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TECHNISCHES GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Gleitkomponente, die als eine
Komponente wie ein Zahnrad oder ein Lager eines Zeitmessgeräts
verwendet wird.
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HINTERGRUNDTECHNIK
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Als
ein Verfahren zur Herstellung einer Gleitkomponente mit hoher Maßhaltigkeit
wie ein kleines Zahnrad wird eine Technik angewendet, bei der Photolithographie
und Galvano- bzw. Elektroformung kombiniert werden (siehe z. B.
Patentschrift 1). Bei einer Gleitkomponente ist aufgrund der gegenseitigen
Wirkung zwischen dieser und einer mit ihr in Kontakt gehaltenen
Komponente die Entstehung von Reibung unvermeidlich. Wenn die miteinander
in Kontakt stehenden Zonen dieser Komponenten mangelnde Verschleißfestigkeit
aufweisen, tritt bei solchen Komponenten zu früh Verschließ ein.
Die Wirksamkeit eines die Gleitkomponente verwendenden Mechanismus
verschlechtert sich durch Verschleiß erheblich. Deshalb
wird zur Verbesserung der Verschleißfestigkeit ein Schmieröl
verwendet. Da das Schmieröl jedoch eine Flüssigkeit
ist, verbleibt es nicht auf der Gleitkomponente, sondern es besteht die
Gefahr, dass es sich über die gesamte Gleitkomponente oder
auf andere Komponenten verteilt. Angesichts dieser Tatsache ist
bei manchen Gleitkomponenten eine Struktur vorgesehen, die das Schmieröl
im Gleitabschnitt hält (siehe z. B. Patentschrift 2).
- Patentschrift
1: JP-A-2006-64575
- Patentschrift 2: JP-T-2007-506073
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDES PROBLEM
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Bei
der in Patentschrift 1 offenbarten Struktur ist der Gleitabschnitt
glatt, so dass jegliches verwendete Schmieröl nicht im
Gleitabschnitt verbleibt, sondern sich sehr wahrscheinlich verteilt.
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Bei
der in der Patentschrift 2 offenbarten Struktur ist eine Schmierölhaltungsstruktur
vorgesehen, so dass die Wahrscheinlichkeit, dass sich das Schmieröl
verteilt, gering ist. 31 ist eine partielle Schnittansicht,
die einen Gleitprozess zwischen einem Hemmungsradzahn 501 eines
Hemmungsrads mit Ritzel und einer Palette 210 einer die
Passkomponente bildenden Palettengabel zeigt, wie in der Patentschrift
2 offenbart ist.
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Der
Hemmungsradzahn 501 hält ein Schmieröl 410 in
einem Schmierölhaltungsabschnitt 521, so dass
das Schmieröl 410 nicht verteilt wird, sondern
im Gleitabschnitt verbleibt. Wie aus den 31(a) und 31(d) ersichtlich ist, wird das Schmieröl 410 dem
Gleitabschnitt zugeführt, wenn der Hemmungsradzahn 501 und
die Palette 210 im geraden Zustand miteinander in Kontakt
gehalten werden, so dass ein gutes Schmierverhalten zu erwarten
ist.
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Auch
in dem Fall, in dem der Hemmungsradzahn 501 und die Palette 210 miteinander
in Kontakt gehalten werden, wobei sie wie in den 31(b) und 31(e) geneigt sind, wird das Schmieröl 410 in
den Gleitabschnitt geliefert, so dass ein gutes Schmierverhalten
zu erwarten ist.
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Jedoch
in dem Fall, in dem der Hemmungsradzahn 501 und die Palette 210 miteinander
in Kontakt gehalten werden, wobei sie wie in den 31(c) und 31(f) geneigt sind, besteht die Gefahr,
dass das Schmieröl 410 nicht vom Schmierölhaltungsabschnitt 521 zugeführt
wird.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Gleitkomponente
mit hoher Verschleißfestigkeit bereitzustellen, die eine
Schmierölhaltungsstruktur hat, damit ein Schmieröl
unabhängig vom Winkel zwischen der Gleit- und der Gegenkomponente
zugeführt wird, sowie ein Zeitmessgerät.
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MITTEL ZUR LÖSUNG
DES PROBLEMS
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung wird eine Gleitkomponente bereitgestellt,
bei der mindestens drei Schichten aufeinander gestapelt sind, und
die einen Gleitabschnitt hat, der auf einer anderen Komponente an
einer Außenumfangsoberfläche im Wesentlichen parallel
zur Richtung, in der die Schichten gestapelt sind, gleitet, dadurch
gekennzeichnet, dass in einem Gleitabschnitt mindestens in einer
im Innern zwischen einer obersten und einer untersten Schicht der
mindestens drei aufeinander gestapelten Schichten eine Senkung ausgebildet
ist. Gemäß dieser Erfindung ist die einen Schmierölhaltungsabschnitt
bildende Senkung nicht an einer Seite der Stapelrichtung angeordnet,
so dass das Schmieröl zuverlässig zugeführt
werden kann, ohne durch den Kontaktwinkel zwischen der Gleitkomponente
und der Gegenkomponente nennenswert beeinflusst zu werden, wodurch
eine Gleitkomponente mit hoher Verschleißfestigkeit erzielt
werden kann.
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Bei
der Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung kann die Senkung
dadurch gebildet werden, dass mindestens eine der im Innern zwischen der
obersten und untersten Schicht der mindestens drei aufeinander gestapelten
Schichten zurückversetzt ausgeführt wird.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass eine Mehrzahl der oben erwähnten Senkungen in Stapelrichtung
vorgesehen ist. Gemäß dieser Erfindung unterliegt
die Gleitkomponente dem Einfluss des Kontaktwinkels zwischen sich
und der Gegenkomponente weniger stark, wodurch das Schmieröl
zuverlässiger zugeführt werden kann.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass die Senkung über die gesamte Außenumfangsfläche
ausgebildet ist. Gemäß dieser Erfindung ist es
möglich, die in der Senkung enthaltene Schmierölmenge
zu vergrößern.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung kann eine Struktur sein,
bei der mindestens drei Schichten aus mindestens zwei verschiedenen
Materialarten aufeinander gestapelt sind. Dabei kann das Material
einer der Schichten eine höhere Wärmeleitfähigkeit
haben als das Material der anderen Schichten.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens eine der bezüglich der die Senkung bildenden Schicht
hervorstehenden Schichten eine gekrümmte Oberfläche
an einem Kreuzungsabschnitt zwischen einer in der Stapelrichtung
im Wesentlichen senkrechten Oberfläche und einer dazu im
Wesentlichen parallelen Oberfläche hat.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass die mindestens drei Schichten eine vorgegebene Schicht und eine
erste sowie eine zweite gegenüberliegende Schicht aufweisen,
die der vorgegebenen Schicht in Dickenrichtung der vorgegebenen
Schicht gegenüberliegen, dass die Senkung gebildet wird,
indem die vorgegebene Schicht gegenüber der Außenumfangsfläche
der ersten oder der zweiten gegenüberliegenden Schicht
zurückweichend ausgeführt ist, und dass mindestens
eine der ersten und zweiten gegenüberliegenden Schicht
eine gekrümmte Oberfläche an einem Kreuzungsabschnitt
zwischen einer zur Stapelrichtung im Wesentlichen senkrechten Oberfläche
und einer im Wesentlichen dazu parallelen Oberfläche hat.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens eine der ersten und zweiten gegenüberliegenden Schicht
eine gekrümmte Oberfläche an der ersten einer
vorgegebenen Schichtseite hat, wo die vorgegebene Schicht gebildet
ist, und an einer Seite gegenüber der vorgegebenen Schicht.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens eine der ersten und zweiten gegenüberliegenden Schicht
die gekrümmte Oberfläche an der zweiten einer
vorgegebenen Schichtseite hat, wo die vorgegebene Schicht gebildet
ist, und an einer Seite gegenüber der vorgegebenen Schicht.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens eine der ersten und zweiten gegenüberliegenden Schicht
die gekrümmte Oberfläche sowohl an einer vorgegebenen
Schichtseite hat, wo die vorgegebene Schicht gebildet ist, als auch
an einer Seite gegenüber der vorgegebenen Schichtseite.
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Die
Gleitkomponente der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
dass sie als Komponente eines Zeitmessgeräts verwendet
wird.
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Ein
Zeitmessgerät gemäß der vorliegenden Erfindung
ist dadurch gekennzeichnet, dass es mit einer Gleitkomponente gemäß der
vorliegenden Erfindung ausgestattet ist.
