DE2841627A1

DE2841627A1 - Vorrichtung und verfahren zum beschichten von substraten

Info

Publication number: DE2841627A1
Application number: DE19782841627
Authority: DE
Inventors: Eric T Nord
Original assignee: Nordson Corp
Current assignee: Nordson Corp
Priority date: 1977-09-27
Filing date: 1978-09-25
Publication date: 1979-04-05
Also published as: IT7828114A0; GB2004774A; US4158343A; IT1099194B; FR2409094B1; JPS6224142B2; JPS5488942A; GB2004774B; FR2409094A1; CA1102634A

Description

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Beschichten von Substraten, sie bezieht sich insbesondere darauf, die Bildung von Tropfen zu verhindern, die von der Decke und den Haltearmen der Sprühdüsen der Beschichtungskammer auf das zu beschichtende Substrat abtropfen.

Zur Zeit sind eine Vielzahl von Beschichtungsvorrichtungen im Gebrauch. Eine derartige Vorrichtung ist als kontinuierliche Beschichtungsvorrichtung bekannt. Die kontinuierliche Beschichtungsvorrichtung ist eine Maschine, die normalerweise eine Vielzahl von Sprühdüsen einsetzt, welche das Beschichtungsmaterial zerstäuben und in einer Beschichtungskammer auf ein Substrat abgeben, wobei die Beschichtungskammer bis auf eine Eintritts- und Ausgangsöffnung geschlossen ist, durch die das Substrat in die Beschichtungszone eintritt und aus dieser heraustritt. Zum Beschichten der Oberseite eines ebenen Materials oder dergleichen sind die Düsen manchmal in einer horizontalen Kreisanordnung angeordnet und werden um eine vertikale Achse, die zentral zu den kreisförmig angeordneten Sprühkanonen verläuft, gedreht. Andere Beschichtungsvorrichtungen besitzen feststehende Düsen, die auf das zu beschichtende Substrat gerichtet sind.

Aufgrund von verschiedenen Einflüssen wird nicht das gesamte Beschichtungsmateriai in die Vorrichtungen auf das Substrat abgegeben. Einige Beschichtungsvorrichtungen besitzen daher eine mit Lösungsmittel angereichterte Atmosphäre in der Beschichtungskammer. Die mit Lösungsmittel angereichterte Atmosphäre verhindert, daß das im

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Innenraum der Beschichtungskairaner abgelagerte, zu viel versprühte Material trocknet und Ablagerungen bildet, die nur schwer oder gar nicht zu reinigen sind. Aufgrund der mit Lösungsmittel angereicherten Atmosphäre verbleibt das gesamte auf die Wände, Decken oder Böden abgegebene Material in einem flüssigen Zustand und kann in einen Ablauf fließen und dort gesammelt werden. Im allgemeinen läßt sich dieses Beschichtungsmaterial zur weiteren Verwendung wieder in die Beschichtungsvorrichtung zurückführen. Irgendein Rest aus Beschichtungsmaterial, der im Innenraum der Kammer festgeklebt ist, kann mittels einer gartenschlauchförmigen Lösungsmittelspülung abgewaschen werden. Diese Beschxchtungsvorrichtungen besitzen jedoch Nachteile. Einer dieser Nachteile besteht darin, daß das Beschichtungsmaterial sich über dem Substrat im Inneren der Beschichtungskammer oder auf der Düsenhalterung ansammeln kann und eventuell auf das Substrat tropfen kann. Diese Tropfen beeinträchtigen das Aussehen.

Die vorliegende Erfindung betrifft das Problem der Tropfenbildung. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Innenraum der Beschichtungskammer mit einem sich drehenden Deckenabschnitt versehen, der eine im allgemeinen horizontal ausgerichtete äußere, sich drehende Kante besitzt. Die durch die Rotation des Deckenabschnitts erzeugte Zentrifugalkraft bewirkt, daß das auf dem Deckenabschnitt abgelagerte Beschichtungsmaterial zu der sich drehenden Außenkante läuft, von wo das Beschichtungsmaterial abtropft und außerhalb des Bereichs des zu beschichtenden Substrats auftrifft.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besitzt die Decke einen zentralen Bereich mit einer im allgemeinen konischen Oberfläche auf der Unterseite, die von der Drehachse abwärts verläuft. Die untere Oberfläche

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kann eine Neigung besitzen, die mit zunehmendem radialem Abstand von der Drehachse abnimmt.

