DE112005002436T5

DE112005002436T5 - Programm, Prüfvorrichtung und Prüfverfahren

Info

Publication number: DE112005002436T5
Application number: DE112005002436T
Authority: DE
Inventors: Shinji Furumi
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2005-09-30
Publication date: 2007-08-23
Also published as: TWI356993B; JP2008514899A; US20060085712A1; KR20070067167A; KR101228167B1; US7228475B2; WO2006036035A1; TW200619925A

Abstract

Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Programm aufgezeichnet ist, um eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung zu betreiben, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung wirksam ist als:
eine Vergleichseinheit zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal;
eine Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht;
einen Fehlerspeicher zum Speichern der durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal gemäß dem Ratensignal erhaltenen Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an verschiedenen Adressen; und
eine Periodenberechnungseinheit zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Programm aufgezeichnet ist, um eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung zu betreiben, eine Prüfvorrichtung und ein Verfahren zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung, die die Periode eines Ausgangssignals von einer elektronischen Vorrichtung messen kann.
STAND DER TECHNIK
In jüngster Zeit haben Vorrichtungen, die eine Funktion zur Ausgabe eines Signals mit einer festen Periode haben, wie ein interner Takt, für elektronische Vorrichtungen wie einen Halbleiterspeicher und der gleichen, zugenommen. Ein derartiges Signal muss so gebildet sein, dass es eine ordnungsgemäße Wellenform hat, um zu einer Vorrichtung des nächsten Schrittes übertragen zu werden. Hierzu ist es für den Fall der Prüfung einer elektronischen Vorrichtung wünschenswert, die Frequenz des Signals zu messen und dergleichen.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Mit Inkriminierungen einer derartigen Vorrichtung haben Prüfvorrichtungen, die eine Funktion des Messens de Frequenz eines Signals haben, zugenommen. Diese Arten von Prüfvorrichtungen messen die Frequenz des Signals durch Verwendung eines Frequenzzählers und dergleichen. Jedoch sind in den meisten Prüfvorrichtungen für Speicher, die herkömmlich verwendet wurden, Messvorrichtungen wie der Frequenzzähler nicht vorgesehen. Bei diesen von Prüfvorrichtungen war es unmöglich, die Frequenz des internen Takts einer elektronischen Vorrichtung und dergleichen zu messen.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Programm einer Prüfvorrichtung aufgezeichnet ist, eine Prüfvorrichtung und ein Prüfverfahren anzugeben, die in der Lage sind, die vorgenannten, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die vorgenannte Aufgabe kann durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfin dung.
Um die vorgenannten Nachteile zu überwinden, ist gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Programm aufgezeichnet ist, um eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung zu betreiben, vorgesehen, wobei das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung Funktionen durchführt als eine Vergleichseinheit zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal, eine Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignals den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, ein Fehlerspeicher zum aufeinander folgenden Speichern der Vergleichsergebnisse an verschiedenen Adressen, die erhalten wurden durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal, und eine Periodenberechnungseinheit zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Das Programm kann weiterhin bewirken, dass die Prüfvorrichtung Funktionen durchführt als eine Steuereinheit für den erwarteten Wert zum Liefern des erwarteten Wertesignals, der auf einen vorgeschriebenen Wert fixiert ist, zu der Vergleichseinheit, für den Fall der Ausführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals, und zum Liefern des erwarteten Wertesignals entsprechend einem zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Prüfmuster zu der Vergleichs einheit, für den Fall der Durchführung einer Prüfung ohne Messung der Periode des Ausgangssignals.
Weiterhin kann das Programm bewirken, dass die Prüfvorrichtung Funktionen durchführt als eine Ratensteuereinheit, um zu bewirken, dass die Takterzeugungseinheit das Ratensignal mit einer festen Periode erzeugt, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Weiterhin bewirkt das Programm, das die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, bis die Vergleichsergebnisse an allen Adressen des Fehlerspeichers aufeinander folgend gespeichert sind, für den Fall der Ausführung einer Prüfung zur Messung der Periode des Ausgangssignals.
