JPH09178656A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス濃度の測定レンジにかかわらず測定セル
長を変更することなく、また、測定環境条件の急激な経
時的変化があった場合でも、ガス濃度の計測を高精度に
なし得る赤外線ガス分析計を提供する。 【解決手段】 光源１から発した赤外光は、相関フィル
タ３のセル２ａ、２ｂを交互に通過して測定セル３に照
射され、検出器４で検出される。演算制御手段５は、検
出器４での検出値に応じ、前記調圧手段３ａ、３ｂを介
して前記測定セル内を所定圧力に変更すると共に、前記
所定圧力下で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出
する。これにより、測定セル３内のガス濃度が通常の測
定レンジを逸脱した場合であっても、測定セル３の長さ
を変更することなく、高精度なガス濃度計測をなしう
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、化学工場や製鉄所
のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラーや
燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排ガ
ス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効果
を利用してガス及び蒸気中にある特定成分の濃度を連続
的に測定する赤外線ガス分析計に関する。

【０００２】

【従来技術】従来の赤外線ガス分析計では、試料ガスが
連続的に流された測定セルに赤外光を照射し、測定対象
となるガス固有の吸収波長帯の赤外光を検出すること
で、その吸収波長帯にある赤外光の吸収量に相応する値
を求め、予め求めた検量線から測定対象となるガス濃度
の計測がなされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
赤外光が吸収量に相応する赤外光の検出値ｙと実際のガ
ス濃度との関係を示す検量線は、図８に示されるよう
に、

【数１】 ε（λ）：波長λの赤外光の吸収波長帯を有するガス特
有の係数 ρ：ガス濃度 Ｌ：測定セル長 なる関係があり、測定セル内のガス濃度が増大するにつ
れて検量線の傾きが減少しガス濃度の検出精度が劣化す
るため、従来の赤外線ガス分析計では、測定セル内のガ
ス濃度が通常の測定レンジから外れる場合は、その度合
いに応じて測定セル長Ｌを適宜変更する必要があった。

【０００４】また、測定環境条件の急激な経時的変化が
ある場合には、検量線をその都度変更しなければ成ら
ず、全体の測定時間が遅延することもあった。

【０００５】そこで、本発明は、ガス濃度の測定レンジ
にかかわらず測定セル長を変更することなく、また、測
定環境条件の急激な経時的変化があった場合でも、ガス
濃度の計測を高精度になし得る赤外線ガス分析計の提供
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、試料ガスが連
続的に流れる測定セルを透過した赤外光を検出すること
で、特定ガスの分析を行う赤外線ガス分析計であって、
前記測定セル内を加圧または減圧する調圧手段と、前記
測定セルを通過した赤外光の前記特定ガスに固有の吸収
波長帯の強度情報を検出する検出器と、前記検出器の検
出値に応じ、前記調圧手段を介して前記測定セル内を所
定圧力に変更すると共に、前記所定圧力下で予め求めた
検量線を用いてガス濃度を算出する演算制御手段と、を
備えたことを特徴とする。

【０００７】前記調圧手段は、前記測定セルのガス導入
路或いはガス排出路の少なくとも一方に配設されたガス
流量制御弁であることを特徴とする。

【０００８】前記演算制御手段は、前記検出器の検出値
が所定値を超えると、前記調圧手段を介して前記測定セ
ル内を所定圧力に減圧すると共に、減圧した所定圧力下
で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出する。一
方、前記検出器の検出値が所定値より下がると、前記調
圧手段を用いて前記測定セル内を所定圧力に加圧すると
共に、加圧した所定圧力下で予め求めた検量線を用いて
ガス濃度を算出する。

【０００９】また、本発明は、試料ガスが連続的に流れ
る測定セルを透過した赤外光を検出することで、特定ガ
ス成分の分析を行う赤外線ガス分析計であって、前記測
定セル内を加温または冷却する温調手段と、前記測定セ
ルを通過した赤外光の前記特定ガスに固有の吸収波長帯
の強度情報を検出する検出器と、前記検出器の検出値に
応じ、前記温調手段を介して前記測定セル内を所定温度
に変更すると共に、前記所定温度下で予め求めた検量線
を用いてガス濃度を算出する演算制御手段と、を備えた
ことを特徴とする。

