DE112006003066T5 - Prüfvorrichtung und Prüfverfahren - Google Patents

Prüfvorrichtung und Prüfverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE112006003066T5
DE112006003066T5 DE112006003066T DE112006003066T DE112006003066T5 DE 112006003066 T5 DE112006003066 T5 DE 112006003066T5 DE 112006003066 T DE112006003066 T DE 112006003066T DE 112006003066 T DE112006003066 T DE 112006003066T DE 112006003066 T5 DE112006003066 T5 DE 112006003066T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
circuit
fluctuation
test
source voltage
tested
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112006003066T
Other languages
English (en)
Inventor
Masakatsu Suda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE112006003066T5 publication Critical patent/DE112006003066T5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31924—Voltage or current aspects, e.g. driver, receiver
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/3183—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche Prüfvorrichtung aufweist:
eine Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster in eine geprüfte Vorrichtung eingibt;
eine Beurteilungsschaltung, die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals durchführt;
eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung liefert;
eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung, die, um eine Schwankung einer an die geprüfte Vorrichtung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der geprüften Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuzuschreiben ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms innerhalb eines Strombereichs ist, der eingestellt und bei
einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist; und eine Einstellschaltung, die einen Schwankungsbetrag der sich ergebenden Quellenspannung erfasst, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung und ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung und ein Prüfverfahren zum Kompensieren einer Schwankung einer zu einer geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenleistung. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auch auf die folgende Anmeldung, deren Inhalt hier einbezogen wird, sofern dies anwendbar ist.
  • Japanische Patentanmeldung Nr. 2005-313335 , eingereicht am 27. Oktober 2005.
  • STAND DER TECHNIK
  • Bei der Prüfung einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung wird die Quellenleistung zum Betreiben der geprüften Vorrichtung geliefert. Beispielsweise liefert eine Leistungszuführungsvorrichtung, die in einer Prüfvorrichtung enthalten ist, eine Quellenleistung über eine Leistungszuführungsverdrahtung zu einer geprüften Vorrichtung.
  • Jedoch schwankt in einer geprüften Vorrichtung wie einer CMOS-Schaltung der Verbrauchsstrom gemäß der Schwankung eines Betriebsverhältnisses eines in der geprüften Vorrichtung enthaltenen Elements. Die Größe des Spannungsabfalls der zu der Schaltung der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung schwankt gemäß der Schwankung des Verbrauchsstroms, die der Impedanz der die Leistungszuführungsvorrichtung und die geprüfte Vorrichtung verbindenden Leistungszuführungsverdrahtung, der Impedanz der Leistungszuführungsverdrahtung innerhalb der geprüften Vorrichtung oder der Ausgangsimpedanz der Leistungszuführungsvorrichtung zuschreibbar ist.
  • Wenn eine derartige Schwankung der Quellenspannung auftritt, kann die geprüfte Vorrichtung nicht genau geprüft werden. Um einem derartigen Problem zu begegnen, haben herkömmliche Prüfvorrichtungen die Schwankung der Quellenspannung erfasst und sie zu einer Leistungszuführungsvorrichtung zurückgeführt, wodurch eine Quellenspannung zum Kompensieren der Schwankung erzeugt wurde. Gegenwärtig haben wir noch kein relevantes Dokument oder dergleichen erkannt, und daher wird die Beschreibung von diesem weggelassen.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Jedoch führt die erwähnte Prüfvorrichtung die Schwankung der Quellenspannung zurück zu einer Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenspannung erzeugt, und kann somit keine Kompensation durchführen, die der Schwankung der Quellenspannung rasch folgt, aufgrund der Größe der Zeitkonstanten der Widerstandskomponente, der Kapazitätskomponente oder dergleichen der Leistungszuführungsverdrahtung, des Rückführungspfads und dergleichen. Beispielsweise beträgt die Geschwindigkeit der Rückführung bei der vorbeschriebenen Prüfvorrichtung mehrere zehn kHz oder weniger.
  • Im Gegensatz hierzu beträgt die Schwankung der Quellenspannung für eine geprüfte Vorrichtung, die gemäß einem Prüfmuster schwankt, einige zehn MHz oder darüber, und daher kann die erwähnte Prüfvorrichtung der Schwankung der Quellenspannung, die in einer derartig schnellen Weise schwankt, nicht folgen.
  • Angesichts des Vorstehenden ist es ein Aspekt der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung und ein Prüfverfahren vorzusehen, die die vorbeschriebenen Probleme überwinden können. Die obige und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der Erfindung.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Um die vorgenannten Nachteile zu überwinden, ist gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen, welche Prüfvorrichtung enthält: eine Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Beurteilungsschaltung, die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals vornimmt; eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung liefert; eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung, die, um eine Schwankung einer an die geprüfte Vorrichtung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der geprüften Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms innerhalb eines Strombereichs, der eingestellt und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist, erzeugt; und eine Einstellschaltung, de einen Schwankungsbetrag der Quellenspannung erfasst, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Mustererzeugungsschaltung aufeinander folgend mehrere Prüfmuster, die zu einer Zeit der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung einzugeben sind, aufeinander folgend in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung erfasst den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für jedes der Prüfmuster oder für jeden Adressenblock jedes der Prüfmuster und stellt den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des maximalen Werts des erfassten Schwankungsbetrags der Quellenspannung ein.
  • ES ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Mustererzeugungsschaltung ein vorbestimmtes Prüfmuster, das den Schwankungsbetrag der Quellenspannung maximiert, in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung erfasst die Schwankung der Quellenspannung, die sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und stellt den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags ein.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung stellt den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung ein.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster so in die geprüfte Vorrichtung eingibt, dass die Schwankung der Quellenspannung gemessen wird, wenn ein Fehlerverhältnis der geprüften Vorrichtung von der Beurteilungsschaltung so bestimmt wird, dass es höher als ein vorbestimmter Bezugswert ist, nachdem die tatsächliche Prüfung der geprüften Vorrichtung durchgeführt wurde, und die Einstellschaltung stellt den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des Schwankungsbetrags der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, ein.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Mustererzeugungsschaltung wiederholt das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung enthält: eine Laststeuerschaltung, die jedes Mal, wenn die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt, den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung so ändert, dass die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit jedem sich ergebenden Strombereich ist; und eine Messschaltung, die die Schwankung der Quellenspannung für jeden sich ergebenden Strombereich misst, und die Laststeuerschaltung stellt einen Strombereich ein, in welchem der von der Messschaltung gemessene Schwankungsbetrag der Quellenspannung das Minimum wird, zu der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung bei der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Messschaltung eine Quellenspannungs-Wellenform der geprüften Vorrichtung für jedes in die geprüfte Vorrichtung eingegebene Prüfmuster oder jeden Adressenblock von jedem der Prüfmuster misst und den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für jedes Prüfmuster durch Vergleichen des maximalen Werts und des minimalen Werts der Quellenspannung auf der Grundlage von jeder gemessenen Quellenspannungs-Wellenform erfasst.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung enthält: eine erste Verzögerungsschaltung, die ein geliefertes Taktsignal um einen Verzögerungsbetrag verzögert, der um einen vorbestimmten ersten Schwankungsbetrag mit Bezug auf einen Schwankungseinheitsbetrag einer zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung schwankt; eine zweite Verzögerungsschaltung, die ein zugeführtes Taktsignal um einen Verzögerungsbetrag verzögert, der um einen zweiten Schwankungsbetrag, der größer als der erste Schwankungsbetrag ist, mit Bezug auf den Schwankungseinheitsbetrag der zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung schwankt, wobei die zweite Verzögerungsschaltung so vorgesehen ist, dass sie parallel zu der ersten Verzögerungsschaltung ist; eine Lastschaltung, die parallel zu der geprüften Vorrichtung vorgesehen ist und zumindest einen Teil der Leistungszuführungsverdrahtung mit der geprüften Vorrichtung teilt; und eine Phasenerfassungsschaltung, die eine Phasendifferenz zwischen dem von der ersten Verzögerungsschaltung ausgegebenen Taktsignal und dem von der zweiten Verzögerungsschaltung ausgegebenen Taktsignal erfasst und einen von der Lastschaltung verbrauchten Verbrauchsstrombetrag einstellt innerhalb des durch die Einstellschaltung eingestellten Strombereichs und bei der Anzahl von Pegeln auf der Grundlage der Phasendifferenz.
  • Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden, dass die Einstellschaltung eine Messschaltung enthält, die die Quellenspannung misst, wobei die Messschaltung enthält: einen Oszillator, der ein Taktsignal mit einer Frequenz ausgibt, die in Übereinstimmung mit der zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung ist; eine Frequenzmessschaltung, die die Frequenz des Taktsignals misst; und eine Spannungsberechnungsschaltung, die die Quellenspannung auf der Grundlage der von der Frequenzmessschaltung gemessenen Frequenz berechnet.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen, und die geprüfte Vorrichtung enthält eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung, die, um eine Schwankung einer an eine interne Schaltung angelegten Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der internen Schaltung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms ist, innerhalb eines Strombereichs, der eingestellt und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist, welche Prüfvorrichtung enthält: eine Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Beurteilungsschaltung, die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals vornimmt; eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung liefert; eine Einstellschaltung, die einen Schwankungsbetrag der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, erfasst und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  • Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen, welches Prüfverfahren enthält: einen Mustererzeugungsschritt zum Eingeben eines Prüfmusters in die geprüfte Vorrichtung; einen Beurteilungsschritt zum Durchführen einer Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals; einen Leistungszuführungsschritt zum Liefern einer Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung; einen Lastschwankungs-Kompen sationsschritt zum, um eine Schwankung einer an die geprüfte Vorrichtung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der geprüften Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, Erzeugen eines Kompensationsstroms, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms ist, innerhalb eines Strombereichs, der eingestellt und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist; und einen Einstellschritt zum Erfassen eines Schwankungsbetrags der Quellenspannung, die sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und zum Einstellen des Strombereichs in dem Lastschwankungs-Kompensationsschritt auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags.
  • Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen, welche geprüfte Vorrichtung eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung enthält, die, um eine Schwankung einer an eine interne Schaltung angelegten Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der internen Schaltung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms ist, innerhalb eines Strombereichs, der eingestellt und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist, welche Prüfvorrichtung enthält: einen Mustererzeugungsschritt zum Eingeben eines Prüfmusters in die geprüfte Vorrichtung; einen Beurteilungsschritt zum Durchführen einer Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung, auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals; einen Leistungszuführungsschritt zum Liefern einer Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung; und einen Einstellschritt zum Erfassen eines Schwankungsbetrags der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und zum Einstellen des Strombereichs in dem Lastschwankungs-Kompensationsschritt auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags.
  • Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • 2 zeigt ein Beispiel für eine Quellenspannungs-Wellenform einer geprüften Vorrichtung 200.
  • 3A und 3B zeigen ein Beispiel für eine Quellenspannungs-Schwankungskompensation. 3A zeigt eine Quellenspannungs-Schwankungskompensation bei einer herkömmlichen Prüfvorrichtung, während 3B ein Beispiel für eine Quellenspannungs-Schwankungskompensation bei einer in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 4 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 5 ist ein Flussdiagramm, das ein anderes Beispiel für die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 6 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 100.
  • 7 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40.
  • 8 zeigt ein Beispiel für die Beziehung zwischen der Quellenspannung und dem Verzögerungsbetrag in der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2.
  • 9 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40.
  • 10 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise der in der 9 erläuterten Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erläutert.
  • 11 zeigt eine Verzögerungszeit eines von einem Verzögerungselement jeder Stufe in der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals.
  • 12 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Lastvorrichtung 54.
  • 13 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Messschaltung 30.
  • BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung 200 wie einer Halbleiterschaltung und enthält eine Mustererzeugungsschaltung 10, eine Wellenform-Formungsschaltung 12, eine Takterzeugungsschaltung 14, eine Beurteilungsschaltung 16, eine Leistungszuführungsvorrichtung 18, eine Einstellschaltung 20 und eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 200 und gibt das Prüfmuster über die Wellenform-Formungsschaltung 12 in die geprüfte Vorrichtung 200 ein. Beispielsweise erzeugt die Mustererzeugungsschaltung 10 aufeinander folgend mehrere Prüfmuster zu einer Zeit der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 auf der Grundlage eines vorher von einem Benutzer oder dergleichen gegebenen Prüfprogramms. Das Prüfmuster ist ein Muster, das beispielsweise durch digitale Da ten dargestellt ist. Die tatsächliche Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 ist beispielsweise eine Funktionsprüfung zum Prüfen, ob die Funktion der geprüften Vorrichtung 200 normal ist, eine Echtzeitprüfung zum Prüfen der Arbeitsgeschwindigkeit der geprüften Vorrichtung 200 oder dergleichen, durch Vergleichen eines Signals für einen erwarteten Wert mit einem von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Signal, wenn ein vorbestimmtes Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird.
  • Die Wellenform-Formungsschaltung 12 formt ein in die geprüfte Vorrichtung 200 einzugebendes Signal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 10 gegebenen Prüfmusters. Beispielsweise formt die Wellenform-Formungsschaltung 12 ein Signal, das einen Spannungswert anzeigt, der in Übereinstimmung mit den digitalen Daten des Prüfmusters ist, gemäß dem von der Takterzeugungsschaltung 14 gegebenen Zeittakt.
  • Die Beurteilungsschaltung 16 führt eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 durch auf der Grundlage des von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals. Beispielsweise führt die Beurteilungsschaltung 16 eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 durch, indem ein Signal für einen erwarteten Wert, das von der Mustererzeugungsschaltung 10 gegeben wird, mit, mit dem von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignal verglichen wird. Die Beurteilungsschaltung 16 kann den Vergleich gemäß dem von der Takterzeugungsschaltung 14 gegebenen Zeittakt durchführen.
  • Die Leistungszuführungsvorrichtung 18 liefert die Quellenleistung zum Betreiben der geprüften Vorrich tung 200 zu der geprüften Vorrichtung 200. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kompensiert die Schwankung der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung, die aufgrund der Schwankung des Verbrauchsstroms der geprüften Vorrichtung 200 auftritt. Beispielsweise ist die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 als ein Zweig der die Leistungszuführungsvorrichtung 18 und die geprüfte Vorrichtung 200 verbindenden Leistungszuführungsverdrahtung vorgesehen, um den Kompensationsstrom von der Leistungszuführungsverdrahtung hereinzuziehen. D. h., als ein Ergebnis, das die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 den Kompensationsstrom verbraucht, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms der geprüften Vorrichtung 200 ist, wird der durch die Leistungszuführungsverdrahtung übertragene Quellenstrom im Wesentlichen konstant gemacht, wodurch der Spannungsabfall der Quellenspannung in der Leistungszuführungsverdrahtung im Wesentlichen konstant gemacht wird.
  • Gemäß einer derartigen Konfiguration ist es möglich, die Schwankung des Verbrauchsstroms bei der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 zu kompensieren und die Schwankung der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung zu kompensieren. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kann wünschenswerterweise in der Nähe des Quellenleistungs-Eingangsanschlusses der geprüften Vorrichtung 200 als eine Verzweigung von der Leistungszuführungsverdrahtung verbunden sein. Durch Vorsehen der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 in der Nähe der geprüften Vorrichtung 200 wird es möglich, der Schwankung der Quellenspannung rasch zu folgen.
  • Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erzeugt einen Kompensationsstrom bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln, um die Schwankung der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung zu kompensieren. Die Anzahl von Pegeln wird beispielsweise durch die Schaltungskonfiguration der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 bestimmt.
  • Der Schwankungsbetrag der Quellenspannung ist jedoch nicht konstant aufgrund eines eingegebenen Prüfmusters, einer Vorrichtungscharakteristik usw. Aus diesem Grund gibt es in Abhängigkeit von dem Schwankungsbetrag der Quellenspannung einen Fall, in welchem eine hochgenaue Kompensation nicht möglich ist, wenn die Anzahl von Pegeln, die eingestellte Auflösungsleistung oder der variable Bereich des Kompensationsstroms, der von der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erzeugt wird, konstant sind. Demgegenüber enthält die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel eine Einstellschaltung 20, die den Schwankungsbetrag der Quellenspannung erfasst, wenn ein Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und die Auflösungsleistung und den variablen Betrag (Strombereich) für den Kompensationsstrom in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  • Die Einstellschaltung 20 stellt den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Stromkompensation für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ein. Hier kann, da die Anzahl von Pegeln der Stromkompensation für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 konstant ist, die Einstellschaltung 20 sowohl den Strombereich als auch die Auflösungsleistung durch Bestimmen entweder des Strombereichs oder der Auflösungsleistung einstellen. Zusätzlich bestimmt die Einstellschaltung 20 den Strombereich und die Auflösungsleistung auf der Grundlage des maximalen Wertes der Schwankung der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung. Beispielsweise kann durch Bestimmen des Schwankungsbetrags der kompensierten Quellenspannung, wenn der Kompensationsstrom des maximalen Werts in dem Strombereich so erzeugt wird, dass er im Wesentlichen derselbe wie der maximale Wert der Schwankung der Quellenspannung ist, die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40, zu der eine bestimmte Anzahl von Pegeln eingestellt ist, einen genaueren Kompensationsstrom bei der Kompensation der Schwankung der Quellenspannung erzeugen.
  • Die Einstellschaltung 20 enthält eine Messschaltung 30 und eine Laststeuerschaltung 24. Die Messschaltung 30 misst den Schwankungsbetrag der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung, wenn das Prüfmuster zu der geprüften Vorrichtung 200 geliefert wird, als eine Abweichung von einer vorbestimmten Bezugsspannung. Hier kann die Bezugsspannung ein durch eine Spezifikation oder dergleichen vorbestimmter Spannungsnennwert, der an die geprüfte Vorrichtung 200 anzulegen ist, sein, oder sie kann eine Quellenspannung sein, die sich ergibt, wenn eine vor dem Prüfmuster in einem Prüfprogramm zu erzeugendes Prüfmuster an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegt wird.
  • Die Laststeuerschaltung 24 stellt den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 auf der Grundlage des von der Messschaltung 30 gemessenen Schwankungsbetrags der Quellenspannung ein. Die Laststeuerschaltung 24 kann den Strombereich und die Auflösungsleistung so bestimmen, dass der Schwankungsbetrag der kompensierten Quellenspannung, wenn der Kompensationsstrom des maximalen Werts innerhalb des Strombereichs im Wesentlichen derselbe wie der maximale Wert der Schwankung der Quellenspannung ist, wie vorstehend erwähnt ist. Gemäß einer derartigen Konfiguration kann die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40, zu der eine bestimmte Anzahl von Pegeln einstellt ist, einen genaueren Kompensationsstrom bei der Kompensation der Quellenspannung erzeugen.
  • Die vorbeschriebene Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kann beispielsweise vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 durchgeführt werden. Wenn mehrere Prüfmuster zu der Zeit der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 eingegeben werden, gibt die Mustererzeugungsschaltung 10 aufeinander folgend die mehreren Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung zu der Zeit der Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ein.
  • Die Messschaltung 30 kann den Schwankungsbetrag der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung für jedes Prüfmuster erfassen. Beispielsweise kann die Messschaltung 30 eine Quellenspannungs-Wellenform der geprüften Vorrichtung 200 für jedes in die geprüfte Vorrichtung 200 eingegebene Prüfmuster messen und den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für jedes Prüfmuster einstellen durch Vergleichen des maximalen Wertes mit dem minimalen der Quellenspannung, auf der Grundlage jeder gemessenen Quellenspannungs-Wellenform. Zusätzlich kann die Laststeuerschaltung 24 den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 auf der Grundlage des maximalen Werts des Schwankungsbetrags der erfassten Quellenspannung einstellen. Durch eine Einstellung in dieser Weise ist es möglich, die Schwankung der Quellenspannung genau zu kompensieren.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 10 kann ein vorbestimmtes Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 eingeben, das den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für die geprüfte Vorrichtung 20 maximiert, bevor die tatsächliche Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 durchgeführt wird. Beispielsweise kann das Prüfmuster eingestellt werden durch Berechnen des Verbrauchsstroms, der durch das Betriebsverhältnis der in der geprüften Vorrichtung 200 enthaltenen Elementgruppe definiert ist, unter der Annahme, dass das Prüfmuster zu der geprüften Vorrichtung 200 geliefert wird.
  • In diesem Fall erfasst die Messschaltung 30 die Schwankung der Quellenspannung der geprüften Vorrichtung 200, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 eingegeben wird. Die Laststeuerschaltung 24 stellt den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags ein.