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer
Gleitkomponente bereitgestellt mit den Schritten: Ausbilden einer
lichtempfindlichen Materialschicht auf einer oberen Oberfläche
eines leitfähigen Substrats; Belichten des lichtempfindlichen
Materials über ein über dem lichtempfindlichen
Material angeordnetes Maskenmuster; Entwickeln des lichtempfindlichen
Materials, so dass ein Hohlraum aus dem lichtempfindlichen Material und
einer belichteten Oberfläche des leitfähigen Substrats
gebildet wird; Aufbringen von mindestens zwei oder mehr Schichten
aus verschiedenem Material auf der belichteten Oberfläche
des leitfähigen Substrats im Hohlraum durch Elektroformung;
Herausziehen der aufgebrachten Materialschichten aus dem Hohlraum;
und selektives Entfernen eines Teils der Oberflächen der
Materialschichten.
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VORTEIL DER ERFINDUNG
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung kann eine Gleitkomponente mit hervorragender
Verschleißfestigkeit bereitgestellt werden, die eine Schmierölhaltungsstruktur
hat, und ein diese Gleitkomponente als Gleitkomponente verwendendes Zeitmessgerät,
um dadurch eine Verlängerung der Wartungsperiode zu erzielen.
Ferner ist es gemäß dem Herstellungsverfahren
der vorliegenden Erfindung möglich, eine Gleitkomponente
mit hervorragender Verschleißfestigkeit auf einfache Weise
herzustellen, die eine Gleitkomponente mit hervorragender Verschleißfestigkeit
hat und eine Schmierölhaltungsstruktur enthält.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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[1]
Draufsicht, die die Konfiguration der Vorderseite eines Räderwerks
eines Uhrwerks schematisch darstellt.
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[2]
Schematische Teilschnittansicht eines Abschnitts, der sich von einer
Federhaustrommel zu einer Palettengabel erstreckt.
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[3]
Schematische Teilschnittansicht eines Abschnitts, der sich von einem
Hemmungsrad mit Ritzel (Trieb) zu einer Unruh mit Haarfeder erstreckt.
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[4]
Diagramm eines Hemmungsrades mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der
vorliegenden Erfindung.
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[5]
Vergrößerte Teilansicht eines Hemmungsradzahns
und einer Palette.
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[6]
Diagramm des Gleitprozesses eines Hemmungsradzahns und einer Palette.
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[7]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[8]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[9]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[10]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[11]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[12]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[13]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[14]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[15]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[16]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[17]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[18]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[19]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[20]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[21]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[22]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[23]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[24]
Diagramm, das einen Herstellungsprozess für ein Hemmungsrad
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[25]
Vergrößerte Teilansicht eines Hemmungsrades mit
Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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[26]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[27]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[28]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[29]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[30]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines Hemmungsrades
mit Ritzel mit einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[31]
Diagramm, das eine Schmierölzufuhrfunktion eines herkömmlichen
Hemmungsrades mit Ritzel zeigt.
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BESTE ART ZUR AUSFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
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Erste Ausführungsform
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Im
Folgenden wird eine erste Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
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1 ist
eine Draufsicht, die die Konfiguration der Vorderseite eines Räderwerks
eines Uhrwerks eines Zeitmessgeräts 1 schematisch
darstellt, 2 ist eine schematische partielle
Schnittansicht, die einen Abschnitt zeigt, der sich von einer Federhaustrommel 2 bis
zu einem Hemmungsrad mit Ritzel 100 des Zeitmessgeräts 1 erstreckt,
und 3 ist eine schematische partielle Schnittansicht
eines Abschnitts, der sich vom Hemmungsrad mit Ritzel 100 bis
zu einer Unruh mit Haarfeder 10 des Zeitmessgeräts
erstreckt.
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Das
Zeitmessgerät 1 ist hier ein mechanisches Zeitmessgerät
mit zwei Zeigern. Das Zeitmessgerät kann jedoch auch ein
mechanisches Zeitmessgerät des elektronischen Antriebstyps,
ein Zeitmessgerät des Quarztyps etc. sein.
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Das
Zeitmessgerät 1 ist mit einem Federhaus 2,
einer Aufzugfeder 2B, einem Trommelrad 2A, einer
Trommelachse 2C und einer Trommelabdeckung 2D ausgestattet.
Das äußere Ende der Aufzugfeder 2B ist
am Trommelrad 2A und das innere Ende an der Trommelachse 2C befestigt.
Die Trommelachse 2C ist auf einer Platine 3 und
einer Räderwerkbrücke 4 gelagert und
wird von einer Schaltradschraube in ihrer Lage gehalten, so dass
sie zusammen mit einem Schaltrad 5 dreht. Das Schaltrad 5 kämmt
mit einer Schaltklinke (Click) 7, so dass es sich im, aber
nicht entgegen dem Uhrzeigersinn dreht. Das Verfahren zum Spannen
der Aufzugfeder 2B ist das gleiche wie beim automatischen
Aufziehen und manuellem Aufziehen eines normalen mechanischen Zeitmessgeräts,
sodass auf eine Beschreibung verzichtet wird.
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Die
Drehgeschwindigkeit des Trommelrads 2A wird über
ein Übersetzungs-Räderwerk 11, das aus
einem mittleren Rad mit Ritzel 12, einem dritten Rad mit
Ritzel 13 und einem zweiten Rad mit Ritzel 14 besteht,
erhöht und dann an die Unruh mit Haarfeder 10 über
ein Hemmungsrad mit Ritzel 100 und eine Palettengabel 200 übertragen.
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Ein
Vierteltrieb 15 ist am zweiten Rad mit Ritzel 12 des Übersetzungs-Räderwerks 11 befestigt und
ein Minutenzeiger 8 ist am Vierteltrieb 15 befestigt.
Auf Basis der Drehung des Vierteltriebs 15 dreht sich ein
Stundenrad 16 über die Rotation eines Minutenrads
(nicht dargestellt). Ein Stundenzeiger 9 ist am Stundenrad 16 befestigt.
Das heißt, die Zeiger 8, 9 sind mit dem Übersetzungs-Räderwerk 11 verbunden,
und das Trommelrad 2A sowie die Räder der Räder
mit Ritzel 12 bis 14, die im Übersetzungs-Räderwerk 11 verwendet
werden, dienen als Antriebsräder für die Zeiger 8, 9 des
Zeitmessgeräts 1. Somit sind für jede
Komponente des Zeitmessgeräts hohe Maßhaltigkeit
und Verschleißfestigkeit erforderlich.
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Das
Zeitmessgerät 1 hat verschiedene Räderwerke;
in der folgenden Beschreibung wird der Einfachheit halber das Hemmungsrad
mit Ritzel 100 als Beispiel gewählt. Es ist jedoch
zu beachten, dass das Hemmungsrad mit Ritzel nur als Beispiel dient, um
die vorliegende Erfindung besser zu verdeutlichen.
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4(a) zeigt das Hemmungsrad mit Ritzel (Gleitkomponente) 100,
das eine Struktur gemäß der vorliegenden Erfindung
hat. Das Hemmungsrad mit Ritzel 100 hat eine Mehrzahl Hemmungsradzähne 101 an
seinem Außenumfang und eine axiale Bohrung 102,
die sich in der Mitte in Dickenrichtung erstreckt. Das Hemmungsrad
mit Ritzel 100 ist eine Komponente, die als Zeitmessgerätkomponente
des mechanischen Zeitmessgeräts der 1 bis 3 verwendet
wird.
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4(b) ist eine vergrößerte
Ansicht des Abschnitts eines Hemmungsradzahns 101, der
in 4(a) mit einem Kreis C markiert
ist. Der Hemmungsradzahn 101 hat eine Anschlagflanke 111, eine
Aufprallflanke 112 und eine Rückflanke 113,
und eine Querrippe zwischen der Anschlagflanke 111 und der
Aufprallflanke 112 bildet eine Pendelkante 114 und
eine Querrippe zwischen der Aufprallflanke 112 und der
Rückflanke 113 bildet eine Ablaufkante 115. Die
Anschlagflanke 111, die Aufprallflanke 112 und die
Rückflanke 113 bilden einen Teil einer Außenumfangsfläche,
die im Wesentlichen parallel zur Dickenrichtung des Hemmungsrads
mit Ritzel 100 verläuft, und die Aufprallflanke 112 mit
der Pendelkante 114 und der Ablaufkante 115 bilden
einen Gleitabschnitt, der auf einer Palette 210, die nachstehend
beschrieben wird, gleitet. Das Hemmungsrad mit Ritzel 100 der
Struktur der vorliegenden Erfindung hat eine Mehrschichtstruktur,
bei der mindestens drei Schichten in Dickenrichtung gestapelt sind;
bei dieser Ausführungsform besteht es z. B. aus einer ersten
Metallschicht 121 (erste gegenüberliegende Schicht)
und einer dritten Metallschicht 123 (zweite gegenüberliegende
Schicht), die aus dem gleichen Material gebildet sind, und einer
zweite Metallschicht 122, die sich zwischen der ersten
und dritten Metallschicht 121, 123 befindet und
aus einem von diesen verschiedenen Material besteht.
