DE112007001812T5 - Verfahren und Vorrichtungen zur in-situ-Analyse von Gasen in Elektronikvorrichtungsfabrikationssystemen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtungen zur in-situ-Analyse von Gasen in Elektronikvorrichtungsfabrikationssystemen Download PDF

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Abstract

Die beanspruchte Erfindung ist:
Verfahren zum Testen eines Probengases, umfassend:
Einstellen eines Druckniveaus eines Probengases; und
Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases.

Description

  • Die vorliegende Erfindung beansprucht die Priorität der US Provisional Patentanmeldung Seriennummer 60/820,958, eingereicht am 31. Juli 2006, mit dem Titel „Methods and apparatus for insitu analysis of gases in electronic device fabrication system" (Anwalts-Docket Nr. 10330/L), die hierdurch hier enthalten ist durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit für alle Zwecke.
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf Elektronikvorrichtungsfabrikationsverfahren und -systeme, und befasst sich spezieller mit einer in-situ-Spektrografieanalyse von Gasen in derartigen Systemen.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Elektronikvorrichtungsfabrikationsverfahren und -systeme beinhalten typischerweise die Verwendung verschiedener Prozessgase und die Erzeugung einer Anzahl von Nebenprodukten. Um die Prozesse besser zu verstehen und die Prozesse genauer zu überwachen, kann eine Probe der Prozessgase genommen werden. Jedoch kann eine derartige Probe nur eine begrenzte Information über einen Gesamtprozess widerspiegeln. Daher werden Verfahren und Vorrichtungen benötigt, die eine vollständigere und detailliertere Information über Prozessgase liefern.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • In einigen Aspekten der Erfindung wird ein Verfahren bereitgestellt, das umfasst Einstellen eines Druckniveaus eines Probengases; und Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases.
  • In anderen Aspekten der Erfindung wird eine Vorrichtung zum Testen eines Probengases bereitgestellt, die umfasst eine Kammer, die angepasst ist, um ein zu testendes Gas zu enthalten; ein Anschlussteil, das an die Kammer gekoppelt ist und angepasst ist, um ein Probengas an die Kammer zu liefern; und eine Steuerungseinheit, die angepasst ist, um ein Druckniveau des Probengases in der Kammer einzustellen.
  • In noch anderen Aspekten der Erfindung wird ein System zum Testen eines Probengases bereitgestellt, das umfasst ein Verarbeitungswerkzeug mit einer Mehrzahl von isolierbaren Räumen, die zu testende Gase enthalten; eine Kammer, die angepasst ist, um ein zu testendes Probengas zu enthalten; ein Anschlussteil zum selektiven Koppeln der Kammer an die Mehrzahl von Räumen; und eine Steuerungseinheit, die angepasst ist, um ein Druckniveau des Probengases in der Kammer einzustellen.
  • Andere Merkmale und Aspekte der vorliegenden Erfindung werden deutlicher aus der folgenden detaillierten Beschreibung beispielhafter Ausführungsformen, den angehängten Ansprüchen und den beigefügten Zeichnungen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein schematisches Blockdiagramm, das eine Beispielausführungsform gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 2 ist ein Ablaufdiagramm, dass eine Beispielverfahrensausführungsform darstellt, die mit der Beispielvorrichtung der 1 assoziiert ist, gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung.
  • 3 ist ein schematisches Blockdiagramm, das eine zweite Beispielausführungsform gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 4A und 4B sind zusammen ein Ablaufdiagramm, das eine Beispielverfahrensausführungsform darstellt, die mit der Beispielvorrichtung der 3 assoziiert ist, gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung.
