DE1163974B - Tunneldiode mit einem Halbleiterkoerper aus Galliumarsenid und Verfahren zum Herstellen - Google Patents
Tunneldiode mit einem Halbleiterkoerper aus Galliumarsenid und Verfahren zum HerstellenInfo
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Description
BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Internat. Kl.: HOIl
Deutsche Kl.: 21g-11/02
Nummer:
Aktenzeichen:
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Auslegetag:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
G 33171 VIII c/21g
21. September 1961
27. Februar 1964
21. September 1961
27. Februar 1964
Die Erfindung bezieht sich auf eine Tunneldiode mit einem Halbleiterkörper aus Galliumarsenid, mit
einem pn-übergang schmäler als 200 A und mit einer Konzentration des überschüssigen Donators bzw.
Akzeptors größer als 1018 Atome/cm3 in beiden Zonen.
Es sind Tunneldioden aus Galliumarsenid mit einem sehr schmalen pn-übergang bekannt, der in
Flußrichtung einen Beieich des negativen Widerstandes aufweist. Wenn die n- und p-Zone so hoch
dotiert sind, daß eine Entartung vorliegt und der Wechsel der Dotierung am Übergang nahezu abrupt
erfolgt, wobei die Feldstärke dort Werte von 105 V/cm erreicht, können bei kleinen Flußspannungen
Elektronen aus den ersten Niveaus des Leitungsbandes im η-Gebiet unmittelbar in die obersten
Niveaus des Valenzbandes im p-Gebiet tunneln. Dieser Strom wächst zunächst mit der Spannung,
also mit wachsender Differenz der Fermi-Niveaus in den beiden Gebieten an, nimmt dann aber wieder ab,
da das Energieintervall, in dem ein Tunneln möglich ist, mit zunehmender Flußspannung kleiner wird. Der
vom Tunneleffekt herrührende Stromanteil geht dann gegen Null, sobald die Spannung so groß ist, daß der
untere Rand des Leitungsbandes im η-Gebiet höher als der obere Rand des Valenzbandes im p-Gebiet
liegt. Diesem Stromanteil überlagert sich der gewöhnliche Flußstrom, der mit der Spannung exponentiell
ansteigt. Eine solche Tunneldiode ist ein sehr einfaches Bauelement für die Erzeugung von Schwingungen
und für die Verstärkung im Bereich höchster Frequenzen.
Die bekannten Galliumarsenid-Tunneldioden lassen sich durch Einlegieren von Zinn in p-leitendes Galliumarsenid
herstellen. Man kann z. B. mit Zinn dotiertes Galliumarsenid mit einer Hallkonstanten
zwischen 3 · 10~2 und 7 ■ 10^2 verwenden, in dem
die Beweglichkeit bei 20 cm2/Vsec liegt. Andererseits ist es auch bekannt, als Ausgangsmaterial polykristallines
Galliumarsenid mit unbekannten Eigenschaften zu verwenden, dessen stöchiometrische Zusammensetzung
und dessen Reinheit unbekannt oder als nicht besonders gut bekannt sind. In einer geschlossenen
Hülle werden die Kristalle oder aus ihnen herausgeschnittene Plättchen dann zur Dotierung bei
Temperaturen von 800 bis 1100° C in einer Arsenatmosphäre
geglüht, so daß ein ebenfalls in der Hülle vorhandener Akzeptor (Cadmium oder Zink) in die
Kristalle eindiffundiert. Das derart dotierte Plättchen wird dann in einer Wasserstoffatmosphäre mit einer
Gold-Zink-Legierung an einer Grundplatte anlegiert, während an seiner anderen Seite eine Zinn- oder
Tunneldiode mit einem Halbleiterkörper
aus Galliumarsenid
und Verfahren zum Herstellen
Anmelder:
General Electric Company, Schenectady, N.Y.
(V. St. A.)
Vertreter:
Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt,
Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13
Als Erfinder benannt:
Erik Mauritz Pell, Scotia, N.Y. (V. St. A.)
Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 26. September 1960
(Nr. 58 501)
Bleilegierung mit Schwefel, Germanium oder Tellur anlegiert wird.
Galliumarsenid ist ein an sich bekannter Halbleiter mit einer großen Energielücke von 1,5 eV im Energiebändermodell.