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Beispiele
für das Material der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 sind
u. a. Metalle wie Nickel (Ni), Kobalt (Co), Platin (Pt), Rhodium
(Rh), Chrom (Cr) und Palladium (Pd), Legierungen wie Ni-Wolfram
(W) und Ni-Bor (B) und Verbundstoffe, die als Eutektoid von Keramikpartikeln
oder -fasern wie Tonerde (Al2O3)
oder Siliziumcarbid (SiC) in der Matrix eines der oben genannten
Metalle erhalten werden, oder ein Harz wie Polytetrafluorethylen (PTFE),
oder andere organische oder anorganische Substanzen. Beispiele für
das Material der zweiten Metallschicht 122 sind u. a. Metalle
wie Kupfer (Cu), Gold (Au), Zink (Zn), Silber (Ag), Eisen (Fe) und
Zinn (Sn), Legierungen wie Cu-Au und Cu-Ag, oder Verbundstoffe,
die als Eutektoid der Partikel oder Fasern wie oben erwähnt
in der Matrix eines der obigen Metalle erhalten werden. Um im nachstehend
beschriebenen Fertigungsprozess eine Senkung 150 in der zweiten
Metallschicht 122 durch Ätzen zu bilden, wird eine
Kombination aus Materialien verwendet, die ein selektives Ätzen
nur der zweiten Metallschicht 122 gestattet, oder eine
Kombination aus Materialien mit unterschiedliche Ätzraten.
Da das Hemmungsrad mit Ritzel 100 eine Gleitkomponente
ist, ist es wünschenswert, dass die erste und dritte Metallschicht 121, 123,
die mit der Gegenkomponente in Kontakt kommen, aus einem harten
Material besteht.
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4(c) ist eine Schnittansicht des Hemmungsrads
mit Ritzel 100 entlang der Linie X-X in 4(b).
Beim Hemmungsrad mit Ritzel 100 mit der Struktur der vorliegenden
Erfindung ist die Außenabmessung der zweiten Metallschicht 122 kleiner
als die Außenabmessung der ersten und dritten Metallschicht 121, 123.
Die Außenumfangsfläche der zweiten Metallschicht 122 weicht
gegenüber der Außenumfangsfläche des
Hemmungsrads mit Ritzel 100 zurück (Außenumfangsflächen
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123).
Damit hat bei dieser Ausführungsform das Hemmungsrad mit
Ritzel 100 zumindest in einem Teil des Gleitabschnitts
eine Senkung 150, die sich über den gesamten Umfang
der Außenumfangsfläche des Hemmungsrads mit Ritzel 100 erstreckt
und in Dickenrichtung nicht offen ist. Die Senkung 150 dient
zum Halten des Schmieröls.
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Die
Dicke T0 des Hemmungsrads mit Ritzel 100 beträgt
bei dieser Ausführungsform 100 μm. Die Dicke T0
ist auf 10 μm bis 1 mm entsprechend der herzustellenden
Komponente eingestellt. Die Dicke T1 der ersten Metallschicht 121 und
die Dicke T3 der dritten Metallschicht 123 liegen im Bereich
von 1 μm bis 900 μm. Die Dicke T1 und die Dicke
T3 müssen nicht gleich sein. Die Dicke T2 der zweiten Metallschicht 122 ist
auf 500 nm bis 500 μm eingestellt. Die Tiefe W1 der Senkung 150 ist
auf 1 μm bis 1 mm eingestellt. Die die Größe
der Senkung 150 bestimmende Dicke T2 und die Tiefe W1 werden
entsprechend der Viskosität und Oberflächenspannung
des Schmieröls festgelegt.
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Das
Hemmungsrad mit Ritzel 100 gleitet auf der Palettengabel 200.
Genauer gesagt gleiten die Hemmungszähne 101 des
Hemmungsrads mit Ritzel 100 auf Paletten 210 der
Palettengabel 200. 5(a) ist
eine vergrößerte Teilansicht eines Hemmungsradzahns 101 und 5(b) ist eine vergrößerte
Teilansicht einer Palette 210 der Palettengabel 200.
Wie der Hemmungsradzahn 101 besteht die Palette 210 aus
einer Anschlagflanke 211, einer Aufprallflanke 212,
einer Rückflanke 213, einer Pendelkante 214 und
einer Ablaufkante 215.
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Der
Prozess, bei dem der Hemmungsradzahn 101 auf der Palette 210 gleitet,
wird anhand von 6 beschrieben. In 6(a) steht die Pendelkante 114 des
Hemmungsradzahns 101 in Kontakt mit der Anschlagflanke 211 der
Palette 210, wobei die Palettengabel das Hemmungsrad mit
Ritzel 100 anhält.
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Wenn
sich die Palettengabel in Richtung des Pfeils bewegt, wird ein Zustand
erreicht, in dem die Pendelkante 114 des Hemmungsradzahns 101 und die
Pendelkante 214 der Palette 210 miteinander in Kontakt
gehalten werden, wie in 6(b) dargestellt ist,
worauf die Pendelkante 114 des Hemmungsradzahns 101 auf
der Aufprallflanke 212 der Palette 210 gleitet,
wie in 6(c) dargestellt ist.
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Außerdem
wird ein Zustand erreicht, in dem die Pendelkante 114 des
Hemmungsradzahns 101 und die Ablaufkante 215 der
Palette 210 miteinander in Kontakt gehalten werden wie
in 6(d) gezeigt; wie in 6(e) gezeigt gleitet dann die Ablaufkante 215 der
Palette 210 auf der Aufprallflanke 112 des Hemmungsradzahns 101.
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Wenn
die Ablaufkante 115 des Hemmungsradzahns 101 und
die Ablaufkante 215 der Palette 210 miteinander
in Kontakt gebracht werden wie in 6(f) gezeigt,
werden der Hemmungsradzahn 101 und die Palette 210 voneinander
getrennt.
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Bei
dem in 6 dargestellten Gleitprozess tritt zwischen dem
Hemmungsradzahn 101 und der Palette 210 Reibung
auf, so dass zur Verbesserung der Verschleißfestigkeit
Schmieröl verwendet wird. 7 ist eine
Schnittansicht entlang der Linie Y-Y in 6(e).
Wie die 7(a) und 7(d) zeigen,
dient die Senkung 150 zum Halten des Schmieröls 410.
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Die
Senkung 150 ist über den gesamten Umfang des Hemmungsrads
mit Ritzel 100 vorgesehen, so dass es in jedem Zustand
des Gleitprozesses wie in 3 dargestellt
möglich ist, den Gleitabschnitt mit dem Schmieröl 410 zu
versorgen. Ferner ist beim Hemmungsrad mit Ritzel 100 die
den Schmierölhaltungsabschnitt bildende Senkung 150 nicht
an einer Seite in Stapelrichtung, sondern im Wesentlichen in der
Mitte angeordnet, so dass selbst dann, wenn die Palette 210 geneigt
ist, wie in den 7(b), 7(e), 7(c) und 7(f) dargestellt,
das Schmieröl 410 zum Gleitabschnitt geliefert
werden kann.
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Beim
Hemmungsrad mit Ritzel 100 wird das Schmieröl 410 von
der Senkung 150 zuverlässiger zum Gleitabschnitt
geliefert, wodurch eine Verbesserung hinsichtlich der Gleiteigenschaft
erzielt wird. Als Ergebnis wird die Verschleißfestigkeit
und damit das Hemmungsrad mit Ritzel 100 verbessert und
die Betriebslebensdauer der Komponenten wird gegenüber dem
Stand der Technik verlängert.
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Die
Senkung 150 ist ferner im gesamten Umfang des Hemmungsrads
mit Ritzel 100 vorgesehen, so dass die Ölhaltungsmenge
größer ist als bei einem herkömmlichen Hemmungsrad
mit Ritzel. Ein mechanisches Zeitmessgerät muss nach jeweils
einigen Jahren zum Ölen der Gleitkomponenten gewartet werden.
Bei Verwendung einer Gleitkomponente mit der Struktur der vorliegenden
Erfindung kann das Wartungsintervall im Vergleich zum Stand der
Technik verlängert werden.
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Im
Folgenden wird ein Verfahren zum Herstellen eines Hemmungsrads mit
Ritzel 100 mit der Struktur der vorliegenden Erfindung
anhand der 8 bis 11 beschrieben.
Die 8 bis 11 sind partielle Schnittansichten,
die den Herstellungsprozess für das Hemmungsrad mit Ritzel 100 darstellen.
Dabei ist der Abschnitt, um den ein Hemmungsrad mit Ritzel 100 gebildet
wird, schematisch im Schnitt dargestellt.
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8(a) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Bilden eines leitfähigen Substrats zeigt. Auf einem
Substrat 601 wird ein Elektrodenmaterial 602 ausgebildet.