  • 5 ist ein schematisches Blockdiagramm, das eine dritte Beispielausführungsform gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 6A und 6B sind zusammen ein Ablaufdiagramm, das eine Beispielverfahrensausführungsform darstellt, die mit der Beispielvorrichtung der 5 assoziiert ist, gemäß einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Die vorliegende Erfindung stellt Systeme und Verfahren zum Ausführen einer Analyse (z. B. Infrarot(IR)-Spektroskopie) von Gasen bereit, die in Elektronikvorrichtungsfabrikationsverfahren und -systemen verwendet oder erzeugt werden. Die Verfahren und Vorrichtungen der vorliegenden Erfindung vereinfachen die Analyse von Gasproben, die von mehreren Stellen innerhalb eines Elektronikvorrichtungsfabrikationssystems genommen werden. Ferner stellt die vorliegende Erfindung Verfahren des Integrierens von einer oder mehreren Gaszusammensetzungsmessvorrichtungen in ein Elektronikvorrichtungsfabrikationssystem bereit. Zum Beispiel kann gemäß einiger Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ein IR-Spektrophotometer an einer Anzahl von Kammern und Load-Locks eines Elektronikvorrichtungsfabrikationssystems über ein Niedrigdruckübergangsstück gekoppelt werden, das betriebsfähig ist, um den Fluss verschiedener Gasproben an eine Probenzelle des IR-Spektrophotometers getrennt zu leiten. Weil eine IR-Spektroskopie nur bei höheren Drücken genau sein kann (z. B. > 100 Torr) und die Prozessgase bei niedrigeren Drücken (z. B. < 100 Torr) innerhalb der Probenstellen vorliegen können, stellt die vorliegende Erfindung weiter bereit Verfahren und Vorrichtungen zum unter Druck setzen der Probengase auf innerhalb eines geeigneten Bereiches und in einer gesteuerten Weise derart, dass die Zusammensetzung und Konzentrationen der Bestandteile der Probengase genau bestimmt werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung kann nützlich sein für eine Anzahl verschiedener Zwecke. Während der Herstellung einer Elektronikvorrichtung (z. B. einer Halbleitervorrichtung), werden verschiedene Prozesse ausgeführt, die Räume kontaminieren können (z. B. Prozesskammern, Transferkammern, Load-Locks, Fabrik-Interface, Reinraum, etc.), in denen eine Verarbeitung ausgeführt wird oder durch die hergestellte Artikel geführt werden. Zum Beispiel können Abscheidungsspezien, Abscheidungsnebenprodukte, Ätzmittel, Prozessgase, etc, die Räume kontaminieren. Demgemäß kann die vorliegende Erfindung in einigen Ausführungsformen eingesetzt werden, um ein Kontaminationsniveau innerhalb eines Raumes zu bestimmen. Ferner kann, falls ein Prozess nicht wie erwartet arbeitet, die vorliegende Erfindung eingesetzt werden, um Bestimmen zu helfen, was tatsächlich während des Prozesses passierte, derart, dass der Prozess korrigiert oder verbessert werden kann. Zusätzlich können viele Abfallvermeidungsprozesse (z. B. Verfahren zum Verarbeiten oder Neutralisieren toxischer Nebenprodukte) verbessert oder optimiert werden mit einer genaueren Information im Hinblick auf die Zusammensetzung der Abfallgase. So kann die vorliegende Erfindung eingesetzt werden, um die Zusammensetzung der Abfallgase zu bestimmen, um Vermeidungsprozesse zu verbessern. Die vorliegende Erfindung kann viele andere Anwendungen als die oben aufgelisteten Beispiele besitzen.
  • Es wird auf 1 Bezug genommen, eine schematische Ansicht eines Systems 100, das zum Analysieren eines Probengases (z. B. Abgas) von einem Raum (z. B. Prozesskammer, Load-Lock, Transferkammer, etc) gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, ist dargestellt. In einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann das Probengas analysiert werden, um ein Kontaminationsniveau innerhalb des Raums zu bestimmen. Das System 100 kann umfassen ein Anschlussteil 102 (z. B. ein Niedrigdruckübergangsstück, das eine Mehrzahl von normalerweise geschlossenen Ventilen und ein Ein-Weg-Prüfventil umfasst), das betriebsfähig ist, um selektiv, strömungstechnisch eine Probenzelle innerhalb einer Messvorrichtung 104 (z. B. ein IR-Spektrophotometer) an verschiedene Räume zu koppeln, wie beispielsweise eine oder mehrere Prozesskammern 106, ein oder mehrere Load-Locks 108, eine oder mehrere Transferkammern 110 (nur eine gezeigt), oder dergleichen. Jeder der Räume kann einen assoziierten Anschluss (z. B. ein Ventil) 112 bis 122 als Teil des Anschlussteils 102 umfassen. In einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann das Anschlussteil 102 selektiv, strömungstechnisch mit einer beliebigen Anzahl von Räumen gekoppelt sein. Das System 100 kann auch umfassen eine Versorgung 124 (z. B. inertes Referenzgas, wie N2) und einen Reiniger 126 in Fluidkommunikation mit der Probenzelle der Messvorrichtung 104. Das System 100 kann auch umfassen eine Drucküberwachungsvorrichtung 128 (z. B. ein Transducer), eine Vakuumquelle 130, eine Spülversorgung 132 und eine einstellbare Öffnung 134 (z. B. ein variables Flussventil), das betreibbar mit einem Auslass der Probenzelle der Messvorrichtung 104 gekoppelt ist.
