist, deren zweiten Eingänge parallel an eine Oder-Schaltung (60) angeschlossen sind, an deren einem Eingang ein Signal auftritt^ wenn die Antriebseinrichtung (27) für die Verschiebung des Koordinatenschlittens (26) in der X-Ordinate betätigt wird und an deren zweitem Eingang ein Signal auftritt, wenn die Antriebsvor-
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    richtung (28) für die Bewegung des Koordinatenschlittens (26) in der Y-Ordinate betätigt wird, daß der zuerst genannten Antriebsvorrichtung (27) eine Drehriehtungssteuereinheit (42) vorgeschaltet ist, die einschaltbar ist durch ein Signal aus einer Oder-Schaltung (41), an deren einem Eingang ein Signal auftritt, wenn die Antriebsvorrichtung O4) für die Hubbewegungen des Prüfkopfes (33) denselben in seine obere Stellung bewegt hat und deren zweiter Eingang mit dem Ausgang (46) einer Schaltungseinheit (68 - 72) verbunden ist, an dem ein Signal auftritt, wenn die Antriebsvorrichtung (28) des Koordinatenschlittens (26) in der Y-Ordinate eine Verschiebung des Koordinatenschlittens(26) um eineReihe von Flächenelementen durchgeführt- hat und daß diese Schaltungseinheit (68-72) mit der Ürehrichtungssteuerelnheit (42) verbunden ist und auf dieser Leitung (50) ein Signal führt bei der ersten Leerstelle nach einem Reihenwechsel zum Zwecke der Drehrichtungsänderung, durch einaiweiteren Ausgang (86) mit der Antriebsvorrichtung (28) des Koordinatenschlittens (26) in der Y-Ordinate zum Antrieb desselben in einer Richtung verbunden ist und mit einem letzten Ausgang (40), der ein Signal führt solange keine Leerstelle abgefüllt wird, mit einer Und-Schaltung (38) verbunden ist, deren zweiter Eingang parallel mit dem ersten Eingang der zuerst genannten Oder-Schaltung (60) mit der Antriebsvorrichtung (27) des Koordinatenschlittens (26) in der i-Ordinate verbunden ist, wobei der Ausgang (51) dieser Und-Schaltung (38) mit der Antriebsvorrichtung (34) des Prüfkopfes (33) zum Zwecke seines Senkens verbunden ist und daü die genannte Scnaltungseinheit (68 - 72) drei Eingänge (3I, 64, 65) aufweist,, von denen zwei (64, 65) die Ausgänge der beiden zuerstgenannfcen Und-3chaltungen (62, 63) darstellen und der dritte Eingang (3I) mit der Antriebsvorrichtung (28) des Koordinatenschlittens (<■&} irt der Y-Ordinate verbunden ist und Signale führt, wenn ein flelnenwechsel beendet ist,
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    H66729
    8. Steuerschaltung nach Anspruch 1J, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungseinheit (68 - 72) eine bistabile Kippschaltung (68) aufweist, deren Ein-Eingang mit der von einem Leerstellensignal beaufschlagten Und-Schaltung (62) verbunden ist, die parallel mit einer Und-Schaltung (71) der Schaltungseinheit (68 - 72) verbunden ist, deren zweiter Eingang (85) mit dem Ein-Ausgang der genannten bistabilen Kippschaltung (68) verbunden ist, der außerdem mit der Antriebsvorrichtung (28) des Koordinatenschlittens (26) für die Y-Ordinate verbunden ist, wobei der AusAusgang der genannten bistabilen Kippschaltung (68) mit der der Antriebsvorrichtung (34) für den Prüfkopf (33) vorgeschalteten Und-Schaltung (58) verbunden ist, daß die zuletzt genannten Und-Schaltung (71) der Schaltungseinheit (68 - 72) mit dem EinEingang einer weiteren in der Schaltungseinheit (68 - 72) befindlichen bistabilen Kippschaltung (69) verbunden ist, deren Ein-Ausgang sowohl mit der Drehrichtungssteuereinheit (42), zwecks Auswahl der Drehrichtung, als auch mit einer weiteren Und-Schaltung (72) verbunden ist, deren zweiter Eingang mit der von Flächenelementsignalen beaufschlagten Und-Schaltung (65) verbunden ist und deren Ausgang sowohl an die Aus-Eingänge der beiden zuerst genannten bistabilen Kippschaltungen (68, 69) als auch an den Aus-Eingang einer dritten in der Schaltungseinheit (68 - 72) enthaltenen bistabilen Kippschaltung (70) angeschlossen ist, deren Ein-Eingang (31) mit dem Ausgang der Antriebsvorrichtung (28) des Koordinatenschlittens (26) für die X-Ordinate verbunden ist, der Signale abgibt nach Beendigung eines Reihenwechsels, und deren Ein-Ausgang (46) an die der Drehrichtungssteuereinheit (42) vorgeschaltete Oder-ochaltung (41) angeschlossen ist.
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