Das Substrat 601 besteht aus Silizium, Quarz, Saphir oder
dgl. Das Elektrodenmaterial 602 besteht aus Cu, Au, Cr,
Ti oder dgl. Das Substrat 601 kann auch aus einem Metall
wie Edelstahl oder Ti hergestellt werden. In dem Fall, in dem das
Substrat 601 aus einem Metall besteht, ist das Elektrodenmaterial 602 nicht
erforderlich. Die Dicke des Substrats 601 wird auf 100 μm
bis 1 mm eingestellt, so dass es sich in den nachstehend beschriebenen
Prozessen selbst tragen kann. Die Dicke des Elektrodenmaterials 602 wird
auf 10 nm bis 10 μm eingestellt.
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8(b) ist ein Diagramm, das den Prozess der
Bildung eines Resist zeigt. Ein Fotoresist 603 wird auf
dem Elektrodenmaterial 602 aufgebracht. Der Fotoresist 603 kann
entweder ein negativer oder ein positiver Typ sein. Der Fotoresist 603 wird
durch Schleuderbeschichtung, Tauchbeschichtung oder dgl. gebildet.
Wenn ein Trockenfilm-Resist als der Fotoresist 603 verwendet
wird, wird er auf dem Elektrodenmaterial 602 durch ein
Laminierungsverfahren ausgebildet. Die Dicke des Fotoresist 603 ist
nicht kleiner als die Dicke T0 des Hemmungsrads mit Ritzel 100.
Nachfolgend wird ein Fall beschrieben, bei dem der Fotoresist 603 ein
negativer Typ ist.
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8(c) ist ein Diagramm, das einen Entwicklungsprozess
darstellt. Unter Verwendung einer Fotomaske mit einem Konturmuster
des Hemmungsrads mit Ritzel 100 wird der Fotoresist 603 mit
Ultraviolettstrahlung bestrahlt, wodurch der Abschnitt des Resist
ausgehärtet wird, der nicht zum Elektroformen des Hemmungsrads
mit Ritzel 100 verwendet wird. Der nicht ausgehärtete
Resist-Abschnitt wird entfernt, wodurch die Form für die
Elektroformung fertig gestellt ist. Eine Seitenfläche 631eines
Fotoresist 603K hat eine Konfiguration entsprechend der
Kontur des Hemmungsrads mit Ritzel 100. Eine Seitenfläche 632 eines
Fotoresist 603L hat eine Konfiguration entsprechend der
der axialen Bohrung 102.
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Die 8(d) bis 9(a) sind
Diagramme, die einen Elktroformprozess zeigen. Die erste Metallschicht 121,
die zweite Metallschicht 122 und die dritte Metallschicht 123 werden
in einer solchen Reihenfolge gestapelt, dass die zweite Metallschicht 122 zwischen
der ersten und der dritten Metallschicht 121, 123 liegt.
Das elektrogeformte Produkt wächst nur von der Bodenfläche
aus auf.
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8(d) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Elektroformen einer Metallschicht zeigt. Die erste Metallschicht 121 wird
auf eine Dicke T1 auf dem anderen Formabschnitt des Elektrodenmaterials 602 aufgebracht
als dem der Fotoresists 603K, 603L.
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8(e) ist ein Diagramm, das einen Metall-Elektroformprozess
zeigt. Die zweite Metallschicht 122 wird auf der ersten
Metallschicht 121 auf eine Dicke T2 aufgebracht. Die Gesamtsumme
der Dicken T1 und T2 ist kleiner als die Dicke T0.
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9(a) ist ein Diagramm, das einen Metall-Elektroformungsprozess
zeigt. Die dritte Metallschicht 123 wird auf der zweiten
Metallschicht 122 auf eine Dicke aufgebracht, die nicht
kleiner als T3 ist, so dass die Dicke des elektrogeformten Produktes
nicht kleiner sein kann als die Dicke T0 des Hemmungsrads mit Ritzel.
Jedoch in dem Fall, in dem in 9(b) dargestellte
Schleif-/Polierprozess, der anschließend auszuführen
ist, entfällt, wird die dritte Metallschicht 123 auf
eine Dicke T3 aufgebracht, so die Dicke des elektrogeformten Produkts
T0 werden kann.
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9(b) ist ein Diagramm, das den Schleif-/Polierprozess
zeigt. Durch Schleifen werden die dritte Metallschicht 123 und
die Fotoresists 603K, 603L so abgetragen, dass
die Dicke des Hemmungsrads mit Ritzel 100 T0 wird, wodurch
die Ebenheit erreicht wird. Ferner wird Polieren ausgeführt,
um die Oberfläche der dritten Metallschicht 123 zu
einer Spiegeloberfläche zu machen.
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9(c) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zeigt, in dem der Resist entfernt wird. Die Fotoresists 603K, 603L werden
durch Ätzen, physische Kraft oder dgl. entfernt.
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9(d) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Ausbilden einer Senkung zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die die
zweite Metallschicht 122 ätzt, die erste und dritte
Metallschicht 121, 123 jedoch nicht ätzt. Das Ätzen
erfolgt nur an der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 mit
einer Tiefe W1 zu bilden. In dem Fall, in dem z. B. Ni auf der ersten
und dritten Metallschicht 121, 123 und Cu auf
der zweiten Metallschicht 122 aufgebracht wird, ist es
möglich, nur das Cu zu ätzen, indem eine Ammoniumpersulfat-Lösung
als Ätzflüssigkeit verwendet wird.
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9(e) ist ein Diagramm, das einen Trennprozess
eines elektrogeformten Produkts zeigt. Das Substrat 601 und
die Elektrode 602 werden durch Ätzen, physische
Kraft oder dgl. entfernt.
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Die
in den 9(c) bis 9(e) nach
dem Schleifen/Polieren dargestellten Prozesse können auch durch
die folgenden Schritte ausgeführt werden.
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10(a) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen des Substrats/der Elektrode zeigt. Das Substrat 601 und
die Elektrode 602 werden durch Ätzen oder dgl.
entfernt.
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10(b) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen des Resist zeigt. Die Fotoresists 603K, 603L werden
durch Ätzen, physische Kraft oder dgl. entfernt.
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10(c) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Ausbilden einer Senkung zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die die
zweite Metallschicht 122 ätzt, die erste und dritte
Metallschicht 121, 123 jedoch nicht ätzt. Das Ätzen
erfolgt nur an der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 mit
einer Tiefe W1 zu bilden.
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Wenn
eine Verbesserung von Eigenschaften wie Korrosionsbeständigkeit,
Schmiervermögen und Wärmebeständigkeit
erzielt werden soll, und wenn die Ölrückhaltungseigenschaft
durch Erhöhen der Benetzungsfähigkeit verbessert
werden soll, wird zusätzlich ein in den 11(a) und 11(b) dargestellter Beschichtungsprozess
nach dem in 9(e) oder 10(c) dargestellten
Prozess ausgeführt. Ein Metallfilm 650 wird durch
allseitiges Beschichten des getrennten elektrogeformten Produkts
gebildet. Beispiele für die Materialien des Metallfilms 650 sind
u. a. Metalle wie Ni, Co, Rh und Cr, Legierungen wie Ni-W und Ni-Co
und Verbundstoffe wie Ni-Al2O3und Ni-PTFE.
Die Dicke T4 des Metallfilms 650 wird auf 100 nm bis 100 μm
eingestellt. Die Dicke ist jedoch so zu wählen, dass die
Senkung 150 nicht aufgefüllt wird.
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Wie
oben beschrieben ist es gemäß dem Herstellungsverfahren
der vorliegenden Erfindung möglich, die in 4 dargestellte
Gleitkomponente auf einfache Weise herzustellen.
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12 ist
ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess zeigt, der in dem
Fall angewendet wird, in dem als das Material der ersten Metallschicht 121 ein
Verbundmaterial verwendet wird, das durch eine eutektische Reaktion
von Partikeln aus Al2O3, SiC
oder dgl. in der Metallmatrix aus Ni, Co oder dgl. erhalten wird. 12(a) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für die erste Metallschicht 121 zeigt. Wie in 12(a) dargestellt ist, ist ein Teil der
eutektischen Verbundpartikel nicht vollständig in der Metallmatrix
eingeschlossen, sondern liegt an der oberen Oberfläche
frei. Die freiliegenden Verbundpartikel werden im Elektroformungsprozess
für die zweite Metallschicht 122 in 12(b) vollständig in der Metallschicht 122 eingeschlossen.
In dem Fall, in dem die Verbundpartikel der ersten Metallschicht 121 aus
einer Substanz mit rauer Oberfläche bestehen, findet eine
eutektische Reaktion der Verbundpartikel in der Grenzfläche
der Metallschichten 121, 122 statt, wodurch die
Kraft, mit der die beiden Metallschichten in innigem Kontakt miteinander
gehalten werden, zunimmt. Dieser Effekt der Kraft für den innigen
Kontakt zwischen der zweiten Metallschicht 122 und der
dritten Metallschicht 123 ist in dem Fall der gleiche,
in dem ein Verbundmaterial als das Material der zweiten Metallschicht 122 verwendet
wird. Ein ähnlicher Effekt wird auch in dem Fall erzielt,
in dem die der eutektischen Reaktion unterliegende Substanz aus
Wolframcarbidfasern (WC) oder dgl. besteht.