Weiterhin kann das Programm bewirken, dass die Periodenberechnungseinheit Zeitfolgedaten erzeugt durch Anordnen der Vergleichsergebnisse, von denen jedes an jeder Adresse des Fehlerspeichers in zeitlicher Folge gespeichert ist, für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Schaltens des Wertes der Zeitfolgedaten größer als ein vorgeschriebener Wert ist, dass die Periodenberechnungseinheit die Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der Zeitfolgedaten berechnet, und dass für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Schaltens des Wertes der Zeitfolgedaten kleiner als ein vorgeschriebener Wert, die Periodenberechnungseinheit die Zeitfolgedaten speichert, der Fehlerspeicher die gespeicherten Vergleichsergebnisse eliminiert, die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, bis die Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an allen Adressen des Fehlerspeichers neu gespeichert sind, die Periodenberechnungseinheit weiterhin neue Zeitfolgedaten erzeugt, und die Periodenberechnungseinheit die Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der gespeicherten Zeitfolgedaten und der neuen Zeitfolgedaten berechnet.
Weiterhin bewirkt das Programm, dass die Prüfvorrichtung die Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals durchführt, für den Fall, dass ein interner Takt der elektronischen Vorrichtung zu der Vergleichseinheit als das Ausgangssignal geliefert wird.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, welche Prüfvorrichtung aufweist: eine Vergleichseinheit zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal, eine Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, einen Fehlerspeicher zum aufeinander folgenden Speichern der Vergleichsergebnisse an verschiedenen Adressen, die erhalten wurden durch aufeinander folgend gemäß dem Ratensignal durchgeführten Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal, und eine Periodenberechnungseinheit zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Ausführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfverfahren zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, welches aufweist: einen Vergleichsschritt zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal, einen Takterzeugungsschritt zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, einen Fehlerspeicherschritt zum aufeinander folgenden Speichern der Vergleichsergebnisse, die durch aufeinander folgendes Vergleichen gemäß dem Ratensignal des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal erhalten wurden, an verschiedenen Adressen, und einen Periodenberechnungsschritt zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Die Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
WIRKUNG DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, selbst wenn eine Prüfvorrichtung kein Merkmal wie einen Frequenzzähler oder dergleichen hat, die Vorrichtung leicht die Periode und die Frequenz des periodischen Signals berechnen.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt ein Beispiel für die Wellenform eines von einer elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals.
3 ist ein Flussdiagramm, das beispielhaft die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt.
4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Computers 1200 zum Steuern der Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung 200 wie eines Halbleiterspeichers, und sie enthält eine Ratensteuereinheit 10, eine Takterzeugungseinheit 20, eine Steuereinheit 30 für einen erwarteten Wert, eine Mustererzeugungseinheit 40, mehrere Vergleichseinheiten (50-1 bis 50-n, nachfolgend als 50 bezeichnet), mehrere Fehlerspeicher (60-1 bis 60-n, nachfolgend als 60 bezeichnet), und eine Periodenberechnungseinheit 70.
Die Mustererzeugungseinheit 40 erzeugt ein Prüfmuster, das an jeden der Eingangsstifte der elektronischen Vorrichtung 200 anzulegen ist. Weiterhin erzeugt die Takterzeugungseinheit 20 ein Taktsignal, das den Zeitpunkt vorschreibt, zu welchem das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 200 zu liefern ist, und liefert das Taktsignal zu der Mustererzeugungseinheit 40. Dann liefert die Mustererzeugungseinheit 40 das Prüfmuster gemäß dem empfangenen Taktsignal zu der elektronischen Vorrichtung 200.
Die Steuereinheit 30 für erwarteten wert bewirkt, dass die Mustererzeugungseinheit den erwarteten Wert, der zu jeder Vergleichseinheit 50 zu liefern ist, erzeugt. Beispielsweise erzeugt die Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert ein erwartetes Wertesignal für das Ausgangssignal, das von der elektronischen Vorrichtung 200 auszugeben ist, auf der Grundlage des Prüfmusters, das die Mustererzeugungseinheit 40 erzeugt. Das erwartete Wertesignal kann identisch mit dem Prüfmuster sein.
