DE112004002534T5

DE112004002534T5 - Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung

Info

Publication number: DE112004002534T5
Application number: DE112004002534T
Authority: DE
Inventors: Kosuke Inaya
Original assignee: Origin Electric Co Ltd
Current assignee: Origin Electric Co Ltd
Priority date: 2003-12-25
Filing date: 2004-12-16
Publication date: 2006-12-07
Also published as: CN101518770A; CN1898031A; JP4117843B2; TW200529222A; CN101518770B; TWI264721B; JP2005190532A; WO2005063409A1; CN100528378C

Abstract

Eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, umfassend:
einen Rotationstisch, der eine Trägerplatte hält;
eine Rotationsmechanismuseinheit, welche den Rotationstisch rotiert;
eine zur Abdeckung des Rotationstisches bestimmte Beschichtungshaube, welche die Flüssigkeit aufnimmt, die von der auf dem Rotationstisch gehaltenen Trägerplatte abgeschleudert wird;
eine Innenschale, welche die Flüssigkeit aufnimmt und bewahrt, die an der Beschichtungshaube entlang rinnt; und eine Beschichtungsschale, welche die Innenschale trägt, wobei
die Innenschale von der Beschichtungsschale ablösbar ist.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, die Flüssigkeiten auf diverse Platten aufträgt.
Es wird die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2003-429087 beansprucht, angemeldet am 25. Dezember 2003, die hiermit vollumfänglich durch Bezugnahme zum Gegenstand der vorliegenden Offenbarung gemacht wird.
TECHNISCHER HINTERGRUND
Beispielsweise bei den Herstellungsschritten für eine einmalbeschreibbare optische Speicherplatte wie eine CD-R, DVD-R, DVD-R+ oder dergleichen rotiert eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung eine Trägerplatte gemäß einem vorbestimmten Rotationsschema, es wird dafür Flüssigkeit (eine homogene Mischung in einer Flüssigkeit) durch Aufbringen einer Zentrifugalkraft über die gesamte Trägerplatte verteilt, und durch Abschleudern (Entfernen) der überschüssigen Flüssigkeit wird eine Aufzeichnungsschicht mit einer homogenen (einheitlichen) Dicke gebildet.
Im allgemeinen wird zur Rotationsbeschichtung ungefähr 0,1–0,2 ml der Flüssigkeit auf eine Trägerplatte aufgetragen. Die Menge der Flüssigkeit, die im Wesentlichen die Trägerplatte bedeckt, mit anderen Worten, die im Wesentlichen die Aufzeichnungsschicht bildet, ist jedoch geringer als 50 %. Der Rest der Flüssigkeit oder der Aufzeichnungsmaterialien wird durch eine Beschichtungsschale, einem Recycling-Abfluss oder dergleichen in einem Recycling-Behältnis gesammelt.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, welche die Aufzeichnungsschicht bildet, unterscheidet sich von einer Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, die eine Deckschicht für eine optische Speicherplatte oder eine Photolackschicht auf einem Halbleiter bildet, darin, dass das meiste der aufzutragenden Flüssigkeit durch Lösungsmittel und durch die in den Lösungsmitteln gelösten Farbstoffe gebildet wird. In vielen Fällen sind übliche Lösungsmittel für Aufzeichnungsmaterialien Lösungen organischer Farbstoffe, in welchen Farbstoffe wie Phtalocyanin, Cyanin, Azo oder dergleichen gelöst sind. Die Lösungsmittel verdunsten deshalb innerhalb kurzer Zeit und die Farbstoffe können sich in einem festen oder viskosen Zustand befinden, und deshalb besteht Bedarf an einer Flüssigkeit, um die Lösungsmittel für die Aufzeichnungsmaterialien zu sammeln.
Die Farbstoffe der überschüssigen organischen Farblösungsmittel, die durch die Rotationsbeschichtung abgeschleudert werden, haften an den Innenwänden einer Beschichtungshaube und sammeln sich dort. Wenn danach überschüssige organische Farblösungsmittel auf die so haftenden Farbstoffe trifft, dann können die neu gebundenen organischen Farblösungsmittel auf der Trägerplatte haften, wodurch die Ausbeute verringert wird.
Bei einer Anordnung, in welcher die in der Beschichtungshaube gesammelte Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials durch den Abfluss in einem Recycling-Behältnis gesammelt wird, sollte der Abflussweg so kurz wie möglich sein, da die Aufzeichnungsmaterialien sich auf diesem Weg anlagern können. In solch einem Fall wird der Abflussweg schrittweise enger und die Flüssigkeit kann nicht einfach fließen, weshalb ein Sammeln der Flüssigkeit schwierig ist. Darüber hinaus weist die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung ein Ausrichtungselement auf, um ein Beschlagen der Rückseite der Trägerplatte oder einer Rückseite des Rotationstisches mit dem Dunst der Flüssigkeit zu verhindern, jedoch können die Aufzeichnungsmaterialien auf dem Ausrichtungselement anhaften oder die Aufzeichnungsmaterialien können sich in der Position anlagern, wo die Innenschale und die Beschichtungshaube in Kontakt stehen.
Die japanische Patentanmeldung, erste Veröffentlichungsnummer Nr. H09-27146 und Nr. 2003-6948 offenbaren eine Reinigungsvorrichtung, welche das Innere der Vorrichtung reinigt bzw. eine Vorrichtung, welche die Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials über einen Abfluss sammelt, um das Problem des überall in der Vorrichtung haftenden Aufzeichnungsmaterials zu lösen.
Auch wenn eine solche Reinigung durchgeführt wird, ist es jedoch unmöglich, ein solches Anhaften oder eine Anreicherung des Aufzeichnungsmaterials vollständig zu verhindern. Deshalb besteht gemäß dem Stand der Technik das Problem, dass die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung für eine lange Zeitspanne angehalten werden muss, da viel Arbeit und Zeit benötigt werden und das Entfernen des anhaftenden Aufzeichnungsmaterials zeit- und arbeitsaufwändig ist.
