DE857245C - Strahlerzeugungssystem fuer Elektronenstrahlgeraete - Google Patents

Description

• Als Strahlerzeugungssystem für Elektronenstrahlgerätt, insbesondere Elektronenmikroskope, verwendet man in der Regel ein aus Glühkathode, Wehneltelektrode und Anode bestehendes Triodensystem. Bei der Wehneltelektrode sind ihre intensitätssteuernde sowie ihre clektronenoptische Wirksamkeit eng miteinander gekoppelt. Die Intensitätssteuerung wird durch Begrenzung der zum Ernissionsstrom beitragenden Gebiete der Kathode erreicht. Gleichzeitig bedeutet die Einengung dieser Bereiche eine Verringerung des StrahlquerSchnitts.
• Das Strahlerzeugungssyst-ern. gemäß der Erfindung unterscheidet sich von denbekannten Systemen dadurch, daß hinter der Glühkathode eine in ihrem kathodennahen Teil stark vorgewölbte, vorztigsweise kegelförmige Hilfselektrode vorgesehen ist, die der Glühkathode gegenüber betriebsmäßig auf einem negativen Potential liegt. Man erreicht dadurch, daß derÜberkreuzungspunkt derElektronenbalin so weit von der Kathode entfernt ist, daß die Elektronen ihn praktisch unter dein von den Strahlrändern eingeschlossenen Winkel durchlaufen. Dieser Winkel wird um so kleiner, je größer der Abstand zwischen dem Überkreuzungspunkt und der Kathode gewählt wird.
• Die Figuren zeigen in zum Teil schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel des Strahlerzeugungssysterns gemäß der Erfindung. Die Glühkathode i ist innerhalb der Wehrieltelektrode 2 gegenüber der mit einem Loch versehenen Anode 4 angeordnet. Die Elektronen des Strahles 3 werden durch die im Raum hinter der Kathode angebrachte kegelförmige Elektrode 5 gerade in dem Teil ihrer Bahn, in dem sie die geringste Geschwindigkeit aufweisen, stark beeinflußt, und zwar derart, daß der Überkreuzungspunkt in Strahlrichtung, weit hinter der Anode 4 liegt.
• Die Hilf selektrode kann mit der Wehneltelektrode auf dem gleichen Potential gehalten werden. Man kann beispielsweise, wenn die Anode sich auf dem Potentialo befindet, die Wehneltelektrode und die Hilf selektrode auf -5o,5 kV und die Glühkathode i auf -5okV halten. Unter Umständen ist es je- doch zweckmäßig, die Hilfselektrode 5 und ihr-en Träg,er6 von der Wehneltelektrode isoliert anzubringen" so daß ihr Potential unabhängig von dem der Webneltelektrode -esteuert werden kann.
• Unterteilt man die Hilfselektrode 5, wie in Fig. 2 angedeutet ist, in Sektoren, und führt man diesen Sektoren verschiedene Spannungen zu, so kann man je nach der Wahl dieser Spannungen die Richtung des Elektronenstralilcs beeinfluss,en, also eine Schwenkung des Strahles vornehmen.
• Die Einrichtung kann auch zur Erzeugung von bandförrnigen, hohlkegelförmigen und hohlzylinderförtnigen, Elektronenstrahlen verNvendet werden. Man kann sich vorstellen, daß die dazu benötigte Kathode dadurch gewonnen wird, daß inan, zahlreiche kleine Elemente der in Fig. i dargestellten Querschnittsform geringür Dicke auf einer Geraden oder einem Kreise, gegebenenfalls mit zueinander geneigter Achsenrichtung entsprechend der gewünschten Form des Elelti-oii,-iisti-ahles, arieinanderreiht.

Claims (2)

1. PAT E N TA N S P R (` C H E: i. Strahlerzeugungssystem für Elektronenstrahlgeräte mit einem aus Glühkathode, Wehneltelektrode und Anode hestchenden Triodensystem, dadurch gekennzeichnet, daß hinter der Glühkathode eine in ihrern kathodennahen Teil stark vorgewölbte, vorzugsweise 1,egelförmige Hilfselektrode vorgesehen ist, die betriebsmäßig gegenüber der Glühkathode auf einem rielativ-en Potential liegt.
2. 2. Strahlerzeugungssystem nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfselektrode unterteilt ist und daß _Mittel vorgesehen sind, den einzelnen Teilen verschiedene Spannungen zuzuführen.