Die Sprühbeschichtungsdüsen sind bevorzugt direkt auf der sich drehenden Decke angebracht. Wenn sich dann die Decke dreht, drehen sich mittels einer gemeinsamen Antriebsanordnung auch die Sprühdüsen. Dies liefert das gewünschte Beschichtungsmuster, bei dem jede Sprühdüse das Substrat aufgrund der konstanten Substratbewegung unter den Düsen in der Beschichtungskammer überlappend mit der Schicht aus der benachbarten Sprühdüse beschichtet. Diese Anordnung gestattet es, den Düsen zugeordnete mechanische und hydraulische Anordnungen über der Decke geschützt .anzubringen.

Die Decke ist bevorzugte kreisrund ausgebildet und besitzt einen Rotationsdurchmesser, der größer als die Breite des Substrats ist, welches durch die Beschichtungskammer hindurchläuft, um sicherzustellen, daß das Beschichtungsmaterial außerhalb des Substratbereichs abläuft.

über den Eintritts- und Ausgangsöffnungen sind Rinnen vorgesehen. Diese Rinnen verteilen und bringen das von der rotierenden Decke abgelaufene oder auf der Seitenwand über den öffnungen niedergeschlagene Beschichtungsmaterial an Rand des Substrats.

In der Beschichtungskammer kann ein geringfügiger Unterdruck erzeugt werden, so daß ein kleiner Luftzug zwischen der Außenkante der Decke un4 den Seitenwänden der Beschichtungsvorrichtung abwärts strömt. Durch diesen Luftstrom wird verhindert, daß (Jie in der Atmosphäre der Be-' Schichtungskammer enthaltenden Sprühtröpfchen in den Raum über die drehende Decke gelangen.

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Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung
kann die Decke feststehend angeordnet sein, sie soll
jedoch wiederum eine abwärts geneigte Oberfläche auf
der Unterseite aufweisen. In diesem Fall sind irgendwelche zusätzliche Halterungen für die Düsen abwärts geneigt,
oder sie besitzen mindestens eine abwärts geneigte Oberfläche auf der Unterseite, die sich bis außerhalb des
Randes des Substratpfads erstreckt.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt einer Beschichtungsvorrichvorrichtung, quer zur Laufrichtung des Substrats durch die Beschichtungsvorrichtung gesehen,

und

Fig. 2 einen Querschnitt der Beschichtungsvorrichtung längs der Linie 2-2 der Fig. 1, in einer Ebene, die parallel zur Bewegungsrichtung des Substrats durch die Beschichtungsvorrichtung hindurch verläuft.

In Fig. 2 läßt sich der allgemeine Aufbau der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung erkennen. Die Beschichtungsvorrichtung besitzt eine im wesentlichen zylinderförmige Gestalt mit zylindischen Seitenwänden 3 und einem kreisförmigen Dach oder oberen Bereich 5. In der Seitenwand 3 sind diametral gegenüberliegende öffnungen 6 angeordnet, die den Transport eines streifenförmigen Substrats (ohne Bezugszeichen) durch die Beschickungsvorrichtung gestatten.

über dem Pfad des Substrata befindet sich eine Sprühdüsen-Deckenanordnung 2. Die Sprühdüsen-Deckenanordnung 2 wird von einem drehbar im Dach 5 aufgehängten Hohlstab 17 gehalten und durch diesen mit unter Druck stehenden Beschichtungsmaterial versorgt. Am unteren Ende des Hohlstabs 17 befindet

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sich ein Verteiler 24, der die Sprühdüsen-Deckenanordnung 2 hält. Im Inneren des Verteilers 24 befindet sich eine Kammer 25, die mit einem inneren Kanal 29 des Hohlstabs 17 in Verbindung steht. Die Kammer 25 erhält hydraulisch unter Druck gesetztes Beschichtungsmaterial aus dem Kanal 23 in dem Hohlstab 17 und verteilt das Beschichtungsmaterial durch die Zufuhrleitungen 27 zu den Sprühdüsen 28. Die Düsen sind auf einer drehenden Decke 26 in einer gleichmäßig beabstandeten Kreisanordnung um den äußeren Bereich der Decke 26 angeordnet und sind in eine allgemein abwärts weisende Richtung eingestellt. Die Decke stellt auf diese Weise ebenfalls eine Halteanordnung für die Düsen dar. Die Mundstücke (Ohne Bezugszeichen) dreier zusätzlicher Düsen, die von der Decke 26 verdeckt sind, sind an der Rückseite der Decke 26 dargestellt.

