DE761663C - Elektronenmikroskop, insbesondere UEbermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse - Google Patents

Description

• Elektronenmikroskop, insbesondere Übermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse Elektronenmikroskope, insbesondere Übermikroskope, stellen Geräte von beträchtlichen Ausmaßen und hohem Gewicht dar. Die außerordentliche Länge des Elektronenmikroskops ist erforderlich, um hohe Vergrößerungen mit verhältnismäßig großen Brennweiten zu erzielen. Während es in der Lichtoptik ohne weiteres möglich ist, sehr kurze Brennweiten zu verwirklichen, stößt dieses in der Elektronenmikroskopie auf große Schwierigkeiten, auch wenn man davon. absieht, daß entsprechend der sehr viel höheren Vergrößerung die Brennweite bei gleicher Strahlenlänge noch weitaus kürzer sein muß als bei optischen Linsen.
• Es ist bereits bekannt, Elektronenmikroskope mit einem Spiegel auszurüsten, so daß infolge der Spiegelung der Strahlen eine gedrängtere Bauart erzielt wird. Die Erfindung betrifft eine besonders vorteilhafte Ausführungsart eines Elektronenmikroskops, insbesondere Übermikroskops, mit einer als-Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse. Erfindungsgemäß ist das Elektronenmikroskop

  gekennzeichnet durch einen senkrechten, an ( auf den Leuchtschirm g, so daß durch da:

  einem Tisch befestigten Aufbau, bei dem das ' Einblickfenster ; das Elektronenbild beob-

  Strahlerzeugungssystem am unteren Ende des achtet werden kann. Der Leuchtschirm ist in

  Entladungsgefäßes unter dem Tisch angeord- ' seiner Mitte mit einer Üffnung für den Durch-

  riet ist und die Hochspannungszuleitungen tritt des Primärelektronenstrahles versehen.

  unter dem Tisch geführt sind. Es zeigte sich Falls von dem Objekt eine Aufnahme her-

  nämlich. daß durch die umgekehrte Führung gestellt werden soll, werden z«-eckmäßig

  des Stralil.enganges und den senkrechten Auf- unter dem Leuchtschirm 9 zwei Platten 8 an-

  bau dos Systems auf einem Tisch ein Elek geordnet die so weit voneinander abgerückt

  tronznmilzrosl.zop erhalten wird, welches außer sind, daß der Primärelektronenstrahl gerade

  einer geringen Bauhöhe über dem Tisch hindurchtreten kann. An Stelle der beiden

  zwecks einer sehr einfachen Beobachtung der Platten kann gegebenenfalls auch ein Film

  Elektronenbilder im Sitzen noch eine Reihe benutzt «-erden, welcher mit einer ültnung

  von weiteren Vorteilen hat. Denn ferner für den Strahldurchtritt versehen ist. Zur Her-

  fallen diL Hochspannungszuleitungen im stellung der Aufnahme ist es dann lediglich

  Raum weg, da die Kabel bequem unter dem erforderlich, den Leuchtschirm 9 um die

  Tisch zugeführt werden können, an dem Achse io aus dem Strahlengang der gespie-

  das Spiegelele:htronenmil@roslcop befestigt ist, gelten Elektronen zu entfernen.

  dessen Gesamthöhe des über den Tisch In manchen Fällen hat es sich als zweck-

  ragenden Teiles des Gerätes auf eine Ab- mäßig erwiesen, außer dem eigentlichen

  messung gebracht werden kann, die nicht Leuchtschirm 9 noch einen weiteren Kontroll-

  mehr wesentlich über der eines gewöhnlichen Leuchtschirm ig zu verwenden, der z«-eck-

  Lichtmikroskops liegt. Ferner werden die mäßig auf der dem Strahlerzeugungssystem

  sonst üblichen Gestänge zur Verstellung zugewandten Seite der Linsenelektrode 23 an-

  überflüssig, da beispielsweise die Objekt- geordnet wird. Durch das Einblickfenster 12

  schleuse mit dem Objekttisch etwa in Tisch- I kann dann das Bild auf dem Kontrolleucht-

  höhe anzubringen und somit direkt zu er- ' schirm betrachtet werden. Der Kontrolleucht-

  reichen ist. schirm ist vorzugsweise wenig empfindlich,

  Der Gegenstand der Erfindung ist im damit sein Leuchten nicht das auf dem Beob-

  falgenden an Hand eines in der Abbildung achtungsschirin 9 entstehende Bild überstrahlt.

  dargestellten Ausführungsbeispiels näher er- Es ist gegebenenfalls auch möglich, ihn aus

  läutert. In der Abbildung bedeutet i die einer Substanz herzustellen, deren Leuchten

  Kathode, die von dem Wehneltzylinder -2 das Leuchten des Schirmes 9 nicht stört, also

  umgeben ist. Vor dem aus Kathode und in einem anderen Spektralbereich liegt und

  Wehneltzylinder bestehenden System befindet gegebenenfalls durch Beobachtung durch ein

  sich die Anode 3. Der vom Strahlerzeugungs- Filter unwirksam gemacht werden kann.