Insbesondere weisen viele Herstellungsvorrichtungen für einmal beschreibbare optische Speicherplatten wie CD-R, DVD-R, DVD+R und dergleichen vier oder mehr Beschichtungsschalen auf, wodurch eine längere Zeit zu deren Wartung benötigt wird und das Problem auftritt, die Auslastung der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung zu verbessern.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet: einen Rotationstisch, der eine Trägerplatte hält; eine Rotationsmechanismuseinheit, die den Rotationstisch rotiert; eine zur Abdeckung des Rotationstisches bestimmte Beschichtungshaube, welche die von der auf dem Rotationstisch gehaltenen Trägerplatte abgeschleuderte Flüssigkeit aufnimmt; eine Innenschale, welche die entlang der Beschichtungshaube abgetropfte Flüssigkeit aufnimmt und bewahrt; eine Beschichtungsschale, welche die Innenschale trägt, wobei die Innenschale von der Beschichtungsschale ablösbar ist. Gemäß dieser Vorrichtung ist es möglich, die Innenschale, welche die Flüssigkeit sammelt, einfach abzulösen, auszutauschen oder zu reinigen, und deshalb ist es möglich, die Produktivität der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung zu verbessern.
Es ist zweckmäßig, dass der Rotationstisch eine Ausrichtungseinheit beinhaltet, die um den Rotationstisch angeordnet ist und verhindert, dass die Flüssigkeit eine untere Seite der Trägerplatte erreicht; die Ausrichtungseinheit, beinhaltend: eine bezüglich der Innenschale relativ befestigte Innenbefestigungseinheit; und eine von der Innenbefestigungseinheit ablösbare Außenablöseeinheit; die Außenablöseeinheit mit einem Innendurchmesser, der größer ist als der Durchmesser des Rotationstisches.
Es ist zweckmäßig, dass die Innenschale beinhaltet: eine Innenwand, welche einen Innendurchmesser aufweist, der größer ist als der Außendurchmesser der Innenbefestigungseinheit der Ausrichtungseinheit; eine koaxial und außerhalb der Innenwand angeordnete Außenwand; und eine Bodeneinheit, welche die Innenwand und die Außenwand verbindet. Gemäß dieser Vorrichtung ist es möglich, durch die Verwendung der Ausrichtungseinheit die Flüssigkeit am Erreichen der Unterseite des Rotationstisches oder der Trägerplatte zu hindern und darüber hinaus ist es möglich, durch Ablösen der Außenablöseeinheit von der Innenbefestigungseinheit der Ausrichtungseinheit die Innenschale einfach abzulösen, und deshalb ist das Durchführen der Wartung kein Problem.
Es ist zweckmäßig, dass die Beschichtungshaube eine Randleisteneinheit aufweist, die ringförmig ist und nach unten in Richtung einer Innenseite der Innenschale ragt. In diesem Fall ist es der an der Beschichtungshaube haftenden Flüssigkeit möglich, von der Randleisteneinheit genau in die Innenschale zu fallen.
Es ist zweckmäßig, dass die oben beschriebene Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung ferner eine Flüssigkeitszuführungseinheit aufweist, welche die Flüssigkeit der Trägerplatte zuführt. In diesem Fall ist es zweckmäßig, dass die Beschichtungshaube einen Durchlass zur Leerentladung aufweist, welcher verhindert, dass die Flüssigkeitszuführungseinheit durch die Flüssigkeit blockiert wird, indem die Flüssigkeit, mit welcher eine Leerentladung durchgeführt wird, in die Innenschale gelenkt wird. Deshalb ist ein Sammeln der Flüssigkeit möglich, welche die Leerentladung durchläuft und ein weiterer Sammelmechanismus wird nicht mehr benötigt.
Es ist zweckmäßig, dass die oben beschriebene Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung ferner eine Flüssigkeitszuführungseinheit aufweist, welche die Flüssigkeit der Trägerplatte zuführt, wobei: die Beschichtungshaube einen Durchlass zur Leerentladung aufweist, welcher verhindert, dass die Flüssigkeitszuführungseinheit aufgrund der Flüssigkeit blockiert wird, indem die Flüssigkeit, mit welcher eine Leerentladung durchgeführt wird, in die Innenschale geleitet wird; und der Durchlass zur Leerentladung einen außerhalb des Randleistenabschnittes gelegenen Abfluss aufweist. Es ist deshalb nicht nur möglich, die Flüssigkeit, auf welche die Leerentladung angewandt wird, in der Innenschale zu sammeln, sondern auch das Anhaften des Flüssigkeitsdunstes am Abfluss des Durchlasses zur Leerentladung zu verhindern.
Es ist zweckmäßig, dass der Randleistenabschnitt eine Rinne aufweist, die sich an den Abfluss des Durchlasses zur Leerentladung anschließt und die sich auf der äußeren Oberfläche des Randleistenabschnittes vertikal erstreckt. Deshalb ist es möglich, ein Verbleiben der Flüssigkeit auf der Außenseite der Randleisteneinheit zu verhindern, da die Flüssigkeit beim Durchführen der Leerentladung von dem Abfluss zur Leerentladung in die Innenschale fällt.
Es ist zweckmäßig, dass die Beschichtungshaube eine Aussparung in Ringform umfasst, welche sich zu einer unteren Seite der Beschichtungshaube um die Beschichtungshaube außerhalb des Abflusses des Durchlasses zur Leerentladung erstreckt. Deshalb ist es möglich, ein Anhaften der Flüssigkeit, nachdem diese entlang des Bodens der Beschichtungshaube gelaufen ist, an Teilen der Vorrichtung zu verhindern.
Es ist zweckmäßig, dass die oben beschriebene Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung ferner eine Verriegelungseinheit aufweist, welche die Beschichtungshaube relativ zur Innenschale oder der Beschichtungsschale positioniert. In diesem Fall ist es möglich, die Positionen des Durchlasses zur Leerentladung, welche an der Beschichtungshaube ausgebildet sind und der Flüssigkeitszuführungseinheit sorgfältig festzulegen.