  • Zusätzlich kann die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 durchgeführt werden, wenn das Fehlerverhältnis der geprüften Vorrichtung 200 durch die Beurteilungsschaltung 16 als höher als ein vorbestimmter Bezugswert bestimmt wird, beispielsweise nach der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200. In diesem Fall gibt die Mustererzeugungsschaltung 10 in die geprüfte Vorrichtung 200 entweder die mehreren vorbeschriebenen Prüfmuster oder ein vorbestimmtes Prüfmuster ein, um die Schwankung der Quellenspannung der geprüften Vorrichtung 20 zu messen. Dann stellt die Einstellschaltung 20 den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ein, wie vorstehend beschrieben ist. Dann führt die Prüfvorrichtung 100 wieder die tatsächliche Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 durch. Durch eine derartige Steuerung ist es möglich, die Fehlbeurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 herabzusetzen, die einer Nichtoptimierung der Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 zuzuschreiben ist.
  • Eine Steuervorrichtung zum Steuern der Prüfvorrichtung 100 kann die vorbeschriebene Arbeitsweise der Mustererzeugungsschaltung 10 und der Einstellschaltung 20 bei der Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 und bei der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 durchführen.
  • 2 zeigt ein Beispiel für eine Quellenspannungs-Wellenform der geprüften Vorrichtung 200. In 2 stellt die horizontale Achse den Adressenblock eines der geprüften Vorrichtung 200 zugeführten Prüfmusters dar, und die vertikale Achse stellt den Spannungswert der Quellenspannung dar.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt aufeinander folgend mehrere Prüfmuster und gibt die Prüfmuster aufeinander folgend in die geprüfte Vorrichtung 200 ein. Jedes Prüfmuster ist in mehrere Adressenblöcke geteilt. In dem Beispiel nach 2 ist jedes Prüfmuster in fünf Adressenblöcke geteilt.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann die Messschaltung 30 den Schwankungsbetrag der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung für jedes Prüfmuster erfassen. Zusätzlich kann die Messschaltung 30 den Schwankungsbetrag der an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegten Quellenspannung für jeden Adressenblock erfassen. Ein Benutzer kann vorher definieren, ob die Messschaltung 30 die Schwankung der Quellenspannung für jedes Prüfmuster oder für jeden Adressenblock erfasst.
  • Die 3A und 3B zeigen ein Beispiel für eine Quellenspannungs-Schwankungskompensation. 3A zeigt die Kompensation, wenn die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 nicht optimiert ist, während 3B die Kompensation zeigt, wenn die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 optimiert ist. In den 3A und 3B stellt die horizontale Achse die Zeit oder ein Prüfmuster oder einen Adressenblock, die zu der geprüften Vorrichtung 200 geführt werden, dar, und die vertikale Achse stellt einen Spannungswert der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung dar.
  • Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erzeugt einen Strom zum Kompensieren der Schwankung in einer vorbestimmten Ansprechperiode, wie durch die runden Markierungen in den 3A und 3B gezeigt ist, gemäß der Schwankung der durch die ausgezogene Linie in den 3A und 3B gezeigten Quellenspannung. Die Wellenform der durch den von der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erzeugten Kompensationsstrom kompensierten Spannung kann wünschenswerterweise eine Wellenform sein, die in Übereinstimmung mit der Schwankungswellenform der Quellenspannung ist.
  • Wenn jedoch die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 nicht optimiert ist, wenn ein Spannungsbereich, der kompensiert werden kann, mit Bezug auf den Schwankungsbereich der Quellenspannung groß ist, wie in 3 gezeigt ist, wird eine Anzahl von Pegeln eines Kompensationsstroms, die nicht für die Kompensation der Quellenspannung verwendet werden, erzeugt, um die Anzahl von Pegeln, die bei der Kompensation der Quellenspannung verwendet werden, zu verringern. Angesichts dessen wird eine stark verzerrte Wellenform verwendet, um die Quellenspannung zu kompensieren, wie in 3A gezeigt ist.
  • Im Gegensatz hierzu ist es möglich, wenn die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 optimiert ist, den Strombereich und die Auflösungsleistung des Kompensationsstroms angemessen einzustellen gemäß dem maximalen Wert der Schwankung der Quellenspannung, wodurch eine effektiver Gebrauch einer vorbestimmten Anzahl von KompensationsPegeln ermöglicht wird. Dies ergibt eine genauere Kompensation der Schwankung der Quellenspannung.
  • 4 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt. Dieses Beispiel erläutert einen Fall, in welchem die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 nach der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 optimiert wird.
  • Zuerst führt die Prüfvorrichtung 100 eine tatsächliche Prüfung mehrerer geprüfter Vorrichtungen 200 durch (S200). Die mehreren geprüften Vorrichtungen 200 die in S200 geprüft wurden, können Vorrichtungen sein, die nach demselben Entwurf hergestellt wurden.
  • Als Nächstes wird bei der tat sächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtungen 200 beurteilt, ob das Fehler verhältnis der geprüften Vorrichtungen 200 höher als ein vorbestimmter Bezugswert ist (S202). Eine die Prüfvorrichtung 100 steuernde Steuervorrichtung kann die Beurteilung in S202 durchführen, oder ein Benutzer der Prüfvorrichtung 100 kann die Beurteilung in S202 durchführen. Die Steuervorrichtung oder der Benutzer teilt der Prüfvorrichtung 100 das Beurteilungsergebnis in S202 mit.
  • Wenn das Fehlerverhältnis bei der tatsächlichen Prüfung kleiner als ein Bezugswert ist, beendet die Prüfvorrichtung 100 die Prüfung der geprüften Vorrichtungen 200. Wenn das Fehlerverhältnis bei der tatsächlichen Prüfung größer als der Bezugswert ist, führt die Prüfvorrichtung 100 eine Verarbeitung zur Optimierung der Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 durch (S204–S210).
  • Wenn die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 optimiert wird, stellt die Einstellschaltung 20 den Strombereich und die Auflösungsleistung für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 (S204) ein. In S204 können der Strombereich und die Auflösungsleistung bzw. das Auflösungsvermögen um einen vorbestimmten Wert erhöht werden.
  • Als Nächstes gibt die Mustererzeugungsschaltung 10 das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 ein (S206). Dann misst die Messschaltung 30 den Schwankungsbetrag der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 eingegeben wird (S208). Wie vorstehend beschrieben ist, kann das Prüfmuster ein vorbestimmtes Prüfmuster sein, das den Schwankungsbetrag der Quellenspannung maximiert. Zusätzlich kann, wenn mehrere Prüfmuster in eine geprüfte Vorrichtung 200 eingegeben werden, die Verarbeitung in S206 und S208 für jedes Prüfmuster durchgeführt werden, um die Quellenspannung für jedes Prüfmuster zu messen.
  • Als Nächstes beurteilt die Einstellschaltung 20 auf der Grundlage des gemessenen Schwankungsbetrags, ob der in S204 eingestellte Kompensationsbetrag (Strombereich und Auflösungsleistung) optimal ist oder nicht (S210). In S210 kann der in S204 eingestellte Kompensationsbetrag als optimal beurteilt werden, wenn der in S208 gemessene Schwankungsbetrag der Quellenspannung minimal ist. Wenn beispielsweise der mögliche Kompensationsbetrag für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kleiner als der maximale Wert des Schwankungsbetrags der zu kompensierende Quellenspannung ist und wenn der mögliche Kompensationsbetrag in S204 allmählich erhöht wird, nimmt der Schwankungsbetrag der Quellenspannung nach der Kompensation allmählich ab. Dann nähert sich bei einem bestimmten Kompensationsbetrag der Schwankungsbetrag der Quellenspannung 0 an, um das Schwanken zu stoppen. Die Einstellschaltung 20 kann diesen Kompensationsbetrag als einen optimalen Wert bestimmen.
  • Wenn der in S208 gemessene Schwankungsbetrag kleiner als ein vorbestimmter Bezugswert ist, kann die Einstellschaltung 20 einen entsprechenden Kompensationsbetrag als einen optimalen Wert bestimmen. Die Einstellschaltung 20 kann auch den Kompensationsbetrag erfassen, bei dem die Schwankung der Quellenspannung minimal wird, indem der Kompensationsbetrag über den gesamten variablen Bereich geändert wird. Auch kann, wenn der Schwankungsbetrag der Quellenspannung für mehrere Prüfmuster in S206 und S208 gemessen wird, der Kompensationsbetrag, bei dem der Durchschnitt des Schwankungsbetrags das Minimum wird, als optimal be urteilt werden.
  • Wenn der in S204 eingestellte Kompensationsbetrag nicht als nicht optimal beurteilt wird, wird die Verarbeitung von S204 bis S208 wiederholt. Insbesondere ändert die Einstellschaltung 20 aufeinander folgend den Kompensationsbetrag für die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40, und die Mustererzeugungsschaltung 10 gibt wiederholt jedes Mal, wenn die Einstellschaltung 20 einen neuen Kompensationsbetrag einstellt, mehrere Prüfmuster oder ein vorbestimmtes Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 ein.
  • Jedes Mal, wenn die Einstellschaltung 20 den Kompensationsbetrag der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ändert, misst die Einstellschaltung 20 den Schwankungsbetrag der Quellenspannung nach der Kompensation durch die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40. Dann erfasst die Einstellschaltung 20 einen optimalen Kompensationsbetrag, bei dem der Schwankungsbetrag der Quellenspannung nach der Kompensation das Minimum wird, und führt die tatsächliche Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 unter Aufrechterhaltung des optimalen Kompensationsbetrags durch. Durch eine derartige Verarbeitung ist es möglich, die Schwankung der Quellenspannung der geprüften Vorrichtung 200 schnell und genau zu kompensieren und eine genaue Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 durchzuführen.
  • 5 ist ein Flussdiagramm, das ein anderes Beispiel für die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt. Bei dem vorliegenden Beispiel wird die Verarbeitung zur Optimierung der Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 (S204–S210) vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 (S200) durchgeführt. Die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 bei jeder Verarbeitung ist dieselbe wie die entsprechende Verarbeitung in 4. Durch eine derartige Verarbeitung ist es möglich, die Einstellung der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 vor der tatsächlichen Prüfung zu optimieren und die geprüfte Vorrichtung 200 genau zu prüfen.
