DE1133838B - Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles - Google Patents

Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles

Info

Publication number
DE1133838B
DE1133838B DEZ6840A DEZ0006840A DE1133838B DE 1133838 B DE1133838 B DE 1133838B DE Z6840 A DEZ6840 A DE Z6840A DE Z0006840 A DEZ0006840 A DE Z0006840A DE 1133838 B DE1133838 B DE 1133838B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
anode
beam source
source according
cylinder lens
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ6840A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Dipl-Ing Fritz Schleich
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to NL242894D priority Critical patent/NL242894A/xx
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ6840A priority patent/DE1133838B/de
Priority to CH7687259A priority patent/CH373488A/de
Priority to FR802956A priority patent/FR1233328A/fr
Priority to US836172A priority patent/US3071707A/en
Priority to GB29387/59A priority patent/GB854277A/en
Publication of DE1133838B publication Critical patent/DE1133838B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06—Electron sources; Electron guns
    • H01J37/065—Construction of guns or parts thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
DEZ6840A 1958-09-06 1958-09-06 Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles Pending DE1133838B (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL242894D NL242894A (enrdf_load_stackoverflow) 1958-09-06
DEZ6840A DE1133838B (de) 1958-09-06 1958-09-06 Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles
CH7687259A CH373488A (de) 1958-09-06 1959-08-12 Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitätsreichen Ladungsträgerstrahles
FR802956A FR1233328A (fr) 1958-09-06 1959-08-17 Source émettrice d'un faisceau très intense de particules électrisées
US836172A US3071707A (en) 1958-09-06 1959-08-26 Source of beams for producing a high intensity charge carrier beam
GB29387/59A GB854277A (en) 1958-09-06 1959-08-27 Beam generating system for producing a high intensity beam of charged particles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ6840A DE1133838B (de) 1958-09-06 1958-09-06 Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1133838B true DE1133838B (de) 1962-07-26

Family

ID=7619912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ6840A Pending DE1133838B (de) 1958-09-06 1958-09-06 Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3071707A (enrdf_load_stackoverflow)
CH (1) CH373488A (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE1133838B (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR1233328A (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB854277A (enrdf_load_stackoverflow)
NL (1) NL242894A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1215820B (de) * 1962-08-31 1966-05-05 Telefunken Patent Kathodenstrahlroehre mit einem aus mehreren Elektroden bestehenden Strahlerzeugungssystem
DE3123301A1 (de) * 1981-06-12 1983-01-05 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Vorrichtung zum einstellen von elektronenstrahlen bei einer kathodenstrahlroehre

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1216455B (de) * 1964-03-25 1966-05-12 Siemens Ag Verfahren zum Ausrichten der Feldachse eines elektronenoptischen Linsen, insbesondere in einem Elektronenmikroskop zugeordneten Stigmators und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens
US3504211A (en) * 1965-05-12 1970-03-31 Hitachi Ltd Electron beam control device for use with a cathode ray tube for dynamic correction of electron beam astigmatism and defocusing
US11483919B2 (en) * 2019-03-27 2022-10-25 Huazhong University Of Science And Technology System of electron irradiation

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE855287C (de) * 1948-10-02 1952-11-10 Sueddeutsche Lab G M B H Linsen und Linsensysteme fuer elektronenoptische Abbildung
DE857245C (de) * 1948-10-01 1952-11-27 Sueddeutsche Lab G M B H Strahlerzeugungssystem fuer Elektronenstrahlgeraete
DE874343C (de) * 1934-06-27 1953-04-23 Siemens Ag Elektronenoptisches System fuer Elektronenstrahlroehren, insbesondere fuer Oszillographen- und Fernsehroehren
DE895481C (de) * 1941-08-20 1953-11-02 Siemens Reiniger Werke Ag Elektromagnetische Zylinderlinse
DE942518C (de) * 1948-10-02 1956-05-03 Zeiss Carl Fa Einrichtung zur Kompensation der Symmetriefehler von Elektronenlinsen

