DE1168870B - Einblickeinrichtung fuer Vakuumanlagen - Google Patents

Einblickeinrichtung fuer Vakuumanlagen

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DE1168870B
DE1168870B DEH47342A DEH0047342A DE1168870B DE 1168870 B DE1168870 B DE 1168870B DE H47342 A DEH47342 A DE H47342A DE H0047342 A DEH0047342 A DE H0047342A DE 1168870 B DE1168870 B DE 1168870B
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Walter Dietrich
Friedrich Krall
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WC Heraus GmbH and Co KG
Evonik Operations GmbH
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WC Heraus GmbH and Co KG
Degussa GmbH
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    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • F27D21/02Observation or illuminating devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Description

  • Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung, die zum Einblick in evakuierte Räume dient, msbesondere in Vakuumschmelz-, Glüh-, Gieß-, Destillations- oder Bedampfungsanlagen od. dgl.
  • Zur Beobachtung von beispielsweise Schmelz- oder Bedampfungsprozessen sind in die Wand des Vakuumbehälters, meistens in den Deckel des Behälters, ein oder mehrere Schaugläser eingebaut. Die während des Ablaufs der Prozesse entstehenden Dämpfe, wie Metalldämpfe, schlagen sich auf der Innenwand des Vakuumbehälters und auch auf der inneren Oberfläche der Schaugläser nieder. Hierdurch wird der Einblick durch die Schaugläser stark behindert, und schon nach relativ kurzer Zeit ist eine einwandfreie Beobachtung der im Vakuumbehälter ablaufenden Prozesse nicht mehr möglich.
  • Es ist eine Vielzahl von Mitteln bereits bekannt, mit deren Hilfe es ermöglicht werden soll, daß während der Gesamtdauer des Prozesses ein möglichst störungsfreier Einblick in den Vakuumbehälter gewährleistet ist. Hierzu hat man vor ein Schauglas auswechselbare Schutzgläser gebracht. Mehrere Schutzgläser sind dabei auf einem Drehteller angeordnet, der von außerhalb des Vakuumbehälters betätigt wird. Wenn das eine Schutzglas durch den sich darauf niederschlagenden Dampf, beispielsweise Metalldampf, undurchsichtig geworden ist, dann wird ein anderes noch nicht beschlagenes Schutzglas vor das Schauglas gedreht. Wie bereits erwähnt, erfolgt die Bedampfung der Gläser relativ schnell, so daß bei einem längere Zeit dauernden Prozeß sehr viele Schutzgläser erforderlich sind. Dies bedingt eine ziemlich aufwendige Vorrichtung für die Reservehaltung von Schutzgläsern. Meistens reicht jedoch ihre Zahl wegen der raschen Bedampfung nicht aus.
  • Ferner ist es bekannt, vor der Schauglasinnenseite fortwährend eine durchsichtige Folie vorbeizuziehen nach Art eines Films, der von einer Vorratsspule abgezogen und auf eine andere Spule aufgewickelt wird. Diese Methode der Schauglasfreihaltung ist nicht geeignet für Vakuumschmelz-, Glüh- und Gießöfen, da die Folie infolge der hohen Temperaturen innerhalb dieser Öfen sofort zerstört wird.
  • Man hat auch bereits eine schwenkbare kreissektorförmige Blende vor der Schauglasinnenseite angeordnet. Diese Blende deckt das Schauglas völlig ab; sie wird nur für den Augenblick der Beobachtung zur Seite geschwenkt. Nachteilig bei dieser Anordnung ist, daß man nur während einer äußerst kurzen Zeit den in der Anlage ablaufenden Prozeß beobachten kann. Eine länger dauernde Beobachtung ist nicht nötig, da dann die Innenseite des Schauglases wieder stark beschlagen würde.
  • Außerdem ist eine Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen bekannt, bei der zwei vor der Schauglasinnenseite mit festem Abstand hintereinander angeordnete, synchron rotierende Schlitzblenden verwendet werden, um ein Bedampfen des Schauglases zu verhindern. Die beiden Blenden sind in einem derartigen Abstand hintereinander angeordnet, daß die in den Zwischenraum zwischen den Blenden eintretenden Dampfpartikel nach Durch eilen desselben jeweils auf einen den Austritt hindernden Teil der der Innenseite des Schauglases zugekehrten Blendenfläche auftreffen. Diese Einrichtung erfordert einen großen Aufwand. Außerdem wird der Blickwinkel durch zwei hintereinander angeordnete Blenden erheblich eingeschränkt. Abgesehen hiervon treten ererhebliche Schwierigkeiten dadurch auf, daß zur Erzielung der oben erläuterten Wirkung bezüglich des Abfangens von Dampfmolekülen, die beispielsweise in Vakuumschmelz- und Bedampfungsanlagen eine sehr hohe Geschwindigkeit besitzen, eine außergewöhnlich hohe Umlaufgeschwindigkeit der Trommel erforderlich ist.