  • Die verschiedenen Komponenten können jeweils betriebsfähig (z. B. elektrisch) an eine Steuerungseinheit 136 gekoppelt sein und unter deren Steuerung betrieben werden. Obwohl diese Kopplungen aus Klarheitsgründen nicht abgebildet sind, sind die Verbindungen zwischen der Steuerung 136 und der Drucküberwachungsvorrichtung 128 und der Steuerung und der einstellbaren Öffnung 134 gezeigt. Wie unten detaillierter erklärt werden wird, ist die Druck überwachungsvorrichtung 128 betreibbar, um eine Gasdruckinformation (z. B. ein Feedback) innerhalb der Probenzelle der Messvorrichtung 104 an die Steuerungseinheit 136 zu liefern. Die Steuerungseinheit ist betreibbar, um die einstellbare Öffnung 134 einzustellen, um den Druck innerhalb der Probenzelle der Messvorrichtung 104 zu regeln.
  • Nun zu 2, ein Beispielverfahren 200 der vorliegenden Erfindung ist abgebildet. In Schritt 202 kann die Probenzelle der Messvorrichtung 104 durch selektives Koppeln (z. B. Öffnen eines Ventils) der Vakuumquelle 130 an die Probenzelle der Messvorrichtung 104 evakuiert werden. In einigen Ausführungsformen kann die Probenzelle der Messvorrichtung 104 mit inertem Gas (z. B. N2) vor dem Evakuierungsschritt gespült werden. In anderen Worten, die Probenzelle der Messvorrichtung 104 kann durch selektives Koppeln (z. B. Öffnen eines Ventils) der Spülversorgung 132 mit der Probenzelle der Messvorrichtung 104 vor dem Evakuierungsschritt 202 gespült werden. In Schritt 204 kann die Steuerungseinheit einen Raum 106, 108, 110 auswählen, aus dem eine Gasprobe entnommen werden soll. In Schritt 206 kann das Anschlussteil 102 betrieben werden, um zu verursachen, dass das ausgewählt Gas zu der Probenzelle der Messvorrichtung 104 fließt. Das ausgewählte Probengas kann aus eigenem Antrieb bei einem niedrigen Druck (z. B. < 100 Torr) fließen und/oder das ausgewählte Probengas kann durch die Vakuumquelle 130 gesaugt werden. Sobald die Probenzelle mit dem ausgewählten Probengas bei dem niedrigen Druckniveau, das durch die Drucküberwachungsvorrichtung 128 angezeigt ist, gefüllt ist, kann die Probenzelle im Schritt 208 durch Abschließen der Einlass- und Auslassventile der Probenzelle isoliert werden. In Schritt 210 kann die Zusammensetzung und der Druck des Gases in der Probenzelle gemessen und aufgezeichnet werden.
