DE1204350B - Elektronenmikroskop - Google Patents
ElektronenmikroskopInfo
- Publication number
- DE1204350B DE1204350B DEN19846A DEN0019846A DE1204350B DE 1204350 B DE1204350 B DE 1204350B DE N19846 A DEN19846 A DE N19846A DE N0019846 A DEN0019846 A DE N0019846A DE 1204350 B DE1204350 B DE 1204350B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electron
- sample
- microscope according
- electron microscope
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB12361/60A GB918297A (en) | 1960-04-07 | 1960-04-07 | Improvements in electron microscopes |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1204350B true DE1204350B (de) | 1965-11-04 |
Family
ID=10003117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEN19846A Pending DE1204350B (de) | 1960-04-07 | 1961-04-05 | Elektronenmikroskop |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3155827A (Direct) |
| DE (1) | DE1204350B (Direct) |
| FR (1) | FR1285063A (Direct) |
| GB (1) | GB918297A (Direct) |
| NL (1) | NL263015A (Direct) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH451331A (de) * | 1965-12-13 | 1968-05-15 | Heinz Steigerwald Karl | Elektronenstrahl-Erzeugungssystem |
| CA935568A (en) * | 1970-03-20 | 1973-10-16 | Houtman Eliberthus | Device for examining material by x-ray fluorescence |
| FR2542089B1 (fr) * | 1983-01-14 | 1985-11-08 | Cameca | Procede et dispositif pour l'analyse ionique d'un echantillon isolant |
| US4564758A (en) * | 1984-02-01 | 1986-01-14 | Cameca | Process and device for the ionic analysis of an insulating sample |
| US5362964A (en) * | 1993-07-30 | 1994-11-08 | Electroscan Corporation | Environmental scanning electron microscope |
| US5412211A (en) * | 1993-07-30 | 1995-05-02 | Electroscan Corporation | Environmental scanning electron microscope |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE692336C (de) * | 1934-12-07 | 1940-06-18 | Bodo V Borries Dr Ing | Verfahren zur Abbildung von Flaechen mittels Korpuskularstrahlen |
| DE748680C (de) * | 1939-10-19 | 1944-11-08 | Elektronenmikroskop | |
| DE893104C (de) * | 1943-01-04 | 1953-10-12 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Querverstellung des Objektes im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten |
| DE761663C (de) * | 1942-01-21 | 1953-10-12 | Aeg | Elektronenmikroskop, insbesondere UEbermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse |
| US2928943A (en) * | 1957-09-11 | 1960-03-15 | Leitz Ernst Gmbh | Electronic microscope for top illumination of surfaces |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2356633A (en) * | 1939-10-19 | 1944-08-22 | Ardenne Manfred Von | Electronic microscope |
| DE1049988B (Direct) * | 1953-09-04 | |||
| US2890342A (en) * | 1954-09-29 | 1959-06-09 | Gen Electric | System for charge neutralization |
| US3049618A (en) * | 1959-05-13 | 1962-08-14 | Commissariat Energie Atomique | Methods and devices for performing spectrum analysis, in particular in the far ultraviolet region |
| DE1099102B (de) * | 1959-05-26 | 1961-02-09 | Siemens Ag | Blendenanordnung fuer Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Roentgenspektroskopie durchstrahlbarer Praeparate |
-
1960
- 1960-04-07 GB GB12361/60A patent/GB918297A/en not_active Expired
-
1961
- 1961-01-30 NL NL263015D patent/NL263015A/xx unknown
- 1961-03-24 US US112139A patent/US3155827A/en not_active Expired - Lifetime
- 1961-03-29 FR FR17807A patent/FR1285063A/fr not_active Expired
- 1961-04-05 DE DEN19846A patent/DE1204350B/de active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE692336C (de) * | 1934-12-07 | 1940-06-18 | Bodo V Borries Dr Ing | Verfahren zur Abbildung von Flaechen mittels Korpuskularstrahlen |
| DE748680C (de) * | 1939-10-19 | 1944-11-08 | Elektronenmikroskop | |
| DE761663C (de) * | 1942-01-21 | 1953-10-12 | Aeg | Elektronenmikroskop, insbesondere UEbermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse |
| DE893104C (de) * | 1943-01-04 | 1953-10-12 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Querverstellung des Objektes im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten |
| US2928943A (en) * | 1957-09-11 | 1960-03-15 | Leitz Ernst Gmbh | Electronic microscope for top illumination of surfaces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB918297A (en) | 1963-02-13 |
| US3155827A (en) | 1964-11-03 |
| FR1285063A (fr) | 1962-02-16 |
| NL263015A (Direct) | 1964-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102019005364B3 (de) | System-Kombination eines Teilchenstrahlsystem und eines lichtoptischen Systems mit kollinearer Strahlführung sowie Verwendung der System-Kombination | |
| DE2456452A1 (de) | Vorrichtung zur zerstoerungsfreien untersuchung von stoffen, besonders von heterogenen oberflaechen, mittels bestrahlung | |
| DE102010011898A1 (de) | Inspektionssystem | |
| DE112015000433B4 (de) | Probenhalter, Betrachtungssystem und Bilderzeugungsverfahren | |
| DE102006050600A1 (de) | Spektrometer zur Oberflächenanalyse und Verfahren dafür | |
| DE102007026847A1 (de) | Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Anwendung bei einem Teilchenstrahlgerät | |
| DE3854283T2 (de) | Direkt-abbildendes monochromatisches Elektronenmikroskop. | |
| DE102014226985A1 (de) | Verfahren zum Analysieren eines Objekts sowie Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens | |
| DE1489658A1 (de) | Vorrichtung zur Beschiessung eines Gegenstandes mit einem Elektronenstrahlenbuendel und Verfahren fuer diese Beschiessung zum Zwecke der Emission von Roentgenstrahlen durch diesen Gegenstand | |
| DE3045013C2 (Direct) | ||
| DE2646472B2 (de) | Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskop | |
| DE2331091C3 (de) | Einrichtung zur Bestimmung der Energie geladener Teilchen | |
| EP2976627B1 (de) | Verfahren zur erzeugung von bilddaten eines objekts | |
| WO2005006384A2 (de) | Detektorsystem für ein rasterelektronenmikroskop und rasterelektronenmikroskop mit einem entsprechenden detektorsystem | |
| DE3918249C1 (Direct) | ||
| DE102009041993B4 (de) | Beobachtungs- und Analysegerät | |
| DE2309181A1 (de) | Mit elektronenstrahlabtastung arbeitende analysevorrichtung | |
| DE60033374T2 (de) | Röntgenmikroskop mit einer röntgenstrahlungsquelle für weiche röntgenstrahlungen | |
| DE1204350B (de) | Elektronenmikroskop | |
| DE69918958T2 (de) | Rasterelektronenmikroskop mit einem ortssensitiven detektor | |
| EP3117448B1 (de) | Vorrichtung für die korrelative raster-transmissionselektronenmikroskopie (stem) und lichtmikroskopie | |
| DE2640260C3 (de) | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop | |
| DE1058166B (de) | Elektronenmikroskop | |
| EP0088917B1 (de) | Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind | |
| DE102020104151B3 (de) | Abbildungsvorrichtung für Elektronen und ein Abbildungsverfahren zur Reduktion des Untergrundsignals in abbildenden elektronenoptischen Geräten |