【００１０】前記演算制御手段は、前記検出器の検出値
が所定値を超えると、前記温調手段を介して前記測定セ
ル内を所定温度に加温すると共に、加温した所定温度下
で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出する。一
方、前記検出器の検出値が所定値より下がると、前記温
調手段を用いて前記測定セル内を所定温度に冷却すると
共に、冷却した所定温度下で予め求めた検量線を用いて
ガス濃度を算出することを特徴とする。

【００１１】本発明は、試料ガスが連続的に流れる測定
セルを透過した赤外光を検出することで、特定ガス成分
の分析を行う赤外線ガス分析計であって、前記測定セル
内を加圧または減圧する調圧手段と、前記測定セル内を
加温または冷却する温調手段と、前記測定セルを通過し
た赤外光の前記特定ガスに固有の吸収波長帯の強度情報
を検出する検出器と、前記調圧手段を介して前記測定セ
ル内の圧力を所定圧力に保持すると共に、前記温調手段
を介して前記測定セル内の温度を所定温度に保持し、か
かる所定圧力及び所定温度下で予め求めた検量線を用い
てガス濃度を算出する演算制御手段と、を備えたことを
特徴とする。

【００１２】さらに、本発明は、試料ガスが連続的に流
れる測定セルを透過した赤外光を検出することで、特定
ガス成分の分析を行う赤外線ガス分析計であって、前記
測定セル内を加圧または減圧する調圧手段と、前記測定
セル内を加温または冷却する温調手段と、前記測定セル
を通過した赤外光の前記特定ガスに固有の吸収波長帯の
強度情報を検出する検出器と、前記調圧手段を介して前
記測定セル内の圧力を所定圧力に保持すると共に、前記
検出器の検出値が所定値を超えると、前記温調手段を介
して前記測定セル内を所定温度に加温し、前記所定圧力
及び加温した所定温度下で予め求めた検量線を用いてガ
ス濃度を算出する一方、前記検出器の検出値が所定値よ
り下がると、前記調温手段を介して前記測定セル内を所
定温度に冷却すると共に、前記所定圧力及び冷却した所
定温度下で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出す
る演算制御手段を備えたことを特徴とする。

【００１３】また、前記温調手段を介して前記測定セル
内の温度を所定温度に保持し、前記検出器の検出値が所
定値を超えると、前記調圧手段を介して前記測定セル内
を所定圧力に減圧し、前記所定温度及び減圧した所定圧
力下で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出する一
方、前記検出器の検出値が所定値より下がると、前記調
圧手段を介して前記測定セル内を所定圧力に加圧すると
共に、前記所定温度及び加圧した所定圧力下で予め求め
た検量線を用いてガス濃度を算出するようかかる演算制
御手段は、構成してもよい。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図７に基づいて説明する。

【００１５】図１は本発明の一実施例である赤外線ガス
分析計の全体概略図で、光源１から発せられた赤外光
は、不図示のモータ等によって回転駆動される相関フィ
ルタ２を介して、測定セル３に照射される。

【００１６】相関フィルタ２には、測定対象となるガス
を封入した測定対象ガスセル２ａと、いわゆるＮ2 等の
ゼロガスを封入したゼロガスセル２ｂが配設されてお
り、赤外光はこれらのセルを交互に通過して測定セル３
に照射され、検出器４に至る。

【００１７】検出器４では、測定対象ガスセル２ａを透
過し、測定セル３内のガス濃度に関係なく測定対象ガス
の吸収波長帯が完全に吸収された赤外光と、ゼロガスセ
ル２ｂを透過し、測定セル３内のガス濃度に応じて測定
対象ガスの吸収波長帯が吸収された赤外光の強度情報が
それぞれ検出されるため、演算制御手段５において、両
者の比が算出され、予め求めた検量線より、測定対象ガ
スの濃度が計測される。

【００１８】測定セル３のガス導入路３ｍ及びガス排出
路３ｎには、それぞれ、ガス流量調整弁等により構成さ
れる第１調圧器３ａと第２調圧器３ｂとが配設されてお
り、第１調圧器３ａにより測定セル３に導入される試料
ガスを制限することで測定セル３内を減圧でき、また、
第２調圧器３ｂにより測定セル３から排出される試料ガ
スを制限することで測定セル３内を加圧することが可能
となる。また、測定セル３内の圧力は適宜圧力センサ３
ｃによって検出され、演算制御手段５に出力される。

