DE1099102B - Blendenanordnung fuer Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Roentgenspektroskopie durchstrahlbarer Praeparate - Google Patents

Blendenanordnung fuer Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Roentgenspektroskopie durchstrahlbarer Praeparate

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DE1099102B
DE1099102B DES63144A DES0063144A DE1099102B DE 1099102 B DE1099102 B DE 1099102B DE S63144 A DES63144 A DE S63144A DE S0063144 A DES0063144 A DE S0063144A DE 1099102 B DE1099102 B DE 1099102B
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Dr Rer Nat Karl-Heinz Herrmann
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Siemens AG
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Description

DEUTSCHES
Die Erfindung bezieht sich auf eine Blendenanordnung für Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Röntgenspektroskopie durchstrahlbarer Präparate.
Die Präparate im Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop emittieren während ihrer Elektronenbestrahlung Röntgenstrahlen. Es ist bereits bekannt, durch spektrale Zerlegung dieser Röntgenstrahlen mit Röntgenspektrometern, die dem Elektronenmikroskop zugeordnet sind, eine Elementaranalyse der Präparate durchzuführen. Um möglichst kleine Präparateinzelheiten für die Spektralanalyse erfassen zu können, verkleinert man den Durchmesser des bestrahlten Präparatbereiches zweckmäßig auf wenige Mikron, was wegen der gleichzeitig erforderlichen hohen Beleuchtungsstromdichte am vorteilhaftesten mit einem mehrstufigen Kondensor erreicht wird.
Durchstrahlbare Präparate besitzen eine wesentlich geringere Röntgenausbeute als massive Präparate, so daß schon wenige Elektronen, die auf die massiven Teile der Präparatblende fallen, bereits eine stärkere Röntgenstrahlung als eine starke Bestrahlung des Präparates erzeugen. Um eine einwandfreie Spektralanalyse zu ermöglichen, sind daher Streuelektronen vom massiven Rand der Präparatblende sorgfältig fernzuhalten. Streuelektronen entstehen aber in reichlichem Maße beispielsweise an der Kondensor-Aperturblende.
Diese Störung ist dadurch vermieden, daß erfindungsgemäß zwischen Präparat und Kondensor eine Zusatzblende angeordnet ist, deren Öffnung kleiner als die der Objektblende, jedoch so groß ist, daß sie nicht von der direkten Strahlung des Beleuchtungsstrahles getroffen wird. Ist diese Zusatzblende zur Präparatblende zentriert, so werden Streuelektronen von dem massiven Rand der Präparatblende ferngehalten. Zur Erleichterung der Zentrierung ist es zweckmäßig, die Vorblende senkrecht zum Elektronenstrahl verschieben zu können.
Eine vereinfachte Ausführung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt. Vor der Präparatblende 1 ist die Zusatzblende 2 angeordnet. Beide Blenden sind durch die Objektpatrone 3 starr miteinander verbunden. Durch den Kanal 4 tritt die Röntgenstrahlung in das Spektrometer 5. An der Stelle 6 befindet sich die schematisch angedeutete Kondensorlinse mit der Aperturblende 7, und an der Stelle 8 befindet sich die Objektivlinse des Elektronenmikroskops. Die unvermeidlichen Toleranzen verschiedener Blenden müssen bei dieser Anordnung durch Kondensorkippung ausgeglichen werden.
Blendenanordnung
für Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Röntgenspektroskopie
durchstrahlbarer Präparate
Anmelder:
Siemens & Halske Aktiengesellschaft,
Berlin und München,
München 2, Wittelsbacherplatz 2
Dr. rer. nat. Karl-Heinz Herrmann, Berlin-Zehlendorf, ist als Erfinder genannt worden
Für besonders hohe Anforderungen kann es manchmal nötig sein, auch die sekundäre Elektronenstreustrahlung der Zusatzblende abzuschirmen. Das ist durch weitere oberhalb des Präparates angebrachte Blenden zu erreichen. Dabei muß der Blendendurchmesser in der Bestrahlungsrichtung monoton zunehmen, jedoch bei allen Blenden kleiner als der Durchmesser der Präparatblende bleiben.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE:
1. Blendenanordnung für Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Röntgenspektroskopie durchstrahlbarer Präparate, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Präparatblende (1) und Kondensor (6) eine Zusatzblende (2) angeordnet ist, die eine kleinere öffnung als die Präparatblende aufweist, jedoch so groß ist, daß sie nicht von der direkten Strahlung des Beleuchtungsstrahles getroffen wird.
2. Blendenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die über dem Präparat angeordnete Zusatzblende in der zum Elektronenstrahl senkrechten Ebene verschiebbar ist.
3. Blendenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Präparatblende und Kondensor mehrere Zusatzblenden angeordnet sind, deren öffnungen in Bestrahlungsrichtung monoton zunehmen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DES63144A 1959-05-26 1959-05-26 Blendenanordnung fuer Elektronenmikroskope mit Zusatzeinrichtung zur Roentgenspektroskopie durchstrahlbarer Praeparate Pending DE1099102B (de)

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GB11321/60A GB915299A (en) 1959-05-26 1960-03-31 Improvements in or relating to electron microscopes
US22262A US3086114A (en) 1959-05-26 1960-04-14 Electron microscope diaphragm arrangement with auxiliary device for X-ray spectroscopy of irradiated specimen
CH514560A CH384093A (de) 1959-05-26 1960-05-05 Blendenanordnung für Elektronenmikroskope für durchstrahlbare Präparate mit Zusatzeinrichtung zur Röntgenspektroskopie

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CH384093A (de) 1964-11-15
GB915299A (en) 1963-01-09
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