Die Vergleichseinheit 50 ist entsprechend jedem der Ausgangsstifte der elektronischen Vorrichtung 200 versehen und vergleicht das Ausgangssignal des entsprechenden Ausgangsstifts mit dem von der Mustererzeugungseinheit 40 angelegten erwarteten Wertesignal. Hier vergleicht die Vergleichseinheit 50 das Ausgangssignal zu dem von dem angelegten Ratensignal vorgeschriebenen Zeitpunkt mit dem erwarteten Wert.
Beispielsweise vergleicht die Vergleichseinheit 50 die Spannung des Ausgangssignals mit einer vorbestimmten Schwellenspannung zu dem durch das Ratensignal vorgeschriebenen Zeitpunkt und wandelt das Ausgangssignal in ein durch H/L gezeigtes digitales Signal um. die Takterzeugungseinheit 20 erzeugt ein Ratensignal und liefert das Ratensignal zu der Vergleichseinheit 50. Dann gibt die Vergleichseinheit 50 das Vergleichsergebnis zwischen dem digitalen Signal und erwarteten Wertesignal aus.
Der Fehlerspeicher 60 ist entsprechend jeder der Vergleichseinheiten der elektronischen Vorrichtung 200 versehen und speichert das Vergleichsergebnis der entsprechenden Vergleichseinheit 50. Wenn beispielsweise das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wert übereinstimmt, gibt die Vergleichseinheit 50 "Gut" als ein Vergleichsergebnis aus, anderenfalls gibt die Vergleichseinheit 50 "Schlecht" als ein Vergleichsergebnis aus.
Durch den vorbeschriebenen Vorgang führt die Prüfvorrichtung 100 eine Prüfung einer Speichereinheit, einer logischen Einheiten der elektronischen Vorrichtung 200 und dergleichen durch. Weiterhin hat die Prüfvorrichtung 100 eine Funktion des Prüfens der Periode des Periodensignals des von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenen internen Takts. In diesem Fall ist eine der Vergleichseinheiten 50 mit einem von mehreren Stiften der elektronischen Vorrichtung 200 verbunden, der das periodische Signal ausgibt. Ein Benutzer kann vor Beginn der Prüfung festlegen, welche Vergleichseinheit 50 dem Stift für das periodische Signal zuzuweisen ist. Für das vorliegende Beispiel wird der Fall beschrieben, in welchem die Vergleichseinheit 50-n dem Stift für das periodische Signal zugeteilt ist.
Wie andere Vergleichseinheiten 50 vergleicht die Vergleichseinheit 50-n das eingegebene periodische Signal mit dem erwarteten Wertesignal. Hier bewirkt für den Fall der Durchführung der Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals die Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert, dass der erwartete Wert, der auf einen vorbestimmten Wert festgelegt ist, zu der Vergleichseinheit 50 geliefert wird, und in dem Fall der Durchführung der Prüfung ohne Messen der Periode des Ausgangssignals bewirkt die Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert, dass das erwartete Wertesignal, das dem zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Prüfmuster entspricht, zu der Vergleichseinheit 50 geliefert wird. Bei dem vorliegenden Beispiel bewirkt die Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert, dass der erwartete Wert, der auf einen vorbestimmten Wert festgelegt ist, zu der Vergleichseinheit 50-n geliefert wird, und die erwarteten Werte, die dem Prüfmuster entsprechen, zu den anderen Vergleichseinheiten 50 geliefert werden. Weiterhin bewirkt die Ratensteuereinheit 10, dass die Takterzeugungseinheit das Ratensignal mit einer festen Periode erzeugt und das Ratensignal zu der Vergleichseinheit 50-n geliefert wird.
