DE1150959B - Verfahren zur Herstellung von Silan - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Silan

Info

Publication number
DE1150959B
DE1150959B DEM49297A DEM0049297A DE1150959B DE 1150959 B DE1150959 B DE 1150959B DE M49297 A DEM49297 A DE M49297A DE M0049297 A DEM0049297 A DE M0049297A DE 1150959 B DE1150959 B DE 1150959B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
alanate
hours
reaction
silane
yield
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEM49297A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Hermann Glasen
Rudolf Joppen
Viktor Sauga
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GEA Group AG
Original Assignee
Metallgesellschaft AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metallgesellschaft AG filed Critical Metallgesellschaft AG
Priority to DEM49297A priority Critical patent/DE1150959B/de
Publication of DE1150959B publication Critical patent/DE1150959B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04Hydrides of silicon
    • C01B33/043Monosilane

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Description

  • Verfahren zur Herstellung von Silan Es ist bekannt, Siliciumverbindungen, in denen das Silicium in einer Si-O-Bindung vorliegt, mit Lithiumalanat in Äthyläther zu Monosilan umzusetzen. Unter den Siliciumverbindungen, die als Reaktionspartner in Betracht kommen, ist dabei auch Quarzsand genannt. Jedoch verläuft die Reaktion nur langsam und mit geringer Ausbeute.
  • Es wurde nun gefunden, daß Silan mit guter Ausbeute hergestellt werden kann, wenn Siliciumdioxyd oder Silicate, insbesondere saure Silicate, in denen das Molverhältnis Si0, zu Metalloxyd größer als 1:1 ist, mit Alanaten unter Mahlen umgesetzt werden. Dadurch, daß die Reaktion unter Mahlen durchgeführt wird, wird die Reaktionsbereitschaft der Reaktionspartner wesentlich erhöht, was überhaupt erst eine Umsetzung mit wirtschaftlich verwertbarer Ausbeute ermöglicht.
  • Die Umsetzung zwischen den Reaktionspartnern kann sowohl trocken als auch in einem geeigneten flüssigen Medium durchgeführt werden. Bei der trockenen Reaktion werden die Reaktionspartner, z. B. Siliciumdioxyd und Lithiumalanat, miteinander vermahlen, wodurch die .Reaktion ausgelöst wird, während diese beiden Ausgangsstoffe, die an sich in fester Form vorliegen, sonst in keiner Weise eine erkennbare Reaktion zeigen, selbst wenn man sie miteinander vermischt. Wenn die Reaktion in einem flüssigen Medium vorgenommen wird, so kann ein solches Medium, in dem weder die Ausgangsstoffe noch das gebildete Silan löslich sind, verwendet werden. Es ist aber auch möglich, eine Flüssigkeit als Reaktionsmedium zu verwenden, in dem entweder einer der Ausgangsstoffe, und zwar im allgemeinen das Alanat, oder das gebildete Silan löslich ist. In den genannten Fällen sind z. B. Diäthyläther oder Tetrahydrofuran als Lösungsmittel für das verwendete Alanat geeignet. Auch flüssiges Paraffin ist als Reaktionsmedium erfolgreich verwendet worden.
  • Von den Alanaten, die als Reaktionspartner in Betracht kommen, eignen sich besonders Lithiumalanat, Natriumalanat, Kaliumalanat, Magnesiumalanat und Calciumalanat. Aber auch solche Alanate, bei denen ein oder mehrere, aber nicht alle Wasserstoffatome, beispielsweise durch Chlor oder Alkyl, substituiert sind, eignen sich als Reaktionspartner.
  • Als Reaktionspartner für die Alanate dienen Siliciumdioxyd oder Silicate. Als Silicate kommen vor allen Dingen saure Silicate in Frage, d. h. diejenigen, die mehr Si0, als Metalloxyd enthalten, wodurch das gewissermaßen im Überschuß vorliegende Si0, besonders gut an der Reaktion teilnehmen kann. Das Siliciumdioxyd kann als Quarzsand, Seesand, Kieselgur oder gefällte und geglühte Kieselsäure verwendet werden. Besonders geeignet ist allerdings ein oberflächenaktives Siliciumdioxyd, das in der Knallgasflamme aus Siliciumtetrachlorid hergestellt ist und das bekanntlich z. B. als aktiver Füllstoff für die Kautschukindustrie verwendet wird. Soweit solche Stoffe noch Wasser enthalten, werden sie für das erfindungsgemäße Verfahren vorher zweckmäßigerweise scharf getrocknet, um Alanatverluste durch die Reaktion zwischen Alanaten und Wasser zu vermeiden.
  • Für die Reaktion ist es zweckmäßig, die Reaktionspartner nicht nur im stöchiometrischen Verhältnis einzusetzen, sondern von vornherein einen Überschuß an Siliciumdioxyd oder bei Verwendung saurer Silicate einen Überschuß von deren Si0arAnteil im Verhältnis zum eingesetzten Alanat vorzusehen. Bei einem solchen Überschuß von Si0, werden wesentlich höhere Ausbeuten erzielt.