【００１９】演算制御手段５は、予め作成された検量線
を用いて検出器４の検出データから測定対象ガスの濃度
を求めると共に、第１調圧器３ａ及び第２調圧器３ｂを
介して測定セル３内の圧力制御を行う。

【００２０】次に、本実施例の作用を図２の演算制御手
段５の動作を示すフローチャートに基づいて説明する。
まず、ガス濃度計測のための諸々の初期条件を設定する
（Ｓ１）。例えば、一般的な分析条件に加え、本実施例
では、図３に示す検量線のうち基準圧力Ｐ＝Ｐ0 時に作
成した検量線ｂを指定する。

【００２１】ここで、検量線は、一般に上述したように
数式１で示されるため、測定セル３内の温度が一定と仮
定した場合、測定セル３内が基準圧力Ｐ＝Ｐ0 の時に求
めた検量線ｂに対して、測定セル３内が圧力Ｐ＝２・Ｐ
0 の時には検量線ａとなり、測定セル３内が圧力Ｐ＝Ｐ
0 ／２の時には検量線ｃとなる。これは、以下に示す気
体の状態方程式 Ｐ・Ｖ＝ｋ・ρ・Ｒ・Ｔ ｋ：比例常数，ρ：ガス濃度，Ｒ：ガス常数，Ｖ：測定
セル３の体積 の関係を用いれば、測定セル３内が基準圧力Ｐ＝Ｐ0 の
ときの濃度をρ＝ρ0とすれば、測定セル３内が圧力Ｐ
＝２・Ｐ0 のとき、ρ＝２・ρ0 ，測定セル３内が圧力
Ｐ＝Ｐ0 ／２のとき、ρ＝ρ0 ／２となり、基準圧力Ｐ
＝Ｐ0 時に得られた検量線ｂに対して、圧力Ｐ＝２・Ｐ
0 時には、検量線ａとなり、圧力Ｐ＝Ｐ0 ／２時には、
検量線ｃとなることが理解できる。

【００２２】また、演算制御手段５は、初期条件の設定
として、測定セル３内の設定圧力を基準圧力Ｐ＝Ｐ0 と
することで、第１調圧器３ａと第２調圧器３ｂを介し
て、測定セル３内を基準圧力Ｐ＝Ｐ0 に保持する。

【００２３】初期条件の設定が終了すると、上述したよ
うに、測定対象ガスセル２ａ及びゼロガスセル２ｂを介
して測定セル３を通過した赤外光の検出データの比を求
め、これを検出された赤外線強度ｙとして現在の設定圧
力に対応した検量線に基づいてガス濃度を計測する（Ｓ
２）。

【００２４】次に、計測したガス濃度が、図３の濃度領
域Ａ〜Ｃのいずれの領域にあるかを判断し、領域Ａにあ
る場合はＳ４へ、領域Ｂにある場合はＳ６へ、さらに領
域Ｃにある場合はＳ８へそれぞれ移行する（Ｓ３）。

【００２５】計測されたガス濃度が濃度領域Ａにある場
合、測定セル３内の設定圧力をＰ＝２・Ｐ0 とし、第２
調圧器３ｂのガス流量を制限することで測定セル３内の
ガス圧が２・Ｐ0 となるよう制御する（Ｓ４）。そし
て、次の濃度計測に用いる検量線として検量線ａを選択
する（Ｓ５）。ここで、計測されたガス濃度が濃度領域
Ａにある場合、検量線ａの傾きが急峻な部分を用いるこ
とができるため、ガス濃度が低下した場合であっても、
高精度な濃度計測が可能となる。

【００２６】一方、計測されたガス濃度が濃度領域Ｂに
ある場合、測定セル３内の設定圧力をＰ＝Ｐ0 とし、第
１調圧器３ａまたは第２調圧器３ｂのガス流量を制限す
ることで測定セル３内のガス圧がＰ0 となるよう制御す
る（Ｓ６）。そして、次の濃度計測に用いる検量線ｂを
選択する（Ｓ７）。ここで、計測されたガス濃度が濃度
領域Ｂにある場合、検量線ａの傾きが急激に減少するた
め、３つの検量線ａ〜ｃの中で検量線ｂが領域Ｂの全体
に渡って傾きが急峻となり、かかる検量線ｂを用いるこ
とで高精度な濃度計測が可能となる。