Die Vergleichseinheit 50-n führt das Vergleichen aufeinander folgend gemäß dem Ratensignal durch, und der Fehlerspeicher 60-n speichert die Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an verschiedenen Adressen. Die Periodenberechnungseinheit 70 berechnet die Periode des periodischen Signals auf der Grundlage der Vergleichsergebnisse, die der Fehlerspeicher 60 entsprechend dem das periodische Signal ausgebenden Stift speichert, für den Fall der Durchführung einer Prü fung zum Messen der Periode des Ausgangssignals. Der Benutzer bestimmt, welcher vergleichende Speicher auszuwählen ist, um das zu verwendende Vergleichsergebnis zu liefern, auf der Grundlage der vorbestimmten Informationen vor dem Start der Prüfung. Bei dem vorliegenden Beispiel berechnet die Periodenberechnungseinheit 70 die Periode auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses, das der Fehlerspeicher 60-n speichert.
Durch die vorbeschriebenen Vorgänge ist es möglich, dass eine Prüfvorrichtung, die keinen Frequenzzähler und dergleichen hat, die Periode und die Frequenz des von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals leicht berechnet. Weiterhin kann eine Arbeitstation, die die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung steuert, als die Periodenberechnungseinheit 70 wirken.
2 zeigt ein Beispiel für die Wellenform des von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals. Der vorbestimmte Vergleichspegel wird an die Vergleichseinheit 50-n angelegt, und die Vergleichseinheit 50-n vergleicht, wie vorstehend beschrieben ist, den Vergleichspegel mit der Spannung des periodischen Signals zu dem Zeitpunkt entsprechend dem Ratensignal mit einer festen Periode (Rate) und wandelt das periodische Signal in ein digitales Signal um. Für die Vergleichseinheit 50, die die Periode des Periodensignals messen soll, kann ein Spannungswert, der im Wesentlichen die Hälfte der Wellenform des periodischen Signals ist, vorher als der Vergleichspegel gesetzt werden.
Weiterhin wird, wie vorstehend beschrieben ist, das erwartete Wertesignal, das auf einen vorbestimmten Wert festgelegt ist, zu der Vergleichseinheit 50-n geliefert, und diese vergleicht das erwartete Wertesignal mit dem in ein digitales Signal umgewandelten periodischen Signal. Beispielsweise kann das periodische Signal mit dem erwarteten Wert, der auf einen logischen Wert H festgelegt ist, verglichen werden, und es kann auch ein logischer Wert L mit dem periodischen Signal verglichen werden. Bei dem vorliegenden Beispiel wird das periodische Signal mit dem erwarteten Wert, der auf einen logischen Wert H festgelegt ist, verglichen. Daher wird, wie in 2 gezeigt ist, das durch Vergleichen des erwarteten Wertes mit dem periodischen Signal erhaltene Vergleichsergebnis (Gut oder Schlecht, P oder F in 2) ausgegeben.
Dann speichert der Fehlerspeicher 60-n die Vergleichsergebnisse an den verschiedenen Adressen. Beispielsweise kann jedes Mal, wenn die Vergleichseinheit 50-n ein Vergleichsergebnis ausgibt, der Fehlerspeicher 60-n aufeinander folgend die Adresse zum Speichern des Vergleichsergebnisses erhöhen, und er kann auch aufeinander folgend die Adresse zum Speichern des Vergleichsergebnisses verringern. Die Adresse, an der der Fehlerspeicher 60-n das Vergleichsergebnis speichert, kann beispielsweise aufeinander folgend gemäß dem zu dem Vergleichsergebnis 50-n gelieferten Ratensignal von der Mustererzeugungseinheit 40 erzeugt werden.
Weiterhin kann die Vergleichseinheit 50-n das Vergleichen der Ausgangssignale und der erwarteten werte fortsetzen, bis die Vergleichsergebnissen an allen Adressen des Fehlerspeichers 60-n aufeinander folgend gespeichert sind. Weiterhin kann die Mustererzeugungseinheit 40 die aufeinander folgende Erzeugung von Adressen des Fehlerspeichers 60-n fortsetzen, bis die Vergleichsergebnisse an allen Adressen des Fehlerspeichers 60-n aufeinander folgend gespeichert sind.