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In
dem Fall, in dem als das Material der zweiten Metallschicht 122 ein
Verbundmaterial verwendet wird, das durch eine eutektische Reaktion
von Partikeln aus PTFE, Acrylharz oder dgl. in der Metallmatrix
aus Ni, Cu oder dgl. erhalten wird, kann die Senkung auch durch
den in 13 dargestellten Prozess gebildet
werden. 13(a) zeigt den Zustand nach dem
Entfernen des Resist in dem Fall, in dem als das Material der zweiten
Metallschicht 122 ein Verbundmaterial verwendet wird, das
durch eine eutektische Reaktion von Partikeln aus PTFE, Acrylharz
oder dgl. in der Metallmatrix aus Ni, Cu oder dgl. erhalten wird. Wie 13(a) zeigt erscheint ein Teil der Verbundpartikel
durch eine eutektische Reaktion in der Gleitfläche. Indem
die Verbundpartikel, die durch eine eutektische Reaktion in der
Gleitfläche erscheinen, mittels Wärmebehandlung,
organischem Lösungsmittel oder dgl. entfernt werden, kann
die in 13(b) dargestellte Senkung 150 gebildet
werden. In diesem Fall wird die Senkung 150 nicht über
den gesamten Umfang der Außenumfangsfläche gebildet,
sondern nur in dem Abschnitt, in dem die Verbundpartikel, die durch
eine eutektische Reaktion in der Gleitfläche erscheinen,
entfernt werden. Die Senkung 150 dient zum Halten des Schmieröls.
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In
manchen Fällen erzeugt das Hemmungsrad mit Ritzel 100 durch
die Reibung beim Gleiten Wärme, und die Temperatur des
Gleitabschnitts, wodurch die Härte des Materials des Hemmungsrads mit
Ritzel 100 abnimmt und es Verschleiß unterliegt. Indem
jedoch bei der vorliegenden Erfindung ein Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit
für die zweite Metallschicht 122 verwendet wird,
kann die Wärmeleitfähigkeit des gesamten Hemmungsrades 6 mit
dem Ritzel 100 verbessert werden, so dass die Temperatur
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 kaum
ansteigen kann, wodurch die Schichten verschleißfest werden.
Bei einer solchen beispielhaften Kombination aus Metallen wird Ni
für die erste und dritte Metallschicht 121, 123 und
Cu für die zweite Metallschicht 122 verwendet.
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Indem
ferner die Konfiguration von 14 verwendet
wird, kann eine weitere Verbesserung hinsichtlich der Verschleißfestigkeit
erzielt werden. Das Hemmungsrad mit Ritzel 100 in 14 hat
gekrümmte Oberflächen 161A, 163A an
den Kreuzungsabschnitten zwischen den Außenumfangsflächen
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 und
den nicht in Kontakt mit der zweiten Metallschicht 122 stehenden
Oberflächen. Die Krümmung R11a der gekrümmten
Oberfläche 161A und die Krümmung R13a
der gekrümmten Oberfläche 163A brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben. Wie aus den 7(b), 7(e), 7(c) und 7(f) ersichtlich ist,
besteht in dem Fall, in dem der Hemmungsradzahn 101 und
die Palette 210 miteinander in Kontakt stehen, während
sie geneigt sind, die Gefahr des Anstoßens der Kanten und
damit der Zunahme der Reibungskraft. Wenn dagegen die Konfiguration
gemäß 14 verwendet
wird, stoßen selbst dann, wenn der Hemmungsradzahn 101 und
die Palette 210 miteinander in Kontakt gehalten werden,
während sie geneigt sind, wegen der gekrümmten
Oberflächen 161A, 163A keine Kanten aneinander,
wie in den 14(b) dargestellt ist,
und es ergibt sich ein einwandfreies Schmierverhalten, so dass die
Reibungskraft verringert und eine Verbesserung hinsichtlich der
Verschleißfestigkeit erzielt wird. Ferner wird aufgrund
der gekrümmten Oberflächen 161A, 163A der Hertzsche
Kontaktdruck während des Gleitens verringert, so dass eine
Verbesserung hinsichtlich der Verschleißfestigkeit erzielt
wird.
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Ein
Herstellungsverfahren für das Hemmungsrad mit Ritzel 100,
das die in 14 dargestellte Struktur hat,
wird nachstehend anhand der 15 und 16 beschrieben.
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Die 15(a) und 15(c) sind
Diagramme, die einen Trommelpolierprozess zeigen. Nach dem Prozess
von 10(b) wird das elektrogeformte
Produkt mit einer Trommel poliert, um die gekrümmten Oberflächen 161A, 163A zu
bilden. Der Radius der gekrümmten Oberflächen 161A, 163A kann
entsprechend der Trommelpolierbedingung eingestellt werden. Wie
in 15(c) gezeigt können gemäß der Trommelpolierbedingung
auch die Kreuzungsabschnitte zwischen den Innenumfangsflächen
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 und
den Oberflächen, die nicht mit der zweiten Metallschicht 122 in Kontakt
stehen, ebenfalls poliert werden, wodurch gekrümmte Oberflächen 161B, 163B gebildet
werden. Die Krümmungen R11a, R13a, die Krümmung R11b
der gekrümmten Oberfläche 161B und die Krümmung
R13b der gekrümmten Oberfläche 163BA brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben.
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Die 15(b) und 15(d) sind
Diagramme, die einen Prozess zum Ausbilden einer Senkung zeigen.
Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die Ätzen der zweiten Metallschicht 122 bewirkt,
aber die erste und dritte Metallschicht 121, 123 nicht ätzt. Ätzen
erfolgt nur an der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 mit der
Tiefe W1 zu bilden.
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Der
in den 15(c) und 15(d) dargestellte Prozess
kann auch wie folgt ausgeführt werden.
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16(a) ist ein Diagramm, das einen Nassätzprozess
zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die die erste und dritte Metallschicht 121 und 123 ätzt,
die zweite Metallschicht 122 aber nicht ätzt. Ätzen
erfolgt nur an der ersten und dritten Metallschicht 121 und 123,
um die gekrümmten Oberflächen 161A, 161B, 163A und 163B zu
bilden. In dem Fall, in dem z. B. Cr auf der ersten und dritten
Metallschicht 121, 123 und Cu auf der zweiten
Metallschicht aufgebracht ist, ist es möglich, nur Cr mittels
einer Kaliumferricyanidlösung als Ätzflüssigkeit
zu ätzen.
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16(b) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Bilden einer Senkung zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt wird
in eine Ätzflüssigkeit, die Ätzen der
zweiten Metallschicht 122 bewirkt, die erste und dritte
Metallschicht 121, 123 jedoch nicht ätzt. Ätzen erfolgt
nur an der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 mit
der Tiefe W1 zu bilden.
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In
dem Fall, in dem das Hemmungsrad mit Ritzel 100 mit den
gekrümmten Oberflächen 161B, 163B ausgeführt
ist, ist es möglich, die Spannung zu verringern, wenn ein
Schaft in die axiale Bohrung 102 getrieben wird, wodurch
ein Bruch vermieden wird.
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Ferner
ist es auch durch Verwenden der in 17 dargestellten
Konfiguration möglich, eine Verbesserung der Verschleißfestigkeit
zu erzielen. Das Hemmungsrad mit Ritzel 100 hat gekrümmte Oberflächen 161C, 163C an
den Kreuzungsabschnitten zwischen den Außenumfangsflächen
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 und
an den mit der zweiten Metallschicht 122 in Kontakt stehenden Oberflächen.
Die Krümmung R11c der gekrümmten Oberfläche 161C und
die Krümmung R13c der gekrümmten Oberfläche 163C brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben. Die gekrümmten Oberflächen 161C, 163C sind
so ausgebildet, dass sie sich von der Senkung 150 zur Gleitfläche
erstrecken, so dass das Schmieröl 410 auf einfache
Weise von der Senkung 150 zum Gleitabschnitt geliefert werden
kann wie in 17 dargestellt. Es ist deshalb möglich,
eine Verbesserung des Schmierverhaltens und der Verschleißfestigkeit
zu erzielen.
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Ein
Herstellungsverfahren für das Hemmungsrad mit Ritzel 100 mit
der in 17 dargestellten Struktur wird
nachstehend anhand der 18 bis 21 beschrieben.
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18(a) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für eine Opferschicht zeigt. Nach dem Schritt von 8(c) wird eine erste Opferschicht 141 auf
dem Formabschnitt des Elektrodenmaterials 602 aufgebracht,
bei dem es sich nicht um die Fotoresists 603K, 603L handelt.