Dieser Halbleiter hat jedoch keine wesentliche Bedeutung für den Aufbau von HaIbleiterbauelementen
im Vergleich zu anderen Halbleitern, z. B. Germanium oder Silizium erlangt. Dies
ist teilweise darauf zurückzuführen, daß es äußerst schwierig ist, Galliumarsenid in großen Einkristallen
herzustellen, und daß es praktisch unmöglich ist, die für die Herstellung der meisten Halbleiterbauelemente
ausreichende Reinheit zu erreichen. Das reinste Galliumarsenid, das z. B. bis heute hergestellt ist, enthält
Verunreinigungen in einer Konzentration von etwa 1015 Atomen/cm3 oder darüber. Diese beiden
Schwierigkeiten treten durch die äußerst kurze Lebensdauer der Minoritätsträger zu Tage, ein
Merkmal, das bei den meisten Halbleiterbauelementen nicht zugelassen werden kann.
Die sich von anderen Halbleiterbauelementen unterscheidenden Tunneldioden sind praktisch von
der Lebensdauer der Minoritätsträger unabhängig. Aus diesem Grunde haben sich viele Halbleiter, die
stets mit dem Nachteil einer kurzen Lebensdauer behaftet sind, als zur Herstellung von Tunneldioden
geeignet erwiesen.
Die handelsüblichen Tunneldioden aus Galliumarsenid sind jedoch insbesondere für einen Betrieb
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bei Durchlaßströmen, die über den Spitzenstrom der Temperaturbereiches flüssig sind, eignen sich zur EntAnordnung
hinausgehen, nicht gänzlich einwandfrei. fernung dieser schädlichen, schnell diffundierenden
Wenn der Strom in Durchlaßrichtung das Fünf- bis Verunreinigungen; vorzugsweise benutzt man jedoch
Zehnfache des Spitzenstroms der Anordnung beträgt, ein Cyanid, z. B. Kalium- oder Natriumcyanid. Obzeigen
viele Galliumarsenid-Tunneldioden eine Ab- 5 gleich bestimmte Sulfide, wie bereits erwähnt, an
nähme des Verhältnisses vom Spitzenstrom zum Stelle der Cyanide verwendbar sind, so ist doch
kleinstmöglichen Strom und einen möglichen oder Schwefel ein Donator für Galliumarsenid, so daß der
endgültigen Verlust ihres negativen Widerstands- in die Galliumarsenidoberfläche während der zuvor
bereiches, der normalerweise bei der geringen Durch- beschriebenen Behandlung eingebrachte Schwefel entlaßspannung
ihrer Stromspannungskennlinie gefunden io fernt werden muß, bevor das Material zum Aufbau
wird; eine derartige Entartung oder Degenerierung einer Tunneldiode benutzt werden kann. Eine dertritt
häufig nach einem solchen Betrieb von nur artige Entfernung kann nach einem bekannten Verwenigen
Stunden auf. fahren zur Oberflächenbehandlung von Halbleitern Bei der eingangs bezeichneten Tunneldiode ist erfolgen, in dem der Körper geschliffen und'oder
gemäß der Erfindung für den Halbleiterkörper so 15 geätzt wird.
reines Galliumarsenid verwendet, daß die Konzen- Ein Galliumarsenidkörper 1 einer Tunneldiode,
tration der Verunreinigungen, die bei großen Durch- die gemäß der Erfindung hergestellt wird, wird in
laßströmen den negativen Widerstand zum Ver- einem guten, nicht gleichrichtenden Kontakt durch
schwinden bringen, und die bei einer Temperatur von ein Lötmittel 3 mit einer Grundplatte 2 verbunden,
700° C bis zu einer Tiefe von 1 mm eindiffundieren, 20 wie aus Fig. 1 hervorgeht. Die Konzentration des
geringer als 1015 Atome/cm3 ist. Donators oder Akzeptors in diesem Galliumarsenid-
Vorzugsweise soll die Konzentration dieser Ver- körperl ist größer als 1018 Atome/cm3; diese Kon-
unreinigungen, die als »schädlich und schnell diffun- zentration reicht aus, damit der Körper n- bzw.
dierend« bezeichnet seien, im Galliumarsenid kleiner p-Leitfähigkeit erhält. Die Konzentration der schäd-
als 10lä Atome/cm3 sein. Die Verunreinigungen kön- 25 liehen, schnell diffundierenden Verunreinigungen,
nen Kupfer, Gold und/oder Silber sein. z. B. Kupfer, ist im Galliumarsenidkörper jedoch
Bei einem Verfahren zum Herstellen der Tunnel- geringer als 1015, vorzugsweise kleiner als 1012
dioden gemäß der Erfindung wird der Halbleiter- Atome/cm3.