Die Decke 26 wird über dem Substrat gedreht. Sie besitzt eine im wesentlichen horizontal verlaufende äußere Drehkante und besitzt im horizontalen Querschnitt eine Kreisgestalt. Die Decke 26 ist derart ausgebildet, daß die Oberfläche auf der Unterseite von der zentralen Drehachse um den Hohlstab 17 abwärts geneigt verläuft. Die Neigung der Decke 26 verringert sich mit zunehmendem axialem Abstand von der Drehachse. Die Neigung der Decke 26 braucht nicht notwendigerweise im äußeren Bereich verringert sein, die Verringerung der Neigung gestattet jedoch eine Reduzierung der Gesamthöhe der Decke bei einem gegebenen Durchmesser. Die abnehmende Neigung läßt sich deshalb vorsehen, da die Zentrifugalkraft mit zunehmendem Abstand von der Drehachse zunimmt. Die Kraft senkrecht zur unterseitigen Oberfläche der Decke 26, welche das Beschichtungsmaterial an der Decke hält, ist daher im äußeren Bereich größer als im inneren Bereich der Decke. Aufgrund der erhöhten Zentrifugalkraft im äußeren Bereich braucht daher die Steigung im äußeren Bereich zur Verhinderung der Tropfenbildung nicht so groß zu sein.

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Die Decke 26 ist am Verteiler 24 derart befestigt, daß die untere Oberfläche des Verteilers 24 den Aufbau der Decke 26 im Zentrium vervollständigt. Die untere Oberfläche des Verteilers 24 besitzt folglich ebenfalls eine abwärts verlaufende Neigung, sie ist insbesondere konisch geformt.

Der Hohlstab 17 verläuft durch ein Loch im Dach 5 und wird von einem Widerlager/Radiallager 22 gehalten, welches an der Außenseite des Stabs 17 und am Dach 5 befestigt ist. Ein Zahnradantrieb 21 ist außen am Stab 17 befestigt, und von einem Motor 30 und einem Vorgelege, die mittels einer Antriebskette 29 mit dem Zahnradantrieb 21 verbunden sind, wird eine Drehkraft geliefert.

Mittels eines Gehäuses 20, welches an dem Dach 5 befestigt ist und mittels eines zweiten Lagers 19 drehbar mit der Stange 17 verbunden ist, wird Stabilität und eine zusätzliche Halterung geliefert.

Das Ende des Hohlstabs 17, das sich aus der Beschichtungsvorrichtung und dem Gehäuse 20 heraus streckt, ist mit einem Hydraulikanschluß 18 mit einer drehbaren Dichtung versehen. Derartige Einrichtungen sind bekannt, so daß Einzelheiten hiervon nicht erörtert werden müssen. Das Beschichtungsmaterial wird von einem unter Druck gesetzten Versorgungsbehälter (nicht dargestellt) dem Kanal 23 in dem Hohlstab 17, der Kammer 25 des Verteilers und dann den Sprühdüsen 28 zugeführt.

Wie den Fig. 1 und 2 entnehmbar ist, erstreckt sich die Decke 26 bis in die Nähe der zylindrischen Wand 3 der Beschichtungsvorr ichtung. D$.e Du sen/Decken-Anordnung 2 ist bezüglich des Substrats, zentriert angeordnet, wobei der Durchmesser der äußerer» Prehkante der Decke 26 größer ist als die Breite des Substrats, wie aus Fig. 1 ersichtlich ist. Das auf der Decke 26 niedergeschlagene Material

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wird daher sicher außerhalb des Substrat-Bereichs abgegeben.

An der Wand 3 der Beschichtunasvorrichtung ist über jeder der öffnungen 6 ein Flansch bzw.Lippe 9 befestigt. Gemäß Fig. 2 ist dieser Flansch oder die Lippe 9 von der Wand 3 aufwärts angewinkelt und bildet eine Rinne über jeder öffnung. Der Flansch 9, und damit die Rinne, erstreckt sich über das Ende jedaröffnung 6 hinaus, vergleiche Fig· 1. Die Rinne überlappt die äußere Drehkante der Decke 26 an der Unterseite, so daß das gesamte von der Decke 26 abgegebene Beschichtungsmaterial oder das an den Wänden 3 über der öffnung 6 abgelagerte Material zu den Rändern der öffnung 6 geleitet und dann an den Rand des in der öffnung befindlichen Substrats gebracht wird.

vorgesehen ist ein trichterförmiger Boden 12 mit einer Abflußöffnung 13 in der Mitte. Die Abflußöffnung 13 ist mit einem Abflußrohr 14 verbunden. Dieses Abflußrohr ist mit einem Reservoir (nicht dargestellt) verbunden, um das Beschichtungsmaterial je nach den Wünschen des Betreibers zur Wiederverwendung oder zum Wegwerfen zu sammeln.

