DE1069800B - Verfahren zum Einbetten von kleinen Gegenständen, insbesondere von Halbleiterkristallen, für deren mechanische Verarbeitung - Google Patents

Description

DEUTSCHES

Dae Erfindung betrifft em Einbettungsverfahren, das zur Halterung von kleinen Gegenstanden bei ihrer Bearbeitung verwendet wird Es ist bekannt, kleine Knstallplattchen aus Halbleitermaterial, die sehr spröde sind, zum Sagen, Fräsen, Drehen und ahnliehen mechanischen Bearbeitungsmethoden durch ein Einbettungsmittel zu halfen und gleichzeitig zu schützen Derartige Embettungsmittel bestehen gewöhnlich aus einem Natur- oder Kunstharz, dem Füllstoffe zugesetzt sind Die von einem Einbettungsmittel geforderten Eigenschaften bezüglich seiner Schmelz- und Ersi arrungstemperatur, seiner Klebkraft, Bearbeitungstemperatur, Piastizitat, physikalischen und chemischen Beständigkeit gegen die Kühlflüssigkeit der zur Verarbeitung verwendeten Maschine richten sich je nach dem Verarbeitung;?Vorgang Sie können durch Wahl geeignetei Füllstoffe beeinflußt werden Es sind zahlreiche Einbettungsmittel verschiedene Zusammensetzung bekannt

Eine zusatzliche Forderung muß an das Einbettung smittel gestellt weiden, wenn dieses zur Verarbeitung von teuren Rohstoffen verwendet wild, was beispielsweise bei der Verarbeitung von Halbleiterkristallen zutrifft In solchen Fallen muß das bei der Verarbeitung abfallende Material zurückgewonnen werden Wahrend die Abtrennung des Harzes wegen seiner stark untei schiedhchen chemischen Eigenschaften verhältnismäßig leicht ist, bereitet die Trennung dei Füllstoffe des Einbettungsmittels vom zu veraibeitenden Rohstoff, der in Pulverform angefallen ist, größere Schwieiigkeiten Eine mechanische Trennung scheidet wegen der geringen Unterschiede im Gewicht aus und chemische Trennungsmethoden, die in solchen Fallen bisher vorwiegend angewendet wurden, haben den Nachieil, daß dabei der Reinheitsgrad des abgefallenen Rohstoffes, beispielsweise des Halbleitermatenals, beeinträchtigt und dadurch eine Wiederverwendung erschwert wird Zudem sind chemische Trennungsmethoden gewohnlich sehr zeitraubend

Das Einhettungsverfahren nach der Erfindung vermeidet die Nachteile der bekannten, aus Harz und Füllstoff bestehenden Einbettungsverfahren, indem erfmdungsgemaß als Füllstoff zu dem Harz ein Pulver aus dem Rohstoff des zu bearbeitenden Gegenstandes, ein Oxyd oder eine sonstige Verbindung davon zugesetzt wird

Der Vorteil des Einbettungsverfahrens nach der Eifindung besteht dann, daß das bei der Verarbeitung abfallende Material nur aus dem Harz des Embettungsmittels und dem bearbeiteten Rohstoff, beispielsweise dem Halbleitermaterial, besteht Eine Abtrennung des Füllstoffes vom wertvollen Rohstoff erübrigt sich somit, da dieser aus dem Rohstoff selbst besteht Verfahren 2Jum Einbetten

von kleinen Gegenstanden,

insbesondere von (Halbleiterknstallen,

fur deren mechanische Verarbeitung

Anmelder:

INTERtylETALL
Gesellschaft für Metallurgie

und Elektronik m. b. H.,
Dusseldorf, Kopigsallee 14-16

Dr ViW Winkler

und Lieselotte Neugebauer, geb Koch, Dusseldorf,

sind als Erfinder genannt worden

und zusammen mit dem
werden kann

Beisj

Rohstoff weiterverarbeitet

Ein Germaniumkristall wird zur mechanischen Veiarbeitung, beispielsweise zum Zersägen, in ein Einbettungsmittel aus 73 Gewichtsteilen Schellack, 25 Gewichtsteilen Germaniumpulver und 2 Gewichtsteilen Rizinusöl gebettet Die Beartjeitungsabfalle warden mit Spiritus behandelt, wobei der Schellack und das Rizinusöl ohne Ruckstand gelöst werden und das Germaniumpulvei, das sich aus dem Germaniumfullstoff und den Abfallen von dem Gern:aniumknstall zusammensetzt, zurückbleibt Diesel Rückstand kann zusammengeschmolzen und zonengeremigt werden

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung ist es vorteilhaft, die aus vorhergehenden Verarbeitjngsvorgangen vorhandenen Abfalle als Füllstoff fur em neues Einbettungsmittel zu verwenden Voraussetzung dafür ist alleidings, daß der Füllstoff des ursprünglichen Einbettungmittels bereits gemäß der Erfindung aus dem Rohstoff des zu bearbeitenden MaJßfM« bestand Auf diese Weise werden ^

fahren weitgehendst vermieden

Claims (2)

1. Patentansprüche

   1 Verfahren zum Einbetten von kleinen Gegenstanden, insbesondere von Halbleiterkrista len, fur deren mechanische Verarbeitung, bei dem als Em-

   909 650/504

   3 4

   bettungsmittel Natur- oder Kunstharze mit Full- vorhergehenden Ver,arbeitungsvorgangen des zu

   stoffen verwendet werden, dadurch gekennzeichnet, verarbeitenden Gegenstandes oder gleichartiger Ge-

   daß dem Harz als Füllstoff ein Pulver aus dem genstande zugesetzt werden

   Rohstoff des zu bearbeitenden Gegenstandes, ein

   Oxyd oder eine sonstige Verbindung davon züge- 5

   setzt wird ^n Betracht gezogene Druckschriften
2. 2 Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- Deutsche Patentschriften Nr 899097, 451 889,

   zeichnet, daß dem Harz als Füllstoff Abfalle aus franzosische Patentschrift Nr 1 088 587

   0 909 6507504 11 59