Das elektrogeformte Produkt wächst nur von der Bodenfläche
aus auf. Die Opferschicht 141 wird aus Au, Cr, Ni, Cu oder
dgl. gebildet. Die Dicke der ersten Opferschicht 141 wird
auf 10 nm bis 10 μm eingestellt.
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18(b) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für eine Metallschicht zeigt. Die erste Metallschicht 121 wird
auf der ersten Opferschicht 141 auf die Dicke T1 aufgebracht.
Die zweite Metallschicht 122 wird darauf auf die Dicke
T2 aufgebracht. Die dritte Metallschicht 123 wird darauf
auf eine Dicke nicht kleiner als T3 aufgebracht, so dass die Dicke
des elektrogeformten Produkts die Dicke T0 des Hemmungsrads mit
Ritzel 100 überschreiten kann.
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18(c) ist ein Diagramm, das einen Schleif-/Polierprozess
darstellt. Durch Schleifen werden die dritte Metallschicht 123 und
die Fotoresists 603K, 603L so abgetragen, dass
das Hemmungsrad mit Ritzel 100 die Dicke T0 annehmen kann,
wodurch die Ebenheit erreicht wird. Ferner wird Polieren ausgeführt,
um die Oberfläche der dritten Metallschicht 123 zu
einer Spiegeloberfläche fein zu bearbeiten.
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18(d) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für eine Opferschicht zeigt. Die zweite Metallschicht 122 wird
auf der dritten Metallschicht 123 aufgebracht. Die zweite
Opferschicht 142 wird aus Au, Cr, Ni, Cu oder dgl. gebildet.
Die Dicke der zweiten Opferschicht 142 wird auf 10 nm bis
10 μm eingestellt.
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18(e) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen des Substrats/der Elektrode zeigt. Das Substrat 601 und
die Elektrode 602 werden durch Ätzen oder dgl.
entfernt.
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18(f) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen des Resist zeigt. Die Fotoresists 603K, 603L werden
durch Ätzen, physische Kraft oder dgl. entfernt.
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18(g) ist ein Diagramm, das den Prozess
des Ausbildens einer Senkung zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die Ätzen
der zweiten Metallschicht 122, aber kein Ätzen
der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 sowie
der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 bewirkt. Ätzen
erfolgt nur auf der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 auf
die Tiefe W1 auszubilden. In dem Fall, in dem z. B. Ni auf der ersten
und dritten Metallschicht 121, 123, wobei Cu auf der
zweiten Metallschicht 122 aufgetragen ist, und in dem Cr
auf der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 aufgetragen
ist, ist es möglich, nur das Cu durch Verwenden einer Ammoniumpersulfatlösung
als Ätzflüssigkeit zu ätzen.
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Die 18(h) und 18(j) sind
Diagramme, die einen Trommelpolierprozess zeigen. Das elektrogeformte
Produkt wird mit einer Trommel poliert, um die gekrümmten
Oberflächen 161C, 163C zu bilden. Der Radius
der gekrümmten Oberflächen 161C, 163C kann
entsprechend der Trommelpolierbedingung eingestellt werden. Wie
in 17 gezeigt wird im Fall einer Konfiguration ohne
gekrümmte Oberflächen an den Kreuzungsabschnitten
zwischen den Außenumfangsflächen der ersten und
dritten Metallschicht 121, 123 und den Oberflächen,
die nicht mit der zweiten Metallschicht 122 in Kontakt
stehen, wird der Radius der gekrümmten Oberflächen 161C, 163C so eingestellt,
dass er nicht größer ist als die Dicke der ersten
und zweiten Opferschicht 141, 142. Wie in 18(j) dargestellt ist, werden in Abhängigkeit
von der Trommelpolierbedingung die Kreuzungsabschnitte zwischen
den Innenumfangsflächen der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 und
den nicht in Kontakt mit der zweiten Metallschicht 122 stehenden
Oberflächen poliert, um dadurch gekrümmte Oberflächen 161D, 163D zu
bilden. Die Krümmungen R11c, R13c, die Krümmung
R11d der gekrümmten Oberfläche 161D und
die Krümmung R13d der gekrümmten Oberfläche 163D brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben.
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Die 18(i) und 18(k) sind
Diagramme, die einen Prozess zum Entfernen der Opferschicht zeigen.
Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die Ätzen der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 bewirkt,
aber nicht der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 sowie
der zweiten Metallschicht 122. Ätzen erfolgt nur
an der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142,
um die Opferschichten zu entfernen. In dem Fall, in dem z. B. Ni
auf der ersten und dritten Metallschicht 121, 123,
Cu auf der zweiten Metallschicht 122 und Cr auf der ersten
und zweiten Opferschicht 141, 142 aufgetragen
ist, ist es möglich, nur das Cr zu ätzen, indem
Kaliumferricyanidlösung als Ätzflüssigkeit
verwendet wird.
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Der
in den 18(b) bis 18(d) dargestellte Prozess
kann auch durch den in den 19(a) und 19(b) gezeigten Prozess ausgeführt
werden.
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19(a) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für eine Metallschicht zeigt. Die erste Metallschicht 121 wird
auf der ersten Opferschicht 141 auf die Dicke T1 aufgebracht.
Die zweite Metallschicht 122 wird darauf auf die Dicke
T2 aufgebracht. Die dritte Metallschicht 123 wird darauf
auf die Dicke T3 aufgebracht. Die Gesamtsumme der Dicke der erste
Opferschicht und der Dicke T1, der Dicke T2 und der Dicke T3 ist
kleiner als die Dicke der Fotoresists 603K, 603L.
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19(b) ist ein Diagramm, das einen Elektroformungsprozess
für eine Opferschicht zeigt. Die zweite Metallschicht 122 wird
auf der dritten Metallschicht 123 aufgebracht.
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Der
in den 18(g) bis 18(j) dargestellte Prozess
kann auch durch den in den 20(a) und 20(b) gezeigten Prozess ausgeführt
werden.
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20(a) ist ein Diagramm, das einen Nassätzprozess
zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die Ätzen der ersten und dritten Metallschicht 121 und 123 bewirkt,
die zweite Metallschicht 122 und die erste und zweite Opferschicht 141, 142 jedoch
nicht ätzt. Ätzen erfolgt nur auf der ersten und
dritten Metallschicht 121 und 123, um dadurch
die gekrümmten Oberflächen 161C, 161D, 163C und 163D zu
bilden. In dem Fall, in dem z. B. Ni auf der ersten und dritten
Metallschicht 121, 123, Cr auf der zweiten Metallschicht
und Cu auf der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 aufgetragen
ist, ist es möglich, nur Ni zu ätzen, indem eine
nickelselektive Ätzflüssigkeit-NC (hergestellt
von Nippon Chemical Industry Kabushiki Kaisha) als Ätzflüssigkeit
verwendet wird.
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20(b) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen der Opferschicht zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die Ätzen
der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142,
jedoch nicht der ersten und dritten Metallschicht 121, 123 sowie
der zweiten Metallschicht 122 bewirkt. Ätzen erfolgt
nur an der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142,
um die Opferschichten zu entfernen.
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Der
in den 18(d) bis 18(j) dargestellte Prozess
kann auch durch den in den 21(a) und 21(e) gezeigten Prozess ausgeführt
werden.
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21(a) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen des Resist zeigt. Die Fotoresists 603K, 603L werden
durch Ätzen, physische Kraft oder dgl. entfernt.
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21(b) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Ausbilden einer Senkung zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die Ätzen
der zweiten Metallschicht 122 bewirkt, aber die erste und
dritte Metallschicht 121, 123 sowie die erste
und zweite Opferschicht 141, 142 nicht ätzt. Ätzen
erfolgt nur an der zweiten Metallschicht 122, um die Senkung 150 auf
die Tiefe W1 zu bilden.
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21(c) ist ein Diagramm, das einen Nassätzprozess
zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die Ätzen der ersten und dritten Metallschicht 121 und 123 bewirkt,
aber die zweite Metallschicht 122 sowie die erste und zweite
Opferschicht 141, 142 nicht ätzt. Ätzen
erfolgt nur an der ersten und dritten Metallschicht 121 und 123,
um dadurch die gekrümmten Oberflächen 161C, 161D, 163C und 163D zu
bilden.
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21(d) ist ein Diagramm, das einen Trennprozess
eines elektrogeformten Produkts zeigt. Das Substrat 601 und
die Elektrode 602 werden durch Ätzen, physische
Kraft oder dgl. entfernt.
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21(e) ist ein Diagramm, das einen Prozess
zum Entfernen der Opferschicht zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt
wird in eine Ätzflüssigkeit getaucht, die Ätzen
an der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 bewirkt,
aber die erste und dritte Metallschicht 121, 123 sowie
die zweite Metallschicht 122 nicht ätzt. Ätzen
erfolgt nur an der ersten und zweiten Opferschicht 141, 142 um
die Opferschichten zu entfernen.