körperaus Galliumarsenid zwecks Reinigung in einem Zwischen dem Galliumarsenidkörper 1 und der
Material erwärmt, das bei einer Temperatur unter 30 Grundplatte 2 kann in an sich bekannter Weise ein
etwa 800° C schmilzt und stabile chemische Verbin- nicht gleichrichtender Kontakt mit Hilfe des Lötdungen
und/oder Komplexe mit den schädlichen und mittels 3 hergestellt sein, das im Galliumarsenidschnell
diffundierenden Verunreinigungen bildet. Als körper den zu Anfang vorhandenen Leitfähigkeitstyp
Reinigungsmaterial kann ein Cyanid, Halogenid zu induzieren sucht. Da keine Umkehrung der Leit-
und/oder Sulfid verwendet werden. Vorzugsweise wird 35 fähigkeit von einer solchen Lotlegierung erzeugt wird,
der Halbleiterkörper mindestens 5 Stunden lang in ist die sich ergebende Verbindung nicht gleichrichdem
Reinigungsmaterial gehalten. tend. Wenn der Galliumarsenidkörper z. B. p-Leit-Der
Halbleiterkörper kann in Kaliumcyanid auf fähigkeit besitzt, kann eine Akzeptor-Lotlegierung
eine Temperatur von 635 bis 700° C erwärmt werden. verwendet werden. Andererseits kann eine nicht
Zum besseren Verständnis des Erfmdungsgegen- 40 gleichrichtende Verbindung durch Benutzung einer
Standes seien die Figuren näher erläutert. Lotlegierung hergestellt werden, die weder Akzeptor-Fig.
1 und 2 sind Vertikalschnitte durch Tunnel- noch Donatorverunreinigungen enthält. Ein solches
dioden in unterschiedlichen Herstellungsstufen; Lot hat keine Wirkung auf die anfängliche Leitfähig-Fig.
3 ist eine schematische Darstellung eines keit des Galliumarsenidkörpers, so daß die sich
Gerätes zur Herstellung von Galliumarsenid, das beim 45 ergebende Verbindung wiederum nicht gleichrich-Aufbau
der Tunneldioden gemäß der Erfindung ver- tend ist.
wendet wird. Die Grundplatte 2 besteht aus einem Material, Ein Stück Galliumarsenid wird gemäß der Erfin- dessen Wärmeausdehnungskoeffizient etwa gleich dem
dung erwärmt, während es in einer flüssigen Masse des Galliumarsenidkörpers 1 ist und kann z. B. aus
bei Temperaturen im Bereich von etwa 500 bis 50 der Legierung »Fernico« hergestellt sein, die 54 Ge-800°
C eingetaucht ist, damit Kupfer und andere wichtsprozent Eisen, 29 Gewichtsprozent Nickel und
schädliche, schnell diffundierende Verunreinigungen 17 Gewichtsprozent Kobalt enthält. Der Galliumdadurch
entfernt werden, daß diese Verunreinigungen arsenidkörper 1 besitzt einen großen Basisbereich 4
mit dem flüssigen Material stabile chemische Verbin- und ein rekristallisiertes Gebiet 5, das eine entgegendungen
oder Komplexe bilden. 55 gesetzte Leitfähigkeit zum Bereich 4 aufweist. Die Durch die Bildung dieser Verbindungen und Korn- Bereiche 4 und 5 sind durch einen Raumladungsplexe
werden die schädlichen, schnell diffundierenden bereich 6 in Form eines pn-Übergangs getrennt, der
Verunreinigungen wirkungsvoll entfernt, so daß ein schmaler als 200 A ist. Das Gebiet 5 entgegengesetzter
Stück Galliumarsenid entsteht, in dem die Konzen- Leitfähigkeit kann durch ein an sich bekanntes Legietration
dieser Verunreinigungen geringer als 1013, 60 rungs- und Rekristallisationsverfahren erhalten sein,
vorzugsweise kleiner als 1012 Atome/cm3 ist. Neben Auf den Galliumarsenidkörper 1 der einen Leitfähig-Kupfer
ist Silber eine weitere schädliche Verunreini- keit wird z. B. eine Pille 7 aus einem Aktivatormategung,
die man durch die zuvor beschriebene Behänd- rial gelegt, das dem Körper 1 die entgegengesetzte
lung zu entfernen sucht. Offenbar ist auch Gold, Leitfähigkeit verleiht, und solange und so hoch
obwohl es langsamer diffundiert, in gleicher Weise 65 erhitzt, daß die zur Bildung des rekristallisierten, enteine
schädliche Verunreinigung, die im starken Maße arteten Gebietes 5 notwendige Legierung mit entdurch
diese Behandlung entfernt wird. Gewisse Halo- gegengesetzter Leitfähigkeit entsteht. An der Legiegenide,
Sulfide und Cyanide, die innerhalb dieses rungspille 7 kann während des Legierungsvorganges
ein Draht 8 angeschlossen werden, der die eine Elektrode der Tunneldiode bildet, während die andere
Elektrode die Grundplatte 2 ist. Die Grundplatte 2 und der Draht 8 können durch Löten mit Anschlußdrähten
9 verbunden werden.