Während das Beschichtungsmaterial von den Düsen .26 abgesprüht wird, verdampfen das Lösungsmittel und andere flüchtige Teile des Beschichtungsmaterials. Es sind daher Absaugeinrichtungen vorgesehen, um das unkontrollierte Entweichen dieses Dampfes und der in der Luft enthaltenen Tröpfchen aus Beschichtungsmaterial durch die öffnungen 6 der Beschichtungsvorrichtung zu verhindern. Es sind zwei Absaugeinrichtungen vorgesehen, die jeweils ihre eigene Punktion und Vorteile besitzen.

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Gemäß Fig. 2 umgibt jeweils eine Absaugleitung 32 jede öffnung 6. Die Absaugleitung besitzt die Form konzentrischer größerer und kleinerer Flanschwände, deren Kanten durch eine Platte 34 geschlossen sind, um eine Kammer zwischen diesen Wänden zu schaffen. In der Leitung ist ein Auslaß 33 vorgesehen und mit einem Äbsaugventxlator und einer geeigneten Filtereinrichtung verbunden (nicht dargestellt). Im inneren oder kleineren Flanschteil sind um die öffnung 6 herum öffnungen 35 verteilt, um die Dämpfe und fein verteilten Tröpfchen in die Absaugleitung, von dort in den Auslaß 33 und zur Filtereinrichtung abzusaugen. Es sind verschiedene Äbsaugventxlatoren und Filtereinrichtungen innerhalb des Standes der Technik bekannt, so daß nicht näher hierauf eingegangen wird.

Sofern erwünscht, kann eine zweite Absaugeinrichtung mit bestimmten Vorteilen betrieben werden, die unterhalb des Substrats angeordnet ist. Die zweite Absaugeinrichtung enthält eine Absaugleitung, die zwischen dem unteren trichterförmigen Boden 12 und einem oberen trichterförmigen Boden 10 gebildet wird, der an seinem Umfang mit der zylinderförmigen Seitenwand 3 dicht verbunden ist. In der Wand 3 befindet sich zwischen dem oberen Boden 10 und dem unteren Boden 12 ein Absaugrohr 15. Dieses Absaugrohr 15 ist ebenfalls an einen geeigneten Ventilator und eine geeignete Filtereinrichtung angeschlossen. Wenn diese Absaugeinrichtung betrieben wird, sind öffnungen 16 im Dach 5 vorgesehen« Wenn diese Absaugeinrichtung jedoch niciifc betätigt wird, sind die öffnungen 16 im Dach 5 versperrt. Bei Betrieb wird die Äbsaugeinrichtung derart eingestellt, daß sie einen kleinen Unterdruck in der Beschichtungskaimner zwischen dem Abtropfschirm 26 und de» oberen Boden 12 erzeugt. Aufgrund dieses geringen Untardrucks wird eine kleine Luftmenge durch die öffnungen 16 im Dach 5 abwärts zwischen

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die äußere Drehkante der Decke 26 und die zylindrische Seitenwand 3 gesaugt. Dieses geringe abwärts gerichtete Luftbewegung reicht aus, um die Lösungsmitteldampfe und die in der Luft verteilten Tröpfchen aus Beschichtungsmaterial am Eindringen in den Raom zwischen der Decke 26 und dem Dach 5 zu hindern. Dadurch wird dieser Bereich so sauber wie möglich gehalten. Wird diese Ausführungsform der Erfindung betrieben, so ist jedoch der Gesamtwirkungsgrad der Beschickungsvorrichtung hinsichtlich der Wiedergewinnung des nicht auf dem Substrat abgeschiedenen Besdichtungsmaterials reduziert. Es wird mehr in der Luft verteiltes Beschichtungsmaterial aas der Kammer in die Äbsaugeinrichtung abgesaugt,, muä dieses Material läuft nicht in das Ablaufrohr 14 zuur Wiedergewinnung. Ein Betrieb dieser Ausführungsform der Erfindung ergibt sich daher aus den Wünschen der Betreiber. Es sei bemerkt, daß nur ein kleiner Luftstrom in der Besc&sichtTingskamnier erzeugt wird, zu viel Luft würde bewirken, daß das Beschichtungsmaterial auf den inneren Oberflächen der Beschichtungsvorrichtung antrocknet.