  • Die Umsetzung wird in vielen Fällen zweckmäßigerweise bei erhöhter Temperatur durchgeführt, wobei allerdings die Temperatur nicht zur vollständigen Zersetzung des verwendeten Alanats führen darf, da nur das intakte Alanat, nicht aber das sich bei der thermischen Zersetzung des Alanats bildende Alkali-oder Erdalkalihydrid, oder das Aluminium und der Wasserstoff bei der Reaktion mit Si0, Silan ergeben. Welche Temperatur im einzelnen angewandt wird, richtet sich nach der Wahl der Ausgangsprodukte und des Reaktionsmediums und kann im Einzelfall durch Versuche leicht ermittelt werden.
  • Die Reaktionsgeschwindigkeit wird sowohl von der Art der verwendeten Mühle als auch von der Mahlgeschwindigkeit beeinflußt. Für das erfindungsgemäße Verfahren haben sich Schwingmühlen und solche Mühlen, bei denen die Mahlkörper durch Rührarme bewegt werden, als besonders geeignet erwiesen. Je höher die Mahlgeschwindigkeit ist, desto schneller läuft die Reaktion ab.
  • Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gebildete Silan wird zweckmäßigerweise durch ein Trägergas weggeführt, z. B. Wasserstoff. Wie bei allen Reaktionen, an denen Hydride oder Doppelhydride teilnehmen, muß auch bei dem erfindungsgemäßen Verfahren unter Sauerstoff und Feuchtigkeitsausschluß gearbeitet werden.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren hat gegenüber den herkömmlichen Verfahren zur Herstellung von Silan den Vorteil, daß die Korrosionserscheinungen, die bei der Herstellung von Silan aus Siliciumchloriden auftreten, vermieden werden. Durch den Wegfall der Korrosion kann je nach Reinheit der Ausgangsstoffe ein entsprechend reines Silan erhalten werden, wie es für die Herstellung von Reinstsilicium benötigt wird. Ein iosbesonderes kohlenstofffreies Silan und damit Silicium ergibt sich, wenn trocken, also ohne organische Flüssigkeiten anzuwenden, gemahlen wird und auch das Alanat ebenso wie das Si02-haltige Material genügend kohlenstofffrei ist.
  • Es wurde bei Verwendung eines handelsüblichen oberflächenaktiven Siliciumdioxyds eine Raum-Zeit-Ausbeute von 19 SiH4 pro Tag und pro Liter Gesamt-Mühlenvolumen bei über 500/0iger Ausnutzung des Alanat-Hydridwasserstoffs für die Überführung in Monosilan erzielt. Bei Verwendung von Quarzsand an Stelle des handelsüblichen oberflächenaktiven Siliciumdioxyds war die Bildungsgeschwindigkeit des Silans halb so groß.
  • Die nachfolgenden Beispiele erläutern die Erfindung, ohne naturgemäß die Variationsmöglichkeiten zu erschöpfen.
  • Beispiel 1 5 g eines handelsüblichen oberflächenaktiven Siliciumdioxyds -I- 1 g LiA1H4 (930/0ig) wurden zusammen mit 150 cm3 absoluter Diäthyläther in ein mit Eisenkugeln arbeitendes Mahlgefäß gegeben, wie es in der Angewandten Chemie, 73 (1961), S. 325, beschrieben ist (Attritor-Mühle). An der Gasaustrittsstelle befand sich ein Rückflußkühler. Als Vorlagen dienten mehrere einfache hintereinandergeschaltete Waschflaschen, die mit 100/0iger HgCl2-Methanol-Lösung beschickt waren. Durch das ganze System strömte Argon als Trägergas. In gewissen Zeitabständen wurden die Vorlagen gewechselt und durch Titration mit"/1,-NaOH unter Verwendung von Bromphenolblau als Indikator die durch Silan nach der Gleichung
    SiH4 -I- 8 HgCl2 -f- 4 H20 --3- Si(OH)4 + 8 HgC1 -f- 8 HCl
    entstandene Salzsäure titriert. Beispiel 2 5 g eines handelsüblichen oberflächenaktiven Siliciumdioxyds -f- 1 g LiA1H4 (930/0ig) wurden in dem gleichen Gefäß ohne Kugelfüllung zusammen mit 150 cms absolutem Diäthyläther stark gerührt. Der Versuch sowie die Ausbeuteermittlung verlief ansonsten analog dem Versuch 1.
    SiH4-Ausbeuten, bezogen auf LiA1H4 und die Gleichung Versuch 1 Versuch 2
    SiO2 + LiA1H4--'>- SiH4 + LiAl02 I unter Mahlung ohne Mahlung
    (1) nach 1 Stunde ............................ 6,170/0 5,3%
    (2) nach einer weiteren Stunde ................ . -E- 3,740/0 = 9,910/0 1,70/0 = 7,00/0
    (3) nach einer weiteren Stunde ................. -E- 2,77 0/0 = 12,680/, 0,63 0/0 = 7,63 0/0
    (4) nach einer weiteren Stunde ................. + 2,15 0/0 = 14,830/0 0,17 0/0 = 7,8 0/0
    (5) nach einer weiteren Stunde ................. + 0,90 0/0 = 15,730/, - = 7,8 0/0
    (6) nach einer weiteren Stunde ................. -I- 0,98 0/0 = 16,710/0 - = 7,8 0/0
    (8,5) nach zweieinhalb weiteren Stunden .......... + 2,640/0 = 19,350/0 - = 7,80/0
    (11) nach zweieinhalb weiteren Stunden .......... -f- 2,53 0/0 = 21,88 0/0 - = 7,8 0/0
    (18) nach sieben weiteren Stunden ............... + 7,020/0 = 28,900/0 - = 7,80/0
    (21,5) nach dreieinhalb weiteren Stunden .......... + 3,550/0 = 32,450/0 - = 7,8%
    (24) nach zweieinhalb weiteren Stunden .......... -f- 2,33 0/0 = 34,78 0/0 - = 7,8 0/0