Es ist zweckmäßig, dass die Innenschale keine Abflussanordnung zur Entleerung der Flüssigkeit aufweist. Dadurch ist es einfach, die Innenschale abzulösen und es ist möglich, das Anhaften der Flüssigkeit am Abfluss zu verhindern.
Es ist zweckmäßig, dass der Rotationstisch einen Durchmesser aufweist, welcher denselben Durchmesser oder einen größeren Durchmesser als die Trägerplatte hat.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Querschnittsansicht einer Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung.
3 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht der Beschichtungshaube, welche auf die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung aufgebracht wird.
4 ist eine Bodenansicht eines Teils der Beschichtungshaube.
5 ist eine Aufsicht, welche ein Positionierungsteil der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung zeigt.
6 ist eine Aufsicht, die einen Zuführungsmechanismus für Aufzeichnungsmaterial und einen Durchlass zur Leerentladung (nichts entladen oder nichts einspeisen) der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung zeigt.
7 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht, die einen Hauptteil der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung in einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Eine Ausführung der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die 1 bis 6 beschrieben.
1 ist eine Querschnittsansicht einer Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung umfasst: eine Beschichtungsschale 1 in Form eines stirnseitig geschlossenen Zylinders; einen Rotationstisch 4 in Kreisform, der innerhalb der Beschichtungsschale 1 vorgesehen ist; eine Innenschale 6 in Kreisringform, die innerhalb der Beschichtungsschale 1 und außerhalb des Rotationstisches 4 vorgesehen ist; eine Ausrichtungseinheit 5 in Kreisringform, die zwischen der Innenschale 6 und dem Rotationstisch 4 vorgesehen ist; und eine Beschichtungshaube 7, die auf der Innenschale 6 vorgesehen ist.
Ein Antriebsmotor 2 ist aufrecht in einem Mittelpunkt eines kreisförmigen Bodenabschnittes 1a der Beschichtungsschale 1 vorgesehen. Eine Rotation des Antriebsmotors 2 wird über eine Welleneinheit 3 an den Rotationstisch 4 übertragen. Der Rotationstisch 4 weist einen Bestückungsabschnitt 4A in Scheibenform und einen zylindrischen Sockelabschnitt 4B in Zylinderform auf, der unterhalb des Bestückungsabschnittes 4A koaxial ausgebildet ist. Der zylindrische Sockelabschnitt 4B ist mit der Welleneinheit 3 koaxial verbunden. Um die Planheit einer Trägerplatte S beizubehalten, ist es, wie in 2 gezeigt, bevorzugt, dass ein Durchmesser d1 des Bestückungsabschnittes 4A derselbe oder größer ist als ein Durchmesser der Trägerplatte S. Falls notwendig, kann er kleiner sein als der Durchmesser der Trägerplatte S.
Das Ausrichtungselement 5 in Kreisringform ist vorgesehen, um die Umfangsseite und den Boden des Bestückungsabschnittes 4A des Rotationstisches 4 koaxial zu umgeben. Das Ausrichtungselement 5 richtet die Luft um den Rotationstisch so aus, dass die Luft in eine Außenrichtung des Durchmessers fließt, wobei ein später beschriebener Ansaugmechanismus verwendet wird, steuert oder zwingt eine Flüssigkeit (z.B. die Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials), die aufgrund einer Zentrifugalkraft von der Trägerplatte S abgeschleudert wird, in eine Auswärtsrichtung des Durchmessers abgeschleudert zu werden und verhindert, dass ein Dunst des Aufzeichnungsmaterials die Rückseite der Trägerplatte S oder die Rückseite des Rotationstisches 4 bedeckt.
Das Ausrichtungselement 5 dieser Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass es aus einem Innenbefestigungsabschnitt 5A in Kreisringform und einem Außenablöseabschnitt 5B in Kreisringform besteht, welcher ablösbar in den Innenbefestigungsabschnitt 5A eingepasst und eingesetzt ist. Der Innenbefestigungsabschnitt 5A ist in einer festen Position (nicht in den Figuren gezeigt) befestigt und bezüglich der Beschichtungsschale 1 befestigt. Der Innenbefestigungsabschnitt 5A weist eine zylinderförmige Innenwand auf, die koaxial mit einer Außenfläche des zylindrischen Sockelabschnitts 4B vorgesehen ist, um ein Berühren des zylindrischen Sockelabschnitts 4B des Rotationstisches 4 zu verhindern. Eine obere Fläche des Innenbefestigungsabschnittes 5A ist parallel zum Bestückungsabschnitt 4A vorgesehen und weist eine bestimmte oder vorbestimmte Lücke zu einem Boden des Bestückungsabschnittes 4A auf.
Der Innenbefestigungsabschnitt 5A wird aus einem Abschnitt 5a mit größerem Durchmesser gebildet, der einen größeren Außendurchmesser aufweist und an der Unterseite angeordnet ist, und einen Abschnitt 5b mit einem kleineren Durchmesser, der einen kleineren Durchmesser aufweist als der Abschnitt 5a mit größerem Durchmesser und an einer Oberseite angeordnet ist. Ein Aussparungsabschnitt 5c in Kreisringform wird zwischen dem Abschnitt 5a mit größerem Durchmesser und dem Abschnitt 5b mit kleinerem Durchmesser gebildet. Wie in 2 gezeigt, haben der Abschnitt 5a mit größerem Durchmesser und der Abschnitt 5b mit kleinerem Durchmesser des Innenbefestigungsabschnittes 5A jeweils die Durchmesser D2 und D2'.