Beschxchtungsvorrichtungen der geschilderten Art wurden erfolgreich mit einer drehbaren Decke betrieben, die einen Durchmesser von etwa 210 cm C84 Zoll} besitzt, wobei luftfreie Sprühbeschichtungskanonen verwendet wurden, und die Decke drehte sich mit einer Drehzahl von 12 bis 30 Umdrehungen pro Minute.

In Fig. 2 ist eine alternative Düsenanordnung in gestrichelten Linien dargestellt, die as «Jen Düsen 28 ansetzen. Die gestrichelten Linien zeigen Düsenansätze, die mit den Düsen 28 verbunden sind. Die Büsepansätze können mit den Düsen 28 mittels Gelenkverbindtmgep verbunden werden, um eine bequeme Einstellung der Lage des erzeugten Sprühmusters zu gestatten. Aufgrund der dsnrcit die Rotation der Decke 26

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erzeugten Zentrifugalkraft können die Ansätze in einigen Fällen derart ausgerichtet sein, daß sie von der Drehachse weg aufwärts geneigt sind. Die Zentrifugalkraft an den äußeren Bereichen bewirkt, daß das auf den Ansätzen abgeschiedene Beschichtungsmaterial längs der Oberfläche der Ansätze aufwärts fließt und anschließend auf die Decke 26 gelangt, von der dieses Material außerhalb des Substratbereichs abgeworfen wird. Das Maß an aufwärts gerichteter Neigung in Richtung von der Drehachse weg wird durch die Drehzahl der Decke 26 begrenzt. Bei höheren Drehzahlen treten größere Zentrifugalkräfte auf und drücken das Beschichtungsmaterial aufwärts längsder Ansätze. Mit einer Erhöhung der Drehzahl kann daher die aufwärts gerichtete Neigung entsprechend zunehmen.

Es sei darauf hingewiesen, daß in einer bevorzugten Ausführungsform die Decke 26 aus einer drehbaren Anordnung besteht, die eine stetige Rotationsfläche ist. Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann die Decke 26 feststehend angeordnet werden und eine konstante Neigung über das gesamte Substrat besitzen. In einem derartigen Fall muß die Neigung der Oberfläche auf der Unterseite der Decke so groß sein, daß das Beschichtungsmaterial aufgrund der Schwerkraft und der das Beschichtungsmaterial an der Oberfläche haltenden Benetzungskraft längs der Oberfläche fließt. Bei dieser Ausführungsform können" die Düsen 28 von einer sich drehenden "Spinne" gehalten werden, deren einzelne Arme radial von der Drehachse abstehen und die einzelnen Düsen halten. Diese einzelnen Arme können von der Drehachse der Halterung in derselben Weise abwärts geneigt verlaufen, wie die drehbare Decke 26 bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.

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Claims

NORDSON CORPORATION, eine Gesellschaft nach den Gesetzen des Staates Ohio, Jackson Street, Amherst, Ohio 44001, Vereinigte Staaten von Amerika Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten Ansprüche

1. Vorrichtung zum Beschichten von Substraten, gekennzeichnet durch eine Beschichtungskammer (3,5) mit einer Eintrittsöffnung (6) und einer Ausgangsöffnung (6) für durch die Beschichtungskammer (3,5) hindurchlaufende Substrate, eine Sprühbeschichtungseinrichtung (27,28) in der Beschichtungskammer (3,5), um die durch die Kammer hindurchlaufenden Substrate zu beschichten, und eine über dem Pfad des Substrats angeordnete Einrichtung (26) in der Beschichtungskammer (3,5), um das Abtropfen des zuviel versprühten Beschichtungsmaterials auf irgendein Substrat in der Beschichtungskammer (3,5) zu verhindern.