  • Alle diese Nachteile werden bei einer Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen mit einem vakuumdicht in die Wand eines Vakuumbehälters eingebauten Einblickfenster und einer vor dem Einblickfenster innerhalb des Vakuumbehälters angeordneten, beweglichen, durchsichtigen Scheibe, beispielsweise einer Glasscheibe, dadurch vermieden, daß hinter der Scheibe, in Einblickrichtung gesehen, ein scheibenförmiger Rotor mit einem Loch oder einer andersartig ausgebildeten Öffnung angeordnet ist. Durch diese kombinierte Anordnung wird erreicht, daß das Einblickfenster selbst nicht bedampft wird, sondern jeweils nur ein Teil der zwischen dem Einblickfenster und dem Rotor angeordneten durchsichtigen Scheibe. Durch den vor der durchsichtigen Scheibe bewegten Rotor mit Loch oder beispielsweise schlitzförmiger Öffnung wird die Bedampfung der durchsichtigen Scheibe hinausgezögert. Die Dampfteilehen können nur für den Augenblick durch die Öffnung im Rotor auf die durchsichtige Scheibe gelangen, in dem die Öffnung an der durchsichtigen Scheibe vorbeistreicht. Der Verzögerungsfaktor für die Bedampfung der durchsichtigen Scheibe ist beim Vorhandensein einer einzigen Öffnung in der Nähe des Randes des Rotors gegeben durch das Verhältnis vom Umfang des Rotorscheibenkreises. der die Einblickachse schneidet, zur Öffnungsbreite. Verzögerungsfaktoren der Größenordnung von etwa 300 sind unschwer zu erreichen. In der Praxis bedeutet dies also, daß man an Stelle einer Einblickzeit von einer Minute nunmehr 5 Stunden zur Verfügung hat, bis die Beobachtung durch das Einblickfenster infolge vollständiger Bedampfung eines Teils der durchsichtigen Scheibe unmöglich wird.
  • Um die Beobachtungszeit nun noch weiter zu verlängern, ist die durchsichtige Scheibe, die die Metalldämpfe abfängt, beweglich angeordnet, und zwar so, daß nur dasjenige Feld dieser Scheibe bedampft wird, das, in Einblickrichtung gesehen, sich vor dem Einblickfenster befindet und an dem die Öffnung des Rotors vorbeistreicht. Der übrige Teil der durchsichtigen Scheibe ist vor direkter Bedampfung mittels eines Schirmes geschützt. Wenn ein Feld der durchsichtigen Scheibe bedampft ist, wird die Scheibe um ein solches Maß weiterbewegt, daß ein unbedampftes Feld der Scheibe an die Stelle des bedampften tritt.
  • Die Zahl der benutzbaren Scheibenstellungen hängt natürlich von der Größe der Scheibe und dem Durchmesser der für den Einblick nötigen Öffnung ab.
  • Es ist das Ziel, den Verlängerungsfaktor möglichst groß zu machen. Hierzu wird vorgeschlagen, außerhalb des Vakuumbehälters an das Einblickfenster ein Sehrohr anzusetzen, wie es beispielsweise als »Schlüssellochgucker« an sich bekannt ist. Dies ermöglicht, daß man mit sehr kleinen Einblickfenstern auskommt, deren Durchmesser etwa 10 mm beträgt.
  • Es werden dann auch jeweils nur kleine Felder der Scheibe zum Durchblick in den Vakuumraum benötigt. Ohne großen Aufwand lassen sich dann leicht etwa 30 Einstellmöglichkeiten für die durchsichtige Scheibe verw7irklichen. Der Verlängerungsfaktor für die Beobachtungszeit wird dadurch nochmals vergrößert, so daß beispielsweise sich insgesamt ein Verlängerungsfaktor von der Größenordnung von 10 000 ohne Schwierigkeiten und ohne großen apparativen Aufwand realisieren läßt. Das bedeutet also, daß man die Einblickeinrichtung mehrere Wochen benutzen kann, bevor die durchsichtige Scheibe einmal ausgewechselt werden muß.
  • Es ist zweckmäßig, die Drehzahl des scheibenförmigen Rotors so zu wählen, daß dem Auge des Beobachters mindestens 20 Bildeindrücke pro Sekunde dargeboten werden. Dann fügen sich die Einzelbilder, wie an sich bekannt, zu einem kontinuierlichen Bildeindruck zusammen.
  • Die erfindungsgemäße Einblickeinrichtung ist sehr einfach in ihrem Aufbau und kann für alle Vakuumanlagen benutzt werden, bei denen Beobachtungsschwierigkeiten infolge Bedampfung des Einblickfensters auftreten. Außerdem gestattet die Einblickeinrichtung eine Beobachtung von Vorgängen innerhalb eines Vakuumbehälters. ohne daß der Blickwinkel in erheblichem Maße eingeschränkt ist.