【００２７】さらに、計測されたガス濃度が濃度領域Ｃ
にある場合、測定セル３内の設定圧力をＰ＝Ｐ0 ／２と
し、第１調圧器３ａのガス流量を制限することで測定セ
ル３内のガス圧がＰ0 ／２となるよう制御する（Ｓ
８）。そして、次の濃度計測に用いる検量線ｃを選択す
る（Ｓ９）。ここで、計測されたガス濃度が濃度領域Ｃ
にある場合、検量線ａに加えて検量線ｂの傾きが急激に
減少するため、３つの検量線ａ〜ｃの中で検量線ｃが領
域Ｃの全体に渡って傾きが急峻となり、検量線ｃを用い
ることでガス濃度が増大した場合であっても高精度な濃
度計測が可能となる。

【００２８】そして、これらのＳ１〜Ｓ９の動作をガス
濃度計測中繰り返し行うことで、測定セル３内のガス濃
度が変化した場合であっても、測定セル３の長さを変更
することなく、高精度なガス濃度計測をなしうる。

【００２９】なお、上述した実施例では、ガス導入管３
ｍに第１調圧器３ａを、ガス排出管３ｎに第２調圧器３
ｂを配設したが、ガス濃度が通常の使用状態よりも経時
的に増大する場合のみが考えられる場合、第１調圧器３
ａのみを配設して測定セル３内を減圧すればよく、逆に
ガス濃度が経時的に通常の使用状態よりも減少する場合
のみが考えられる場合、第２調圧器３ｂのみを配設して
測定セル３内を加圧すればよい。

【００３０】次に、本発明の他の実施例である赤外線分
析計の全体概略図を図４に示す。ここで、基本的な構成
及び測定原理は、図１に示した赤外線ガス分析計と同様
であるが、本実施例では、測定セル３内の圧力制御を行
う代わりに温度制御を行う点で相違する。

【００３１】すなわち、測定セル３には、内部の加温ま
たは冷却を行う温調器３ｄが配設されており、測定セル
３内の温度は温度センサ３ｅによって検出され、演算制
御手段５’に出力され、所定の温度制御がなされる。

【００３２】かかる構成の赤外線分析計の作用を演算制
御手段５’の動作を示す図５のフローチャートに基づい
て説明する。まず、図１に示した実施例の場合と同様
に、ガス濃度計測のための諸々の初期条件を設定する
（Ｓ１１）。例えば、一般的な分析条件に加え、本実施
例では、図６に示す検量線のうち基準温度Ｔ＝Ｔ0 時に
作成した検量線ｂ’を指定する。

【００３３】ここで、ガス濃度計測に用いる検量線は、
上述した数式１の関係があるため、測定セル３内の圧力
が一定と仮定した場合、基準温度Ｔ＝Ｔ0 の時に求めた
検量線ｂ’に対して、測定セル３内が温度Ｔ＝Ｔ0 ／２
では検量線ａ’となり、測定セル３内が温度Ｔ＝２・Ｔ
0 では検量線ｃ’となる。

【００３４】また、演算制御手段５’は、初期条件の設
定として、測定セル３内の設定温度を基準温度Ｔ＝Ｔ0
とすることで、温調器３ｄを適宜制御し、測定セル３内
を基準温度Ｔ＝Ｔ0 に保持する。

【００３５】初期条件の設定が終了すると、上述したよ
うに、測定対象ガスセル２ａ及びゼロガスセル２ｂを介
して測定セル３を通過した赤外光の検出データの比を求
め、これを検出された赤外線強度ｙとして現在の設定温
度に対応した検量線に基づいてガス濃度を計測する（Ｓ
１２）。

【００３６】次に、計測したガス濃度が、図６の濃度領
域Ａ’〜Ｃ’のいずれの領域にあるかを判断し、領域
Ａ’にある場合はＳ１４へ、領域Ｂ’にある場合はＳ１
６へ、さらに領域Ｃ’にある場合はＳ１８へそれぞれ移
行する（Ｓ１３）。

