DE1080971B - Verfahren und Vorrichtung zur Erzielung duenner Schichten organischer Fluessigkeiten auf Duennschichtverdampfern - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Erzielung duenner Schichten organischer Fluessigkeiten auf Duennschichtverdampfern

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DE1080971B DEB52668A DEB0052668A DE1080971B DE 1080971 B DE1080971 B DE 1080971B DE B52668 A DEB52668 A DE B52668A DE B0052668 A DEB0052668 A DE B0052668A DE 1080971 B DE1080971 B DE 1080971B
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liquid
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Balzers AG
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
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