Wie in 7 gezeigt, ist auf dem Innenbefestigungsabschnitt 5A ein kreisringförmig hervorstehender Abschnitt 10 vorgesehen, der koaxial zum Rotationstisch 4 liegt. Eine kreisringförmige Aussparung (Graben oder Rinne) 12 ist auf der Bodenfläche des Rotationstisches 4 gegenüber dem kreisringförmig hervorstehenden Abschnitt 10 gebildet. Es ist bevorzugt, dass ein Rand oder eine Spitze des kreisringförmig hervorstehenden Abschnitts 10 in die kreisringförmige Aussparung 12 insgesamt eingeführt ist, während ein kleiner Spalt oder Raum zwischen beiden verbleibt. In diesem Fall wird der Dunst, der durch das Verteilen der Flüssigkeit erzeugt wird, durch den kreisförmig hervorstehenden Abschnitt 10 gestoppt und es ist möglich, eine Leckage oder ein Eindringen in den Spalt zwischen dem Bestückungsabschnitt 4A und dem Innenbefestigungsabschnitt 5A effektiver zu verhindern.
Der Außenablöseabschnitt 5B des Ausrichtungselements 5 weist eine Innenfläche und einen Aussparungsabschnitt 5d auf, die an eine Außenfläche und den Aussparungsabschnitt 5c des Innenbefestigungsabschnitts 5A beinahe ohne Zwischenraum zwischen diesen angepasst sind oder im Eingriff stehen. Der Aussparungsabschnitt 5d des Außenablöseabschnitts 5B berührt den Aussparungsabschnitt 5c, und deshalb trägt der Innenbefestigungsabschnitt 5A den Außenablöseabschnitt 5B. Der Außenablöseabschnitt 5B kann jedoch durch Abheben einfach vom Innenbefestigungsabschnitt 5A entfernt werden. Wenn der Außenablöseabschnitt 5B auf dem Innenbefestigungsabschnitt 5A montiert ist, ist ein oberer Abschnitt 5e der Innenfläche des Außenablöseabschnitts 5B in einer Zylinderform und befindet sich in einer Position, in der er durch einen bestimmten oder einen vorbestimmten Abstand zur Außenfläche des Bestückungsabschnittes 4A des Rotationstisches 4 getrennt ist.
Ein Durchmesser D1 des oberen Abschnitts 5e der Innenfläche des Außenablöseabschnitts 5B ist etwas größer als ein Durchmesser d1 des Bestückungsabschnitts 4A des Rotationstisches 4. Eine Differenz zwischen dem Durchmesser d1 und dem Durchmesser D1 ist so festgelegt, dass kein Kontakt besteht, oder beträgt ungefähr einige wenige Millimeter. Eine obere Fläche 5f des Außenablöseabschnitts 5B ist ungefähr so hoch wie oder etwas höher als eine obere Fläche des Bestückungsabschnittes 4A des Rotationstisches 4 angeordnet. Außerhalb der oberen Fläche 5f ist eine konische Oberfläche 5g gebildet, die sich auswärts nach unten neigt.
Die Innenschale 6 zum Sammeln der überschüssigen Flüssigkeit besteht aus: einem Innenwandabschnitt 6a, welcher einen Durchmesser d2 aufweist, der größer ist als der des Abschnitts 5a mit größerem Durchmesser des Innenbefestigungsabschnitts 5A; einem Außenwandabschnitt 6b, der eine zylindrische Form aufweist; und einem Bodenbordabschnitt 6c, der die Unterseiten des Innenwandabschnitts 6a und den Außenwandabschnitts 6b miteinander verbindet, und geschlossen und zylindrisch ist. Bezüglich des Bodenbordabschnitts 6c dieser Ausführungsform ist kein Abfluss zum Entleeren des Aufzeichnungsmaterials ausgebildet. Deshalb wird die überschüssige Flüssigkeit, die während der Rotationsbeschichtung abgeschleudert wird, in der Innenschale 6 gesammelt und bewahrt. Auf dem Außenwandabschnitt 6b ist ein Aussparungsabschnitt 6d in Ringform gebildet und erstreckt sich oder kragt nach außen heraus. Ein Abschnitt 6e mit größerem Durchmesser ist so gebildet, dass er auf dem äußeren Rand des Aussparungsabschnitts 6d steht, kreisringförmig ist und einen größeren Durchmesser aufweist als der Außenwandabschnitt 6b.
Auf einem oberen Rand eines Seitenwandabschnitts 1b der Beschichtungsschale 1 ist ein Aussparungsabschnitt so gebildet, dass er sich nach außen erstreckt oder auskragt und kreisringförmig ist, und ein Abschnitt 1d mit größerem Durchmesser ist ausgebildet, der einen größeren Durchmesser als der Innenwandabschnitt aufweist. Ein Innendurchmesser des Abschnitts 1d mit größerem Durchmesser ist ungefähr etwas größer als ein Außendurchmesser des Abschnitts 6e mit größerem Durchmesser. Wenn der Aussparungsabschnitt 6d in den Aussparungsabschnitt 1c der Beschichtungsschale 1 eingesetzt wird, berührt der Bodenbordabschnitt 6c der Innenschale 6 den kreisförmigen Bodenabschnitt 1a der Beschichtungsschale 1 und wird von dieser getragen. Deshalb wird die Innenschale 6 koaxial stabil von der Beschichtungsschale 1 getragen.
Wie in 3 gezeigt, umfasst die Beschichtungshaube 7: eine obere Fläche 7b, die kreisringförmig ist und eine Mittelpunktsöffnung 7a aufweist, welche einen größeren Durchmesser hat als der Durchmesser der Trägerplatte S; einen äußeren Wandabschnitt 7c, der einen Außendurchmesser hat, welcher etwas kleiner ist als der Außendurchmesser 6e der Innenschale 6 und welcher innerhalb des größeren Durchmessers 6e angeordnet werden kann; einen Spritzvermeidungswandabschnitt 7d, der das Spritzen der Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials verhindert; einen Randleisten- (Bund-, Blenden-) Abschnitt 7e, der zylinderförmig ist, und der sich von einem unteren Rand des Spritzvermeidungswandabschnitts 7d bis in das Innere der Innenschale 6 erstreckt; eine kreisringförmige Aussparung (Graben, Kanal) 7f, der in einem Boden der Beschichtungshaube 7 außerhalb des Randleistenabschnitts 7e koaxial ausgebildet ist und kreisringförmig ist; und einen Durchlass zur Leerentladung 7g, der zur Entladung der Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials verwendet wird, wenn die Leerentladung durch einen Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 durchgeführt wird. Es ist bevorzugt, dass eine Vielzahl von Durchlässen zur Leerentladung 7g vorgesehen sind oder es ist möglich, eine Anordnung zu verwenden, in welcher der Durchlass zur Leerentladung 7 weggelassen wird.