  • In Schritt 212 wird unter Druck stehendes inertes Referenzgas von der Versorgung 124 zur Probenzelle gegeben, um den Druck in der Probenzelle auf einen Bereich anzuheben, der für eine genaue Messung der Gaszusammensetzung geeignet ist, zum Beispiel unter Verwenden eines IR-Spektrophotometers. Die variable Öffnung 134, unter der Steuerung der Steuerungseinheit 136, wird verwendet, um den Druck innerhalb der Probenzelle zu regeln. Sobald der erwünschte Druckbereich (z. B. > 100 Torr) erreicht ist, wie der Steuerungseinheit 136 durch den Druckmonitor 128 angezeigt wird, wird im Schritt 214 die Probenzelle wieder isoliert (z. B. die Einlass- und Auslassventile werden geschlossen). In Schritt 216 werden die Zusammensetzung und der Druck der Kombination des Probengases und des Referenzgases in der Probenzelle gemessen. In Schritt 218 wird die aktuelle Zusammensetzung des Probengases berechnet, basierend auf den gemessenen Werten, die in den Schritten 210 und 216 bestimmt worden sind (z. B. die Zusammensetzung des Probengases allein wird bestimmt durch Ausgleichen des zugegebenen Referenzgases). In Schritt 220 bestimmt die Steuerungseinheit 136, ob es zusätzliche Probengase zu analysieren gibt. Falls ja, wandert die Steuerung zurück zu Schritt 202, bei dem das Verfahren 200 für die verbleibenden Probengase wiederholt wird. Falls Probengas von jedem der Räume 106, 108, 110 analysiert worden ist, endet das Verfahren 200 nach dem Schritt 220.
  • Nun zu 3, 4A und 4B, eine alternative Ausführungsform eines Systems 300 und eines Verfahrens 400 gemäß einiger Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist abgebildet. In dem System 300 der 3 wird eine Boosterpumpe 302, die zwischen dem Anschlussteil 102 und der Probenzelle der Messvorrichtung 104 gekoppelt ist, verwendet, um das ausgewählte Probengas unter Druck zu setzen (z. B. an Stelle der Versorgung des unter Druck stehenden inerten Referenzgases, die im System 100 verwendet wird, das in 1 abgebildet ist). Wie mit der Ausführungsform der 1 wird die variable Öffnung 134 unter der Steuerung der Steuerungseinheit 136 verwendet, um den Druck innerhalb der Probenzelle zu regeln. Sobald der erwünschte Druckbereich (z. B. > 100 Torr) erreicht ist, wie der Steuerungseinheit 136 durch den Druckmonitor 128 angezeigt wird, wird die Probenzelle isoliert (z. B. die Einlass- und Auslassventile werden geschlossen). So wird in dem Verfahren 400 und System 300 der 4 beziehungsweise 3 ein Feedback vom Druckmonitor 128 verwendet, um die variable Öffnung 134 zu steuern.
  • Im Schritt 402 des Beispielverfahrens 400 wird eine Probenzelle (z. B. eine Probenkammer des Spektrophotometers 104) evakuiert. In Schritt 404 wählt eine Steuerungseinheit 136 (oder ein Nutzer) einen nächsten Raum aus, dessen Gas zu testen ist. In Schritt 406 wird ein Übergangsstück (z. B. ein Anschlussteil 102 (3)) verwendet, um das Probengas vom ausgewählten Raum durch die Boosterpumpe 302 zur Probenzelle fließen zu lassen. Eine variable Öffnung 134 wird verwendet, um niedrigen Druck beizubehalten (z. B. ein Druck bezogen auf oder gleich dem Druck im zu testenden Raum). In Schritt 408 werden die Zusammensetzung und der Druck des Probengases in der Probenzelle gemessen. In Schritt 410 wird, basierend auf dem Feedback von einem Druckmonitor, die variable Öffnung eingestellt (während die Boosterpumpe fortdauernd bei einer festen Geschwindigkeit arbeitet), um den Probengasdruck in der Probenkammer einzustellen (z. B. zu erhöhen). Im Schritt 412 wird der Druck in der Probenkammer überwacht. In Schritt 414 wird eine Bestimmung durchgeführt, ob der Druck ein Niveau erreicht hat, das für die genaue Bestimmung der Probengaszusammensetzung geeignet ist. Falls nicht, geht der Ablauf weiter zurück zu Schritt 410. Falls dies geschehen ist, wird in Schritt 416 die Probenzelle isoliert (z. B. der Einlass und der Auslass (z. B. die variable Öffnung) werden geschlossen) und die Boosterpumpe wird heruntergefahren. In Schritt 418 werden die Zusammensetzung und der Druck des Probengases wieder in der Probenzelle gemessen. In Schritt 420 wird eine Bestimmung durchgeführt, ob es zusätzliche Räume mit zu analysierendem Gas gibt. Falls ja, geht der Ablauf zurück zu Schritt 402. Andernfalls endet das Verfahren 400.