    Beispiel 3 In einer Schwingmühle (etwa 11 großes, luftgekühltes Eisengefäß, Stahlkugeln) wurden 10g Si02 in Form eines trockenen, handelsüblichen oberflächenaktiven Siliciumdioxyds mit 5 g NaAIH4 gemahlen. Die Ausbeuteermittlung erfolgte wie unter Beispiel 1 beschrieben. Die Mahlung erfolgte ohne Flüssigkeitsmedium, also trockener Umsatz.
    Verwendung von H2 als Trägergas
    Nach 2 Stunden Mahlzeit .... 10,20/, SiH4-Aus-
    beute
    (4) nach weiteren 2 Stunden + l1,30/0 = 21,5°/0
    (6) nach weiteren 2 Stunden + 6,00/, = 27,5 0/0
    (10) nach weiteren 4 Stunden -E- 10,15 0/0 = 37,650/,
    (14) nach weiteren 4 Stunden -+ 5,270/0 = 42,910/0
    (22) nach weiteren 8 Stunden + 0,600/0 = 43,50/0
    Nach 12 Stunden Mahldauer wurde also eine praktische Ausbeute von über 400/, erreicht. Das verbliebene Mahlgut war grau und völlig inaktiv, d. h., es reagierte nicht mehr mit Wasser. Beispiel 4 In einer eisernen Schwingmühle wurde analog Beispiel 3 (5 g Natriumalanat -f- 10 g Si02) Silan entwickelt. Das ausströmende von Wasserstoff mitgeführte Silan wurde durch ein Edelstahlrohr, das auf 950°C erhitzt war, geführt und dort zersetzt. Ein Teil des entstandenen Siliciums setzte sich kristallin an den Rohrwandungen ab, der restliche Teil wurde als Pulver in den Rohrleitungen vorn Edelstahlrohr zur nächsten Flasche aufgefangen.
  • Die Auswaage des am Stahlrohr haftenden Siliciums betrug 0,7 g = 270/0, bezogen auf NaA1H4. Beispiel 5 2 g Siliciumdioxyd wurden mit 11 g Lithiumalanat unter Paraffinöl in einer mit Eisenkugeln betriebenen Attritormühle gemahlen. Trägergas Argon. Die Silanermittlung erfolgte wie unter Beispiel 1. Die Ausbeute wurde auf das eingesetzte Si02 bezogen.
    Nach 5 Stunden Mahlzeit ........ keine Trübung
    der Vorlagen
    Weitere 10 Stunden ............. 2,370/0 Ausbeute
    Weitere 10 Stunden ............. 2,33 0/0 Ausbeute
    Weitere 10 Stunden ............. 1,310/0 Ausbeute
    Weitere 16 Stunden ............. 0,88 0/0 Ausbeute
    Weitere 8 Stunden ............. 0,45 0/0 Ausbeute
    Um zu erkennen, ob eine Temperatursteigerung einen Anstieg der Ausbeute bringt, wurde nachfolgend die Temperatur auf 75 bis 80°C gebracht.
  • 1 Stunde bei Zimmertemperatur .. 0.0201. Eine weitere Stunde bei Zimmertemperatur ................... 0,02 0/0 Ausbeute 1 Stunde bei 75'C ............. 0,60 0/0 Ausbeute 10 Stunden bei 80°C ............ 4,1 0, 1, Ausbeute Weitere 19 Stunden bei 80°C ..... 3,5 0/0 Ausbeute Beispiel 6 50 g Quarzsand (gewaschen, geglüht) wurden 80 Stunden in einer Stahlkugelmühle in 250 cm3 Tetrahydrofuran gemahlen. 20 cm3 2,3 molare NaAIH4-Lösung in THF wurden mit 15 g des feinst aufgemahlenen Quarzes (1 bis 2 #t Durchmesser) zusammengebracht und etwa 15 Minuten kräftig gerührt; auf Grund fehlender Trübung der durch Argongas durchperlenden HgC12-Vorlagen ist keine Reaktion zu erkennen. Danach wird die Reaktion unter Rückfluß siedend weitergeführt. Sofort Trübung der Vorlagen. Nach einer Stunde Ausbeute von 3,8 0/0. Eine weitere Stunde reagieren lassen: Ausbeutesteigerung um -f- 1,08 0/0 auf 4,9 0/0. Weiteres Sieden brachte keine Trübung der Vorlagen mehr. Gesamtausbeute = 4,9 °/". Beispiel 7 In der eisernen Schwingmühle wurden 10 g des auch für Beispiel 6 eingesetzten Quarzsandes zusammen mit 5 g eines über 980/0igen NaA1H4 im Wasserstoffstrome gemahlen und die gelildete Silanmenge in der vorbeschriebenen Weise i. Abhängigkeit von der Mahlzeit titriert:
    Nach 21/2 Stunden Mahlzeit Verbrauch 54,3 cm' n/"-NaOH enfiprechend 0,73 0/0 SiH4,
    bezogen auf NaAIH4
    Nach weiteren 21/2 Stunden Mahlzeit Verbrauch 73,3 cm3 n/l0-NaOH wätere .... 0,990/,
    Nach weiteren 16 Stunden Mahlzeit Verbrauch 514,0 cm3 n/l0-NaOH wetere .... 6,950/0
    Nach weiteren 4 Stunden Mahlzeit Verbrauch 115,0 cm3 n/10-NaOH wetere .... 1,55°/0
    Dann wurde das Mahlgefäß durch Anblasen von Heißluft auf 80 bis 100°C erwärmt
    und nach weiteren 4 Stunden Mahlen unter Erwärmen 143,0 cm3 n/10-NaOH entgrechend 1,93 0/0 SiH4,
    nach weiteren 16 Stunden Mahlen unter Erwärmen 175,3 em3 n/10-NaOH ents)rechend 2,360/0,
    zusammen 14,510/0,
    bestimmt.
    Das in der Mühle verbliebene schwarze Produkt war pyrophor. Die Gesamtausbeute von 14,50/0 hätte sich dennoch bei fortgesetztem Mahlen noch erhöhen lassen.
  • Jedenfalls zeigt auch dieser Versuch im Vergleich zu Beispiel 6, daß das gleichzeitige Mahlen zu wesentlich höheren Ausbeuten führt.
  • Beispiel 8 In einer Attritormühle unter Paraffinöl wurden 6 g Asbestmehl mit 2 g Lithiumalanat unter Verwendung von Argon als Trägergas. HgC12/Methanol als Vorlage in Waschflaschen.
    11/2 Stunden bei Zimmertemperatur keine Trübung
    der Vorlage
    2 Stunden bei 70 bis 90°C ....... 0,68 0/0 Ausbeute,
    bezogen auf
    Alanat
    Zehn weitere Stunden bei 90'C ... 3,4 0/0 Ausbeute