Der Spritzvermeidungswandabschnitt 7d ist eine konische Fläche, die auswärts nach unten geneigt ist und mit einer Lücke oder einem Raum zwischen ihm und der konischen Fläche 5g des Außenablöseabschnitts 5B positioniert ist. Die vom äußeren Rand der Trägerplatte S abgeschleuderte Flüssigkeit fließt entlang des Spritzvermeidungswandabschnitts 7d, nachdem sie auf den Spritzvermeidungswandabschnitt 7d getroffen ist, läuft entlang des Randleistenabschnittes 7e und fällt von einem Rand des Randleistenabschnittes 7e in die Innenschale 6. Es ist eine Gestaltung ohne den Randleistenabschnitt 7e möglich und es ist eine Gestaltung unter Einsatz nur eines kreisringförmigen Vorsprungs möglich, der an einem Bodenrand des Spritzvermeidungswandabschnitts 7d ausgebildet ist.
Der Durchlass zur Leerentladung 7g ist an einer Position auf der oberen Fläche 7b der Beschichtungshaube 7 vorgesehen. Der Durchlass zur Leerentladung 7g weist an seinem Eingang den maximalen Innendurchmesser auf. Der Innendurchmesser reduziert sich nach unten schrittweise, behält seinen Durchmesser bei einer bestimmten Größe und erreicht an einem an die äußere Fläche des Randleistenabschnitts 7e angrenzenden Boden einen Abfluss. Mit anderen Worten öffnet sich ein oberer Abschnitt des Durchlasses zur Leerentladung 7g in der Form eines Konus.
Wie in 4 gezeigt, ist auf der äußeren Fläche des Randleistenabschnitts 7e dieser Ausführungsform eine Rinne (Graben oder Kanal) 7h wie als Fortsetzung des Durchlasses zur Leerentladung 7g ausgebildet. Wenn die Leerentladung durchgeführt wird, läuft die Flüssigkeit, die durch den Durchlass zur Leerentladung 7g fließt, durch die Fuge 7h des Randleistenabschnitts 7e und rinnt in die Innenschale 6 hinab. Es ist eine Gestaltung ohne die Rinne 7h möglich.
In dieser Ausführungsform, wie in 5 gezeigt, sind auf jeder Seitenwand der Beschichtungsschale 1, der Innenschale 6 und der Beschichtungshaube 7 Verriegelungsabschnitte X1 bis X4 gebildet, welche den Durchlass zur Leerentladung 7g jederzeit an einer bestimmten oder vorbestimmten Position bezüglich der Beschichtungsschale 1 positionieren. In diesem Ausführungsbeispiel ist auf der inneren Fläche des Abschnitts 1d mit größerem Durchmesser der Beschichtungsschale 1 der Verriegelungsabschnitt X1 gebildet, der in einer Querschnittsansicht eine Keilform aufweist und der sich aufwärts und abwärts erstreckt. Auf der äußeren Fläche des Abschnitts 6e mit größerem Durchmesser der Innenschale 6 ist der Verriegelungsabschnitt X2 geformt, der eine Sicke (Graben oder Kanal) ist, welcher in einer Querschnittsansicht eine Keilform aufweist und die an den Verriegelungsabschnitt X1 angepasst ist (eingreift). In ähnlicher Weise ist auf der inneren Fläche des Abschnitts 6e mit größerem Durchmesser der Innenschale 6 der Verriegelungsabschnitt X3 gebildet, der ein Vorsprung ist, welcher in einer Querschnittsansicht eine Keilform aufweist und der sich aufwärts und abwärts erstreckt. Auf der äußeren Fläche des Abschnitts 7c mit größerem Durchmesser der Beschichtungshaube 7 ist ein Verriegelungsabschnitt X4 gebildet, der eine Fuge (Graben oder Kanal) ist, die in einer Querschnittsansicht eine Keilform aufweist und der an den Verriegelungsabschnitt X3 angepasst ist (eingreift).
Diese Verriegelungsabschnitte X1 bis X4 greifen Stück für Stück ineinander ein und deshalb sind bezüglich der Beschichtungshaube 1 die Innenschale 6 und die Beschichtungshaube 7 immer an einer bestimmten oder vorbestimmten Position festgestellt oder gehalten und der Durchlass zur Leerentladung 7g ist immer an einer bestimmten Position festgestellt oder gehalten. Deshalb ist es bei der Durchführung einer Leerentladung durch den Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 immer möglich, die entladene Flüssigkeit an dem Durchlass zur Leerentladung 7g herabzuleiten. Obwohl es in der Figur nicht gezeigt ist, sollte jedoch bemerkt werden, dass es ebenso möglich ist, eine derartige Anordnung zu haben, dass Verriegelungsabschnitte an der Beschichtungsschale 1 bzw. der Beschichtungshaube 7 gebildet sind, um direkt ineinander einzugreifen, dass die Innenschale 6 nicht im Eingriff mit den Verriegelungsabschnitten steht und die Innenschale 6 beweglich bleibt.
