DE112005000438T5

DE112005000438T5 - Eine Zwischenverbindungsstruktur und ein Verfahren zum Verbinden von vergrabenen Signalleitungen mit elektrischen Vorrichtungen

Info

Publication number: DE112005000438T5
Application number: DE112005000438T
Authority: DE
Inventors: Steven A. Mountain View Rosenau
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Avago Technologies International Sales Pte Ltd
Priority date: 2004-02-25
Filing date: 2005-02-24
Publication date: 2007-02-22
Anticipated expiration: 2025-02-25
Also published as: CN1922767A; JP2007524254A; DE112005000438B4; DE202005021915U1; US7018219B2; US20050176272A1; WO2005082034A2; WO2005082034A3; TW200527992A; CN100541916C

Abstract

Eine Zwischenverbindung, die folgende Merkmale aufweist:
eine Kontaktanschlussfläche (202), die mit einer Signalleitung bei einer ersten elektrischen Vorrichtung verbunden ist, wobei die Kontaktanschlussfläche (202) und die Signalleitung durch eine oder mehrere Schichten (106, 110) abgedeckt sind;
eine Öffnung (114) durch die eine oder die mehreren Schichten (106, 110), um einen Abschnitt der Kontaktanschlussfläche (202) freizulegen; und
einen Verbinder in direktem Kontakt mit einer zweiten elektrischen Vorrichtung und der sich in die Öffnung (114) erstreckt, um die Kontaktanschlussfläche (202) zu kontaktieren, um eine elektrische Verbindung zwischen der Kontaktanschlussfläche (202) und der zweiten elektrischen Vorrichtung zu bilden.

Description

Hintergrund
Bei vielen elektrischen Komponenten, wie z. B. gedruckten Schaltungsplatinen, ist eine Spur oder Signalleitung durch eine oder mehrere Materialschichten abgedeckt. Eine Signalleitung kann z. B. durch eine dielektrische Schicht und eine Masseschicht abgedeckt sein. Eine Öffnung oder ein Durchgangsloch bzw. eine Durchkontaktierung muss dann durch die Masse- und dielektrische Schicht erzeugt werden, um einen elektrischen Kontakt mit dem freiliegenden Abschnitt der Signalleitung herzustellen.
1 ist ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung gemäß dem Stand der Technik. Die Streifenleitungsschaltung 100 umfasst eine Signalschicht 102 mit einer Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104, die von zwei dielektrischen Schichten 106, 108 umgeben ist. Masseschichten 110, 112 decken die dielektrischen Schichten 106 bzw. 108 ab. Die Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104 ist in Kontakt mit einer Spur oder Signalleitung (nicht gezeigt) in der Signalschicht 102.
Eine Durchkontaktierung 114 wurde durch die Masseschicht 110 und die dielektrischen Schicht 106 erzeugt, um einen Abschnitt der Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104 freizulegen. Ein Metall 116 füllt die Durchkontaktierung 114, um eine elektrische Verbindung zwischen der Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104 und der Kontaktanschlussfläche 118 zu erzeugen. Eine andere Signalleitung oder elektrische Vorrichtung (nicht gezeigt) kann mit der Kontaktanschlussfläche 118 unter Verwendung eines Metallverbinders 120 verbunden sein. Der Verbinder 120 kann z. B. als eine Lötkugel, ein Kontaktstift oder eine Drahtverbindung konfiguriert sein.
Die Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104, das Metall 116, die Kontaktanschlussfläche 118 und der Verbinder 120 bilden eine Zwischenverbindung zwischen der Signalleitung, die mit der Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104 verbunden ist, und einer anderen elektrischen Vorrichtung. Leider werden eine parasitäre Induktivität und Kapazität durch die Struktur der Zwischenverbindung erhöht. Die Kontaktanschlussfläche 118 fügt eine zusätzliche, parasitäre Kapazität hinzu, während die Durchkontaktierung 114 und das Metall 116 die parasitäre Induktivität bei der Verbindung erhöhen. Durchkontaktierungen können ferner die Dichte einer Schaltung einschränken, wenn die minimalen Abmessungen für eine Durchkontaktierungserfassungsanschlussfläche 104 größer sind als die minimalen Abmessungen, die für eine Zwischenverbindung benötigt werden.
