DE1450586A1 - Hochvakuum-Hochdruck-Ventil - Google Patents

Hochvakuum-Hochdruck-Ventil

Info

Publication number
DE1450586A1
DE1450586A1 DE19641450586 DE1450586A DE1450586A1 DE 1450586 A1 DE1450586 A1 DE 1450586A1 DE 19641450586 DE19641450586 DE 19641450586 DE 1450586 A DE1450586 A DE 1450586A DE 1450586 A1 DE1450586 A1 DE 1450586A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
valve
vacuum
housing
parallel
der
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19641450586
Other languages
English (en)
Other versions
DE1450586B2 (de
Inventor
Muntenbruch Dr Helmut
Edmund Sebastian
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institut fuer Plasmaphysik GmbH
Original Assignee
Institut fuer Plasmaphysik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institut fuer Plasmaphysik GmbH filed Critical Institut fuer Plasmaphysik GmbH
Publication of DE1450586A1 publication Critical patent/DE1450586A1/de
Publication of DE1450586B2 publication Critical patent/DE1450586B2/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F16K27/044—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves slide valves with flat obturating members
    • F16K27/047—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves slide valves with flat obturating members with wedge-shaped obturating members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/12—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with wedge-shaped arrangements of sealing faces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Description

  • L n .L 114
    Die Ertinduffl betrifft ein Hoohv41kuum-HoCh-
    druok-Vontllg d.h. ein Ventils das zwei syntemtelle zu ver-
    binden bzw. zu trennen gestattet» von denen der eine bei
    geschlonnenm Ventil unter relativ hohem Druckg beiapiele-
    weise 2W AtU steht, während im anderen Vak= herrscht.
    Bei geötftwtem Ventil soll ein großer traler Quer401mitt
    die belden Systomtelle verbinden.
    Die bekannten Vakuumvontile sind nicht hoch-
    drucktest und die bekannten NochdruckventIle nioht vakuum-
    dioht.
    In der Zeichnung Ist ein AuerUhrungsbelepiel
    einen Pdxftrakuum-Hochdruck-Ventlloo g«Rß der Erfindung
    dargestellt-, en zeIgens
    Fig. 1 eine In einer Ebene B.B der ?lg. 2 Se.
    selmittw» Ansicht des Ventil* von der Hochdruokadte her
    sonehenz
    ?lg. 2 eine Scümittwwioht In einer Ebene A-A
    der Flg, 1 -.
    Flg. 3 eine Ansicht des Hochdrucktellen den Ventligehäusen vom Vakkamteil de* Gehtmee her gesehen; Fig. 4 eine Ansicht den Vakuumtelleib den GehR:u»a vom Hochdrucktell her gesehen; Fig. 5 eine Ansicht de* Ventile von oben mitabgeschnitten= Handrad und Fig. 6ag b und o Ansichten den Ventilochlebern von unten, von der Beite den Vakuuntellen den Gehäusön her gesehen bzw. von der Solte entsprechend der Ansicht der Fig. Z, Das In der ZelcluuM beispielsweise dargestellte Ventil soll einen Hochdrucklei-,.4sel drucktest und vakuumdloht mit einem heziplanten bzw. einer Vakuumleitung verbinden. Bei ge8fMetem Vc-ntil soll ein Srpßer freier Querachnitt# (beispielßweine ca 3 002) die beiden Syntemtelle verbindeni Das Ventil lat als SchlebeiNent-11 ausgebildet und enthält ein Oehäuseo das aun einem Vakuumtell 1 und - einem Hochdruckteil 2 besteht. Oben auf dem Toll 1 den Gehäunen sind eine Druckplatte 3 und ein zweiteillger Gegen-. halter 4 affleordnet# die die BetUtiSuMstelle den. Ventile* halterne nftlIch eine In eine Gewindebohrung eines keil- türmigen Vontilsohlebern 5 eingenehraubte, durch ein Handrad 6 betätigbare und durch eine -Dichtungsamrdnung 7 Im Vakuumteil 1 dicht gelagerte-Gewindewelle Den Handrad 6 Ist unten mit einem hohlen Schaft 9 veraehm" der am unteren Ende einen Bund 10 aufweist., der In eJmr entsprechenden AusnehmM 11 der 1>1"eßPlatte 3
    drehbar wqfflrdnet und durch den Oogenhalter 4 In axioler
    Richtung rach oben festgelegt Ist. Die üewlnd«elle 8 und
    der Schaft 9 den Pwidraden sind durch eInen Stift 12 ver-
    bunden.
    Die DrohdurchtUhrung mit der Dichtung«nor&=*