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Durch
Verwenden der in 22 dargestellten Konfiguration,
kann eine weitere Verbesserung hinsichtlich der Verschleißfestigkeit
erzielt werden. Das in 22 dargestellte Hemmungsrad
mit Ritzel 100 hat die gekrümmten Oberflächen 161A, 161C, 163A und 163C.
Die Krümmungen R11a, R11c, R13a und R13c brauchen nicht
den gleichen Krümmungsradius zu haben. Aufgrund der in 14 dargestellten
Konfiguration stoßen durch die Bildung der gekrümmten
Oberflächen 161A, 163A wie in 22(b) gezeigt keine Kanten aneinander,
selbst wenn der Hemmungsradzahn 101 und die Palette 210 im
geneigten Zustand in Kontakt miteinander gehalten werden, und es
wird ein einwandfreies Schmierverhalten bereitgestellt, so dass
die Reibungskraft verringert und eine Verbesserung der Verschleißfestigkeit
erzielt wird. Durch die Bildung der gekrümmten Oberflächen 161A, 161C, 163A und 163C wird
ferner der Hertzsche Kontaktdruck während des Gleitens verringert,
so dass eine Verbesserung der Verschleißfestigkeit erzielt
wird.
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Ferner
werden aufgrund der in 17 dargestellten Konfiguration
die gekrümmten Oberflächen 161C, 163C so
ausgebildet, dass sie sich von der Senkung 150 zur Gleitfläche
erstrecken, so dass das Schmieröl 410 von der
Senkung 150 auf einfache Weise zum Gleitabschnitt geliefert
wird. Somit wird eine Verbesserung hinsichtlich des Schmierverhaltens
und der Verschleißfestigkeit erzielt.
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In
dem Fall, in dem die gekrümmten Oberflächen 161A und 161C sowie 163A und 163C miteinander
verbunden sind und in dem die gesamte Außenumfangsfläche
des Hemmungsrads mit Ritzel 100 eine gekrümmte
Oberfläche ist, gleitet sie auf der Palette 210 in
Punktkontakt mit dieser, so dass eine Verbesserung hinsichtlich
des Schmierverhaltens und der Verschleißfestigkeit erzielt
wird.
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Ein
Verfahren zum Herstellen des Hemmungsrads mit Ritzel 100 mit
der in 22 dargestellten Struktur wird
anhand von 23 nachstehend beschrieben.
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Die 23(a) und 23(b) sind
Diagramme, die einen Trommelpolierprozess zeigen. Nach dem Prozess
von 10(c) wird das elektrogeformte
Produkt mit einer Trommel poliert, um die gekrümmten Oberflächen 161A, 161C, 163A und 163C zu
bilden. Der Radius der gekrümmten Oberflächen 161A, 161C, 163A und 163C kann
entsprechend der Trommelpolierbedingung eingestellt werden. Wie
in 23(b) gezeigt werden die gekrümmten
Oberflächen 161B, 161D, 163B und 163D in
Abhängigkeit von der Trommelpolierbedingung gebildet. Die
Krümmungen R11a, R11b, R11c, R11d, R13a, R13b, R13c und
R13d brauchen nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben.
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Der
in 23(b) dargestellte Prozess kann auch
durch den folgenden Prozess ausgeführt werden.
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24(a) ist ein Diagramm, das einen Nassätzprozess
zeigt. Ein elektrogeformtes Produkt wird in eine Ätzflüssigkeit
getaucht, die Ätzen der ersten und dritten Metallschicht 121 und 123,
aber nicht der zweiten Metallschicht 122 bewirkt. Es werden
nur die erste und dritte Metallschicht 121 und 123 geätzt,
um dadurch die gekrümmten Oberflächen 161A, 161B, 161C, 161D, 163A, 163B, 163C und 163D zu
bilden.
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In
dem Fall, in dem das Hemmungsrad mit Ritzel 100 die gekrümmten
Oberflächen 161B, 161D, 163B und 163D hat,
ist es möglich, die Spannung zu verringern, wenn ein Schaft
in die axiale Bohrung 102 getrieben wird, wodurch ein Bruch
vermieden wird.
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Zweite Ausführungsform
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25 ist
eine vergrößerte Teilschnittansicht eines Hemmungsrads
mit Ritzel 700 mit einer Struktur gemäß der
vorliegenden Erfindung. Das Hemmungsrad mit Ritzel 700 hat
eine Mehrschichtstruktur, bei der n Schichten (n ist eine ganze
Zahl von 4 oder darüber) in Dickenrichtung gestapelt sind;
es besteht z. B. aus ersten, dritten, ... Metallschichten 711, 713,
..., die aus dem gleichen Material wie die erste und dritte Metallschicht 121, 123 der
ersten Ausführungsform und mit einer größeren
Außenabmessung gebildet sind, und aus zweiten, vierten,
... Metallschichten 712, 714, ..., die z. B. aus
dem gleichen Material wie die zweite Metallschicht 122 und mit
einer kleineren Außenabmessung gebildet sind.
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Bei
der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform wird die
Wirkung der ersten Ausführungsform weiter verstärkt.
Nachstehend wird ein Fall beschrieben, in dem n eine ungerade Zahl
ist und in dem die oberste und unterste Schicht Metallschichten
mit einer größeren Außenabmessung sind.
In diesem Fall sind die oberste und unterste Schicht Metallschichten,
die nicht geätzt werden, so dass selbst dann, wenn Ätzen
der Metallschichten erfolgt, um die Außenabmessung zur
Bildung einer Senkung zu verringern, sich die Dicke T0 des Hemmungsrads
mit Ritzel 700 vorteilhafterweise nicht ändert.
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Hier
sei angenommen, dass n = 2m + 1 (m ist eine ganze Zahl von 2 oder
darüber). Die Gleitkomponente 700 hat (m + 1)
erste, dritte, ... Metallschichten mit größerer
Außenabmessung und m zweite, vierte, ... Metallschichten
mit kleinerer Außenabmessung, wobei diese Metallschichten
abwechselnd in Dickenrichtung gestapelt sind.
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Beim
Hemmungsrad mit Ritzel 700 ist die Außenabmessung
der zweiten, vierten, ... Metallschichten 712, 714,
... kleiner als die Außenabmessung der ersten, dritten,
... Metallschichten 711, 713, .... Die Außenumfangsflächen
der zweiten, vierten, ... Metallschichten 712, 714,
... sind gegenüber der Außenumfangsfläche
des Hemmungsrads mit Ritzel 700 zurückversetzt
(Außenumfangsflächen der ersten, dritten, ...
Metallschichten 711, 713, ...). Bei dieser Ausführungsform
hat somit das Hemmungsrad mit Ritzel 700 in Dickenrichtung
verteilt m Senkungen 750, die in der Dickenrichtung des
Hemmungsrads mit Ritzel 700 nicht offen sind, zumindest
in einem Teil des Gleitabschnitts über den gesamten Umfang der
Außenumfangsfläche des Hemmungsrads mit Ritzel 700.
Die Senkungen 750 dienen zum Halten des Schmieröls.
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26 ist
eine Schnittansicht, die den Gleitprozess zwischen einem Hemmungsradzahn 701 des
Hemmungsrads mit Ritzel 700 und einer Palette 210 der
Palettengabel 200 zeigt, wenn m = 3. Wie aus den 26(a) und 26(d) ersichtlich
ist, gibt es eine Mehrzahl Stellen, an die das Schmieröl 410 geliefert
wird, wenn der Hemmungsradzahn 701 und die Palette 210 miteinander
in geradem Zustand in Kontakt stehen, so dass mehr Schmieröl 410 zugeführt wird
als bei der ersten Ausführungsform, wobei das Schmieröl
gleichmäßig zugeführt wird.
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Wie
die 26(b), 26(e), 26(c) und 26(f) zeigen,
ist in dem Fall, in dem der Hemmungsradzahn 701 und die
Palette 210 im geneigten Zustand miteinander in Kontakt
stehen, der Abstand D1 vom Kontaktpunkt zwischen dem Hemmungsradzahn 701 und der
Palette 210 zur nächstliegenden Senkung 750 kleiner,
wenn eine Mehrzahl Senkungen 750 über einen weiten
Bereich verteilt ist, als der Abstand D1 vom Kontaktpunkt zwischen
dem Hemmungsradzahn 101 und der Palette 210 zur
Senkung 150 in dem in den 7(b), 7(e), 7(c) und 7(f) dargestellten Beispiel, so dass das
Schmieröl 410 zuverlässig geliefert werden
kann.
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Wenn
ferner die Palette 210 Oberflächenunregelmäßigkeiten
hat wie in 27 dargestellt, weil nur eine
Senkung 150 wie im Fall von 27(a) vorgesehen
ist, besteht die Gefahr, dass das Schmieröl 410 nicht
ordnungsgemäß zugeführt wird. Wenn dagegen
eine Mehrzahl Senkungen 750 in Dickenrichtung verteilt
ist, wie in 27(b) dargestellt ist,
kann das Schmieröl 410 zuverlässig zugeführt
werden.