Zusammenfassung
Gemäß der Erfindung wird eine Zwischenverbindungsstruktur und ein Verfahren zum Verbinden von vergrabenen Signalleitungen mit elektrischen Vorrichtungen geschaffen. Eine elektrische Komponente, wie z. B. eine Spur, eine Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche, die mit der Spur oder der Signalleitung verbunden ist, ist durch eine oder mehrere Schichten abgedeckt. Die elektrische Komponente ist direkt mit einer elektrischen Vorrichtung verbunden durch Bilden einer Öffnung durch die eine oder die mehreren Schichten. Die Öffnung legt einen Abschnitt der elektrischen Komponente frei. Ein Verbinder, wie z. B. eine Lötkugel, ein Stiftkontakt oder eine Drahtverbindung, wird dann an den freiliegenden Abschnitt der elektrischen Komponente angebracht. Der Verbinder verbindet direkt mit einer anderen elektrischen Vorrichtung, um eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Komponente und der elektrischen Vorrichtung zu erzeugen. Die elektrische Vorrichtung kann z. B. als eine zweite Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche bei einer anderen Streifenleitungsschaltung, einer Mikrostreifenschaltung, einer integrierten Schaltung oder einer elektrischen Komponente konfiguriert sein.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die Erfindung ist am besten verständlich Bezug nehmend auf die nachfolgende, detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele gemäß der Erfindung, wenn sie in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen gelesen wird, in denen:
1 ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung gemäß dem Stand der Technik ist;
2 ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung ist die mit einer elektronischen Vorrichtung verbunden ist, bei einem ersten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung;
3 eine vergrößerte, perspektivische Ansicht eines Abschnitts einer Anschlussstiftmatrix bzw. eines Stiftgitterarrays bei einem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ist;
4A bis 4D Querschnittdiagramme eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung sind, die ein Verfahren darstellen zum Herstellen einer Zwischenverbindung bei einem ersten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung;
5 ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung bei einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ist; und
6A bis 6C Querschnittdiagramme eines Abschnitts einer Steifenleitungsschaltung sind, die ein Verfahren darstellen zum Herstellen einer Streifenleitungsschaltung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung.
Detaillierte Beschreibung
Die nachfolgende Beschreibung wird präsentiert, um einem Fachmann auf dem Gebiet zu ermöglichen, die Erfindung herzustellen und zu verwenden, und wird in dem Kontext einer Patentanmeldung und ihrer Anforderung bereitgestellt. Verschiedene Modifikationen an den offenbarten Ausführungsbeispielen sind für Fachleute auf dem Gebiet ohne Weiteres offensichtlich, und die allgemeinen Prinzipien hierin können an andere Ausführungsbeispiel angewendet werden. Somit soll die Erfindung nicht auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt sein, soll aber in ihrem weitesten Schutzbereich den beiliegenden Ansprüchen und den hierin beschriebenen Prinzipien und Merkmalen entsprechen. Es sollte darauf hingewiesen werden, dass die Zeichnungen, auf die in dieser Beschreibung Bezug genommen wird, nicht maßstabsgetreu gezeichnet sind.
Bezug nehmend nun auf die Figuren und insbesondere Bezug nehmend auf 2 ist ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung gezeigt, die mit einer elektronischen Vorrichtung bei einem ersten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung verbunden ist. Die Streifenleitungsschaltung 200 umfasst eine Signalschicht 102 mit einer Kontaktanschlussfläche 202, die von zwei dielektrischen Schichten 106, 108 umgeben ist. Masseschichten 110, 112 decken die dielektrischen Schichten 106 bzw. 108 ab. Die Kontaktanschlussfläche 202 kann mit jeglicher gewünschten Abmessung gebildet sein und ist bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung in Kontakt mit einer Spur oder Signalleitung (nicht gezeigt) in der Signalschicht 102. Bei anderen Ausführungsbeispielen gemäß der Erfindung ist die Kontaktanschlussfläche 202 die Spur oder Signalleitung selbst, eine elektrische Komponente oder eine integrierte Schaltung.