  • Nun zu 5, 6A und 6B, eine alternative Ausführungsform eines Systems 500 und eines Verfahrens 600 gemäß einiger Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist abgebildet. Im System 500 der 5 wird eine einstellbare Boosterpumpe 502, die zwischen dem Anschlussteil 102 und der Probenzelle der Messvorrichtung 104 gekoppelt ist, verwendet, um das ausgewählte Probengas unter Druck zu setzen (z. B. an Stelle der Versorgung des unter Druck stehenden inerten Referenzgases im System 100, das in 1 dargestellt ist, oder der Boosterpumpe 302 und der variablen Öffnung 134 des Systems 300, das in 3 dargestellt ist). Die einstellbare Boosterpumpe 502, unter der Steuerung der Steuerungseinheit 136, wird verwendet, um den erwünschten Druck innerhalb der Probenzelle zu regulieren. Sobald der erwünschte Druckbereich (z. B. > 100 Torr) erreicht ist, wie der Steuerungseinheit 136 durch den Druckmonitor 128 an angezeigt wird, wird die Probenzelle isoliert (z. B. die Einlass- und Auslassventile werden geschlossen). So wird in dem Verfahren 600 und dem System 500 der 6A und 6B beziehungsweise 5 ein Feedback von dem Druckmonitor 128 verwendet, um die einstellbare Boosterpumpe 502 zu steuern.
  • Im Schritt 602 des Beispielverfahrens 600 wird eine Probenzelle (z. B. eine Probenkammer des Spektrophotometers 104) evakuiert. Im Schritt 604 wählt eine Steuerungseinheit 136 (oder ein Nutzer) einen nächsten Raum aus, dessen Gas zu testen ist. In Schritt 606 wird ein Übergangsstück (z. B. ein Anschlussteil 102 (5)) verwendet, um das Probengas vom ausgewählten Raum durch eine Boosterpumpe 502 mit variabler Geschwindigkeit (z. B. einstellbar) zur Probenzelle fließen zu lassen. Eine Boosterpumpe 502 mit variabler Geschwindigkeit (z. B. einstellbar) wird verwendet, um den niedrigen Druck beizubehalten (z. B. einen Druck, der bezogen ist oder gleich ist zum Druck im zu testenden Raum). In Schritt 608 wird die Probenzelle isoliert, beispielsweise durch Schließen der Einlässe und Auslässe. In Schritt 610 wird die Zusammensetzung und der Druck des Probengases in der Probenzelle gemessen. In Schritt 612 wird, basierend auf einem Feedback von einem Druckmonitor 128 beispielsweise, der Betrieb der Boosterpumpe mit variabler Geschwindigkeit eingestellt, um den Probengasdruck in der Probenkammer einzustellen (z. B. zu erhöhen). In Schritt 614 wird der Druck in der Probenkammer überwacht. In Schritt 616 wird eine Bestimmung ausgeführt, ob der Druck ein Niveau erreich hat, das für eine genaue Bestimmung der Probengaszusammensetzung geeignet ist. Falls nicht, geht der Ablauf weiter zurück zu Schritt 612. Falls ja, wird in Schritt 618 die Probenzelle isoliert (z. B. der Einlass und der Auslass werden geschlossen) und die Boosterpumpe wird runter gefahren. Im Schritt 620 werden die Zusammensetzung und der Druck des Probengases wieder in der Probenzelle gemessen. In Schritt 622 wird eine Bestimmung ausgeführt, ob es zusätzliche Räume mit zu analysierendem Gas gibt. Falls ja, kehrt der Ablauf zurück zu 602. Andernfalls endet das Verfahren 600.