Um möglichst günstige, elektrische Eigenschaften zu erhalten, soll der Bereich des pn-Ubergangs der
Tunneldiode so verkleinert werden, wie im einzelnen in Fig. 2 zu sehen ist. Dies kann z.B. chemisch
oder elektrolytisch geschehen.
Gemäß F i g. 3 enthält ein Tiegel 10 eine gewisse Menge eines geschmolzenen Materials 11, das
Kupfer oder andere schädliche, schnell diffundierende Verunreinigungen aus dem Galliumarsenid entfernen
kann. Der Tiegel 10 ist auf einem Pfosten 12 angebracht und gehaltert, der seinerseits mit einem
Flansch 13 am Boden einer Kammer 14 festgemacht ist. Beispielsweise wird der Tiegel 10 von einem
Widerstandsheizelement 15 erwärmt, das über Drähte 16 und 17 an einer Spannungswelle angeschlossen ist.
Es kann eine beliebige Heizvorrichtung verwendet werden, wenn sie nur die Temperatur des Tiegels bis
zum Schmelzpunkt des Materials 11 heraufsetzen kann. Der Tiegel 10 kann aus Quarz oder einem
anderen Material bestehen, das keine wesentlichen Mengen an Kupfer oder anderen schädlichen Verunreinigungen
in die darin enthaltenen Stoffe einbringt. Die Wände der Kammer 14 schließen den
Tiegel 10 ein und können aus Metall oder einem anderen Material bestehen. Die Kammer 14 kann
gasdicht an einer Grundplatte 18 mit Hilfe eines Dichtungsringes 19 festgesetzt sein. Sie wird mit
einem reaktionsunfähigen Gas oder Edelgas bei Atmosphärendruck
durchblasen, das durch eine Leitung 20 hineingeleitet und durch eine Leitung 21 herausgeleitet
wird. Andererseits kann der Tiegel 10 in der äußeren Atmosphäre erwärmt werden, so daß die
Kammer 14 weggelassen werden kann. Da während der Wärmebehandlung ein schädlicher Cyaniddampf
zugegen sein kann, soll die zuvor beschriebene Kammer 14 benutzt werden.
Der Tiegel 10 wird auf die Schmelztemperatur des in ihm enthaltenen Materials 11 gebracht, und dann
wird ein Körper oder eine Platte 22 aus Galliumarsenid in dem flüssigen Material eingetaucht. Der
Galliumarsenidkörper 22 kann die handelsübliche Güte von Halbleitern aufweisen und bereits mit
einem Donator oder einem Akzeptor von einer Konzentration, die dem Material die andere Leitfähigkeit
verleiht, also von einer Donator- oder Akzeptorkonzentration imprägniert sein, die 1018 Atome/cm3
übersteigt. Da die unerwünschten, schnell diffundierenden Verunreinigungen während der Imprägnierung
erneut in den Halbleiter eingebracht werden können, wird das Galliumarsenid zuerst mit der
Donator- oder Akzeptorverunreinigung bis zu einer Konzentration imprägniert, die größer als 1018
Atome/cm3 ist, und dann wird das halbleitende Material in den Tiegel 10 eingebracht.