  system ausgehende Elektronenstrahl durch- Gegebenenfalls kann die Spiegellinse,

  setzt das Objekt q., welches vor der Objektiv- welche aus den Elektroden 22 und 2 3 besteht,

  linse 6 angeordnet ist. Vor der Objektivlinse auch gegen die Achse der Objektivlinse ge-

  befindet sich die Schleusenklappe 5, um das neigt angeordnet werden, so daß das refiek-

  Objekt in das Vakuum einschleusen zu tierte Bild nicht den gesamten, die Achse der

  können. Der Elektronenstrahl wird nach dem Objektivlinse umgebenden Bereich bedeckt,

  Durchlaufen der Objektivlinse 6 in Richtung sondern einseitig neben der @clise liegt. Auch

  auf die Projektionslinse i i geführt, welche in diesem Fall wird noch der erstrebte Vor-

  als Spiegel ausgebildet ist. Der Spiegel wird teil erzielt, daß die Gesamtlänge des Mikro-

  durch zwei Elektroden 22 und a3 gebildet. skops außerordentlich gering ist.

  Während sich die Elektrode 23 auf positivem, Das Übermikroskop .2o, welches die vier-

  vorzugsweise auf dem gleichen Potential wie schiedenen Elektroden enthält, wird auf

  die der Projektionslinse zugewandte Elek- einem Tisch 18 in der Meise befestigt, daß

  trolle der Objektivlinse befindet, ist die Elek- die Objektschleuse mit dem Objekttisch etwa

  trolle 22 auf ein so negatives Potential gelegt, in Tischhöhe anzubringen ist, so daß sie vom

  daß die Elektronen auf diese Elektrode nicht Arbeitssitz direkt aus zu bedienen ist. Bei

  auftreffen und sie auch nicht durchlaufen dem dargestellten Ausführungsbeispiel be-

  können. Wenn z. B. die Elektronenquelle i findet sich die Objektschleuse eben unter der

  eine Glühkathode ist, so liegt die Elektrode 22 Tischplatte des Tisches 18. Auf diese Weise

  auf einem gegenüber der Kathode negativen wird es ermöglicht, die Hochspannungszufiih-

  Potential. Bei dem dargestellten Ausführungs- rungen unter dem Tisch anzubringen, so daß

  Beispiel liat also der Elektronenspiegel die sie einfach mittels Kabel zugeführt werden

  gleiche Achse wie die Objektivlinse 6, so daß können. Zur Zuführung der Kathodenspen-

  der Elektronenstrahlengang in sich zurück- nung dient die Zuleitung 2i welche ebenfalls

  geworfen wird. Die Elektronen fallen dann mit der Mittelelektrode der 0lajektivliiise

  verbunden ist. Die Verbindung ist im einzelnen nicht dargestellt. Die Zuführung a1 ist zu diesem Zweck über die Leitung 17, welche in der Pumpleitung 16 isoliert verläuft, mit der Objektivlinse verbunden. Die Pumpe, welche an das Rohr 15 angeschlossen ist, steht andererseits über das Pumprohr 13 mit der Projektionslinse in Verbindung. Innerhalb dieses Pumprohres 13 verläuft die Zuleitung 1q. zu der Spiegelelektrode 22, so daß auch für diese Zuleitung ein guter Hochspannungsschutz gewährleistet ist. Das Pumprohr 13 dient gleichzeitig als Stativ für das Elektronenmikroskop.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronenmikroskop, insbesondere Übermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse, gekennzeichnet durch einen senkrechten, an einem Tisch befestigten Aufbau, bei dem das Strahlerzeugungssystem am unteren Ende des Entladungsgefäßes unter dem Tisch angeordnet ist und die Hochspannungszuleitungen unter dem Tisch geführt sind. a. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kontrolleuchtschirm auf der dem Strahlerzeugungssystem zugewandten Seite der unteren Linsenelektrode der Spiegellinse angebracht ist. 3. Elektronenmikroskop nach An- spruch i oder z, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Filmkassette und eines Films, welche mit je einer Öffnung für den Durchtritt des Primärelektrönen- strahles versehen sind. q.. Elektronenmikroskop nach An- spruch 'i oder einem der folgenden, da- durch gekennzeichnet, daß zur Aufnahme des Endbildes zwei Platten verwendet sind, welche in einem derartigen Abstand zueinander angeordnet sind, daß der Primärstrahl zwischen diesen Platten durchtreten kann. 5. Elektronenmikroskop nach An- spruch i oder einem der folgenden, da- durch gekennzeichnet, daß die Spiegellinse derart zum Primärstrahlengang geneigt angeordnet ist, daß das gespiegelte Bild neben die Durchtrittsäffnung der Ob- jektivlinse fällt. 6. Elektronenmikroskop nach An- spruch i oder einem der folgenden, da- durch gekennzeichnet, daß das Gehäuse des Spiegelmikroskops am oberen Ende mittels eines Hohlstativs, welches als Pumpleitung und Hochspannungsschutz für die Zuleitung zur Spiegelelektrode dient, am Tisch abgestützt ist.