Die Periodenberechnungseinheit 70 erzeugt Zeitfolgedaten durch Anordnen der an den Adressen in zeitlicher Folge gespeicherten Vergleichsergebnisse. Für den Fall, dass der Fehlerspeicher 60-n die Vergleichsergebnisse an aufeinander folgend ansteigenden oder abnehmenden Adressen speichert, kann die Periodenberechnungseinheit 70 Zeitfolgedaten durch Anordnen der Vergleichsergebnisse in der Reihenfolge der Adressen erzeugen.
Dann zieht die Periodenerzeugungseinheit 70 Punkte heraus, an denen die Werte der Zeitfolgedaten umschalten, und berechnet die Flankenintervalle des periodischen Signals durch Multiplizieren der Breiten der Zeitfolgedaten zwischen den Punkten mit der Periode des Ratensignals. Und dann berechnet die Periodenerzeugungseinheit 70 auf der Grundlage jeder berechneten Breite die Periode und die Frequenz des periodischen Signals. Beispielsweise kann für den Fall der Erfassung von drei Punkten, an denen der Wert der Zeitfolgedaten umschaltet, die Periode des periodischen Signals berechnet werden durch die Summe des Flankenintervalls entsprechend dem Punktintervall zwischen zwei vorhergehenden Punkten und dem Flankenintervall entsprechend dem Punktintervall zwischen zwei folgenden Punkten.
Weiterhin ist es wünschenswert, um die Periode des periodischen Signals genau zu berechnen, in der Lage zu sein, mehrere Punkte herauszuziehen, an denen der Wert der Zeitfolgedaten umschaltet. Jedoch ist es manchmal unmöglich, mehrere Punkte herauszuziehen, da die Anzahl der Adressen des Fehlerspeichers 60-n begrenzt ist. Für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Umschaltens des Wertes der Zeitfolgedaten größer als eine vorbestimmte Anzahl von Malen ist, kann die Periodenberechnungseinheit 70 die Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der Zeitfolgedaten berechnen.
Weiterhin kann für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Umschaltens des Wertes der Zeitfolgedaten kleiner als eine vorbestimmte Anzahl von Malen ist, die Periodenberechnungseinheit 70 die Zeitfolgedaten speichern, neue Zeitfolgedaten erzeugen und die Periode des periodischen Signals auf der Grundlage der gespeicherten Zeitfolgedaten und der neuen Zeitfolgedaten berechnen. In diesem Fall löscht der Fehlerspeicher 60-n das zu der Periodenberechnungseinheit 70 ausgegebene Vergleichsergebnis, und die Vergleichseinheit 50-n führt weiterhin den Vergleich des periodischen Signals mit dem erwarteten Wert durch, bis neue Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an allen Adressen des Fehlerspeichers 60-n gespeichert sind. Dann berechnet die Periodenberechnungseinheit 70 weiterhin neue Zeitfolgedaten auf der Grundlage der Vergleichsergebnisse, die der Fehlerspeicher 60-n neu speichert.
Durch die vorbeschriebenen Vorgänge ist es möglich, selbst wenn die Anzahl der Adressen des Fehlerspeichers 60-n klein ist, die Periode des periodischen Signals genau zu berechnen. Weiterhin kann die Prüfvorrichtung 100 bei dem vorliegenden Beispiel die Periode des periodischen Signals mit einer Genauigkeit entsprechend der Periode des Ratensignals berechnen, wobei die herkömmliche Konfiguration verwendet wird.
Weiterhin kann die Prüfvorrichtung die Periode des Ausgangssignals für den Fall messen, dass der interne Takt der elektronischen Vorrichtung 200 als das Ausgangssignal zu der Vergleichseinheit 50 geliefert wird. Es kann durch die von dem Benutzer vor dem Start der Prüfung vorbestimmten Informationen bestimmt werden, ob die Vergleichseinheit mit dem internen Takt beliefert wird.