Eine Öffnung 114 wurde durch die Masseschicht 110 und die dielektrische Schicht 106 erzeugt, um einen Abschnitt der Kontaktanschlussfläche 202 freizulegen. Bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung wird eine elektrische Verbindung zwischen der Kontaktanschlussfläche 204 bei der elektrischen Vorrichtung 206 und der Kontaktanschlussfläche 202 bei der Streifenleitungsschaltung 200 direkt durch den Verbinder 208 hergestellt. Die elektrische Vorrichtung 206 kann z. B. als eine andere Streifenleitungsschaltung, eine Mikrostreifenschaltung, eine integrierte Schaltung oder eine elektrische Komponente implementiert sein. Und der Verbinder 208 umfasst, ist jedoch nicht beschränkt auf, eine Lötkugel, einen Kontaktstift, eine Drahtverbindung oder ein anderes Kontaktverfahren.
Die Kontaktanschlussfläche 202, der Verbinder 208 und die Kontaktanschlussfläche 204 bilden bei diesem Ausführungsbeispiel eine Zwischenverbindung und erzeugen eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Vorrichtung 206 und einer Signalleitung, die mit der Kontaktanschlussfläche 202 verbunden ist. Wie in 2 gezeigt ist, ist die Dicke der dielektrischen Schicht 106 und der Masseschicht 110 geringer als die Höhe des Verbinders 208, so dass der Verbinder 208 mit der Kontaktanschlussfläche 204 verbinden kann. Bei anderen Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung kann eine Streifenleitungsschaltung mehr Schichten umfassen als diejenigen, die in 2 gezeigt sind. Bei diesen anderen Ausführungsbeispielen sollte die Gesamtdicke der Schichten, die über einer Kontaktanschlussfläche liegen, geringer sein als die Höhe oder Dicke des Verbinders.
3 ist eine vergrößerte, perspektivische Ansicht eines Abschnitts einer Anschlussstiftmatrix bzw. eines Stiftgitterarrays bei einem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung. Streifenleitungsschaltungen 300, 302 sind elektrisch miteinander durch das Stiftgitterarray 304 verbunden. Das Stiftgitterarray 304 umfasst eine Anzahl von Metallstiften, die die Zwischenverbindungsstruktur aus 2 verwenden. Somit sind die Stifte in dem Stiftgitterarray 304 direkt in die Öffnungen eingefügt, um direkte elektrische Verbindungen zwischen verschiedenen Signalleitungen zu erzeugen, die an den zwei Schaltungen 300, 302 angeordnet sind. Fachleute auf dem Gebiet werden erkennen, dass bei anderen Ausführungsbeispielen gemäß der Erfindung ein Kugelgitterarray für das Stiftgitterarray 304 eingesetzt werden kann.
Bezug nehmend nun auf 4A–4D sind Querschnittdiagramme eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung gezeigt, die ein Verfahren darstellen zum Herstellen einer Zwischenverbindung bei einem ersten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung. Die Streifenleitungsschaltung 400 umfasst eine Signalschicht 102 mit einer Kontaktanschlussfläche 202, die von zwei dielektrischen Schichten 106, 108 umgeben ist. Masseschichten 110, 112 decken die dielektrischen Schichten 106 bzw. 108 ab. Die Kontaktanschlussfläche 202 ist bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung in Kontakt mit einer Spur oder Signalleitung (nicht gezeigt) bei der Signalschicht 102. Bei anderen Ausführungsbeispielen gemäß der Erfindung ist die Kontaktanschlussfläche 202 die Spur oder Signalleitung selbst, eine elektrische Komponente oder eine integrierte Schaltung.
Eine Maske oder Photoresistschicht 402 ist über der Masseschicht 110 gebildet oder aufgebracht, wie in 4A gezeigt ist. Die Maske wird entwickelt und strukturiert unter Verwendung herkömmlicher Strukturierungstechniken, um einen Zwischenraum 404 zu erzeugen, wo eine Öffnung zu der Kontaktanschlussfläche 202 erzeugt wird. Die Masseschicht 110, die nicht durch die Photoresistschicht 402 abgedeckt ist, wird dann geätzt, um einen Abschnitt der dielektrischen Schicht 106 freizulegen. Der Ätzprozess kann z. B. durch chemisches Ätzen ausgeführt werden. Die Photoresistschicht 402 ist dann entfernt.
