DE1150158B - Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkuehlvorrichtung versehen ist - Google Patents

Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkuehlvorrichtung versehen ist

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Publication number
DE1150158B
DE1150158B DES50051A DES0050051A DE1150158B DE 1150158 B DE1150158 B DE 1150158B DE S50051 A DES50051 A DE S50051A DE S0050051 A DES0050051 A DE S0050051A DE 1150158 B DE1150158 B DE 1150158B
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DE
Germany
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beard
cooling
electron microscope
cooling rod
rod
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Pending
Application number
DES50051A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Rer Nat Siegfried Leisegang
Dipl-Phys Ottmar Schott
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
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Publication of DE1150158B publication Critical patent/DE1150158B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkfflvorrichtung versehen ist Zusatz zum Patent 1106 439 Das Hauptpatent betrifft ein Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkühlvorrichtung versehen ist und der zur Vermeidung der Objektverschmutzung und/oder zum regelbaren Ab- bau organischer Präparate in einer mit Strahldurchtrittsöffnungen verschenen Kammer mit gut wärineleitenden Wandungen angeordnet ist, die von den übrigen metallischen Teilen des Mikroskops wärmeisoliert ist und der die Wärme durch eine gut wärmeleitende Kühlstange entzogen wird, die mit ihrem außerhalb des Mikroskops befindlichen Ende in ein Kühlmittel, beispielsweise flüssige Luft, taucht. Auf diese Weise gelingt es, eine Objektverschmutzung während des Betriebes des Gerätes zu vermeiden oder beispielsweise bei organischen Präparaten das Objekt während der laufenden Untersuchung in einem regelbaren Ausmaß abzubauen.
  • Bei derartigen Objektkühlvorrichtungen ist es wichtig, daß keine Schwingungen von dem Kühlmittel, als das auch flüssiger Sauerstoff Verwendung finden kann, durch die Kühlstange hindurch auf die Objektpatrone und damit auf das zu untersuchende Objekt übertragen werden. Eine schwingungsfreie Wärmeübertragung wird gewährleistet, wenn erfliidungsgemäß die Kühlstange am äußeren Ende mit einem Bart aus dünner Litze versehen ist, der in das Kühlmittel eintaucht. Durch diese Ausführung des beispielsweise in den flüssigen Sauerstoff tauchenden Teiles der Kühlvorrichtung wird erreicht, daß die Bewegung des siedenden Sauerstoffes gedämpft und somit nicht durch die Kühlstange auf die Objektpatrone übertragen wird.
  • Die mit dem Bart versehene Kühlstange wird vorzugsweise so ausgeführt, daß sie durch eine Feder an die in die Objektpatrone wärmeisoliert eingesetzte, die Objektträgerblende umhüllende Kühlkammer gedrückt wird. Eine Temperaturinessung wird bei der Anordnung dadurch erzielt, daß die mit dem Bart versehene Kühlstange rohrförinig ist und im Inneren einen Leitungsdraht aufnimmt, der durch eine durch den Draht selbst gebildete Feder an den Konstantanblock des Therrnoelements der Kühlkammer gedrückt wird.
  • Die Zeichnung zeigt eine Objektkühlvorrichtung f ür die, in einem Elektronenmikroskop zu untersuchenden Objekte. Mit 1 ist die Wand des Elektronenn-iikroskops im Bereich der Kühlvorrichtung bezeichnet. Zur Kühlvorrichtung gehört die rohrförmige Kühlstange 2, die in den Hülsen 10 und 11 durch die Nutringmanschette 9 bzw. eine Teflonbuchse geführt wird. Die Hülsen 10 und 11 sind vakuumdicht mittels Gummidichtung 26 verbunden und mit Hilfe der Verschraubung 3 und der Gummidichtung 4 vakuumdicht in die Wand 1 starr eingesetzt. Die Nutringmanschette 9 friert mit der inneren Lippe infolge der Kühlung der Stange 2 dicht an dieser Stange fest, während die äußere Lippe bei einer axialen Verschiebung der Stange 2 vakuumdicht in der Hülse 10 gleitet.
  • Zur axialen Verschiebung des Rohres 2 dient eine Hülse 12, die durch einen in der Zeichnung nicht dargestellten Verstellhebel mit dem rechten Ende 13 gegen den Anschlagstift 14 geschoben werden kann, der seinerseits starr auf dem Rohr 2 befestigt ist. Durch die Axialbewegung der Hülse, 12 in Richtung des Pfeiles 15 kann man somit das Rohr 2 gegen den Druck der Feder 16 nach rechts verstellen und auf diese Weise von der Berührung mit der Objektpatrone zurückziehen. Die, Feder 16 sitzt auf der wärmeisolierenden Buchse 6, die durch die Scheibe 7 und das Druckstück 8 auf dem Rohr 2 befestigt ist.
  • Im Inneren der rohrförmigen Kühlstange 2 ist der Meßdralit 5 angeordnet, der an den Konstantanblock des Thermoelements der Objektkühlkammer durch die vom Draht selbst gebildete Feder 17 gedrückt wird. Diese zur Objektpatrone gehörenden Teile sind in der Figur nicht dargestellt. Das linke Ende der rohrförmigen Kühlstange hegt an der Kühlkammer an, die wärmeisoliert in die nicht dargestellte Objektpatrone eingesetzt ist. Mit Hilfe der Hülse 18 ist am Rohr 2 gut wärmeleitend ein Halter 19 verschraubt, an dessen tellerförmigem Teil 20 ein Bart 21 aus dünner Kupferlitze befestigt ist, der bei den Untersuchungen in den flüssigen Sauerstoff 22 taucht. Die Verschraubung 19 dient gleichzeitig als Temperaturregelung. Mit 23 ist der Thermosbehälter für das flüssige Kühlmittel und mit 24 ein diesem zugeordneter Schutzbehälter bezeichnet. Der in den flüssigen Sauerstoff tauchende Bart dämpft die Bewegung des siedenden Sauerstoffs, so daß durch das Sieden keine zusätzlichen störenden Bewegungen über das Kühlrohr 2 auf das Objekt übertragen werden können.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE.-1. Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkühlvorrichtung versehen ist und der zur Vermeidung der Objektverschmutzung und/oder zum regelbaren Abbau organischer Präparate in einer mit Strahldurchtrittsöffnungen versehenen Kammer mit gut wärmeleitenden Wandungen angeordnet ist, die von den übrigen metallischen Teilen des Mikroskops wärmeisoliert ist und der die Wärine durch eine gut wärmeleitende Kühlstange entzogen wird, die mit ihrem außerhalb des Mikroskops befindlichen Ende in ein Kühlmittel, beispielsweise flüssige Luft, taucht, nach Patent 1106 439, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlstange (2) am äußeren Ende mit einem Bart (21) aus dünner Litze versehen ist, der in das Kühlmittel (22) eintaucht.
  2. 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Bart (21) versehene Kühlstange (2) durch eine Feder (16) an die in die Objektpatrone wärmeisohert eingesetzte Kühlkammer gedrückt ist. 3. Elektrenenmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Bart (21) versehene Kühlstange (2) rohrförmig ist und im Inneren einen Leitungsdraht (5) aufnimmt der durch eine durch den Draht selbst gebildete Feder (17) an den Konstantanblock des Thermoelementes der Kühlkammer gedrückt wird. 4. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Bart (21) über eine Verschraubung (19) mit der Kühlstange (2) verbunden ist.
DES50051A 1956-08-21 1956-08-21 Elektronenmikroskop mit einem Objekthalter, der mit einer Tiefkuehlvorrichtung versehen ist Pending DE1150158B (de)

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