In Bezug auf die Verriegelungsabschnitte X1 bis X4 ist es möglich, aus einer Vielzahl von Formen auszuwählen. Deshalb können die Verriegelungsabschnitte X1 bis X4 in verschiedenen Querschnittsansichten eine rechteckige Form, eine halbkreisförmige Form oder dergleichen aufweisen. Anstatt Verriegelungsabschnitte zu verwenden, ist es ebenso möglich, einfach Markierungen an den Außenwänden der Beschichtungsschale 1, der Innenschale 6 und der Beschichtungshaube 7 zu bilden und diese zu kombinieren, indem die Markierungen beim Zusammensetzen der Vorrichtung aufeinander abgestimmt werden. Es ist ebenso möglich, eine derartige Anordnung zu verwenden, dass ein auf der Beschichtungsschale 1 vorgesehener Verriegelungsabschnitt über eine an der Innenschale 6 vorgesehene Aussparung oder Öffnung mit einem Verriegelungsabschnitt auf der Beschichtungshaube 7 im Eingriff steht. Es ist ebenso bevorzugt, dass die Vorsprünge und Aussparungen in 5 einander gegenüber liegen. Es ist ebenfalls möglich, die Verriegelungsabschnitte an den Seitenwänden vorzusehen. Der Vorteil, die Verriegelungsabschnitte an den Seitenwänden vorzusehen, besteht darin, dass es möglich ist, den Durchlass anzulegen, während die Positionen der Verriegelungsabschnitte X1 bis x4 von oben beobachtet werden können.
Wie in 1 gezeigt, ist oberhalb der Beschichtungshaube 7 der Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 vorgesehen, um die Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials der Trägerplatte S zuzuführen. Der Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 umfasst einen Arm 8a, der durch Antriebsmittel, welche in den Figuren nicht gezeigt sind, horizontal rotiert wird, und einen Ausgießer 8b, der an einem Ende des Arms 8a vorgesehen ist. Andere Elemente oder Abschnitte sind in den Figuren nicht gezeigt. Wie durch den Pfeil A1 in 6 angedeutet ist, wird der Arm 8a von einer Grundposition P zu einer Position direkt über dem ungefähren Mittelpunkt der Trägerplatte S bewegt und dort angehalten. Die Flüssigkeit wird von dem Ausgießer 8b über die Mittelpunktsöffnung 7a auf einen inneren Umfang (eine obere Fläche) der Trägerplatte S zugeführt. Es ist ebenso bevorzugt, dass die Trägerplatte S bei einer kleinen Geschwindigkeit rotiert. Nachdem das Zuführen der Flüssigkeit beendet ist, wird der Arm 8a in die Grundposition P zurückgeführt.
In den Fällen, in denen das Aufzeichnungsmaterial gewechselt wird, hat die Vorrichtung eine lange Pausenzeit oder Stillstandszeit oder dergleichen, und im Allgemeinen führt der Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 so lange Leerentladungen durch, bis die Flüssigkeit des Aufzeichnungsmaterials stabil und zuverlässig entladen wird und entlädt die Flüssigkeit aus dem Ausgießer 8b. Bei dieser Leerentladung wird der Arm 8a zu einer Position gerade oberhalb des Durchlasses zur Leerentladung 7g der Grundposition P bewegt und entlädt die Flüssigkeit in Richtung des Durchlasses zur Leerentladung 7g. wenn eine stabile Entladung der Flüssigkeit vom Ausgießer 8b festgestellt wurde, fährt der Arm 8a wieder in seine Grundposition P zurück.
Auf dem kreisförmigen Bodenabschnitt 1a ist eine Entleerungsöffnung 1e zum Entleeren von Gas oder Flüssigkeit oder dergleichen vorgesehen. Aufgrund der Entleerung aus der Entleerungsöffnung 1e wird um den äußeren Rand der Trägerplatte S ein radialer Gasfluss vom äußeren Rand der Trägerplatte S nach außen über eine Lücke zwischen der Beschichtungshaube 7 und dem Außenablöseabschnitt 5B erzeugt.
Es wird ein Verfahren der Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung und ein Austauschvorgang der Innenschale 6 beschrieben. Zunächst wird in einer Phase, in welcher der Antriebsmotor 2 bei einer geringen Geschwindigkeit rotiert, die Flüssigkeit von dem Ausgießer 8b des Aufzeichnungsmaterialzuführungsmechanismus 8 kreisringförmig oder spiralförmig auf der Trägerplatte S aufgetragen, die Trägerplatte S wird zusammen mit dem Rotationstisch 4 durch den Antriebsmotor 2 mit einer hohen Geschwindigkeit rotiert und die Flüssigkeit wird deshalb auf der Trägerplatte S verteilt. Bei diesem Vorgang wird die überschüssige Flüssigkeit aufgrund der Zentrifugalkraft abgeschleudert, durch das Ausrichtungselement 5 ausgerichtet, trifft auf den Spritzvermeidungswandabschnitt 7d der Beschichtungshaube 7 in einem Winkel auf, bei dem das Spritzen vermindert ist und rinnt in einer zylindrischen Form in die Innenschale 6, nachdem sie den Randleistenabschnitt 7e entlang gelaufen ist. Bei diesem Vorgang kann ein Teil der Flüssigkeit Dunst sein, der hinabfließt und fällt. Der Dunst könnte in eine Lücke zwischen zwei sich berührende Elemente eindringen.
Der Dunst haftet an einer inneren Fläche des zylindrischen Randleistenabschnitts 7e der Beschichtungshaube 7, weshalb der Effekt auftritt, dass der Dunst, der sich umherbewegt und zu seiner Rückseite (eine Seite der Außenfläche) gelangt, vermindert ist. Deshalb wird verhindert, dass der Dunst der Flüssigkeit in eine Lücke gelangt, wo die Beschichtungshaube 7 und die Innenschale 6 in Kontakt stehen.
Die kreisringförmige Aussparung 7f, die eine Kreisringform aufweist und am Bodenabschnitt der Beschichtungshaube 7 vorgesehen ist, verhindert, dass die Flüssigkeit, die sich während dem Vorgang der Leerentladung entlädt, in eine Position fließt, wo die Beschichtungshaube 7 und die Innenschale 6 miteinander in Kontakt stehen, nachdem sie entlang des Bodens der Beschichtungshaube 7 gelaufen ist. Deshalb ist es möglich, die Flüssigkeit zu minimieren, die in die Position fließt, in der die Beschichtungshaube 7 und die Innenschale 6 miteinander in Kontakt stehen, und deshalb ist es möglich, selbst wenn der Farbstoff der Flüssigkeit erhärtet ist, die Beschichtungshaube 7 einfach von der Innenschale 6 abzunehmen, wodurch die Wartung einfach durchgeführt werden kann.
