DE1200964B - Ionenkanone zur Bearbeitung von festen Oberflaechen - Google Patents

Ionenkanone zur Bearbeitung von festen Oberflaechen

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DE1200964B
DE1200964B DEC21092A DEC0021092A DE1200964B DE 1200964 B DE1200964 B DE 1200964B DE C21092 A DEC21092 A DE C21092A DE C0021092 A DEC0021092 A DE C0021092A DE 1200964 B DE1200964 B DE 1200964B
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DEC21092A
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Noeel Azam
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Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
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DE879583C (de) * 1942-11-24 1953-06-15 Mueller C H F Ag Ionenquelle fuer Hochspannungsionenroehren
DE745240C (de) * 1939-04-12 1953-11-23 Licentia Gmbh Einrichtung zur Erzeugung eines Strahles von positiven Ionen oder von Elektronen

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