Vom Heizelement 15 wird die Temperatur des Tiegels 10 in an sich bekannter Weise bis zum
Schmelzpunkt des Materials 11 erhöht. Wenn das Material 11 Kaliumcyanid ist, wird die Temperatur
z. B. auf mindestens 635° C, vorzugsweise bis in den Bereich von etwa 635 bis 700° C, erhöht. Auf dieser
erhöhten Temperatur wird der Tiegel 10, in dem der Galliumarsenidkörper 22 in dem flüssigen Kaliumcyanid
11 eingetaucht ist, mehrere Stunden lang, vorzugsweise 5 bis 30 Stunden, gehalten, wenn der
Galliumarsenidkörper 1 mm dick ist. Ein Körper mit einer größeren Dicke muß entsprechend langer auf
dieser Temperatur gehalten werden. Dann wird der Körper 22 aus dem geschmolzenen Material 11 herausgenommen
und abgekühlt. Das von Kupfer und anderen schädlichen, schnell diffundierenden Verunreinigungen
befreite, auf diese Weise behandelte Galliumarsenid kann zur Herstellung der zuvor beschriebenen
Tunneldiode verwendet werden. Da diese schnell diffundierenden Verunreinigungen, wie man
herausgefunden hat, zu den Mangeln der bisher üblichen Galliumarsenid-Tunneldioden beitragen,
soll die weitere Fertigung unter solchen Bedingungen ausgeführt werden, daß keine wesentliche Menge an
Kupfer oder einer anderen schädlichen, schnell diffundierenden Verunreinigung in die Tunneldiode eindringen
kann. Andererseits kann eine Tunneldiode aus handelsmäßigem Galliumarsenid in üblicher
Weise hergestellt und dann durch die zuvor beschriebene Behandlung von den schädlichen, schnell diffundierenden
Verunreinigungen befreit werden, so daß die Konzentration dieser schädlichen Verunreinigungen
im Galliumarsenid weniger als 1015, vorzugsweise
weniger als 1012 Atome/cm3 beträgt. In diesen Fällen soll die verwendete Donatorlegierung einen
höheren Schmelzpunkt als die bei der Behandlung vorhandene Temperatur aufweisen.
Bei der Ausführung des Verfahrens gemäß der Erfindung unter Benutzung des Apparates der F i g. 3
werden 2 g Kaliumcyanid in den Tiegel 10 mit 16 mm innerem Durchmesser gelegt. Ein Stück
handelsübliches Galliumarsenid wird durch eine Imprägnierung mit einem Akzeptor aus Cadmium in
einer Konzentration von mehr als 1018 Atome/cm3 p-leitend gemacht. Das Plättchen 22 mit einer Länge
und Breite von 3 mm und einer Dicke von 0,5 mm wird aus dem Körper des p-leitenden Galliumarsenids
herausgeschnitten und dem Tiegel 10 hinzugefügt. Dann werden noch einmal 2 g Kaliumcyanid
in den Tiegel 10 gebracht; diese Menge Kaliumcyanid reicht aus, damit das Plättchen 22 darin untergetaucht
ist. Darauf wird das Heizelement 15 eingeschaltet und die Temperatur des Tiegels 10 auf
etwa 650° C erhöht, bei der das im Tiegel befindliche Kaliumcyanid schmilzt. Der Tiegel 10 wird auf einer
Temperatur von etwa 650° C annähernd 30 Stunden lang gehalten, worauf das Plättchen 22 herausgenommen
und gekühlt wird.
Eine Grundplatte aus Fernico mit den ungefähren Abmessungen von 1,25 X 1,25 X 1,25 mm wird in
üblicher Weise unter Benutzung eines Indium-Cadmium-Lötmittels
an einem Kopfstück aus Gold von 3 mm Durchmesser angelötet. Das Galliumarsenidplättchen
22, das durch die zuvor beschriebene Behandlung von Kupfer und anderen schädlichen,
schnell diffundierenden Verunreinigungen befreit ist, so daß deren Konzentration im Plättchen geringer
als 1015 Atome/cm3 ist, wird an der Fernico-Grundplatte mit einem Lötmittel befestigt, das 4 Gewichtsprozent
Cadmium und sonst Indium enthält; dies geschieht dadurch, daß das Lötmittel unter das
Galliumarsenid gelegt wird und die Anordnung in einer Wasserstoffatmosphäre 20 Sekunden lang auf
einer Temperatur von 450° C gehalten wird.