  • 6 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 100. Bei dem vorliegenden Beispiel enthält die geprüfte Vorrichtung 200 die mit Bezug auf 1 erläuterte Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40. D. h., die Prüfvorrichtung 100 bei dem vorliegenden Beispiel hat dieselbe Konfiguration und Funktion wie diejenigen der mit Bezug auf 1 erläuterten Prüfvorrichtung 100, mit der Ausnahme, dass die Prüfvorrichtung 100 bei dem vorliegenden Beispiel die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 nicht enthält.
  • Die geprüfte Vorrichtung 200 enthält mehrere Blöcke der logischen Schaltung 198 (interne Schaltung) und mehrere Lastschwankungs-Kompensationsschaltungen 40, die entsprechend den mehreren logischen Schaltungen 198 vorgesehen sind. Jede Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ist so vorgesehen, dass zumindest ein Teil der entsprechenden logischen Schaltung 198 und die Leistungszuführungsverdrahtung gemeinsam sind. Bei dem vorliegenden Beispiel ist eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 als ein Zweig von der Leistungszuführungsverdrahtung vorgesehen, die innerhalb der geprüften Vorrichtung 200 vorgesehen ist und die die von einer externen Leistungszuführungsvorrichtung 18 gelieferte Quellenleistung zu einer logischen Schaltung 198 überträgt.
  • Zusätzlich enthält die geprüfte Vorrichtung 200 einen Anschluss zum elektrischen Verbinden einer Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 und einer Laststeuerschaltung 24, die in der Prüfvorrichtung 100 vorgesehen ist. Die Laststeuerschaltung 24 stellt den Spannungsbereich und die Auflösungsleistung der Spannungskompensation für jede Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ein, so wie die mit Bezug auf 1 erläuterte Laststeuerschaltung 24.
  • Durch eine derartige Konfiguration ist es möglich, den Spannungsbereich und das Auflösungsvermögen der Spannungskompensation auf einen angemessenen Wert gemäß einem Prüfprogramm einzustellen mit Bezug auf eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40, die in einer geprüften Vorrichtung 200 enthalten ist. In einer geprüften Vorrichtung 200 kann, wenn der Einstellwert einer Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 durch ein Antisicherungsverfahren, das nicht wiederschreibbar ist, eingestellt wird, die Prüfvorrichtung wünschenswerterweise die Einstellung in die geprüfte Vorrichtung 200 schreiben. Hierdurch kann die geprüfte Vorrichtung 200 genau arbeiten, selbst wenn sie nach dem Versand montiert wird.
  • Darüber hinaus kann die in 1 und 6 gezeigte Prüfvorrichtung 100 den Schwankungsbetrag einer Quellenspannung erfassen, bei dem die geprüfte Vorrichtung 200 nicht fehlerhaft arbeitet. Beispielsweise ist es möglich, indem ein Kompensationsstrom erzeugt wird, bei dem das Vorzeichen mit Bezug auf den bei der Kompensation der Quellenspannung zu erzeugenden Kompensationsstrom umgekehrt ist, eine geprüfte Vorrichtung 200 mit einer Schwankung der Quellenspannung vorzusehen, die größer als ein normaler Schwankungsbetrag der Quellenspannung ist. Hierdurch ist es mög lich, die an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegte Quellenspannung auf einen gewünschten Wert einzustellen, indem das Vorzeichen des Kompensationsstroms und der absolute Wert des Kompensationsstroms gesteuert werden.
  • Beispielsweise wird der Schwankungsbetrag der Quellenspannung, bei dem die geprüfte Vorrichtung 200 fehlerhaft arbeitet, erfasst, indem eine funktionelle Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 durchgeführt wird, während der durch die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erzeugte Wert des Kompensationsstroms allmählich geändert wird und die an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegte Quellenspannung allmählich geändert wird. Durch eine derartige Steuerung ist es möglich, auszuwerten, in welchem Ausmaß die Quellenspannungsschwankung in einer geprüften Vorrichtung 200 eingeschränkt werden sollte, um zu verhindern, dass die geprüfte Vorrichtung 200 fehlerhaft arbeitet.
  • 7 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ist als ein Zweig von der Leistungszuführungsverdrahtung 31 vorgesehen, die die Quellenleistung von der Leistungszuführungsvorrichtung 18 zu der geprüften Vorrichtung 200 liefert. Die Leistungszuführungsvorrichtung 18 enthält einen positiven Ausgangsanschluss und einen negativen Ausgangsanschluss und ist mit dem Eingangsanschluss für positiven Quellenleistung und dem Eingangsanschluss für negative Quellenleistung der geprüften Vorrichtung 200 über eine Verdrahtung 31-1 für die Zuführung von positiver Leistung bzw. eine Verdrahtung 31-2 für die Zuführung negativer Leistung verbunden.
  • Zusätzlich ist die Leistungszuführungsverdrahtung 31 in die Hauptleistungs-Zuführungsverdrahtung (d. h. 29-1 und 29-2), nachfolgend insgesamt als "29" bezeichnet) und die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung (d. h. 26-1 und 26-2, nachfolgend insgesamt als "26" bezeichnet) in der Nähe des Quellenleistungs-Eingangsanschlusses der geprüften Vorrichtung verzweigt. Die Hauptleistungs-Zuführungsverdrahtung 29 ist zwischen die Leistungszuführungsvorrichtung 18 und die geprüfte Vorrichtung 200 geschaltet und liefert die Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung 200. Die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 ist zwischen die Leistungszuführungsvorrichtung 18 und die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 geschaltet und liefert die Quellenleistung zu der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40.
  • Hier kann der Verzweigungspunkt in der Nähe des Quellenleistungs-Eingangsanschlusses der geprüften Vorrichtung 200 so positioniert sein, dass die Impedanz der Hauptleistungs-Zuführungsverdrahtung 29 von dem Verzweigungspunkt zu der geprüften Vorrichtung 200 im Wesentlichen 0 oder im Wesentlichen vernachlässigbar ist. Der Verzweigungspunkt ist so vorgesehen, dass die Impedanz der Hauptleistungs-Zuführungsverdrahtung 29 von dem Verzweigungspunkt zu der geprüften Vorrichtung 200 kleiner als die Impedanz der Leistungszuführungsverdrahtung 31 von der Leistungszuführungsvorrichtung 18 zu dem Verzweigungspunkt ist. Es ist weiterhin wünschenswert, dass der Verzweigungspunkt so vorgesehen ist, dass die Impedanz der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 im Wesentlichen 0 oder im Wesentlichen vernachlässigbar ist.
  • Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kompen siert die Schwankung der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenleistung. Bei dem vorliegenden Beispiel enthält die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 eine erste Verzögerungsschaltung 42-1, eine zweite Verzögerungsschaltung 42-2, eine Phasenerfassungsschaltung 44 und eine Lastschaltung 46.
  • Die erste Verzögerungsschaltung 42-1 verzögert ein geliefertes Taktsignal um den Verzögerungsbetrag, der um einen vorbestimmten ersten Schwankungsbetrag mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung schwankt. Zusätzlich verzögert die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 ein zugeführtes Taktsignal um den Verzögerungsbetrag, der um einen vorbestimmten zweiten Schwankungsbetrag, der größer als der erste Schwankungsbetrag ist, mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung schwankt. Bei dem vorliegenden Beispiel wird der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 eine Quellenspannung über die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 zugeführt und sie bewirken eine Schwankung des Verzögerungsbetrags gemäß der Schwankung der zugeführten Quellenspannung.
  • Das vorliegende Beispiel bezieht sich auf einen Fall, in welchem der zweite Schwankungsbetrag in der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 größer als der erste Schwankungsbetrag in der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ist. Jedoch kann der erste Schwankungsbetrag größer als der zweite Schwankungsbetrag bei einem unterschiedlichen Beispiel sein. Es ist ausreichend, wenn die erste Verzögerungsschaltung 42-1 und die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 eine unterschiedliche Schwankung des Verzögerungsbetrags mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der Quellenspannung haben. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 ist in der Lage, eine äquivalente Operation durchzuführen, selbst wenn der eine von dem ersten Schwankungsbetrag oder dem zweiten Schwankungsbetrag größer als der andere ist.
  • Die Lastschaltung 46 ist parallel zu der geprüften Vorrichtung 200 vorgesehen und teilt zumindest einen Teil der Leistungszuführungsverdrahtung mit der geprüften Vorrichtung 200. Bei dem vorliegenden Beispiel teilt die Lastschaltung 46 die Leistungszuführungsverdrahtung 31 mit der geprüften Vorrichtung 200 und empfängt die Quellenleistung von der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26.
  • Die Phasenerfassungsschaltung 44 erfasst eine Phasendifferenz zwischen dem von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignal und dem von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignal und steuert den von der Lastschaltung 46 verbrauchten Verbrauchsstrombetrag auf der Grundlage der Phasendifferenz. Beispielsweise ist die Lastschaltung 46 eine Schaltung, die schalten kann, ob ein vorbestimmter Verbrauchsstrom über die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 verbraucht wird oder nicht, und die Phasenerfassungsschaltung 44 kann schalten, ob bewirkt wird, dass die Lastschaltung 46 den Verbrauchsstrom verbraucht, auf der Grundlage dessen, welches von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignal und der von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebene Taktsignal eine stärker voreilende Phase hat. Zusätzlich ist die Lastschaltung 46 eine Schaltung, die eine Schwankung des Verbrauchsstrombetrags bewirken kann, und die Phasenerfassungsschaltung 44 kann den von der Last schaltung 46 verbrauchten Verbrauchsstrombetrag auf der Grundlage der Phasendifferenz steuern.
  • 8 zeigt ein Beispiel für die Beziehung zwischen der Quellenspannung und dem Verzögerungsbetrag in der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2. Das vorliegende Beispiel behandelt den Fall, in welchem der zweite Schwankungsbetrag größer als der erste Schwankungsbetrag ist. D. h., wie in 8 gezeigt ist, das vorliegende Beispiel behandelt den Fall, in welchem der Gradient der Quellenspannung/Verzögerungsbetrag-Charakteristik für die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 größer als für die erste Verzögerungsschaltung 42-1 ist.