4B stellt die Streifenleitungsschaltung 400 mit einer anderen Maske oder Photoresistschicht 406 dar, die über der dielektrischen Schicht 106 aufgebracht ist. Die Photoresistschicht 406 wird entwickelt und strukturiert unter Verwendung herkömmlicher Strukturierungstechniken, um einen Zwischenraum 408 zu erzeugen, wo die Öffnung erzeugt wird. Die dielektrische Schicht 106, die nicht durch die Maske 406 abgedeckt ist, wird dann geätzt, um einen Abschnitt der Kontaktanschlussfläche 202 freizulegen. Die Photoresistschicht 406 wird dann entfernt.
Die Kontaktanschlussfläche 202 kann bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung als ein Ätzstopp wirken. Fachleute auf dem Gebiet werden erkennen, dass die Öffnung unter Verwendung anderer Techniken als Ätzen gebildet werden kann. Zum Beispiel kann die Öffnung mit einer mechanischen oder Laser-Bohrtechnik erzeugt werden.
Eine Lötkugel 410 wird in 4C verwendet, um bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung eine elektrische Verbindung zu erzeugen. Fachleute auf dem Gebiet werden erkennen, dass die elektrische Verbindung unter Verwendung anderer Leitfähige-Verbindung-Techniken implementiert werden kann, die Folgende umfassen, aber nicht darauf beschränkt sind: einen Kontaktstift, einen Flip-Chip-Höcker, eine Drahtverbindung, ein Stiftgitterarray, ein Kugelgitterarray und Oberflächenbefestigungstechniken. Die Lötkugel 410 ist in die Öffnung aufgebracht, um einen Kontakt mit der Kontaktanschlussfläche 202 herzustellen. Wenn es geschmolzen ist verbindet das Lötmittel die Kon taktanschlussfläche 202 in der Signalschicht 102 direkt mit einer Kontaktanschlussfläche 412 in der elektrischen Vorrichtung 414. Dieser Schritt ist in 4D gezeigt.
Bezug nehmend nun auf 5 ist bei einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ein Querschnittdiagramm eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung gezeigt. Die Streifenleitungsschaltung 500 wurde gemäß den Herstellungstechniken aufgebaut, die in Verbindung mit 4A–4D beschrieben sind. Bei dem Ausführungsbeispiel von 5 jedoch ist ein Draht 502 mit der Kontaktanschlussfläche 202 gebondet bzw. verbunden, um eine elektrische Verbindung zwischen der Kontaktanschlussfläche 202 und einer elektrischen Vorrichtung (nicht gezeigt) zu erzeugen.
6A–6C sind Querschnittdiagramme eines Abschnitts einer Streifenleitungsschaltung, die bei einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ein Verfahren zum Herstellen einer Streifenleitungsschaltung zeigen. Eine Streifenleitungsschaltung wird mit einer Kontaktanschlussfläche 600 und zwei Schichten 602, 604 gebildet, gezeigt in 6A. Die Kontaktanschlussfläche 600 wird bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung mit einer Spur oder Signalleitung (nicht gezeigt) verbunden. Bei anderen Ausführungsbeispielen gemäß der Erfindung ist die Kontaktanschlussfläche 202 die Spur oder Signalleitung selbst, eine elektrische Komponente oder eine integrierte Schaltung.
Die Schicht 602 umfasst eine vorab hergestellte dielektrische Schicht 606 und eine vorab hergestellte Masseschicht 608. Die vorab hergestellte dielektrische und Masse-Schicht 606, 608 wurden gebildet, um eine Öffnung 610 zu der Kontaktanschlussfläche 600 zu liefern, wenn die Herstellung der Streifenleitungsschaltung abgeschlossen ist. Und die Schicht 604 umfasst eine vorab hergestellte dielektrische Schicht 612 und eine vorab hergestellte Masseschicht 614. Um die Streifenleitungsschaltung zu erzeugen wird die Schicht 602 an die Schicht 604 mit der Kontaktanschlussflä che 600 zwischen den Schichten 602, 604 angebracht. Verfahren zum Anbringen der Schicht 602 an die Schicht 604 umfassen, sind jedoch nicht beschränkt auf Laminieren, Schmelzen, Epoxid oder Kleben.