    7 sitzt vollständig am Niederdruffleil den Vontilgeh&me.
    Die Dichtunsoanordnung 7 Icwm einen Spannring 13 nun Stahl#
    der eine etwa kegelmenteltürolge Unterseite besitzt" zowie
    einen zwischen den Spannring und die die Dichtungsanord.
    nuns 7 aufnehmende Aimi, 0 S den Gehäusetellen 1 einge-
    klomten 0-Dichtungering 14 enthalten.
    Die Gehäueetelle 1, 2 sind no verbleamgesteit
    aungetUhrti, daß nie duroh einen O-Itim 15 vakuumfteht (und
    fall$ awAnscht auch hochdruMeicher) verbunden worden kön-
    nen. Der O-RIM 15 wird von einer Ringnut 16 in der Innen.
    tläche den Hochdruaktellee 2 d» GehNuaes autigenomen.
    Die Gehäunetelle 1"2 worden durch Schrauben 17 fest mit-
    einander verbunden.
    Der in Fig. 6 genauer dargestellte Ventilochle.
    ber 5 weint auf der einm V»Mxmwmohlub 18 zug«mndten
    Seite eine zur Achse der Oewindewolle 8 parallel verlautende
    obm» Fliohe 19 auf" die an einer ente-Preohenden ebenen
    Fläche 20 an der Innenseite den Ochäusetellen 1 gleiten
    Ionn. Die einen Hochdruck anochluß 21 zugewandt* Beite 22
    den Schlebern bildet eine in bezug auf die Achse der Oe.
    windewolle 8 geneigte Ebmog.der Neigungswinkel im= belw
    apielaweine 60 betragen, Bei genahlossenem Ventil wird die
    Pl*&* 22 geigen einen 0.RIM 23 gepreßt" der v= eimr
    Ringnut 24 aufgenomme wird" weiche *ich in einer «*.
    eprechend genolgt;en ebenen Pläghe 25 der Zwmmite d»
    Hoohdrucktelles 2 befindet. Die Nut 24 hat "r=«»1»
    einen *ich naoh innen erwiterratm" etwa lcn1Mmiffl
    Der Vontilmohieber 5 wird v= Oth»m setiMwts
    ere von der Fläche 20 und Seitentlichim 26 d«
    Gehäusetellos l# Um zu gewährleisten" da§ auch die Zwischen.
    räume zwischen den Gleittlächen In kurzer Milt wßakuiort
    werden können und dU en niederemolmeitig nicht zu Dmic.
    stauungen komm kmmo sind In den Seitentlichm d» Ven.
    tileohlebers Nuten 27 und in der 01,eitt13ohe 90 nutartige
    Auaoparungen 28 vorge»lum. Die Aunaparungen'28 bilden
    einen mit dem Vakmmwmohlug In Verbindung 1-- et»
    11-tömison Kanal» der bei allen Einetellungen den Ventil-
    schlebers gewährleistet# daß der vom VentlIgehMäne l# 2
    eingeschlossene Irawwauu Imer mit der VakuumleItung in
    Verbindung steht . 81,er-durch - wird gewährleistet* dU mith
    Im Vt:ntilgehäune kein Rochdruclaufbauen kmmn# wen vor
    allem dann wichtig Ist# vom aus- EraperniagruNden die Dreh-
    durohtWuu% zw# Bewegung den Schiebere mu, -- ---alohtj,
    nicht aber hooMruckeicher aumgebildet worden no11,9
    jedoch »lbetvorstUMlich gewUnaohtenralle W%I:Leb Lot*
    En sei in diesem 9 auch noch darauf »g«te»n,9
    daß die DretadurchtUhrur« nur gegen rotierende, jedoch nicht
    awh Sog= &leitende BeweSung abgedichtet worden muß"
    da der Vontilnohieber 5 ale Mutter auf der Gewindewolle 8
    sitzt. Bohrwq= 29 (Pig. 6ae b) die parallel :zu dur die
    GewirAmmIle aufnahmriden Gewindebohruns 30 den Ventil-
    whiebern verlaufen und in diese elmelmeidezi" noi.Zen
    dafUr# daß nich In Gewinde den VontIlochiebere kelne Gas-
    r*4t halt= kOnnen und eine ranehe Evakuierung auch diesea
    Teilee der Anordnung gew*wlelotot Ist.
    Da der VentIlechleber durch das Gehäune SefUhrt
    wird uM die Oexindewelle 8 nur zur Verechlobung dient*
    )mm Ihr untere* Ende# wie Flg. 2 zeigt# vor den fluch-
    tanden Nochdruck- bzw. Vakuuaumohlußeu*,'Weituni;en enden, so
    daß bei geöffnetem Schleber der Durchgang völlig trolgo-
    geben wIrd und auch mechanische Teile# z.B. Wellen,# durch-
    gefUhrt werden können.,
    Das Ventll läft *ich auch unter Druck UrMen,
    dabei verhindert die Vormgebung der Keilnut 24 das Heraus-
    reißm den 0.RU4,en. Wie PIS. 2 zelgt, verlaufen die seit-
    lieben Wände der Keilnut an»ohließend an die Fläche 25
    ein kurzes StUck parallel" so daß am Band der Kollnut keine
    scharfe, spitzwU*14e Mmte vorhanden Ist., die in den 0-
    RIM eInechnelden und diesen beschädlZen könnte.