Weiterhin können für den Fall, dass der interne Takt der elektronischen Vorrichtung 200 als das Ausgangssignal zu der Vergleichseinheit 50 geliefert wird, die Ratensteuereinheit 10 und die Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert das Ratensignal mit einer festen Periode und das erwartete Wertesignal, das auf einen vorbestimmten logischen Wert festgelegt ist, erzeugen, um zu bewirken, dass die Periode des Ausgangssignals gemessen wird. Es kann durch den Benutzer vor dem Start der Prüfung bestimmt werden, ob die Vergleichseinheit mit dem internen Takt beliefert wird.
3 ist ein Flussdiagramm, das beispielhaft die Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt. Zuerst vergleicht in einem Vergleichsschritt S300 die Vergleichseinheit 50-n das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 200 mit dem erwarteten Wertesignal. Dann werden in einem Fehlerspeicherschritt S302 die Vergleichsergebnisse des Schrittes S300 aufeinander folgend an verschiedenen Adressen des Fehlerspeichers 60-n gespeichert.
Als Nächstes werden die in dem Fehlerspeicher 60-n gespeicherten Vergleichsergebnisse in zeitlicher folge angeordnet, und es wird bestimmt, ob der anfängli che Wert Gut oder Schlecht ist (S304). Wenn der anfängliche Wert Gut ist, wird ein Punkt erfasst, an dem das Vergleichsergebnis für die Zeitfolgedaten von Gut in Schlecht wechselt (S306). Weiterhin wird, wenn der anfängliche Wert Schlecht ist, ein Punkt erfasst, an dem das Vergleichsergebnis für die Zeitfolgedaten von Schlecht in Gut wechselt (S310). Dann werden, wenn der Änderungspunkt des Vergleichsergebnisses für S306 oder S310 erfasst wird, die Vorgänge S306 und S310 abwechselnd wiederholt. Der Zeitpunkt jeder der Flanken des periodischen Signals wird durch den vorstehenden Vorgang erfasst.
Weiterhin wird, wenn der Änderungspunkt des Vergleichsergebnisses für S306 oder S310 erfasst wird, anhand der Differenz zwischen dem Zeitpunkt des Änderungspunktes und dem des vorhergehenden Änderungspunkts die Impulsbreite zwischen den entsprechenden Flanken des periodischen Signals berechnet (S308, S312).
Dann wird, wenn die Erfassung des Änderungspunkts über alle Vergleichsergebnisse der Zeitfolgedaten durchgeführt ist, der Durchschnittswert der Impulsbreiten für jeweils S308 und S312 berechnet. Dann wird die Periode des periodischen Signals berechnet durch Summieren des für S308 berechneten Durchschnitts der Impulsbreiten und des für S312 berechneten Durchschnitts der Impulsbreiten (S316).
Weiterhin kann in S314 der Durchschnittswert der Impulsbreiten sowohl für S308 als auch für S312 berechnet werden, und die Periode des periodischen Signals kann berechnet werden durch Verdoppeln des Durchschnittswerts.
Durch den vorbeschriebenen Vorgang ist es möglich, selbst wenn die Prüfvorrichtung keinen Frequenzzähler und dergleichen hat, die Periode und die Frequenz eines periodischen Signals durch die Prüfvorrichtung leicht zu berechnen.
4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Computers 1200 zum Steuern der Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung prüft. Bei dem vorliegenden Beispiel speichert der Computer 1200 das Programm, welches bewirkt, dass die Prüfvorrichtung eine Funktion als die in den 1 bis 3 beschriebene Prüfvorrichtung durchführt.
Der Computer 1200 weist eine CPU 1100, einen ROM 1110, einen RAM 1120, eine Kommunikationsschnittstelle 1130, ein Plattenlaufwerk 1140, ein Diskettenlaufwerk 1150 und ein CD-ROM-Laufwerk 1160 auf. Die CPU 1100 arbeitet auf der Grundlage des in dem ROM 1110, dem RAM 1120, dem Plattenlaufwerk 1140, dem Diskettenlaufwerk 1190 und/oder einer CD-ROM 1195 gespeicherten Programms.