  • Die erste Verzögerungsschaltung 42-1 und die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 sind so ausgebildet, dass sie denselben Verzögerungsbetrag haben, wenn die zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferte Quellenspannung eine vorbestimmte Bezugsspannung wird. Beispielsweise enthält die erste Verzögerungsschaltung 42-1 ein Verzögerungselement, dessen Gradient von (Quellenspannung)/(Verzögerungsbetrag-Charakteristik) kleiner ist als der der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2, und eine Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung, die ein geliefertes Taktsignal in das Verzögerungselement eingibt durch Verzögern des Taktsignals um die Verzögerungszeit t0, wie durch die strichlierte Linie in 8 gezeigt ist. Durch Steuerung der Verzögerungszeit t0 in der Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung kann der Verzögerungsbetrag bei einer gewünschten Bezugsspannung zwischen der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 im Wesentlichen gleich gemacht werden. Die Bezugsspannung kann eine Spannung sein, die im Wesentlichen dieselbe wie die zu einer geprüften Vor richtung 200 zu liefernde Quellenspannung ist, die beispielsweise eine Spannung sein kann, die im Wesentlichen gleich der Nennspannung der geprüften Vorrichtung 200 ist.
  • Die Phasenerfassungsschaltung 44 steuert den von der Lastschaltung 46 verbrauchten Verbrauchsstrombetrag, so dass die Phasendifferenz zwischen dem von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignal und dem von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignal eine vorbestimmte Phasendifferenz wird. Bei dem vorliegenden Beispiel steuert die Phasenerfassungsschaltung 44 den von der Lastschaltung 46 verbrauchten Verbrauchsstrombetrag derart, dass die Phasendifferenz im Wesentlichen null wird.
  • Wie in 8 gezeigt ist, wird die Phasendifferenz im Wesentlichen null, wenn der Verzögerungsbetrag der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 im Wesentlichen gleich dem Verzögerungsbetrag der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 wird. D. h., die Phasenerfassungsschaltung 44 steuert den von der Lastschaltung 46 verbrauchten Verbrauchsstrombetrag derart, dass die zu der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 gelieferte Quellenspannung eine in 8 gezeigte vorbestimmte Bezugsspannung wird.
  • Wenn beispielsweise der Verbrauchsstrombetrag durch die geprüfte Vorrichtung 200 abgenommen hat, nimmt der Spannungsabfallbetrag für die Impedanzkomponente 25 der Leistungszuführungsverdrahtung 31 ab. Mit anderen Worten, die zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferte Quellenspannung wird größer als eine Bezugsspannung. Daher ist der Verzögerungsbetrag für die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 größer als der Verzögerungsbetrag für die erste Verzögerungsschaltung 42-1, wie in 8 gezeigt ist, und die Phase des von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignals eilt der Phase des von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals stärker vor.
  • Die Phasenerfassungsschaltung 44 erhöht den Verbrauchsstrombetrag der Lastschaltung 46, wenn die Phase des von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignals der Phase des von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals stärker voreilt. Beispielsweise wird die Lastschaltung 46 in den EIN-Zustand versetzt, um einen vorbestimmten Verbrauchsstrom zu verbrauchen. Da die Lastschaltung 46 einen Quellenstrom durch die Leistungszuführungsverdrahtung 31 empfängt, nimmt der zu der Leistungszuführungsverdrahtung 31 fließende Quellenstrombetrag gemäß einer derartigen Steuerung zu. Als eine Folge wird es möglich, die Zunahme der Quellenspannung, die der Abnahme des Verbrauchsstroms der geprüften Vorrichtung 200 zuschreibbar ist, zu kompensieren.
  • Wenn der Verbrauchsstrombetrag der geprüften Vorrichtung 200 zugenommen hat, wird die zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferte Quellenspannung in ähnlicher Weise kleiner als eine Bezugsspannung. In diesem Fall wird die Phase des von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignals relativ zu der Phase des von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals verzögert.
  • Die Phasenerfassungsschaltung 44 verringert den Verbrauchsstrombetrag der Lastschaltung 46, wenn die Phase des von der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignals relativ zu der Phase des von der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals verzögert ist. Beispielsweise wird die Lastschaltung 46 in den AUS-Zustand versetzt, um einen Strom von im Wesentlichen null zu verbrauchen. Als eine Folge wird es möglich, die Abnahme der Quellenspannung, die der Zunahme des Verbrauchsstroms der geprüften Vorrichtung 200 zuschreibbar ist, zu kompensieren.
  • Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 bei dem vorliegenden Beispiel ist in der Lage die Quellenspannungsschwankung, die der Schwankung des Verbrauchsstroms der geprüften Vorrichtung 200 zuschreibbar ist, zu kompensieren, wie vorstehend erläutert ist. Zusätzlich ist es möglich, da die Quellenspannungsschwankung kompensiert wird durch Steuern des Verbrauchsstroms der Lastschaltung 46, die in der Nähe der geprüften Vorrichtung 200 vorgesehen ist, ohne die Quellenspannungsschwankung zu der Leistungszuführungsvorrichtung 18 zurückzuführen, der Lastschwankung schnell zu folgen. Insbesondere wird die Quellenspannungsschwankung durch EIN/AUS-Umschalten der Lastschaltung 46 kompensiert, und so ist es möglich, der Lastschwankung durch eine einfache Steuerung schnell zu folgen.
  • 9 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 bei dem vorliegenden Beispiel enthält zusätzlich zu der Konfiguration der in 7 erläuterten Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 eine Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung 57. Zusätzlich enthält die erste Verzögerungsschaltung 42-1 bei dem vorliegenden Beispiel n erste Verzögerungselemente (worin n eine natürliche Zahl ist), die in Reihe geschaltet sind (d. h. 48-1–48-n, nachfolgend insgesamt als "48" bezeichnet). Die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 bei dem vorliegenden Beispiel enthält n zweite Verzögerungselemente, die in Reihe geschaltet sind (d. h. 50-1–50-n, nachfolgend insgesamt als "50" bezeichnet). Die Phasenerfassungsschaltung 44 enthält n Phasenkomparatoren (d. h. 52-1–52-n, nachfolgend insgesamt als "52" bezeichnet), und die Lastschaltung 46 enthält n Lastvorrichtungen (d. h. 54-1–54-n, nachfolgend insgesamt als "54" bezeichnet).
  • Die mehreren ersten Verzögerungselemente 48 sind in Kaskade verbunden und verzögern aufeinander folgend ein zugeführtes Taktsignal. Jedem ersten Verzögerungselement 48 werden Quellenspannungen (VH, VL) von der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 zugeführt, und es bewirkt die Verzögerung, die in Übereinstimmung mit den Quellenspannungen ist. Der Verzögerungsbetrag jedes ersten Verzögerungselements 48 ist im Wesentlichen derselbe. Beispielsweise kann der Verzögerungsbetrag jedes ersten Verzögerungselements 48 ein Verzögerungsbetrag sein, der durch Teilen des durch die gestrichelte Linie in 8 gezeigten Verzögerungsbetrags in "n" erhalten ist. Der Verzögerungsbetrag für jedes erste Verzögerungselement ist beispielsweise durch "d1 × V" gegeben. Hier stellt "d1" einen Schwankungsbetrag des Verzögerungsbetrags mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der zu dem ersten Verzögerungselement 48 gelieferten Quellenspannung dar und wird beispielsweise gesteuert durch eine zu dem ersten Verzögerungselement 48 gelieferte Vorspannung. "V" stellt eine zu einem ersten Verzögerungselement 48 gelieferte Quellenspannung dar.
  • Die mehreren zweiten Verzögerungselemente 50 sind in Kaskade verbunden und verzögern aufeinander folgend ein zugeführtes Taktsignal. Jedem zweiten Verzögerungselement 50 werden Quellenspannungen (VH, VL) von der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26 zugeführt, und es bewirkt die Verzögerung, die in Übereinstimmung mit den Quellenspannungen ist. Der Verzögerungsbetrag jedes zweiten Verzögerungselements 50 ist im Wesentlichen derselbe. Beispielsweise kann der Verzögerungsbetrag für jedes zweite Verzögerungselement 50 ein Verzögerungsbetrag sein, der durch Teilen des Verzögerungsbetrags der in 8 gezeigten zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 in "n" erhalten ist. Der Verzögerungsbetrag jedes zweiten Verzögerungselements 50 ist beispielsweise durch "d2 × V" gegeben. Hier stellt d2 einen Schwankungsbetrag des Verzögerungsbetrags mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der zu einem zweiten Verzögerungselement 50 gelieferten Quellenspannung dar und wird beispielsweise durch eine zu dem zweiten Verzögerungselement 50 gelieferte Vorspannung gesteuert. "V" stellt eine zu einem zweiten Verzögerungselement 50 gelieferte Quellenspannung dar und ist im Wesentlichen dieselbe wie die zu dem ersten Verzögerungselement 48 gelieferte Quellenspannung. Darüber hinaus ist der Schwankungsbetrag (d2) des Verzögerungsbetrags mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der Quellenspannung in dem zweiten Verzögerungselement 50 größer als der Schwankungsbetrag (d1) des Verzögerungsbetrags mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit in dem ersten Verzögerungselement 48.
  • Die Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung 57 erzeugt eine vorbestimmte Phasendifferenz zwischen dem in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebenen Taktsignal und dem in die zweite Verzögerungsschaltung 423-2 eingegebenen Taktsignal. Bei dem vorliegenden Beispiel enthält die Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung 57 zumindest eine variable Verzögerungsschaltung 59-1, die ein in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebenes Taktsignal verzögert, und eine variable Verzögerungsschaltung 52-2, die ein in die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 eingegebenes Taktsignal verzögert, und verzögert das in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebene Taktsignal oder das in die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 eingegebene Taktsignal um eine vorbestimmte Zeit. Zusätzlich ist der Verzögerungsbetrag der variablen Verzögerungsschaltung 59 konstant ungeachtet der zu der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 gelieferten Quellenspannung. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kann wünschenswerterweise Mittel zum Zuführen einer konstanten Quellenspannung zu der variablen Verzögerungsschaltung 59 enthalten.