Claims (1)

  1. Patentansprüche, i. vakuumdichten tuid luxü,&druaictaeiten Schie- bervent11 mit einem Gehäuse" dessen eUwn kolltörmagen und duroh eizie V,.,ntiloi)indel betätigbaren Ventilochiel,#ar enthalten- der Innenraum mit; 4,4wel iawohlußleIttuiZen In VerblazU#g steht# von düneu die eim Ixa Betrieb bei Seaohloawum Ventil unter hohem Druck etehts wYhrend gleichzeitig In der anderen Vakuum herrecht., d a d u r a h g o k o n n z o 1 o h n a ts daß der Ventilschieber (5) eine parallel zur Achae der Ventil- apindel verlaufende ebene Gleittläche (19) aufweist.-, die sich gleitund auf einem ebenen Toll (20) der Innenwand des Ge- häunes (le 2) abetUtzt, welcher einem Ventileitz (A, 25) an der MUnduna der Flochdruckanschlußleitung in den Innenraum den Gehäuses gegenUbei-liegt;, daß die der Gleittläche (19)*gegon- Uberllege,.,ide Flächo (22) des Ventllaohlebern (5) in einor einen Winkel mit der Gleitfläche bildenden Ibene liegt und mit dem auf einer entsprechend schräg verlaufenden Pläche (25) der Innenwand den Gehäuses angeordneten Ventilaltz lrktg und daß an den Gleitf lächen des Vuntilsohlebers tu#d/oder GehUunee mindestüns cine Aucmehmuns (23) vorgesehen let, die gewährlel. stetÄ, daß In jeder beliebigen Stellung den Vent11schlebern eine Verbindung zwischen dem limanraum des Gehäuses und dem Vakuum- anneMuß besteht.
    2. 8 ohi ebervontil nach Anapruah l# d a - d u r o h, g o k e n n t o 1 o h n a tg daß die parallel zur Achse der Vontilspindel (8) und nenta,echt zu der Gleit- fläche (19) verlaufenden Seitentlächen des Ventiloohlebere (5) jmmils mit mindestens elner Itut (27) versehen eind" die wo- ri4>tenn annähernd parallel zur Achse der Vuntilspindel vor- Mitt und jeweils durch zwei 0.loitleinten begrenzt wi.,e4 3. echieberventil nach Anspruch 1 oder 2" d a d u r a h g e k o n n z o 1 o h n e to daß den im In. n«z4m des Gehäuses gelegene Fmde der Ve»ntilopindel (iß) mit einem Außengewindo versehen Ist» auf das der mit einem ent- sprechenden Innefflwinde versehene Vontilaohieber (5) Mut- ternartig aufIgenchraubt Ist. 4. Schieberventil nach Anspruch 39 Z 9 lk o n n t o 1 o h n a t d u r o h mindestens parallel zu der Oawindebohrung des Ventiloohlebers (5) voillikuftndo Boh. nim (29) die In die Gew:Lndegäffl der Gewindebohruns einschneidet. 5. Schleberventil nach Anspruch 1" d a - d u r c h f; e k o n n z 9 1 a h n o t» daß die Innen. f14Whe (20) den Vontilgehäum«" auf der der Ventilochleber gleitetg mindestens eine In Vor*ohiebung*richtung den Vemtil. ochiebers verlaufende Hat aufweist# die lUrWe.r Lot als der Ventilsohieber und mit dem Vakuumanochluß in VorbinduM steht.