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Wenn
ferner wie in 28 dargestellt gekrümmte
Oberflächen 761A, 769A an den Kreuzungsabschnitten
zwischen den Außenumfangsflächen der Metallschichten 711, 799 des
Hemmungsrads mit Ritzel 700 und den nicht in Kontakt mit
den Schichten 712, 716 stehenden Oberflächen
vorgesehen sind, ist die resultierende Verschleißfestigkeit
der im Fall der 26(b), 26(e), 26(c) und 26(f) überlegen.
Die Krümmung R71a der gekrümmten Oberfläche 761A und
die Krümmung R79a der gekrümmten Oberfläche 769A brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben. Wie aus den 26(b), 26(e), 26(c) und 26(f) ersichtlich
ist, besteht dann, wenn der Hemmungsradzahn 701 und die
Palette 210 miteinander in Kontakt stehen, während
sie geneigt sind, die Gefahr des Anstoßens der Kanten und damit
der Zunahme der Reibungskraft. Wenn dagegen die Konfiguration gemäß 28 verwendet
wird, stoßen selbst dann, wenn der Hemmungsradzahn 701 und
die Palette 210 miteinander in Kontakt gehalten werden,
während sie geneigt sind, wegen der gekrümmten
Oberflächen 761A, 763A keine Kanten aneinander,
wie in 28(b) dargestellt ist, so dass ein
einwandfreies Schmierverhalten und eine Verbesserung hinsichtlich
der Verschleißfestigkeit erzielt werden.
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In
dem Fall, in dem wie in 29 gezeigt
gekrümmte Oberflächen 761C, 769C an
den Kreuzungsabschnitten zwischen den Außenumfangsflächen
der Metallschichten 711, 799 des Hemmungsrads
mit Ritzel 700 und den in Kontakt mit den Schichten 712, 716 stehenden
Oberflächen vorgesehen sind, und in dem gekrümmte
Oberflächen 763C, 765C an den Kreuzungsabschnitten
zwischen den Außenumfangsflächen der Metallschichten 713, 715 und
der mit der oberen und unteren Metallschicht in Kontakt stehenden
Oberfläche vorgesehen ist, ist die Verschleißfestigkeit
der im Fall der 26 und 27(b) überlegen.
Die Krümmung R71c der gekrümmten Oberfläche 761C,
die Krümmung R73c der gekrümmten Oberfläche 763C,
die Krümmung der gekrümmten Oberfläche
R75c und die Krümmung R79c der gekrümmten Oberfläche 769C brauchen
nicht den gleichen Krümmungsradius zu haben. Da der Abschnitt,
der sich von der Senkung 750 zur Gleitfläche erstreckt,
eine gekrümmte Oberfläche ist, kann das Schmieröl 410 in
einfacher Weise von der Senkung 750 zum Gleitabschnitt
geliefert werden, wie in 29 dargestellt
ist, und das Schmierverhalten wird verbessert, wodurch eine Verbesserung
der Verschleißfestigkeit erzielt wird.
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Wenn
ferner wie in 30 dargestellt gekrümmte
Oberflächen 761A, 761C, 763C, 765C, 769C, 769A und 769C vorgesehen
sind, wird die Verschleißfestigkeit weiter verbessert.
Die Krümmungen R71a, R71c, R73c, R75c, R79a und R79c brauchen nicht
den gleichen Krümmungsradius zu haben. Wie in 30(b) dargestellt, stoßen selbst
dann, wenn der Hemmungsradzahn 701 und die Palette 210 in Kontakt
miteinander gehalten werden, während sie geneigt sind,
keine Kanten aneinander, und es wird ein einwandfreies Schmierverhalten
bereitgestellt, so dass die Reibungskraft verringert und die Verschleißfestigkeit
verbessert wird. Da ferner keine Kante beteiligt ist, wird der Hertzsche
Kontaktdruck während des Gleitens verringert, wodurch eine
Verbesserung hinsichtlich der Verschleißfestigkeit erzielt
wird. Ferner ist der Abschnitt, der sich von der Senkung 750 zur
Gleitfläche erstreckt, eine gekrümmte Oberfläche,
so dass das Schmieröl 410 in einfacher Weise von
der Senkung 750 zum Gleitabschnitt geliefert werden kann,
wie in 30 dargestellt ist, wodurch eine
Verbesserung des Schmierverhaltens und der Verschleißfestigkeit
erzielt wird. In dem Fall, in dem die gesamte Außenumfangsfläche
des Hemmungsrads mit Ritzel 700 eine gekrümmte
Oberfläche ist, gleitet sie in Punktkontakt auf der Palette 210,
so dass eine Verbesserung hinsichtlich des Schmierverhaltens und
der Verschleißfestigkeit erzielt wird.
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Da
ferner das Hemmungsrad mit Ritzel 700 eine Mehrzahl Senkungen 750 zum
Halten des Schmieröls hat, ist die Menge des gehaltenen Schmieröls 410 groß.
Damit kann das Wartungsintervall gegenüber der ersten Ausführungsform
verlängert werden.
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Die
Dicke T0 des Hemmungsrads mit Ritzel 700 ist gleich der
Dicke T0 der ersten Ausführungsform. Die Dicken T1 bis
T2m + 1 der Metallschichten sind gleich den Dicken T1, T3 der ersten
Ausführungsform. Die Dicken T1 bis T2m + 1 brauchen nicht den
gleichen Wert zu haben. Die Dicken T2 bis T2m sind gleich der Dicke
T2 der ersten Ausführungsform. Die Dicken T2 bis T2m brauchen
nicht den gleichen Wert zu haben. Die Tiefe W1 der Senkung 750 ist gleich
der Tiefe W1 der ersten Ausführungsform.
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Das
Verfahren zur Herstellung des Hemmungsrads mit Ritzel 700 ist
das gleiche wie bei der ersten Ausführungsform. Allerdings
wird der in den 8(d) bis 9(f), 12, 18(b) und 19(a) dargestellte
Elektroformungsprozess bis zum Stapeln der n-ten Schicht wiederholt.
Dabei ist die Dicke gemessen bis zur (n – 1).ten Schicht
kleiner als die Dicke T0.
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Obwohl
bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ein Hemmungsrad
mit Ritzel als Beispiel für die Gleitkomponente dient,
sollte dies nicht einschränkend ausgelegt werden; die vorliegende Erfindung
ist auch auf Zeitmessgerätkomponenten wie ein mittleres,
drittes und zweites Rad mit Ritzel, ein Schaltrad, ein Federhaus,
ein Click, und ein Kronenrad eines mechanischen Zeitmessgeräts
anwendbar.
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Die
vorliegende Erfindung ist ferner nicht nur auf Komponenten eines
Zeitmessgeräts, sondern auch auf Gleitkomponenten wie ein
Zahnrad einer Ausfahr-/Einfahrvorrichtung eines Endoskops und ein
Zahnrad einer Antriebsvorrichtung eines Spielzeugfahrzeugs anwendbar.
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INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Gleitkomponente
mit einer Schmierölhaltungsstruktur und hervorragender
Verschleißfestigkeit sowie ein Zeitmessgerät bereitzustellen,
dessen Wartungsintervall durch Verwenden dieser Gleitkomponente
als eine Zeitmessgerätkomponente verlängert wird.
Ferner ist es gemäß dem Herstellungsverfahren
der vorliegenden Erfindung möglich, eine Gleitkomponente
mit einer Schmierölhaltungsstruktur und hervorragender
Verschleißfestigkeit auf einfache Weise herzustellen.
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Bezugszeichenliste
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- 100,
700
- Hemmungsrad
mit Ritzel
- 101,
701
- Hemmungsradzahn
- 102
- axiale
Bohrung
- 121,
711
- erste
Metallschicht (erste gegenüberliegende Schicht)
- 122,
712
- zweite
Metallschicht
- 123,
713
- dritte
Metallschicht (zweite gegenüberliegende Schicht)
- 150,
750
- Senkung
- 210
- Palette
- 410
- Schmieröl
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Zusammenfassung
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Die
vorliegende Erfindung zielt auf die Bereitstellung einer Gleitkomponente
mit hoher Verschleißfestigkeit ab, die eine Schmierölhaltungsstruktur
und Struktur aufweist, die dazu beiträgt, Schmieröl
ungeachtet des Kontaktwinkels zwischen dieser und der Passkomponente
zuzuführen. Es wird eine Präzisionskomponente
eines Mechanismus bereitgestellt, die mindestens drei aufeinander
gestapelte Schichten hat, dadurch gekennzeichnet, dass ein zur Stapelrichtung
im Wesentlichen paralleler Abschnitt einen Gleitabschnitt hat, der
mit einer anderen Komponente in Kontakt kommt, und dass mindestens
ein Teil des Gleitabschnitts eine Senkung aufweist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2006-64575
A [0002]
- - JP 2007-506073 [0002]