Bei einem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ist eine Signalschicht an die dielektrische Schicht 612 angebracht bevor sie strukturiert wird, um die Kontaktanschlussfläche 600 zu bilden. Die Signalschicht wird dann unter Verwendung herkömmlicher Strukturierungstechniken strukturiert. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung wird die Signalschicht separat strukturiert, um die Kontaktanschlussfläche 600 zu bilden, und die strukturierte Signalschicht wird zwischen die dielektrischen Schichten 606, 612 platziert.
Ferner werden Masseschichten 608 und 614 an dielektrische Schichten 606, 612 angebracht vor dem Anbringen der dielektrischen Schicht 606 an die dielektrische Schicht 612 bei einem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung werden Masseschichten 608 und 614 an dielektrischen Schichten 606, 612 angebracht, nachdem die dielektrische Schicht 606 an die dielektrische Schicht 612 angebracht ist.
6B zeigt die Streifenleitungsschaltung 616, nachdem die Schichten 602 und 604 kombiniert wurden. Die Kontaktanschlussfläche 600 ist nun von dielektrischem Material umgeben und die Öffnung 610 legt einen Abschnitt der Kontaktanschlussfläche 600 frei. 6C stellt eine Metallstift 618 dar, der durch eine Struktur 620 in der elektrischen Vorrichtung 622 gehalten wird. Der Metallstift 618 ist an die Kontaktanschlussfläche 600 gebondet und bildet eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Vorrichtung 622 und der Kontaktanschlussfläche 600.
Obwohl die Ausführungsbeispiele von 2–6 Bezug nehmend auf eine Streifenleitungsschaltung beschrieben wurden, sind andere Ausführungsbeispiele gemäß der Erfindung nicht auf diese Implementierung beschränkt. Eine Zwischenverbindung gemäß der Erfindung kann immer verwendet werden, wenn eine Verbindung zu einer vergrabenen Spur oder Signalleitung erforderlich ist, wie z. B. bei gedruckten Schaltungsplatinen mit Flip-Chip-Verbindung.
Zusammenfassung
Eine elektrische Komponente, wie z. B. eine Spur, eine Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche (202), die mit der Spur oder der Signalleitung verbunden ist, ist durch eine oder mehrere Schichten (106, 110) abgedeckt. Die elektrische Komponente ist direkt mit einer elektrischen Vorrichtung verbunden durch Bilden einer Öffnung (114) durch die eine oder die mehreren Schichten (106, 110). Die Öffnung (114) legt einen Abschnitt der elektrischen Komponente frei. Ein Verbinder, wie z. B. eine Lötkugel (410), ein Stiftkontakt (618) oder eine Drahtverbindung (502), wird dann an den freiliegenden Abschnitt der elektrischen Komponente angebracht. Der Verbinder verbindet direkt mit einer anderen elektrischen Vorrichtung, um eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Komponente und der elektrischen Vorrichtung zu erzeugen. Die elektrische Vorrichtung kann z. B. als eine zweite Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche (412) bei einer anderen Streifenleitungsschaltung, einer Mikrostreifenschaltung, einer integrierten Schaltung oder einer elektrischen Komponente konfiguriert sein.

Claims

Eine Zwischenverbindung, die folgende Merkmale aufweist: eine Kontaktanschlussfläche (202), die mit einer Signalleitung bei einer ersten elektrischen Vorrichtung verbunden ist, wobei die Kontaktanschlussfläche (202) und die Signalleitung durch eine oder mehrere Schichten (106, 110) abgedeckt sind; eine Öffnung (114) durch die eine oder die mehreren Schichten (106, 110), um einen Abschnitt der Kontaktanschlussfläche (202) freizulegen; und einen Verbinder in direktem Kontakt mit einer zweiten elektrischen Vorrichtung und der sich in die Öffnung (114) erstreckt, um die Kontaktanschlussfläche (202) zu kontaktieren, um eine elektrische Verbindung zwischen der Kontaktanschlussfläche (202) und der zweiten elektrischen Vorrichtung zu bilden.