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WR/gs

ORIGINAL INSPECTED

2. Vorrichtung nach Anspruchi, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (3,5) eine Seitenwand (3), einen Boden (12) und eine Decke (26), eine Vielzahl von Sprühdüsen (28), die in den Raum gerichtet sind, in dem das Substrat beschichtet werden soll, und Einrichtungen

(9) enthält, die das Abtropfen aus dem Bereich der vertikal über den Öffnungen (6) angeordneten Seitenwände verhindern, und daß die Decke (26) um eine Achse drehbar ist, eine im wesentlichen horizontal ausgerichtete äußere Drehkante besitzt und über dem Bereich des zu beschichtenden Substrats angeordnet ist, und daß die Decke (26) eine stetige Oberfläche auf der Unterseite besitzt, die von der Drehachse abwärts geneigt ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (3,5) eine Seitenwand (3), eine Decke (26) und einen Boden (12) aufweist, daß die Unterseite der Decke (26) hinreichend geneigt ist, damit das hierauf abgeschiedene Beschichtungsmaterial ohne Tropfenbildung längs der unteren Oberfläche entlang bis über den Rand des durch die Beschichtungskammer laufenden Substrats fließt, daß eine Düsenhalterung (2) um eine Achse drehbar vertikal über dem Pfad des Substrats in der Beschichtungskammer (2,5,12,26) angeordnet ist und von der Drehachse abwärts geneigt verläuft, daß Sprühdüsen (28) auf der Düsenhalterung (2) angeordnet sind, und daß Einrichtungen (9) zur Verhinderung des Abtropfens aus einem vertikal über den Öffnungen (6) vorgesehenen Bereich der Seitenwände (3) vorgesehen sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsenhalterung (2) eine Vielzahl einzelner von der Achse radial auswärts weisender Arme enthält.

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5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsenhalterung (2) die Decke (26) enthält.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen (9) zur Verhinderung des Abtropfens von einem vertikal über den Öffnungen (6) angeordneten Bereich der Seitenwände (3) Rinnen (9) an den Seitenwänden (3) über den Eintritts- und Ausgangsöffnungen (6) über die gesamte horizontale Länge der Öffnungen (6) enthalten.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

daß die Neigung der Unterseite der Decke (26) mit zunehmender radialer Entfernung von der Drehachse abnimmt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühdüsen(28) auf der Decke (26)angeordnet sind.

9. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Absaugeinrichtungen (32-34, 15) zum Absaugen von in der Luft verteilten Sprühteilchen und überschüssigen Dämpfen vorgesehen sind, die vom Verdampfen des Lösungsmittels des Beschichtungsmaterials herrühren .

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (3,5,12,26) ein Dach (5) mit Auslaßöffnungen (16) enthält, daß die Seitenwände (3) zylinderförmig sind, und daß die äußere Drehkante der Decke (26) kreisförmig ist und sich mit ihrem Umfang in die Nähe der Seitenwand (3) erstreckt, und daß die Absaugeinrichtungen (32-34, 15) vom unteren Bereich der Beschichtungskammer Dampf in einem solchen Umfang abzieh en, daß eine kleine Luftmenge von der Auslaßöffnunge (16) um die Drehkante der Decke (26) abwärts gesaugt wird.

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11. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Drehkante der Decke (26) einen größeren Durchmesser als die Breite des zu beschichtenden Substrats besitzt, und daß die Rinnen (9) die Peripherie der Unterseite der Decke (26) überlappen.

12. Verfahren zum Beschichten von Substraten, dadurch gekennzeichnet, daß ein Substrat durch eine Beschichtungskammer mit einer Decke und Seitenwänden hindurchgeführt wird, daß Beschichtungsmaterial in der Kammer auf das Substrat abgegeben wird, und daß das auf der Decke und den vertikal über dem Substrat angeordneten Seitenwänden niedergeschlagene Beschichtungsmaterial an den Rand neben das Substrat abgeleitet wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine an Lösungsmittel angereicherte Atmosphäre in der Kammer erzeugt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Decke in der Kammer über dem Substrat gedreht wird und das auf der Decke niedergeschlagene Beschichtungsmaterial an die äußere Drehkante der Decke gebracht wird und von dort abgeworfen wird, und daß das von der Decke abgeworfene Beschichtungsmaterial gesammelt wird.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Decke vertikal über dem Transportpfad des Substrats abgegebene Beschichtungsmaterial an eine Stelle abgeleitet wird, die seitwärts von dem Substrat liegt.

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16. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche

12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschichtungsmaterial mittels einer Vielzahl von Sprühbeschichtungsdüsen abgegeben wird, die an der Decke befestigt sind und sich mit der Decke drehen.

17. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein geringer Unterdruck in der Beschichtungskammer durch ein Absaugrohr im unteren Teil der Kammer erzeugt wird, um einen kleinen Luftstrom in Abwärtsrichtung von oberhalb der sich drehenden Decke zwischen der äußeren Drehkante der Decke und den Seitenwänden zu erzeugen.

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