DE1113100B - Beobachtungsvorrichtung fuer Ladungstraegerstrahlgeraete - Google Patents

Beobachtungsvorrichtung fuer Ladungstraegerstrahlgeraete

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DE1113100B
DE1113100B DEZ7801A DEZ0007801A DE1113100B DE 1113100 B DE1113100 B DE 1113100B DE Z7801 A DEZ7801 A DE Z7801A DE Z0007801 A DEZ0007801 A DE Z0007801A DE 1113100 B DE1113100 B DE 1113100B
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Germany
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DEZ7801A
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Dipl-Phys Klaus Koch
Dipl-Phys Roland Leinhos
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3005—Observing the objects or the point of impact on the object
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0013—Positioning or observing workpieces, e.g. with respect to the impact; Aligning, aiming or focusing electronbeams
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/02—Viewing or reading apparatus
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