Die Zwischenverbindung gemäß Anspruch 1, bei der die erste elektrische Vorrichtung entweder eine Streifenleitungsschaltung (200), eine erste elektrische Komponente oder eine gedruckte Schaltungsplatine aufweist.
Die Zwischenverbindung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der der Verbinder entweder eine Lötkugel (410), einen Stift (618), einen Stift in einem Stiftgitterarray (304), eine Lötkugel in einem Kugelgitterarray, eine Drahtverbindung (502), einen Flip-Chip-Höcker oder eine Oberflächenbefestigung aufweist.
Die Zwischenverbindung gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, bei der die zweite elektrische Vorrichtung entweder eine zweite Streifenleitungsschaltung, eine Mikrostreifenschaltung, eine integrierte Schaltung oder eine elektrische Komponente aufweist.
Ein Verfahren zum Herstellen einer Zwischenverbindung zwischen einer elektrischen Komponente mit einer elektrischen Vorrichtung, wobei die elektrische Komponente durch eine oder mehrere Schichten (106, 110) abgedeckt ist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Bilden einer Öffnung (114) in der einen oder den mehreren Schichten (106, 110), um einen Abschnitt der elektrischen Komponente freizulegen; und Integrieren eines Verbinders in die Öffnung (114), derart, dass der Verbinder einen direkten Kontakt mit der elektrischen Vorrichtung und mit der elektrischen Komponente herstellt, wodurch eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Komponente und der elektrischen Vorrichtung gebildet wird.
Das Verfahren gemäß Anspruch 5, bei dem die elektrische Komponente entweder eine Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche (202) aufweist, die mit einer Signalleitung verbunden ist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, bei dem die elektrische Komponente in einer Streifenleitungsschaltung (200) umfasst ist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, bei dem der Verbinder entweder eine Lötkugel (410), einen Stift (618), einen Stift in einem Stiftgitterarray (304), eine Lötkugel in einem Kugelgitterarray, eine Drahtverbindung (502) oder eine Oberflächenbefestigung aufweist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, bei dem die elektrische Vorrichtung entweder eine zweite Streifenleitungsschaltung, eine Mikrostreifenschaltung, eine integrierte Schaltung oder eine elektrische Komponente aufweist.
Ein Verfahren zum Herstellen einer Zwischenverbindung, das folgende Schritte aufweist: Bilden einer ersten Schicht (602), wobei die erste Schicht (602) vorab mit einer Öffnung (610) hergestellt wird; Bilden einer zweiten Schicht (604); Anbringen der ersten Schicht (602) an die zweite Schicht (604), derart, dass die Öffnung (610) einen Abschnitt einer elektrischen Komponente freilegt, die zwischen der ersten und der zweiten Schicht (602, 604) angeordnet ist; und Einbringen eines Verbinders in die Öffnung (610), derart, dass der Verbinder einen direkten Kontakt mit einer elektrischen Vorrichtung und mit der elektrischen Komponente herstellt, wodurch eine elektrische Verbindung zwischen der elektrischen Komponente und der elektrischen Vorrichtung gebildet wird.
Das Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem die elektrische Komponente entweder eine Signalleitung oder eine Kontaktanschlussfläche (600) aufweist, die mit einer Signalleitung verbunden ist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 10 oder 11, bei dem die elektrische Komponente in einer Streifenleitungsschaltung (616) umfasst ist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 10 oder 11, bei dem der Verbinder entweder eine Lötkugel (410), einen Stift (618), einen Stift in einem Stiftgitterarray (304), eine Lötkugel in einem Kugelgitterarray, eine Drahtverbindung (502) oder eine Oberflächenbefestigung aufweist.
Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 10 oder 11, bei dem die elektrische Vorrichtung entweder eine zweite Streifenleitungsschaltung, eine Mikrostreifenschaltung, eine integrierte Schaltung oder eine elektrische Komponente aufweist.