  • Bei dem vorliegenden Beispiel verzögert, wenn die zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferte Quellenspannung eine vorbestimmte Bezugsspannung wird, die Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung 57 das zu der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 oder der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 gelieferte Taktsignal derart, dass die Phase des von einem ersten Verzögerungselement 48, das im Wesentlichen in der mittleren Stufe der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 positioniert ist, ausgegebenen Taktsignals im Wesentlichen dieselbe wie die Phase des von einem zweiten Verzögerungselement 50, das im Wesentlichen in der mittleren Stufe der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 positioniert ist, ausgegebenen Taktsignals ist. Wenn beispielsweise der Verzögerungsbetrag des zweiten Verzögerungselements 50 größer als der Verzögerungsbetrag des ersten Verzögerungselements 48 ist, ist das in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebene Taktsignal um eine vorbestimmte Zeit verzögert.
  • Die mehreren Phasenkomparatoren 52 sind vorgesehen, um den mehreren ersten Verzögerungselementen 48 und den mehreren zweiten Verzögerungselementen 50 zu entsprechen. Jeder Phasenkomparator 52 erfasst eine Phasendifferenz zwischen Taktsignalen, die jeweils von einem entsprechenden ersten Verzögerungselement 48 und einem entsprechenden zweiten Verzögerungselement 50 ausgegeben werden. Bei dem vorliegenden Beispiel ist die Phase des zu der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 gelieferten Taktsignals relativ zu der Phase des zu der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 gelieferten Taktsignals verzögert, und der Verzögerungsbetrag des zweiten Verzögerungselements 50 ist größer als der Verzögerungsbetrag des ersten Verzögerungselements 48, und somit ist die Phasenbeziehung mit Bezug auf das von einem Verzögerungselement in einer bestimmten Stufe ausgegebenen Taktsignals in der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 umgekehrt.
  • Beispielsweise ist für jedes Verzögerungselement, das in dem oberen Strom mit Bezug auf das Verzögerungselement in der bestimmten Stufe positioniert ist, die Phase des von dem ersten Verzögerungselement 48 ausgegebenen Taktsignals relativ zu der Phase des von dem zweiten Verzögerungselement 50 ausgegebenen Taktsignals verzögert. für jedes Verzögerungselement, das in dem unteren Strom mit Bezug auf das Verzögerungselement in der bestimmten Stufe positioniert ist, eilt die Phase des von dem ersten Verzögerungselement 48 ausgegebenen Taktsignals gegenüber der Phase des von dem zweiten Verzögerungselement 50 ausgegebenen Taktsignals stärker vor. Daher gibt ein Phasenkompa rator 52 entsprechend einem Verzögerungselement, das in dem oberen Strom mit Bezug auf das Verzögerungselement in der bestimmten Stufe positioniert ist, ein Signal beispielsweise mit dem logischen Wert H als ein Phasenvergleichsergebnis aus, und ein Phasenkomparator entsprechend einem Verzögerungselement, das bei oder nach dem Verzögerungselement in der bestimmten Stufe positioniert ist, gibt ein Signal beispielsweise mit einem logischen Wert L als ein Phasenvergleichsergebnis aus.
  • Die mehreren Lastvorrichtungen 54 sind vorgesehen, um den mehreren Phasenkomparatoren 52 zu entsprechen. Jede Lastvorrichtung 54 schaltet, ob ein vorbestimmter Strombetrag verbraucht wird, gemäß einem Vergleichsergebnis eines entsprechenden Phasenkomparators 52. Zusätzlich ist jede Lastvorrichtung 54 parallel zu der geprüften Vorrichtung 200 vorgesehen und teilt zumindest einen Teil der Leistungszuführungsverdrahtung mit der geprüften Vorrichtung 200. Bei dem vorliegenden Beispiel teilt eine Lastvorrichtung 54 die Leistungszuführungsverdrahtung 31 mit der geprüften Vorrichtung 200 und empfängt eine Quellenleistung von der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26. Ein vorbestimmter Strombetrag für jede Lastvorrichtung 54 kann einander gleich sein.
  • Bei dem vorliegenden Beispiel steuert jeder Phasenkomparator 52 eine entsprechende Lastvorrichtung 54 in den EIN-Zustand, wenn die Phase des von einem entsprechenden ersten Verzögerungselement 48 ausgegebenen Taktsignal stärker voreilt als die Phase des von einem entsprechenden zweiten Verzögerungselement 50 ausgegebenen Taktsignals, um einen vorbestimmten Strombetrag zu verbrauchen. Jeder Phasenkomparator 52 steuert eine entsprechende Lastvorrichtung 54 in den AUS-Zustand, wenn die Phase des von einem entsprechenden ersten Verzögerungselement 48 ausgegebenen Taktsignals relativ zu der Phase des von einem entsprechenden zweiten Verzögerungselement 50 ausgegebenen Taktsignals verzögert ist, um den Verbrauchsstrombetrag auf im Wesentlichen null zu steuern.
  • 10 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise der in 9 erläuterten Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 erläutert. Bei dem vorliegenden Beispiel gibt die Phasendifferenz-Erzeugungsschaltung 57 die Phase des in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebenen Taktsignals ein durch Verzögern von diesem um eine vorbestimmte Zeit "T1" relativ zu der Phase des in die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 eingegebenen Taktsignals. Auch ist bei dem vorliegenden Beispiel der Verzögerungsbetrag des zweiten Verzögerungselements 50 größer als der Verzögerungsbetrag des ersten Verzögerungselements 48.
  • Zuerst liefern die variable Verzögerungsschaltung 59-1 und die variable Verzögerungsschaltung 59-2 jeweilige Taktsignale zu der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 und er zweiten Verzögerungsschaltung 42-2. Wie vorstehend beschrieben ist, ist die Phase des in die erste Verzögerungsschaltung 42-1 eingegebenen Taktsignals relativ zu der Phase des in die zweite Verzögerungsschaltung 42-2 eingegebenen Taktsignals um eine vorbestimmte Phasendifferenz "T1" verzögert.
  • Das erste Verzögerungselement 48-1 und das zweite Verzögerungselement 50-1 geben jeweils zugeführte Taktsignale aus, nachdem sie sie verzögert haben. Wie vorstehend beschrieben ist, ist der Verzögerungsbetrag für das zweite Verzögerungselement 50-1 größer als der Verzögerungsbetrag für das erste Verzögerungselement 48-1. Als eine Folge ist die Phasendifferenz "T2" zwischen dem von dem ersten Verzögerungselement 48-1 ausgegebenen Taktsignal und dem von dem zweiten Verzögerungselement 50-1 ausgegebenen Taktsignal ein Wert "T2", der durch Subtrahieren einer Verzögerungsdifferenz zwischen dem ersten Verzögerungselement 48-1 und dem zweiten Verzögerungselement 50-2 von der Phasendifferenz "T1" erhalten wurde.
  • Die Phasendifferenz zwischen jedem Taktsignal nimmt allmählich ab, da bewirkt wird, dass jedes Taktsignal durch mehrere erste Verzögerungselemente 48 und mehrere zweiten Verzögerungselemente 50 hindurchgeht, mit dem Ergebnis einer Umkehrung der Taktsignal-Phasenbeziehung bei einem vorbestimmten ersten Verzögerungselement 48 – (k + 1) und einem vorbestimmten zweiten Verzögerungselement 50 – (k + 1). Wie vorstehend beschrieben ist, vergleicht ein Phasenkomparator 52 die Phasen von Taktsignalen, die jeweils von einem entsprechenden ersten Verzögerungselement 48 und einem entsprechenden zweiten Verzögerungselement 50 ausgegeben werden, und steuert eine entsprechende Lastvorrichtung 54 entweder in den EIN-Zustand oder den AUS-Zustand entsprechend dem Vergleichsergebnis.
  • Die Stufe, an der die Phase jedes Taktsignals umkehrt, wird bestimmt durch die anfängliche Phasendifferenz "T1" und eine Verzögerungsdifferenz zwischen dem ersten Verzögerungselement 48 und dem zweiten Verzögerungselement 50. Beispielsweise wird die anfängliche Phasendifferenz "T1" so eingestellt, dass, wenn die zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung beispielsweise eine vorbestimmte Bezugsspannung geworden ist, die Phase des von einem ersten Verzögerungselement 48 im Wesentlichen in der mittleren Stufe der ersten Verzögerungsschaltung 42-1 ausgegebenen Taktsignals im Wesentlichen dieselbe ist wie die Phase des von einem zweiten Verzögerungselement 50 im Wesentlichen in der mittleren Stufe der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals.
  • Der Verzögerungsbetrag des ersten Verzögerungselements 48 und des zweiten Verzögerungselements 50 schwankt gemäß der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung. Aus diesem Grund wird durch eine zugeführte Quellenspannung definiert, an welcher Stufe die Taktsignal-Phasenbeziehung umgekehrt wird. Wenn beispielsweise die Quellenspannung kleiner als eine Bezugsspannung ist, nimmt die Verzögerungsdifferenz zwischen dem ersten Verzögerungselement 48 und dem zweiten Verzögerungselement 50 ab im Vergleich zu dem Zustand, in welchem die Bezugsspannung zugeführt wird. Aus diesem Grund bewegt sich die Stufe, in der die Taktsignal-Phasenbeziehung umgekehrt wird, mehr stromabwärts als die mittlere Stufe um die Anzahl von Stufen, die in Übereinstimmung mit dem Schwankungsbetrag der Quellenspannung mit Bezug auf die Bezugsspannung ist.
  • In diesem Fall nimmt die Anzahl von Lastvorrichtungen 54, die in den EIN-Zustand gebracht werden, ab gemäß der Anzahl von bewegten Stufen, und der Verbrauchsstrom in der Lastschaltung 46 nimmt ab. Demgemäß nimmt der Spannungsabfallbetrag für die Leistungszuführungsverdrahtung 31 ab, wodurch es möglich ist, die Schwankung der zu der geprüften Vorrichtung 200 gelieferten Quellenspannung zu kompensieren.
  • 11 zeigt eine Verzögerungszeit eines von einem Verzögerungselement jeder Stufe in der ersten Verzö gerungsschaltung 42-1 und der zweiten Verzögerungsschaltung 42-2 ausgegebenen Taktsignals. Wie mit Bezug auf 10 erläutert ist, wird die Phase des von jedem Verzögerungselement ausgegebenen Taktsignals in einer Stufe gemäß einer Verzögerungsdifferenz zwischen dem ersten Verzögerungselement 48 und dem zweiten Verzögerungselement 50 umgekehrt. Wie in 11 gezeigt ist, ist für eine Verzögerungselementstufe die Verzögerungsdifferenz zwischen dem ersten Verzögerungselement 48 und dem zweiten Verzögerungselement 50 gegeben durch (d2 – d1) × V. Die Verzögerungsdifferenz ist proportional zu der Quellenspannung, wodurch es verständlich ist, dass die Stufe, in der die Phase umgekehrt wird, sich gemäß der Quellenspannung ändert. Die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung 40 kann die Schwankung der Quellenspannung innerhalb des Spannungsbereichs ändern, in welchem die Beziehung zwischen dem Schwankungsbetrag der Quellenspannung und dem Schwankungsbetrag der Stufe, in der die Phase umgekehrt wird, angenähert linear ist.