  • Die vorstehende Beschreibung offenbart nur bestimmte Ausführungsformen der Erfindung; Modifikationen der oben offenbarten Verfahren und Vorrichtungen, die in den Umfang der Erfindung fallen, werden jenen Fachleuten leicht ersichtlich sein.
  • Demgemäß sollte, während die vorliegende Erfindung in Zusammenhang mit speziellen Ausführungen davon offenbart worden ist, verstanden werden, dass andere Ausführungsformen in den Sinn und den Umfang der Erfindung fallen können, wie definiert durch die folgenden Ansprüche.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Systeme und Verfahren werden offenbart, die umfassen Einstellen eines Druckniveaus eines Probengases in einer Testkammer, zum Beispiel unter Verwenden eines unter Druck stehenden inerten Referenzgases, und Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases. Durch Einstellen des Druckniveaus des Probengases kann die Zusammensetzung des Probengases genauer als sonst möglich bestimmt werden. Zahlreiche andere Aspekte werden offenbart.

Claims (21)

  1. Die beanspruchte Erfindung ist: Verfahren zum Testen eines Probengases, umfassend: Einstellen eines Druckniveaus eines Probengases; und Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Vergrößern des Druckniveaus auf ein Niveau, bei dem die Zusammensetzung des Probengases bestimmt werden kann.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Zugeben eines unter Druck stehenden inerten Gases zu dem Probengas in einer geschlossenen Kammer.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Zugeben eines unter Druck stehenden inerten Gases zu dem Probengas in einer Kammer mit einer variablen Auslassöffnung.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Gasniveaus umfasst Zugeben eines zusätzlichen Probengases zum Probengas in einer Kammer mit einer variablen Auslassöffnung.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Zugeben eines zusätzlichen Probengases zum Probengas in einer geschlossenen Kammer.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Steuern einer variablen Auslassöffnung.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Steuern einer Boosterpumpe und einer variablen Auslassöffnung.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Einstellen des Druckniveaus umfasst Steuern einer variablen Boosterpumpe, die ein zusätzliches Probengas liefert.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases umfasst Messen einer Zusammensetzung des Probengases bevor und nachdem das Druckniveau des Probengases eingestellt wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Bestimmen einer Zusammensetzung des eingestellten Probengases umfasst Berechnen einer Zusammensetzung des Probengases und eines Referenzgases, das zu dem Probengas gegeben ist, um das Druckniveau des Probengases einzustellen.
  12. Vorrichtung zum Testen eines Probengases, umfassend: eine Kammer, die angepasst ist, um ein zu testendes Gas zu enthalten; ein Anschlussteil, das an die Kammer gekoppelt ist und angepasst ist, um ein Probengas an die Kammer zu liefern; und eine Steuerungseinheit, die angepasst ist, um ein Druckniveau des Probengases in der Kammer einzustellen.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Steuerungseinheit eine Versorgung mit einem unter Druck stehenden inerten Gas umfasst.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Steuerungseinheit eine variable Auslassöffnung umfasst.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Steuerungseinheit eine Boosterpumpe umfasst.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Steuerungseinheit eine einstellbare Boosterpumpe umfasst.
  17. Ein System zum Testen eines Probengases, umfassend: ein Verarbeitungswerkzeug mit einer Mehrzahl von isolierbaren Räumen, die zu testende Gase enthalten; eine Kammer, die angepasst ist, um ein zu testendes Probengas zu enthalten; ein Anschlussteil zum selektiven Koppeln der Kammer an die Mehrzahl von Räumen; und eine Steuerungseinheit, die angepasst ist, um ein Druckniveaus des Probengases in der Kammer einzustellen.
  18. System nach Anspruch 17, wobei die Steuerungseinheit eine Versorgung mit einem unter Druck stehenden inerten Gas umfasst.
  19. System nach Anspruch 17, wobei die Steuerungseinheit eine variable Auslassöffnung umfasst.
  20. System nach Anspruch 17, wobei die Steuerungseinheit eine Boosterpumpe umfasst.
  21. System nach Anspruch 17, wobei die Steuerungseinheit eine einstellbare Boosterpumpe umfasst.
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