Der Außenablöseabschnitt 5B des Ausrichtungselements 5 hindert den Dunst der Flüssigkeit daran, auf die Rückseite des Rotationstisches 4 zu gelangen und deshalb verhindert er wirksam, dass der Dunst der Flüssigkeit zu einem Punkt gelangt, an dem der Innenbefestigungsabschnitt 5A und der Außenablöseabschnitt 5B miteinander in Kontakt stehen. Deshalb ist es möglich, den Außenablöseabschnitt 5B von dem Innenbefestigungsabschnitt 5A einfach abzunehmen. Nachdem viele Male Aufzeichnungsschichten gebildet worden sind, vergrößert sich die Menge des innerhalb der Innenschale 6 gesammelten Aufzeichnungsmaterials und es wird notwendig, diese zu entfernen (und diese nach dem Reinigen einzusetzen), bevor ein maximales Fassungsvermögen erreicht ist. In diesem Fall wird das Aufzeichnungsmaterial in der Innenschale 6 zu einem Feststoff in einem Puderzustand oder zu einer Flüssigkeit mit einer hohen Viskosität.
Beim Austauschen der Innenschale 6 werden zunächst Befestigungsschrauben von Befestigungspunkten (nicht in den Figuren gezeigt) der Beschichtungsschale 1, der Innenschale 6 und/oder der Beschichtungshaube 7 abgenommen, falls notwendig. Danach wird die Beschichtungshaube 7 angehoben und abgenommen. Der Außenablöseabschnitt 5B des Ausrichtungselements 5 wird von dem Innenbefestigungsabschnitt 5A abgenommen. Zu diesem Zeitpunkt ist, wie oben beschrieben, der Durchmesser D1, der ein minimaler Innendurchmesser des Außenablöseabschnitts 5B ist, größer als der maximale Durchmesser d1 des Rotationstisches 4, weshalb es möglich ist, den Außenablöseabschnitt 5B vom Innenbefestigungsabschnitt 5A einfach abzunehmen. In diesem Zustand wird die Innenschale 6 angehoben und abgenommen. Der Durchmesser d2 des Innenrandabschnitts 6a der Innenschale 6 ist größer als der maximale Durchmesser d1 des Rotationstisches 4 und der maximale Außendurchmesser D2 des Innenbefestigungsabschnitts 5A, weshalb es möglich ist, die Innenschale 6 ohne Bewegung des Rotationstisches 4 und/oder des Innenbefestigungsabschnitts 5A abzunehmen. Darüber hinaus haftet, wie oben beschrieben, beinahe kein Farbstoff an, weshalb ein einfaches Abnehmen möglich ist.
Das Aufzeichnungsmaterial, das unter Verwendung der Innenschale 6 gesammelt wird, wird weiter verwendet. Es ist möglich, nach dem Reinigen den Außenablöseabschnitt 5B des Ausrichtungselements 5, die Innenschale 6 und die Beschichtungshaube 7 weiter zu verwenden, wenn keine Beschädigung oder dergleichen vorliegt. Es ist bevorzugt, dass die Außenseite des Außenablöseabschnitts 5B und die Innenseiten von jeweils der Innenschale 6 und der Beschichtungshaube 7 mit einem wasserabstoßenden Material wie Fluorkarbon-Kunstharz oder dergleichen beschichtet ist, da die Aufzeichnungsmaterialien so unter Verwendung einer Reinigungsflüssigkeit einfach abgewaschen werden können.
Nach dem Abnehmen der Beschichtungshaube 7, des Außenablöseabschnitts 5B des Ausrichtungsabschnitts 5 und der Innenschale 6 ist es bevorzugt, dass die Innenschale 6 baldmöglichst hinzugefügt wird, welche vorher gereinigt wurde und dass der Außenablöseabschnitt 5b und die Beschichtungshaube 7 hinzugefügt werden. In diesem Fall ist es möglich, die Zeitspanne zu vermindern, für welche die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung angehalten ist und die Vorrichtung umgehend neu zu starten. Deshalb ist die Zeit für den Austausch der Innenschale 6 in dieser Ausführungsform kurz, d.h. die Zeit für Wartung ist kurz und deshalb ist es im Vergleich mit der Reinigungszeit einer herkömmlichen Vorrichtung möglich, die Zeitspanne erheblich zu verkürzen, in welcher die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung angehalten ist und es ist möglich, die Produktivität zu verbessern.
In der vorstehenden Ausführungsform stehen der Innenbefestigungsabschnitt 5A und der Außenablöseabschnitt 5B des Ausrichtungselements 5 an den Aussparungsabschnitten 5c und 5d in Kontakt, es ist jedoch möglich, für die Aussparungsabschnitte 5c bzw. 5d konische Flächen T zu verwenden, welche komplementäre Winkel aufweisen. Für den Randleistenabschnitt 7e der Beschichtungshaube 7 ist es möglich, dass dieser eine derartige Form aufweist, dass sich seine Bodenseite in einer Auswärtsrichtung des Durchmessers öffnet, und deshalb ist es möglich, dass eine Lücke oder ein Raum zwischen dem Bodenrand des Randleistenabschnitts 7e und der Innenfläche des zylinderförmigen Außenwandabschnitts 6b der Innenschale 6 kleiner ist.
In der vorstehenden Ausführungsform ist der Antriebsmotor 2 innerhalb der Beschichtungsschale 1 vorgesehen, es ist jedoch möglich, den Antriebsmotor versetzt vom Rotationstisch 4 vorzusehen, um den Wärmeübertrag vom Antriebsmotor 2 auf den Rotationstisch 4 so gering wie möglich zu halten. Obwohl dies in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, ist es jedoch möglich, den Antriebsmotor 2 unterhalb der Beschichtungsschale 1 vorzusehen, an dem Bodenbordabschnitt 1a der Beschichtungsschale 1 eine Öffnung vorzusehen, die Welleneinheit 3, welche unter Verwendung eines Labyrinthdichtungsmechanismus oder dergleichen berührungsfrei durch die Öffnung läuft, zu verlängern und eine Rotationskraft des Antriebsmotors 2 auf den Rotationstisch 4 zu übertragen. Ein Vakuumansaugmechanismus zum Ansaugen und/oder Haften der Trägerplatte S ist an dem Rotationstisch 4 vorgesehen (nicht in den Figuren gezeigt).