Beispielsweise bewirkt das Programm, dass den Betrieb der Prüfvorrichtung bewirkt, dass die Prüfvorrichtung die Funktion der Ratensteuereinheit 10, der Takterzeugungseinheit 20, der Steuereinheit 30 für den erwarteten Wert, der Mustererzeugungseinheit 40, der mehreren Vergleichseinheiten 50, der mehreren Fehlerspeicher 60 und der Periodenberechnungseinheit 70 durchführt.
Die Kommunikationsschnittstelle 1130 kommuniziert mit jedem der Elemente der Prüfvorrichtung 100, empfängt auf den Zustand jedes Elements und dergleichen bezogene Informationen und überträgt ein Steuersignal, das jedes Element steuert. Das Plattenlaufwerk 1140, der ROM 1110 oder der RAM 1120, ein Beispiel für die Speichervorrichtung, speichern vorbestimmte Informationen, ein Programm, das die Operation der CPU 1100 bewirkt, und dergleichen. Weiterhin kann das Programm in einem Aufzeichnungsmedium wie einer Diskette 1190, dem CD-ROM 1195 und dergleichen gespeichert sein.
Wenn die Diskette 1190 das Programm speichert, liest das Diskettenlaufwerk 1150 das Programm von der Diskette 1190 und liefert es zu der CPU 1100. Wenn der CD-ROM 1195 das Programm speichert, liest das CD-ROM-Laufwerk 1160 das Programm aus dem CD-ROM 1195 und liefert es zu der CPU 1100.
Weiterhin kann das Programm direkt aus dem RAM gelesen und ausgeführt werden, und es kann auch aus dem RAM gelesen und ausgeführt werden, nachdem dieser in dem Plattenlaufwerk 1140 installiert ist. Alternativ kann das Programm in einem Speichermedium gespeichert sein, und es kann auch in mehreren Speichermedien gespeichert sein. Zusätzlich kann das in dem Aufzeichnungsmedium gespeicherte Programm jede Funktion durch die Kooperation mit einem Betriebssystem vorsehen. Beispielsweise kann das Programm das Betriebssystem auffordern, einen Teil oder alle seiner Funktionen durchzuführen, und die Funktionen auf der Grundlage der Antwort des Betriebssystems vorsehen.
Es ist möglich, ein optisches Aufzeichnungsmedium wie eine DVD, eine PD und dergleichen, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium wie eine MD und dergleichen, ein Bandmedium, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, einen Halbleiterspeicher wie eine IC-Karte, eine Miniaturkarte und dergleichen, zusätzlich zu der Diskette und dem CD-ROM als ein Aufzeichnungsmedium zu verwenden, auf dem das Programm gespeichert ist. Eine Speichervorrichtung wie eine Platte, ein RAM und dergleichen, die für ein Serversystem vorgesehen ist, das mit einem vorbestimmten Kommunikationsnetzwerk und dem Internet verbunden ist, kann ebenfalls als ein Aufzeichnungsmedium verwendet werden.
Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege beispielhafter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der vorliegenden Erfindung, die nur durch die angefügten Ansprüche definiert ist, zu verlassen.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Wie vorstehend erläutert ist, kann gemäß der vorliegenden Erfindung, obgleich eine Prüfvorrichtung kein Merkmal wie einen Frequenzzähler und dergleichen hat, die Vorrichtung die Periode und die Frequenz des periodischen Signals leicht berechnen.
Zusammenfassung:
Es ist ein Aufzeichnungsmedium vorgesehen, auf dem ein Programm aufgezeichnet ist, um eine Prüfvorrichtung (100) zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung (200) zu betreiben, wobei das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung Funktionen durchführt als eine Vergleichseinheit (50) zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal, eine Takterzeugungseinheit (20) zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, einen Fehlerspeicher (60) zum aufeinander folgenden Speichern der Vergleichsergebnisse, die durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal gemäß dem Ratensignal erhalten wurden, an verschiedenen Adressen, und eine Periodenberechnungseinheit (70) zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.

