DE1129795B - Verfahren zur elektrolytischen Oberflaechenbehandlung von Halbleiterkoerpern aus Silicium - Google Patents

Verfahren zur elektrolytischen Oberflaechenbehandlung von Halbleiterkoerpern aus Silicium

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Dr-Ing-Chem Heinz-Guenth Plust
Dr Rer Nat Erich Weisshaar
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BBC BROWN BOVERI and CIE
BBC Brown Boveri AG Germany
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BBC BROWN BOVERI and CIE
Brown Boveri und Cie AG Germany
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    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
    • C25D11/02—Anodisation
    • C25D11/32—Anodisation of semiconducting materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02—Etching
    • C25F3/12—Etching of semiconducting materials
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