Während vorstehend bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben und veranschaulicht wurden, sollten diese als beispielhaft für die Erfindung und nicht als limitierend betrachtet werden. Hinzufügungen, Weglassungen, Ersetzungen oder andere Änderungen können jederzeit gemacht werden, ohne von der Idee oder dem Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Dementsprechend darf die Erfindung nicht als durch die vorstehende Beschreibung beschränkt betrachtet werden und ist nur durch den Geltungsbereich der anhängigen Ansprüche beschränkt.
In den obigen Ausführungsformen sind die Beschichtungshaube 7, der zylinderförmige Randleistenabschnitt 7e, der Durchlass zur Leerentladung 7g und die kreisringförmige Aussparung 7f vorgesehen, es ist jedoch möglich, eine Gestaltung der Vorrichtung zu haben, bei der nur eines dieser Teile vorgesehen ist.
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung vorzusehen, deren Aufbau eine einfache Wartung ermöglicht, und darüber hinaus ist es möglich, die Zeit zu verkürzen, während der die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung zur Wartung angehalten wird, und deshalb ist es möglich, die Produktivität zu verbessern.
Zusammenfassung der Offenbarung
Eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, beinhaltend: einen Rotationstisch, der eine Trägerplatte hält; eine Rotationseinheit, welche den Rotationstisch rotiert; eine Beschichtungshaube, die dazu bestimmt ist, den Rotationstisch abzudecken und welche die Flüssigkeit aufnimmt, welche von der auf dem Rotationstisch gehaltenen Trägerplatte abgeschleudert wird; eine Innenschale, welche die Flüssigkeit aufnimmt, die von der Beschichtungshaube herabgeleitet wird und herabrinnt und welche diese nicht entleert; und eine Beschichtungsschale, welche die Innenschale trägt, wobei: die Innenschale von der Beschichtungsschale ablösbar ist.

Claims

Eine Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung, umfassend: einen Rotationstisch, der eine Trägerplatte hält; eine Rotationsmechanismuseinheit, welche den Rotationstisch rotiert; eine zur Abdeckung des Rotationstisches bestimmte Beschichtungshaube, welche die Flüssigkeit aufnimmt, die von der auf dem Rotationstisch gehaltenen Trägerplatte abgeschleudert wird; eine Innenschale, welche die Flüssigkeit aufnimmt und bewahrt, die an der Beschichtungshaube entlang rinnt; und eine Beschichtungsschale, welche die Innenschale trägt, wobei die Innenschale von der Beschichtungsschale ablösbar ist.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, wobei: der Rotationstisch eine Ausrichtungseinheit umfasst, die um den Rotationstisch angeordnet ist, die verhindert, dass die Flüssigkeit eine Unterseite der Trägerplatte erreicht; die Ausrichtungseinheit umfasst: eine Innenbefestigungseinheit, die bezüglich der Innenschale relativ befestigt ist; und eine von der Innenbefestigungseinheit ablösbare Außenablöseeinheit; und die Außenablöseeinheit einen Innendurchmesser aufweist, der größer ist als ein Durchmesser des Rotationstisches.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 2, wobei: die Innenschale umfasst: eine Innenwand, welche einen größeren Innendurchmesser aufweist als ein Außendurchmesser der Innenbefestigungseinheit der Ausrichtungseinheit; eine Außenwand, die außerhalb der Innenwand koaxial angeordnet ist; und eine Bodeneinheit, welche die Innenwand und die Außenwand verbindet.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, wobei: die Beschichtungshaube eine Randleistenabschnittseinheit umfasst, die ringförmig ist und abwärts in Richtung einer Innenseite der Innenschale herausragt.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, ferner umfassend eine Flüssigkeitszuführungseinheit, welche die Flüssigkeit der Trägerplatte zuführt, wobei: die Beschichtungshaube einen Durchlass zur Leerentladung aufweist, der verhindert, dass die Flüssigkeitszuführungseinheit durch die Flüssigkeit blockiert wird, indem die Flüssigkeit, auf die eine Leerentladung angewandt wird, zur Innenschale geleitet wird.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 4, ferner umfassend eine Flüssigkeitszuführungseinheit, welche die Flüssigkeit der Trägerplatte zuführt, wobei: die Beschichtungshaube einen Durchlass zur Leerentladung umfasst, welcher verhindert, dass die Flüssigkeitszuführungseinheit durch die Flüssigkeit blockiert wird, indem die Flüssigkeit, auf welche eine Leerentladung angewandt wird, zur Innenschale geleitet wird; und der Durchlass zur Leerentladung einen Abfluss außerhalb des Randleistenabschnitts aufweist.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 6, wobei: der Randleistenabschnitt eine Rinne umfasst, die sich an den Durchlass zur Leerentladung anschließt und sich an einer Außenfläche des Randleistenabschnitts vertikal erstreckt.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 5, wobei: die Beschichtungshaube eine ringförmige Aussparung umfasst, die sich von einer unteren Fläche der Beschichtungshaube um die Beschichtungshaube herum außerhalb des Abflusses des Durchlasses zur Leerentladung erstreckt.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, ferner umfassend eine Verriegelungseinheit, welche die Beschichtungshaube bezüglich der Innenschale oder der Beschichtungsschale positioniert.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Innenschale keine Abflussanordnung zum Entleeren der Flüssigkeit beinhaltet.
Die Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung gemäß Anspruch 1, wobei: der Rotationstisch einen Durchmesser aufweist, der dieselbe Länge hat oder größer ist als ein Durchmesser der Trägerplatte.