Claims (7)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Herstellung von Silan durch Umsetzung von Siliciumdioxyd mit Alanaten, dadurch gekennzeichnet, daß die Umsetzung unter Mahlen durchgeführt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ursetzung in einem flüssigen Medium durchgefühi wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als flüsiges Medium ein Lösungsmittel für die Alanat verwendet wird.
  4. 4. Verfahren nach enem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichrt, daß die Umsetzung bei erhöhter Temperatur, die nicht über der Zersetzungstemperatur de verwendeten Alanats liegt, durchgeführt wird.
  5. 5. Verfahren nach eiem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichne, daß das gebildete Silan mit einem Trägergas, voragsweise Wasserstoff und unter Überdruck, abgführt wird.
  6. 6. Abänderung des 'erfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, daurcly gekennzeichnet, daß Silicate an Stelle von ;iliciumdioxyal verwendet werden.
  7. 7. Verfahren nach einm der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichne; daß das Siliciumdioxyd oder bei Verwendung surer Silicate deren Si02-Anteil im Verhältnis zm Alanat im Überschuß vorliegt. In Betracht gezogeq Druckschriften Zeitschrift für Naturforsdung (1955), S. 424.
DEM49297A 1961-06-08 1961-06-08 Verfahren zur Herstellung von Silan Pending DE1150959B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEM49297A DE1150959B (de) 1961-06-08 1961-06-08 Verfahren zur Herstellung von Silan