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1981245A (en) * 1924-02-20 1934-11-20 Westinghouse Electric & Mfg Co Space-current device
US2157182A (en) * 1935-12-31 1939-05-09 Rca Corp Cathode ray deflecting device
US2165803A (en) * 1936-04-25 1939-07-11 Rca Corp Cathode ray deflecting device
DE891119C (de) * 1940-07-09 1953-09-24 Telefunken Gmbh Magnetische Elektronenlinse
GB564546A (en) * 1942-11-02 1944-10-03 Gerhard Liebmann Improvements in or relating to cathode ray tubes
US2369782A (en) * 1943-04-01 1945-02-20 Rca Corp Electron lens system
US2498354A (en) * 1946-12-03 1950-02-21 Philco Corp Magnetic lens system
US2591159A (en) * 1950-05-29 1952-04-01 Gilfillan Bros Inc Magnetic means for producing compensations and other effects in a cathode-ray tube
US2714678A (en) * 1950-09-03 1955-08-02 Siemens Ag Electron microscopes
US2634381A (en) * 1951-03-26 1953-04-07 Zenith Radio Corp Cathode-ray tube beam-positioning device
NL194113A (enrdf_load_stackoverflow) * 1954-01-22
NL100357C (enrdf_load_stackoverflow) * 1955-10-04
US2883569A (en) * 1956-01-24 1959-04-21 Herman F Kaiser Magnetic quadrupole focusing system

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE874343C (de) * 1934-06-27 1953-04-23 Siemens Ag Elektronenoptisches System fuer Elektronenstrahlroehren, insbesondere fuer Oszillographen- und Fernsehroehren
DE895481C (de) * 1941-08-20 1953-11-02 Siemens Reiniger Werke Ag Elektromagnetische Zylinderlinse
DE857245C (de) * 1948-10-01 1952-11-27 Sueddeutsche Lab G M B H Strahlerzeugungssystem fuer Elektronenstrahlgeraete
DE855287C (de) * 1948-10-02 1952-11-10 Sueddeutsche Lab G M B H Linsen und Linsensysteme fuer elektronenoptische Abbildung
DE942518C (de) * 1948-10-02 1956-05-03 Zeiss Carl Fa Einrichtung zur Kompensation der Symmetriefehler von Elektronenlinsen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1215820B (de) * 1962-08-31 1966-05-05 Telefunken Patent Kathodenstrahlroehre mit einem aus mehreren Elektroden bestehenden Strahlerzeugungssystem
DE3123301A1 (de) * 1981-06-12 1983-01-05 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Vorrichtung zum einstellen von elektronenstrahlen bei einer kathodenstrahlroehre

Also Published As

Publication number Publication date
US3071707A (en) 1963-01-01
FR1233328A (fr) 1960-10-12
NL242894A (enrdf_load_stackoverflow)
CH373488A (de) 1963-11-30
GB854277A (en) 1960-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19810346C1 (de) Röntgenröhre und deren Verwendung
DE1063286B (de) Verfahren und Einrichtung zum Einstellen der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Roentgenroehre
DE1639464B2 (de) Kathodenstrahlroehre
DE2555744B2 (de) Magnetische linse
DE3222511A1 (de) Feinfokus-roentgenroehre und verfahren zur bildung eines mikrofokus der elektronenemission einer roentgenroehren-gluehkathode
US3371206A (en) Electron beam apparatus having compensating means for triangular beam distortion
CH364046A (de) Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät
EP1989723B1 (de) Phasenplatte, bilderzeugungsverfahren und elektronenmikroskop
DE1236097B (de) Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse
DE69013183T2 (de) Farbbildröhrensystem mit reduziertem Fleckwachstum.
DE2719725C2 (de) Einrichtung zur Elektronenstrahlerwärmung von Materialien
DE1064168B (de) Einrichtung zur Erzeugung und Formung eines Ladungstraegerstrahles
DE1133838B (de) Strahlquelle zur Erzeugung eines intensitaetsreichen Elektronenstrahles
DE1299088C2 (de) Ablenkeinrichtung fuer den korpuskularstrahl in einem korpuskularstrahlgeraet, insbesondere elektronenmikroskop
DE1077336B (de) Kathodenstrahlroehre mit einer Vorkonzentrationslinse
DE1156522B (de) Elektronenlinsenanordnung fuer Elektronenstrahlschmelz- oder -verdampfungsanlagen
EP0920709B1 (de) Elektronenoptische linsenanordnung mit spaltförmigem öffnungsquerschnitt
DE2815478C2 (de) Technisches Ladungsträgerstrahlgerät zur Materialbearbeitung
DE1515200B2 (de) Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungsträgerstrahls
DE2918390A1 (de) Vorrichtung zum richten elektrisch geladener teilchen auf eine auftreffplatte
DE1299771B (de) Elektronenstrahlerzeugungssystem fuer eine parametrische Elektronenstrahlverstaerkerroehre
DE2830696C2 (de) Bildaufnahmevorrichtung
DE1134769B (de) Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse
DE3037230C2 (de) Elektronenoptik für eine Elektronenstrahlschweißmaschine
AT216646B (de) Röntgenschattenmikroskop mit einem elektronenoptischen System und einer Vorrichtung zur Beseitigung von Astigmatismus