DE1288333B - Projektionsobjektiv - Google Patents

Projektionsobjektiv

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DE1288333B
DE1288333B DEZ12713A DEZ0012713A DE1288333B DE 1288333 B DE1288333 B DE 1288333B DE Z12713 A DEZ12713 A DE Z12713A DE Z0012713 A DEZ0012713 A DE Z0012713A DE 1288333 B DE1288333 B DE 1288333B
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DE
Germany
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lens
lenses
none
vertex distances
radii
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Pending
Application number
DEZ12713A
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German (de)
English (en)
Inventor
Lange Guenther
Hummel Hans-Karl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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