    6. Alchieberventil nach Anapruch % d a - cl u r o h E 0 k 0 n n Z 0 1 0 h n e t# daß beid»ite der der, Vokuwmncchluissee jewei18 eine in VOrßchlübunG8- Ichtuig:, daz- Ve 0 -o verlautende Nut- vorgoechen t m ict-inii.c durch eine nerüa--ooh.t zu, ihr verlautende AU4nObWJng dcwl Val"uum.mmchluß verbunden is+"# Co daß die GlottfläCh0 <.ein im ranzcn etlia U.f8-rmige euenehm»X enthUt. 7. Schicberventil naoh Anspruch l* d a - d u t- c h Z ek c n n z a i a h n e ts daß daß Gehauo au zwel t""egene:Lnandei, abgedichteten Teilen (1,. 2) bestehtj von deaen das aine den Ilochdruckan-schluß und das andere den Vakum- =echluß enthält und daß die Betäti.,mmgeai#ordnung -fUr das Ven- til, an dem don Vakutunawohluß eutwelzenden Oehäusetell (1) angterdnet ist. Cn. -11"4elitebervontil nach einem der vorhurgehen. den d a d u r c h Z o k e n n z 9 1. a h n e tg dail die V--.ntilspinde". «9) mit einem i-1,nndrad (6) verbunden itst" dao einen mit einem Bund (10) ver5chenen Schaft (9) aut'Wolgt und daß der Bund jedoch axIal unveraohleblIch zwiechen zwei mitei*,-wnde2, ve2#bundenen Teilen (3, 4) gelagert Ist. 9. ",*chieb-ervontil nach Anspruch 8" d a d m o h Z o k e n n z e 1 o h n o tg daß den dem Ven. ti-lschleber (5) nUnerEe. den Bund des liondradaeilatteu ingemde. Tell (3) eine SpannpleItte M, eine Ahdtchtung (7) der Ventil.
    epindel. (8) bildete 10o Sohlebervontil nach einem der vorhergahen- den AmprUche, dadurch g o k e n n z o 1 a h n a tg da& der Ventileltz einen 0-HIM enthält" der In einer *ich nach Innen erweiternden Kellnut igelegert Ist. 11. Schlebervontil nach Anspruch 10, d a. d U r 0 b &*kenn z 9 1 ohne to daßdie äußeren Tolle der'Dott*nWbvle der Kellnut wenIgetene annähernd parallel zwinmider verlauten. 12, Sohlebervontil nach einem der AmprUche 7 bis 119 d a d u r a h Sekonnze ichnet# daß die beiden ile (10 2) &ulch einen 0.RIM Meneinander abgedloMmt eind. 13. Schiebervontil nach einem der vorher. sehenden AnaprUchei, d a d u r o h E:ekonnzeichnotg daß die Otrnufflu der AnschlugleitwUen Im V-..ntilgeäuse mit. oim*nder tli"ten und daß die V-.#,%ntilepindel (6) bie höchstens zu den dwmh 410 U- eItungen gebildeten Durchlaß reichte 14,b fthieberventil naoh Anapruch 1,0 d a d u r o b Co konnze 1 o hne t$, daß dieRokenden Vont m oh,' % i-,- a ab"nohrffl eind.
DE19641450586 1964-08-14 1964-08-14 Entlueftbarer absperrschieber fuer grosse druckdifferenzen Pending DE1450586B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEJ0026406 1964-08-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1450586A1 true DE1450586A1 (de) 1969-02-13
DE1450586B2 DE1450586B2 (de) 1971-12-16