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEM49297A DE1150959B (de) 1961-06-08 1961-06-08 Verfahren zur Herstellung von Silan

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1150959B true DE1150959B (de) 1963-07-04

Family

ID=7306472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEM49297A Pending DE1150959B (de) 1961-06-08 1961-06-08 Verfahren zur Herstellung von Silan

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1150959B (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2950334A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silicium sous atmosphere hydrogene
FR2950335A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silicium melange a un metal tel que mg, al, ca, zn sous atmosphere hydrogene
FR2950337A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silice melanges a un metal tel que mg ou al sous atmosphere hydrogene
FR2950336A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains d'alliage de silicium sous atmosphere hydrogene

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2950334A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silicium sous atmosphere hydrogene
FR2950335A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silicium melange a un metal tel que mg, al, ca, zn sous atmosphere hydrogene
FR2950337A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains de silice melanges a un metal tel que mg ou al sous atmosphere hydrogene
FR2950336A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-25 Air Liquide Production de silanes par broyage de grains d'alliage de silicium sous atmosphere hydrogene
WO2011036366A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium sous atmosphere hydrogene
WO2011036368A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains d'alliage de silicium sous atmosphère hydrogène
WO2011036389A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude PRODUCTION DE SILANES PAR BROYAGE DE GRAINS DE SILICE MELANGES A UN METAL TEL QUE Mg OU Al SOUS ATMOSPHERE HYDROGENE
WO2011036367A1 (fr) * 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium mélangé à un métal tel que Mg, Al, Ca, Zn sous atmosuphère hydrogène

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4239246C1 (de) Verfahren zur Herstellung von SiH-Gruppen aufweisenden Organopolysiloxanen
EP0151295B1 (de) Verfahren zur Herstellung von kristallinen Alkalischichtsilikaten
DE3432678C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid
DE2247873C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Silanen
DE1187591B (de) Verfahren zur Herstellung von Siliziumcarbid oder dieses enthaltenden Mischungen
DE1150959B (de) Verfahren zur Herstellung von Silan
EP1326803A1 (de) Verfahren zur herstellung von trichlorsilan
EP0033108B2 (de) Verfahren zur hydrothermalen Herstellung von Natriumsilikatlösungen
DE1963569B2 (de) Verfahren zur herstellung von alkylzinntrichloriden
DE3637273C1 (de) Verfahren zur Herstellung von SiH-Gruppen enthaltenden Organopolysiloxanen
DD240729A1 (de) Verfahren zur gewinnung von hochreinem siliziumpulver
DE3515233A1 (de) Verfahren zur herstellung von wasserglasloesungen
DE889890C (de) Verfahren zur Herstellung mehrwertiger Alkohole durch katalytische Reduktion von Kohlehydraten
DE1082240B (de) Verfahren zur Herstellung von reinem Zirkontetrachlorid durch Sublimation
DE1567452A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Bornitrid
EP0230582A1 (de) Verfahren zur Reinigung von Kieselsäure
DE1933292C3 (de) Verfahren zur Herstellung von feinverteilter Kieselsäure mit reduzierenden Eigenschaften
DE835439C (de) Verfahren zur Herstellung von Chlordioxyd
DE1808078A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Lithiumaluminiumhydrid
AT384203B (de) Verfahren zur herstellung eines durch bor modifizierten kristallinen kieselsaeurematerials
DE2005015A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Wasserstoff
DE2740017C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Mono- und Dichlorboran-Diäthylätheraten
AT211276B (de) Verfahren zum Reinigen von handelsüblichem Ferrosilizium und technischem Silizium
DE10053345A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Silan enthaltenden Gasen
DE1567452C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Bornitrid