  • In der F i g. ist schematisch eine Ausführungsform der Einblickeinrichtung gemäß der Erfindung dargestellt.
  • In die Wand des Vakuumbehälters 1 ist in an sich bekannter Weise das Einblickfenster2 vakuumdicht eingesetzt. Zur Erzielung des vakuumdichten Verschlusses dienen die Abdichtungsmittel 3. An das Einblickfenster ist außerhalb des Vakuumbehälters ein Sehrohr 4 angesetzt. Mit der Bezugsziffer 5 ist die Einblickachse bezeichnet. Innerhalb des Vakuumbehälters ist vor dem Einblickfenster eine durchsichtige Scheibe 6 angeordnet, die mit einer Bewegungsvorrichtung 7 - im Ausführungsbeispiel ist eine vakuumdicht durch Dichtungsmittel 7 a nach außen geführte Drehvorrichtung eingezeichnet -verbunden ist. Die Scheibe 6 ist mit Ausnahme des den Durchblick gewährenden Feldes mit einem fest angeordneten Schutzschirm 8 abgedeckt, der eine Aussparung oder Öffnung besitzt. In Einblickrichtung gesehen befindet sich hinter diesem Schutzschirm ein scheibenförmiger Rotor 9, der eine Öffnung 10 besitzt. Der Rotor 9 ist an einer Drehwelle 11 befestigt, die vakuumdicht über Dichtungsmittel 3 durch den Behälter 1 hindurchgeführt und mit einem außerhalb des Behälters angeordneten Antriebsmotor 12 verbunden ist. Die Arbeitsweise und die Vorteile dieser Einblickeinrichtung sind oben beschrieben.
  • Es ist selbstverständlich auch möglich, den Motor 12 innerhalb des Vakuumbehälters anzuordnen; hierdurch fällt dann die vakuumdichte Durchführung der Drehwelle 11 fort. Außerdem ist es noch möglich, auch bei der Bewegung der Scheibe 6 eine Vakuumdurchführung zu vermeiden. Dies kann beispielsweise in der Art erfolgen, daß man ein auf der Drehachse der durchsichtigen Scheibe 6 angeordnetes Zahnrad mittels der Ankerbewegung eines kleinen Elektromagneten schrittweise weiterdreht, wobei die Drehachse nur innerhalb des Vakuumbehälters gelagert ist. Es sind dann in beiden Fällen nur einfache vakuumdichte Stromdurchführungen notwendig.
  • An Stelle des scheibenförmigen Rotors können auch andere technisch äquivalente Mittel benutzt werden, beispielsweise ein Oszillator, der aus einem hin- und herbewegten scheibenförmigen Segment mit schlitzförmiger oder andersartiger Öffnung besteht.
  • Der Antrieb eines solchen Oszillators ist sehr einfach zu verwirklichen.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen mit einem vakuumdicht in die Wand eines Vakuumbehälters eingebauten Einblickfenster und vor dem Einblickfenster innerhalb des Vakuumbehälters angeordneter, beweglicher, durchsichtiger Scheibe, beispielsweise einer Glasscheibe, die durch eine Abschirmvorrichtung bis auf ein kleines Feld vor dem Einblickfenster gegen direkte Bedampfung geschützt ist, d ad urch gekennz e i c h n e t, daß hinter der Scheibe (6), in Einblickrichtung gesehen, ein scheibenförmiger Rotor (9) oder Oszillator mit einem Loch (10) oder einer andersartig ausgebildeten Öffnung angeordnet ist.
  2. 2. Einblickeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an das Einblickfenster (2) außerhalb des Vakuumbehälters (1) ein Sehrohr (4) angesetzt ist.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2478288A1 (fr) * 1980-03-14 1981-09-18 Opthra Ste Civile Procede et installation pour evacuer par voie de rayonnement de l'energie notamment thermique confinee dans une enceinte etanche
CA2262811C (en) * 1998-03-11 2000-11-14 Sun-Tae An A method and apparatus for increasing the hardness and intensity of wood
CN102425956A (zh) * 2011-12-07 2012-04-25 北京有色金属研究总院 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法
DE102013100443A1 (de) * 2012-08-14 2014-05-15 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Schutzfenstervorrichtung für eine Beschichtungsanlage
CN103469171A (zh) * 2013-09-24 2013-12-25 辽宁北宇真空科技有限公司 真空镀膜室防镀膜观察窗

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2197637A (en) * 1937-04-14 1940-04-16 Maurice H Goldberg Color wave projector
US2440938A (en) * 1945-07-19 1948-05-04 Raymond L Falge Portable electric signal light
US2926659A (en) * 1955-06-22 1960-03-01 Seeler Henry Blower resuscitator
US2908254A (en) * 1955-12-02 1959-10-13 Nat Lead Co Shutter assembly

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GB1009657A (en) 1965-11-10

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