Family

ID=7202601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19641450586 Pending DE1450586B2 (de) 1964-08-14 1964-08-14 Entlueftbarer absperrschieber fuer grosse druckdifferenzen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1450586B2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2160622A (en) * 1984-06-18 1985-12-24 Pfeiffer Vakuumtechnik Pressure valve
US9695948B2 (en) 2014-04-02 2017-07-04 Vat Holding Ag Vacuum valve
NL1042088B1 (nl) * 2016-10-03 2018-04-10 Verwoert Jurgen Sanitaire mengklep

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3833018A (en) * 1973-02-21 1974-09-03 Pass Port Syst Corp Low leakage vacuum valve and chamber using same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2160622A (en) * 1984-06-18 1985-12-24 Pfeiffer Vakuumtechnik Pressure valve
AT391930B (de) * 1984-06-18 1990-12-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Hochdruck-vakuumventil
US9695948B2 (en) 2014-04-02 2017-07-04 Vat Holding Ag Vacuum valve
NL1042088B1 (nl) * 2016-10-03 2018-04-10 Verwoert Jurgen Sanitaire mengklep
WO2018065842A1 (en) * 2016-10-03 2018-04-12 Jurgen Verwoert Sanitary mixer valve

Also Published As

Publication number Publication date
DE1450586B2 (de) 1971-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1262533B (de) Haltevorrichtung an Auszugschienen fuer Schubladen
DE1450586A1 (de) Hochvakuum-Hochdruck-Ventil
WO2017021120A1 (de) Ventil, vorzugsweise vakuumventil
DE1500234C3 (de) Verfahren zum Herstellen von Stützelementen für von diesen umgebene Ringdichtungen
DE202013006032U1 (de) Spielfigur für insbesondere ein Tischfußballgerät
DE2635660C2 (de) Absperrvorrichtung für Maschinen zum Schweißen mittels Elektronenbeschuß
DE860442C (de) Vakuumventil
DE718207C (de) Zweiarmiger Tuergriff, insbesondere fuer Kraftfahrzeuge
DE724690C (de) Abdichtung der Walzenachsen bei Federrollenmuehlen
WO2018177695A2 (de) Ventil, insbesondere vakuumventil
DE716058C (de) Vorrichtung zum Einschleusen von Objekten in Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere Elektronenmikroskope, unter Verwendung einer Schleusenkammer
DE556543C (de) Schaltuhr mit einstellbarer Schaltzeit
DE924301C (de) Vakuumventil mit abgedichteter Ventilspindel
DE626268C (de) Sicherung der Offenstellung von Verschluessen mit Vorreiber, Schliesshebel usw. an Luftschutzraumtueren
DE718004C (de) Doppelfenster mit kippbaren Lueftungsscheiben
DE670445C (de) Durchgangsventil mit selbsttaetiger Entleerung
AT234545B (de) Verdecktes Scharnier
DE1450586C (de) Entluftbarer Absperrschieber fur große Druckdifferenzen
DE1047658B (de) Kolbenschieberzapfhahn zum Ausschank von Getraenken
DE887389C (de) Einrichtung zum Einschleusen und wahlweisen Einfuehren mehrerer Objektpatronen in den Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten
DE871238C (de) Absperrschieber
DE1564676C (de) Schleuseneinrichtung fur an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpuskular strahlgerate, insbesondere zum Einschleu sen von Objekten in den Vakuumraum eines Elektronenmikroskops
DE654888C (de) Einzelverschluss fuer Gasschutztueren und -blenden
DE3631338C1 (en) Bung hole locating device for barrels
DE622711C (de) Luftdruck-, Pruef- und Regelvorrichtung