  • 12 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Lastvorrichtung 54. Die Lastvorrichtung 54 enthält mehrere Stufen von Transistoren 108 und Transistoren 110, die in Reihe zwischen die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26-1 und die Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26-2 geschaltet sind. Jede Stufe eines Transistors 108 ist beispielsweise ein PMOS-Transistor, dessen Quellenanschluss mit der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26-1 verbunden ist und dessen Drainanschluss mit dem Drainanschluss des Transistors 110 verbunden ist, und der an seinem Gateanschluss ein entsprechendes Bitsignal des Strombetrags-Steuersignals empfängt.
  • Jeder Transistor 110 (entsprechend jeder Stufe) ist beispielsweise ein NMOS-Transistor, dessen Sourceanschluss mit der Zweigleistungs-Zuführungsverdrahtung 26-2 verbunden ist und dessen Drainanschluss mit dem Drainanschluss des Transistors 108 verbunden ist, und der an seinem Gateanschluss ein von einem entsprechenden Phasenkomparator 52 ausgegebenes Vergleichsergebnissignal empfängt.
  • D. h., die Anzahl von in den EIN-Zustand versetzten Transistoren 108 kann durch ein Strombetrags-Steuersignal gesteuert werden. Zusätzlich können alle Transistoren 110 so gesteuert werden, dass sie insgesamt in den EIN-Zustand oder den AUS-Zustand gesteuert werden gemäß dem Vergleichsergebnis des Phasenkomparators 52. Folglich kann, wenn der Phasenkomparator 52 die Lastvorrichtung 54 mittels eines Strombetrags-Steuersignals in den EIN-Zustand gesteuert hat, der von der Lastvorrichtung 54 zu verbrauchende Strombetrag auf einen gewünschten Wert gesteuert werden.
  • Wie vorstehend erwähnt ist, steuert die Laststeuerschaltung 24 den von der Lastvorrichtung 54 zu verbrauchenden Strombetrag auf einen gewünschten Wert mittels eines Strombetrags-Steuersignals. Mit anderen Worten, das Auflösungsvermögen des von der Lastschaltung 46 zu verbrauchenden Stroms wird gesteuert. Demgemäß ist es möglich, den Spannungsbereich und das Auflösungsvermögen der Spannungskompensation zu steuern. Beispielsweise kann die Laststeuerschaltung 24 den von jeder Lastvorrichtung 54 zu verbrauchenden Strombetrag so einstellen, dass der maximale Wert des Schwankungsbetrags des von der geprüften Vorrichtung 200 verbrauchten Stroms im Wesentlichen derselbe wird wie der maximale Wert des Schwankungsbetrags des von der Lastschaltung 46 verbrauchten Stroms.
  • 13 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Messschaltung 30. Die Messschaltung 30 bei dem vorliegenden Beispiel enthält eine Filterschaltung 32, einen Oszillator 34, eine Frequenzmessschaltung 36 und eine Spannungsberechnungsschaltung 38. Die Filterschaltung 32 empfängt eine zu dem Quellenleistungs-Eingangsanschluss der geprüften Vorrichtung 200 gelieferte Quellenspannung. Dann entfernt die Filterschaltung 32 eine Gleichkomponente einer eingegebenen Quellenspannung, überlagert eine herausgezogene Wechselkomponente über einen vorbestimmten Spannungspegel und gibt das Ergebnis aus. Demgemäß gibt die Filterschaltung 32 eine Spannung aus, die mit Bezug auf einen vorbestimmten Spannungspegel und um einen Schwankungsbetrag der Quellenspannung schwankt. Der Spannungspegel kann die vorstehend beschriebene Bezugsspannung sein. Bei einem anderen Beispiel kann der Oszillator 34 die an die geprüfte Vorrichtung 200 angelegte Quellenspannung ohne Durchgang durch die Filterschaltung 32 empfangen.
  • Der Oszillator 34 erzeugt ein Taktsignal mit einer Frequenz, die in Übereinstimmung mit der von der Filterschaltung 32 gelieferten Spannung ist. D. h., der Oszillator 34 gibt ein Taktsignal mit einer Frequenz aus, die in Übereinstimmung mit der Quellenspannung ist, aus der die Gleichspannungskomponente entfernt wurde. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erzeugt der Oszillator 34 ein Taktsignal, das eine höhere Frequenz hat, wenn die Quellenspannung höher wird, und das eine niedrigere Frequenz hat, wenn die Quellenspannung niedriger wird.
  • Die Frequenzmessschaltung 36 misst die Frequenz eines von dem Oszillator 34 ausgegebenen Taktsignals. Genauer gesagt, die Frequenzmessschaltung 36 misst die Anzahl von Impulsen des Taktsignals innerhalb einer vorbestimmten Bezugsperiode (z. B. während einer vorbestimmten Periode eines Bezugstakts). Die Spannungsberechnungsschaltung 38 misst die Quellenspannung der geprüften Vorrichtung 200 auf der Grundlage der von der Frequenzmessschaltung 36 gemessenen Frequenz des Taktsignals.
  • Die Spannungsberechnungsschaltung 38 kann vorher über eine Beziehung zwischen der Frequenz des Taktsignals und der zu dem Oszillator 34 gelieferten Quellenspannung informiert werden. Die Spannungsberechnungsschaltung 38 benachrichtigt die Laststeuerschaltung 24 über die gemessene Quellenspannung. Wie vorstehend erwähnt ist, steuert die Laststeuerschaltung 24 das Auflösungsvermögen des von der Lastschaltung 46 verbrauchten Stroms auf der Grundlage des mitgeteilten Spannungswerts. Die Laststeuerschaltung 24 kann vorher über eine Beziehung zwischen dem Schwankungsbetrag der Quellenspannung und dem einzustellenden Auflösungsvermögen des Verbrauchsstroms der Lastschaltung 46 informiert werden. Die Beziehung kann auf der Grundlage eines Widerstandswerts der Impedanzkomponente 25 in der Leistungszuführungsverdrahtung 31 berechnet werden.
  • Wie aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, ist es gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung möglich, der Schwankung des Verbrauchsstroms und der Quellenspannung schnell zu folgen, indem eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung entweder innerhalb oder in der Nähe einer geprüften Vorrichtung vorgesehen wird. Weiterhin ist es möglich, den Kompensationsbereich und das Kompensationsauflösungsvermögen in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf einen geeigneten Wert einzustellen. Folglich ist es möglich, die Schwankung des Verbrauchsstroms und der Quellenspannung genau zu kompensieren und eine geprüfte Vorrichtung genau zu prüfen.
  • Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist festzustellen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen vornehmen kann, ohne den Geist und Bereich der vorliegenden Erfindung, die nur durch die angefügten Ansprüche definiert ist, zu verlassen.
  • Zusammenfassung:
  • Eine Prüfvorrichtung (100), die eine geprüfte Vorrichtung (200) prüft, enthält: eine Mustererzeugungsschaltung (10), die ein Prüfmuster in die Vorrichtung eingibt; eine Beurteilungsschaltung (16), die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der Vorrichtung auf der Grundlage eines von der Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals durchführt; eine Leistungszuführungsvorrichtung (18), die eine Quellenleistung zu der Vorrichtung liefert; eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung (40) zum Kompensieren einer Schwankung einer an die Vorrichtung angelegten Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, die einen Kompensationsstrom gemäß der Schwankung des Verbrauchsstroms innerhalb eines eingestellten Strombereichs und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln erzeugt; und eine Einstellschaltung (20), die einen Schwankungsbetrag der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die Vorrichtung eingegeben wird, erfasst und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des Schwankungsbetrags einstellt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2005-313335 [0002]

Claims (12)

  1. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche Prüfvorrichtung aufweist: eine Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster in eine geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Beurteilungsschaltung, die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals durchführt; eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung liefert; eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung, die, um eine Schwankung einer an die geprüfte Vorrichtung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der geprüften Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuzuschreiben ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms innerhalb eines Strombereichs ist, der eingestellt und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist; und eine Einstellschaltung, die einen Schwankungsbetrag der sich ergebenden Quellenspannung erfasst, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Mustererzeugungsschaltung aufeinander folgend mehrere zu einer Zeit der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung einzugebende Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für jedes der Prüfmuster oder für jeden Adressenblock von jedem der Prüfmuster erfasst und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des maximalen Werts des erfassten Schwankungsbetrags der Quellenspannung einstellt.
  3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Mustererzeugungsschaltung ein vorbestimmtes Prüfmuster, das den Schwankungsbetrag der Quellenspannung maximiert, in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung die Schwankung der Quellenspannung, die sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, erfasst und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung vor der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung einstellt.
  5. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster so in die geprüfte Vorrichtung eingibt, dass die Schwankung der Quellenspannung gemessen wird, wenn ein Fehlerverhältnis der geprüften Vorrichtung durch die Beurteilungsschaltung als höher als ein vorbestimmter Bezugswert nach der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung bestimmt wird, und die Einstellschaltung den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des Schwankungsbetrags der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, einstellt.
  6. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster wiederholt in die geprüfte Vorrichtung eingibt, und die Einstellschaltung enthält: eine Laststeuerschaltung, die, jedes Mal, wenn die Mustererzeugungsschaltung das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt, den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung so ändert, dass die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit jedem sich ergebenden Strombereich ist; und eine Messschaltung, die die Schwankung der Quellenspannung für jeden sich ergebenden Strombereich misst, und die Laststeuerschaltung einen Strombereich, bei dem der von der Messschaltung gemessene Schwankungsbetrag der Quellenspannung minimal wird, in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung bei der tatsächlichen Prüfung der geprüften Vorrichtung einstellt.
