DE1200442B - Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission

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DE1200442B
DE1200442B DEC28356A DEC0028356A DE1200442B DE 1200442 B DE1200442 B DE 1200442B DE C28356 A DEC28356 A DE C28356A DE C0028356 A DEC0028356 A DE C0028356A DE 1200442 B DE1200442 B DE 1200442B
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Arvind Shroff
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Thales SA
Original Assignee
CSF Compagnie Generale de Telegraphie sans Fil SA
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. α.:
HOIj
Deutsche Kl.: 21g-13/20
Nummer: 1200 442
Aktenzeichen: C 28356 VIII c/21 g
Anmeldetag: 7. November 1962
Auslegetag: 9. September 1965
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission, die aus dem Karbid eines hochschmelzenden Metalls besteht, wobei das Karbid auf einen Metallträger aufgebracht wird.
Spitzenkathoden hoher Feldemission mit hinreichend geringem Krümmungsradius aus dem Karbid eines hochschmelzenden Metalls sind bekannt. Bei den Herstellungsverfahren dieser Kathoden geht man entweder von einem Zirkonkarbidblock, der nach üblichen Verfahren vorgefertigt ist, sich jedoch für ein Spitzenfertigungsverfahren nicht von selbst anbietet, aus, oder man erzeugt Einkristalle ausZirkonkarbid, die zwar für ein Spitzenfertigungsverfahren unter elektrochemischer Einwirkung innerhalb von Lösungen, wie z. B. Kaliumfluorid in Schwefelsäure, prädestiniert sind, jedoch technisch nur schwierig herzustellen sind.
Ziel der Erfindung ist ein Verfahren der eingangs genannten Gattung, das auf einfache Weise ao die Herstellung von Spitzen der gewünschten Feinheit gestattet, die Schwierigkeiten der bekannten Verfahren jedoch vermeidet. Das Verfahren soll besonders für die gleichzeitige Herstellung einer großen Menge derartiger Spitzen geeignet sein.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Spitze der Kathode an dem Metallträger gebildet wird, daß auf diese Spitze das hochschmelzende Metall aufgedampft wird und daß dann das aufgedampfte Metall in das Karbid übergeführt wird.
Es ist zwar bereits eine Spitzenkathode bekannt, bei der eine aus Siliziumkarbid bestehende Spitze auf einem Träger aus Wolfram befestigt ist. Die aus Siliziumkarbid bestehende Spitze ist an dem Wolframträger beispielsweise durch Löten befestigt. Bei der bekannten Spitzenkathode wird also die Spitze nach den bekannten Herstellungsverfahren direkt aus Siliziumkarbid hergestellt. Das beschriebene Verfahren hat demgegenüber den Vorteil, daß die eigentliche Spitze aus einem leicht zu einer Spitze verformbaren Metall gefertigt werden kann und daß erst danach durch Aufdampfen eines hochschmelzenden Metalls und Überführung des Metalls in Karbid die gewünschte Oberfläche der Spitzenkathode hergestellt wird.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des beschriebenen Verfahrens wird das hochschmelzende Metall in einer Naphthalin- oder Benzolatmosphäre in das Karbid übergeführt. Als Metallträger können Wolfram, Molybdän, Platin oder Rhenium verwendet Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission
Anmelder:
CSF Compagnie Generale de Telegraphic sans FiI,
Paris
Vertreter:
Dr. W. Müller-Bore und Dipl.-Ing. H. Gralfs,
Patentanwälte, Braunschweig, Am Bürgerpark 8
Als Erfinder benannt:
Arvind Shroff, Paris
Beanspruchte Priorität:
Frankreich vom 8. November 1961 (878 265) - -
werden. Bevorzugt wird als hochschmelzendes Metall Zirkon verwendet.
Bei der Herstellung einer Zirkonkarbidspitze wird zunächst aus einem Basismetall, wie z. B. Wolfram, eine Spitze der gewünschten Größe und mit dem gewünschten Krümmungsradius durch ein bekanntes Herstellungsverfahren angefertigt. Anschließend wird auf dieses Basismetall das Zirkon aufgedampft. Anschließend wird das Zirkon durch ein bekanntes Verfahren in Zirkonkarbid übergeführt, was vorzugsweise in einer Atmosphäre eines organischen Stoffes, wie Naphthalin oder Benzol, geschieht.
Das beschriebene Verfahren eignet sich besonders dazu, gleichzeitig mehrere Spitzen anzufertigen.

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission, die aus dem Karbid eines hochschmelzenden Metalls besteht, wobei das Karbid auf einen Metallträger aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze der Kathode an dem Metallträger gebildet wird, daß auf diese Spitze das hochschmelzende Metall aufgedampft wird und daß dann das aufgedampfte Metall in das Karbid übergeführt wird.
509 660/359
.-- ■'-■■■ .-"■ "::' 1200
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 4. Verfahren nach Anspruch l;oster 2, dadurch kennzeichnet, daß das hochschmelzende Metall gekennzeichnet, daß als hochschmelzendes Metall in einer Naphthalin- oder Benzolatmosphäre in Zirkon verwendet wird. -
das Karbid übergeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 5
ih dß l ll Wlf
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß als Metallträger Wolfram, ... "; JnBetrachtgföojeneDruckschriften:
Molybdän, Platin oder Rhenium verwendet wird. Britische Patentschrift Nr. 230 183.
509 660/359 8.65 © Bundesdruckerei Berlin
DEC28356A 1961-11-08 1962-11-07 Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission Pending DE1200442B (de)

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