Claims

Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Programm aufgezeichnet ist, um eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung zu betreiben, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung wirksam ist als: eine Vergleichseinheit zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal; eine Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht; einen Fehlerspeicher zum Speichern der durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal gemäß dem Ratensignal erhaltenen Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an verschiedenen Adressen; und eine Periodenberechnungseinheit zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, bei dem das Programm weiterhin bewirken kann, dass die Prüfvorrichtung wirksam ist als eine Steuereinheit für erwartete Werte zum Liefern des erwarteten Wertesignals, das auf einen vorgeschriebenen festgelegt ist, zu der Vergleichseinheit, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals, und zum Liefern des erwarteten Wertesignals entsprechend einem zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Prüfmuster zu der Vergleichseinheit für den Fall der Durchführung einer Prüfung ohne Messung der Periode des Ausgangssignals.
Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, bei dem das Programm weiterhin bewirken kann, dass die Prüfvorrichtung wirksam ist als eine Ratensteuereinheit, damit die Takterzeugungseinheit das Ratensignal mit einer festen Periode erzeugt, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, bei dem das Programm bewirkt, dass die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht, bis die Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an allen Adressen des Fehlerspeichers gespeichert sind, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 4, bei dem das Programm bewirkt: die Periodenberechnungseinheit erzeugt Zeitfolgedaten durch Anordnen der Vergleichsergebnisse, von denen jedes an jeder Adresse des Fehlerspeichers in zeitlicher Folge gespeichert ist; für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Umschaltens des Wertes der Zeitfolgedaten größer als ein vorgeschriebener Wert ist, berechnet die Periodenberechnungseinheit die Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der Zeitfolgeda ten; und für den Fall, dass die Anzahl von Malen des Umschaltens des Wertes der Zeitfolgedaten kleiner als ein vorgeschriebener Wert ist, speichert die Periodenberechnungseinheit die Zeitfolgedaten, eliminiert der Fehlerspeicher die gespeicherten Vergleichsergebnisse, vergleicht die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal, bis die Vergleichsergebnisse aufeinander folgend an allen Adressen des Fehlerspeichers neu gespeichert sind, erzeugt die Periodenberechnungseinheit weiterhin neue Zeitfolgedaten, und berechnet die Periodenberechnungseinheit die Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der gespeicherten Zeitfolgedaten und der neuen Zeitfolgedaten.
Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, bei dem das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung die Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals durchführt, für den Fall, dass ein interner Takt der elektronischen Vorrichtung als das Ausgangssignal zu der Vergleichseinheit geliefert wird.
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist: eine Vergleichseinheit zum vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wertesignal; eine Takterzeugungseinhit zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit dem erwarteten Wertesignal vergleicht; einen Fehlerspeicher zum Speichern der Ver gleichsergebnisse, die durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wertesignal gemäß dem Ratensignal erhalten wurden, aufeinander folgend an verschiedenen Adressen; und eine Periodenberechnungseinheit zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in dem Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.
Prüfverfahren zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welches aufweist: einen Vergleichsschritt zum Vergleichen des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung mit einem anzulegenden erwarteten Wert; einen Takterzeugungsschritt zum Erzeugen eines Ratensignals und zum Liefern des Ratensignals zu der Vergleichseinheit, wobei das Ratensignal den Zeitpunkt bestimmt, zu welchem die Vergleichseinheit das Ausgangssignal mit erwarteten Wertesignal vergleicht; einen Fehlerspeicherschritt zum Speichern der Vergleichsergebnisse, die durch aufeinander folgendes Vergleichen des Ausgangsignals mit dem erwarteten Wertesignal gemäß dem Ratensignal erhalten wurden, aufeinander folgend an verschiedenen Adressen; und einen Periodenberechnungsschritt zum Berechnen der Periode des Ausgangssignals auf der Grundlage der aufeinander folgend in Fehlerspeicher gespeicherten Vergleichsergebnisse, für den Fall der Durchführung einer Prüfung zum Messen der Periode des Ausgangssignals.