【００３７】計測されたガス濃度が濃度領域Ａ’にある
場合、測定セル３内の設定温度をＴ＝Ｔ0 ／２とし、温
調器３ｄを介して測定セル３内のガス圧がＴ0 ／２とな
るよう制御する（Ｓ１４）。そして、次の濃度計測に用
いる検量線ａ’を選択する（Ｓ１５）。ここで、計測さ
れたガス濃度が濃度領域Ａ’にある場合、検量線ａ’の
傾きが急峻な部分を用いることができるため、ガス濃度
が低下した場合であっても、検量線ａ’を用いることで
高精度な濃度計測が可能となる。

【００３８】一方、計測されたガス濃度が濃度領域Ｂ’
にある場合、測定セル３内の設定温度をＴ＝Ｔ0 とし、
温調器３ｄを介して測定セル３内の温度がＴ0 となるよ
う制御する（Ｓ１６）。そして、次の濃度計測に用いる
検量線ｂ’を選択する（Ｓ１７）。ここで、計測された
ガス濃度が濃度領域Ｂにある場合、検量線ａ’の傾きが
急激に減少するため、３つの検量線ａ’〜ｃ’の中で検
量線ｂ’が領域Ｂ’の全体に渡って傾きが急峻となり、
検量線ｂ’を用いることで高精度な濃度計測が可能とな
る。

【００３９】さらに、計測されたガス濃度が濃度領域
Ｃ’にある場合、測定セル３内の設定温度をＴ＝２・Ｔ
0 とし、第１調圧器３ａのガス流量を制限することで測
定セル３内のガス圧が２・Ｔ0 となるよう制御する（Ｓ
１８）。そして、次の濃度計測に用いる検量線ｃ’を選
択する（Ｓ１９）。ここで、計測されたガス濃度が濃度
領域Ｃ’にある場合、検量線ａ’に加えて検量線ｂ’の
傾きが急激に減少するため、３つの検量線ａ’〜ｃ’の
中で検量線ｃ’が領域Ｃ’の全体に渡って傾きが急峻と
なり、検量線ｃ’を用いることで最も傾きが急峻な部分
を用いることができるため、高精度な濃度計測が可能と
なる。

【００４０】そして、これらの動作をガス濃度計測中繰
り返すことにより、測定セル３内のガス濃度が変化した
場合であっても、測定セル３の長さを変更することな
く、高精度なガス濃度計測をなしうる。

【００４１】なお、上述した実施例では、温調部３ｄと
して加温及び冷却機能を有するものを採用した、ガス濃
度が経時的に通常の使用状態よりも増大することのみが
考えられる場合、温調部３ｄとして加温のみ行うヒータ
を採用すればよく、逆にガス濃度が経時的に通常の使用
状態よりも減少する場合のみが考えられる場合、調温部
３ｄとして冷却のみを行う冷却器を採用すればよい。

【００４２】次に、本発明の他の実施例である赤外線分
析計の全体概略図を図７に示す。ここで、基本的な構成
及び測定原理は、図１及び図４に示した赤外線ガス分析
計と同様であるが、本実施例では、測定セル３内を圧力
調整する第１調圧器３ａ、第２調圧器３ｂ、及び温度検
出を行う圧力センサ３ｃに加え、測定セル３内を温度調
整を行う温調器３ｄ及び温度検出を行う温度センサ３ｅ
を備えたことを特徴とする。

【００４３】かかる構成の赤外線ガス分析計において、
演算制御手段５”は、図２に示すフローチャートに基づ
いてガス濃度計測を行うと共に、温度センサ３ｅからの
信号に基づき温調器３ｄを適宜制御することで図３で示
される検量線ａ〜ｃを作成した時の温度に測定セル３内
を保持する。

【００４４】また、かかる構成の赤外線ガス分析計にお
いて、図５に示すフローチャートに基づいてガス濃度計
測を行うと共に、圧力センサ３ｃからの信号に基づき第
１調圧部３ａ及び第２調圧部３ｂを適宜制御することで
測定セル３内を図６で示される検量線ａ’〜ｃ’を作成
した時の圧力に保持するよう演算制御手段５”を構成し
てもよい。