Eine kleine Pille aus einer Donatorlegierung mit Zinn als Hauptbestandteil, während der Rest Schwefel
ist, wird auf die Oberseite des Galliumarsenidplätt-
chens gelegt. Dann wird die Anordnung in einen Reaktionsofen gebracht, der mit Wasserstoff bei
Atmosphärendruck durchblasen wird. Das Plättchen wird auf eine Temperatur von 500° C 45 Sekunden
lang erwärmt, so daß sich ein rekristallisierter n-Bereich im Galliumarsenid bildet, der von dem p-Bereich
des Galliumarsenidplättchens durch einen schmalen pn-übergang getrennt ist. Schließlich wird
der Aufbau herausgenommen und in einer »weißen« Ätzlösung 4 Sekunden lang geätzt.
Die gemäß der Erfindung angefertigten Tunneldioden können, wie sich herausgestellt hat, Durchlaßströme
aufnehmen, die weit ihre Spitzenwerte übersteigen, ohne daß sich ihre elektrischen Eigenschaften
wesentlich ändern. Während viele handelsübliche Galliumarsenid-Tunnel-Dioden, die bei Durchlaßströmen
von etwa der zehnfachen Größe ihres Spitzenstroms betrieben werden, eine Zerstörung ihres
negativen Widerstandsbereiches in nur wenigen Stunden zeigen, sind die Tunneldioden gemäß der
Erfindung 100 bis 200 Stunden lang bei derart übermäßigen Durchlaßströmen geprüft worden, ohne daß
sich eine bedeutsame Änderung der elektrischen Eigenschaften gezeigt hat.
Claims (7)
1. Tunneldiode mit einem Halbleiterkörper aus Galliumarsenid, mit einem pn-übergang schmäler
als 200 Ä und mit einer Konzentration des überschüssigen Donators bzw. Akzeptors größer als
1018 Atome/cm3 in beiden Zonen, dadurch
gekennzeichnet, daß für den Halbleiterkörper so reines Galliumarsenid verwendet ist,
daß die Konzentration der Verunreinigungen, die bei großen Durchlaßströmen den negativen
Widerstand zum Verschwinden bringen und die bei einer Temperatur von etwa 700° C bis zu
einer Tiefe von 1 mm eindiffundieren, geringer als 1015 Atome/cm3 ist.
2. Tunneldiode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Konzentration dieser schädlichen
und schnell diffundierenden Verunreinigungen im Galliumarsenid kleiner als 1012 Atome/cm3
ist.
3. Tunneldiode nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß diese Verunreinigungen Kupfer,
Gold und/oder Silber sind.
4. Verfahren zum Herstellen von Tunneldioden nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß zwecks Reinigung der Halbleiterkörper aus Galliumarsenid in einem Material erwärmt wird, das bei einer Temperatur unter
etwa 800° C schmilzt und stabile chemische Verbindungen und/oder Komplexe mit den schädlichen
und schnell diffundierenden Verunreinigungen bildet.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Reinigungsmaterial ein
Cyanid, Halogenid und/oder Sulfid verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper mindestens
5 Stunden lang in dem Reinigungsmaterial gehalten wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper in Kaliumcyanid
auf eine Temperatur von 635 bis 700° C erwärmt wird.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Zeitschrift für Naturforschung, Bd. 14 a,
Heft 12, S. 1072, 1073;
Zeitschrift für Naturforschung, Bd. 14 a,
Heft 12, S. 1072, 1073;
Proc. IRE, August 1960, S. 1405 bis 1409.
1959,
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
409 510/390 2.64 © Bundesdruckerei Berlin
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US58501A US3200017A (en) | 1960-09-26 | 1960-09-26 | Gallium arsenide semiconductor devices |
US356684A US3261730A (en) | 1960-09-26 | 1964-03-12 | Method of forming gallium arsenide semiconductor devices |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=26737682
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country Status (3)
Country | Link |
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US (1) | US3261730A (de) |
DE (1) | DE1163974B (de) |
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US4843037A (en) * | 1987-08-21 | 1989-06-27 | Bell Communications Research, Inc. | Passivation of indium gallium arsenide surfaces |
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US3007819A (en) * | 1958-07-07 | 1961-11-07 | Motorola Inc | Method of treating semiconductor material |
US3007816A (en) * | 1958-07-28 | 1961-11-07 | Motorola Inc | Decontamination process |
NL260298A (de) * | 1960-01-20 |
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1961
- 1961-09-21 DE DEG33171A patent/DE1163974B/de active Pending
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-
1964
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Non-Patent Citations (1)
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Publication number | Publication date |
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US3261730A (en) | 1966-07-19 |
GB967292A (en) | 1964-08-19 |
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