  7. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Messschaltung eine Quellenspannungs-Wellenform der geprüften Vorrichtung für jedes in die geprüfte Vorrichtung eingegebene Prüfmuster misst und den Schwankungsbetrag der Quellenspannung für jedes Prüfmuster durch Vergleichen des maximalen Wertes und des minimalen Wertes der Quellenspannung auf der Grundlage jeder gemessenen Quellenspannungs-Wellenform erfasst.
  8. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Lastschwankungs-Kompensationsschaltung enthält: eine erste Verzögerungsschaltung, die ein zugeführtes Taktsignal um einen Verzögerungsbetrag, der um einen vorbestimmten ersten Schwankungsbetrag mit Bezug auf eine Schwankungsbetragseinheit einer zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung schwankt, verzögert; eine zweite Verzögerungsschaltung, die ein zugeführtes Taktsignal um einen Verzögerungsbetrag, der um einen zweiten Schwankungsbetrag, der größer als der erste Schwankungsbetrag ist, mit Bezug auf die Schwankungsbetragseinheit der zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung schwankt, verzögert, wobei die zweite Verzögerungsschaltung parallel zu der ersten Verzögerungsschaltung vorgesehen ist; eine Lastschaltung, die parallel zu der geprüften Vorrichtung vorgesehen ist und zumindest einen Teil der Leistungszuführungsverdrahtung mit der geprüften Vorrichtung teilt; und eine Phasenerfassungsschaltung, die eine Phasendifferenz zwischen dem von der ersten Verzögerungsschaltung ausgegebenen Taktsignal und dem von der zweiten Verzögerungsschaltung ausgegebe nen Taktsignal erfasst und einen von der Lastschaltung verbrauchten Verbrauchsstrombetrag innerhalb des von der Einstellschaltung eingestellten Strombereichs und bei der Anzahl von Pegeln auf der Grundlage der Phasendifferenz einstellt.
  9. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Einstellschaltung eine Messschaltung enthält, die die Quellenspannung misst, und die Messschaltung enthält: einen Oszillator, der ein Taktsignal mit einer Frequenz, die in Übereinstimmung mit der zu der geprüften Vorrichtung gelieferten Quellenspannung ist, ausgibt; eine Frequenzmessschaltung, die die Frequenz des Taktsignals misst; und eine Spannungsberechnungsschaltung, die die Quellenspannung auf der Grundlage der von der Frequenzmessschaltung gemessenen Frequenz berechnet.
  10. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche geprüfte Vorrichtung eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung enthält, die, um eine Schwankung einer an eine interne Schaltung angelegten Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der internen Schaltung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Kompensationsstroms innerhalb eines eingestellten Strombereichs und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist, welche Prüfvorrichtung aufweist: eine Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Beurteilungsschaltung, die eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals durchführt; eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung liefert; und eine Einstellschaltung, die einen Schwankungsbetrag der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, erfasst und den Strombereich in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags einstellt.
  11. Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welches Prüfverfahren aufweist: einen Mustererzeugungsschritt des Eingebens eines Prüfmusters in die geprüfte Vorrichtung; einen Beurteilungsschritt der Durchführung einer Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals; einen Leistungszuführungsschritt des Lieferns einer Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung; einen Lastschwankungs-Kompensationsschritt des, um eine Schwankung einer an die geprüfte Vorrichtung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der geprüften Vorrichtung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, Erzeugens eines Kompensationsstroms, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Verbrauchsstroms innerhalb eines einge stellten Strombereichs und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln; und einen Einstellschritt des Erfassens eines Schwankungsbetrags der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingegeben wird, und des Einstellens des Strombereichs in dem Lastschwankungs-Kompensationsschritt auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags.
  12. Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche geprüfte Vorrichtung eine Lastschwankungs-Kompensationsschaltung enthält, die, um eine Schwankung einer an eine interne Schaltung anzulegenden Quellenspannung, die einer Schwankung eines von der internen Schaltung verbrauchten Verbrauchsstroms zuschreibbar ist, zu kompensieren, einen Kompensationsstrom erzeugt, der in Übereinstimmung mit der Schwankung des Kompensationsstroms innerhalb eines eingestellten Strombereichs und bei einer vorbestimmten Anzahl von Pegeln ist, welches Prüfverfahren aufweist: einen Mustererzeugungsschritt des Eingebens eines Prüfmusters in die geprüfte Vorrichtung; einen Beurteilungsschritt des Durchführens einer Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals; einen Leistungszuführungsschritt des Lieferns einer Quellenleistung zu der geprüften Vorrichtung; und einen Einstellschritt des Erfassens eines Schwankungsbetrags der Quellenspannung, der sich ergibt, wenn das Prüfmuster in die geprüfte Vor richtung eingegeben wird, und des Einstellens des Strombereichs in der Lastschwankungs-Kompensationsschaltung auf der Grundlage des erfassten Schwankungsbetrags.
DE112006003066T 2005-10-27 2006-10-16 Prüfvorrichtung und Prüfverfahren Withdrawn DE112006003066T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-313335 2005-10-27
JP2005313335 2005-10-27
PCT/JP2006/320552 WO2007049476A1 (ja) 2005-10-27 2006-10-16 試験装置、及び試験方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112006003066T5 true DE112006003066T5 (de) 2008-09-25

Family

ID=37967589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112006003066T Withdrawn DE112006003066T5 (de) 2005-10-27 2006-10-16 Prüfvorrichtung und Prüfverfahren

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7979218B2 (de)
JP (1) JP4939429B2 (de)
KR (1) KR100977415B1 (de)
DE (1) DE112006003066T5 (de)
WO (1) WO2007049476A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4542975B2 (ja) * 2005-09-27 2010-09-15 株式会社アドバンテスト 電子デバイス、負荷変動補償回路、電源装置、及び試験装置
WO2010029597A1 (ja) * 2008-09-10 2010-03-18 株式会社アドバンテスト 試験装置および回路システム
JP5272892B2 (ja) * 2009-05-27 2013-08-28 富士通セミコンダクター株式会社 試験条件調整装置および試験条件調整方法
JP2012083208A (ja) * 2010-10-12 2012-04-26 Advantest Corp 試験装置
JP2012098220A (ja) 2010-11-04 2012-05-24 Advantest Corp 試験装置
JP2013181831A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Advantest Corp 試験装置
JP2014185853A (ja) 2013-03-21 2014-10-02 Advantest Corp 電流補償回路、半導体デバイス、タイミング発生器、試験装置
CN104142419B (zh) * 2014-07-18 2017-02-01 华中电网有限公司 一种考虑负荷影响的电网短路电流获取方法
JP6683515B2 (ja) * 2016-03-23 2020-04-22 株式会社メガチップス 信号生成装置及びレギュレータの出力電圧の変動抑制方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005313335A (ja) 2004-04-27 2005-11-10 Brother Ind Ltd 配線部材の接続方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5847800U (ja) * 1981-09-28 1983-03-31 セイコーインスツルメンツ株式会社 Ｘ線分析装置
JPS59152470A (ja) * 1983-02-18 1984-08-31 Nec Home Electronics Ltd プリント方法
JPS59152470U (ja) * 1983-03-30 1984-10-12 ニチコン株式会社 電圧測定装置
JPH07218596A (ja) * 1994-02-03 1995-08-18 Mitsubishi Electric Corp 半導体試験装置
JP3599256B2 (ja) * 1996-02-29 2004-12-08 株式会社アドバンテスト 電圧印加電流測定回路
JP2001004692A (ja) 1999-01-01 2001-01-12 Advantest Corp 半導体試験装置
WO2004104606A1 (ja) 2003-05-21 2004-12-02 Advantest Corporation 電源装置、試験装置及び電源電圧安定化装置
JP4598645B2 (ja) * 2005-10-13 2010-12-15 富士通セミコンダクター株式会社 試験方法および試験装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005313335A (ja) 2004-04-27 2005-11-10 Brother Ind Ltd 配線部材の接続方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080055900A (ko) 2008-06-19
JPWO2007049476A1 (ja) 2009-04-30
US20090287431A1 (en) 2009-11-19
WO2007049476A1 (ja) 2007-05-03
KR100977415B1 (ko) 2010-08-24
JP4939429B2 (ja) 2012-05-23
US7979218B2 (en) 2011-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112006003066T5 (de) Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
DE69733789T2 (de) Hochauflösendes Stromversorgungsprüfsystem
DE69833595T2 (de) Synchrones Verzögerungsschaltkreissystem
DE102016100539B4 (de) ON-Chip Oszilloskop
DE69921277T2 (de) System und Verfahren zur Fehlererkennung in einer elektrischen Schaltung durch Ruhestromanalyse
DE60306604T2 (de) Genaue Frequenz-Mess-Schaltung durch Zeit-Differenz-Dehnung und zwei Zähler, sowie Resonanz-Druck-Wandler Transmitter
EP2597931A2 (de) Treiberschaltung und zugehörige Fehlererkennungsschaltung und Verfahren hierfür
DE112007003552T5 (de) Störungsmessgerät und Prüfgerät
DE112006002395T5 (de) Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
DE102005062405A1 (de) Verfahren zum Messen der Charakteristiken von FETs
DE10045671B4 (de) Testvorrichtung und Testverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung
DE112005002538T5 (de) Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
DE112005000986T5 (de) Gleichstrom-Prüfvorrichtung
DE112007001946T5 (de) Lastschwankung-Kompensationsschaltung, elektronische Vorrichtung, Prüfvorrichtung, Taktgeneratorschaltung und Lastschwankungs-Kompensationsverfahren
DE19744651C2 (de) Halbleitertestvorrichtung zum Messen des Versorgungsstromes einer Halbleitereinrichtung
DE102008059791A1 (de) Automatisch-mittelnde RC-Zeitkonstanten-Kalibrierung
DE60307297T2 (de) Verfahren und einrichtung zur ruhestrombestimmung
EP1116957B1 (de) Schaltungsanordnung zur Kapazitätsmessung von Strukturen in einer integrierten Schaltung
DE112007003570T5 (de) Erfassungsgerät und Prüfgerät
DE3623136C2 (de)
EP0617262B1 (de) Störausblendung bei einer Differentialdosierwaage mit Fuzzy Regelung
EP1616174A1 (de) Vorrichtung zum betreiben eines gassensors
DE102005055836B4 (de) Leistungstestplatte
DE3428580A1 (de) Wechselstromparametrische schaltung
DE112008000741T5 (de) Prüfgerät und Messschaltung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110502