【００４５】さらに、被測定ガスの濃度がそれほど変化
しない場合は、演算制御手段５”は、一つの検量線を用
いてガス濃度の算出を行うと共に、測定セル３内を検量
線を作成したときの温度及び圧力に保持するよう演算制
御手段５”を構成してもよい。 上述した実施例では、
相関フィルタ２を用い、測定対象ガスセル２ａとゼロガ
スセル２ｂを介して赤外光を測定セル３内に照射するこ
とで、経時的に変化による測定誤差の修正を行うよう構
成したが、温調器３ｄと調圧器３ａ，３ｂを用いて検量
作成時の温度及び圧力に保持する場合は、測定セル３内
の経時的変化がなくなるため、特に相関フィルタ２を用
いなくても高精度な濃度計測が可能となる。

【００４６】また、上述した実施例では、図３又は図６
に示されるように、それぞれ３本の検量線を用いた例を
示したが、２本或いは４本以上の検量線を用いてもよい
ことはいうまでもない。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、測定対象ガス濃度の計
測値に応じて、測定セル内の温度又は圧力を制御し、測
定セル内のガス濃度を制御すると共に、その温度又は圧
力下で作成した検量線を用いて濃度計測を行うよう構成
したため、ガス濃度が通常の測定レンジを超えて変化し
た場合であっても、測定セル長を変更することなく、高
精度なガス濃度の計測をなしうる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる赤外線ガス分析計の一実施例を
示す図である。

【図２】本発明にかかる赤外線ガス分析計の一実施例の
作用を示す図である。

【図３】測定セル内の圧力に応じた検量線を示す図であ
る。

【図４】本発明にかかる赤外線ガス分析計の他の実施例
を示す図である。

【図５】本発明にかかる赤外線ガス分析計の他の実施例
の作用を示す図である。

【図６】測定セル内の圧力に応じた検量線を示す図であ
る。

【図７】本発明にかかる赤外線ガス分析計の他の実施例
を示す図である。

【図８】赤外線ガス分析計で濃度計測に用いる検量線の
例を示す図である。

【符号の説明】

１・・・・光源 ２・・・・相関フィルタ ３・・・・測定セル ３ａ・・・第１調圧器 ３ｂ・・・第２調圧器 ３ｍ・・・ガス導入管 ３ｎ・・・ガス排出管 ４・・・・検出器 ５・・・・演算制御手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料ガスが連続的に流れる測定セルを透
   過した赤外光を検出することで、特定ガスの分析を行う
   赤外線ガス分析計において、 前記測定セル内を加圧または減圧する調圧手段と、 前記測定セルを通過した赤外光の前記特定ガスに固有の
   吸収波長帯の強度情報を検出する検出器と、 前記検出器の検出値に応じ、前記調圧手段を介して前記
   測定セル内を所定圧力に変更すると共に、前記所定圧力
   下で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出する演算
   制御手段と、 を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。
2. 【請求項２】 試料ガスが連続的に流れる測定セルを透
   過した赤外光を検出することで、特定ガス成分の分析を
   行う赤外線ガス分析計において、 前記測定セル内を加温または冷却する温調手段と、 前記測定セルを通過した赤外光の前記特定ガスに固有の
   吸収波長帯の強度情報を検出する検出器と、 前記検出器の検出値に応じ、前記温調手段を介して前記
   測定セル内を所定温度に変更すると共に、前記所定温度
   下で予め求めた検量線を用いてガス濃度を算出する演算
   制御手段と、 を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。
3. 【請求項３】 試料ガスが連続的に流れる測定セルを透
   過した赤外光を検出することで、特定ガス成分の分析を
   行う赤外線ガス分析計において、 前記測定セル内を加圧または減圧する調圧手段と、 前記測定セル内を加温または冷却する温調手段と、 前記測定セルを通過した赤外光の前記特定ガスに固有の
   吸収波長帯の強度情報を検出する検出器と、 前記調圧手段を介して前記測定セル内を所定圧力に保持
   すると共に、前記温調手段を用いて前記測定セル内を所
   定温度に保持し、かかる所定圧力及び所定温度下で予め
   求めた検量線を用いてガス濃度を算出する演算制御手段
   と、 を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。