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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung betrifft
eine elektronische Vorrichtung, insbesondere die Abdichtungsstruktur
von verschiedenen Sensoren zur Ausgabe von verschiedenen physikalischen
Größen als elektrische
Signale mit einem Sensorelement zum Erfassen von verschiedenen physikalischen
Größen und
eine elektronische Schaltung zum Steuern des Sensorelements, das
in einem Motorraum installiert ist, und den Anbringungsaufbau einer
elektronischen Schaltung, die die Verbesserung der Korrosionswiderstandsfähigkeit
einer elektronischen Schaltung einer elektronischen Vorrichtung
zur Verwendung in Autos mit einem Mikroprozessorcomputer zum Steuern
von verschiedenen Zuständen
eines Autos nach dem Empfang von elektrischen Signalen der zuvor genannten
verschiedenen Sensoren betrifft.
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Es sind verschiedene Arten von Hybridschaltungssubstraten
mit einem Dickschichtwiderstand, der auf ein Keramiksubstrat gedruckt
ist, und Bestückungsteile,
wie beispielsweise eine integrierte Halbleiterschaltung, ein Kondensator
und eine Diode, bekannt. Unter diesen wird für ein Hybridschaltungssubstrat,
das Leiterdrähte
aus Silber, Silberlegierung, Kupfer oder Kupferlegierung aufnimmt,
insbesondere für
ein Hybridschaltungssubstrat, das in einer elektronischen Vorrichtung
zur Verwendung in Autos aufgenommen ist, die Korrosion der Leiterdrähte aufgrund von
korrosivem Gas befürchtet,
und als Korrosionsverbesserungsmaßnahme wird das Überziehen
der Leiterdrähte
mit Glas in Betracht gezogen.
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Allerdings werden die Widerstände, die
auf einem Hybridschaltungssubstrat aufgedruckt sind, und die befestigten
elektronischen Teile variiert und, um eine hochgenaue e lektronische
Vorrichtung zur Verfügung
zu stellen, müssen
der Widerstand und die Charakteristika angepasst werden, für welchen Zweck
ein freiliegendes Leiterteil erforderlich ist. Als Verfahren zum
Verkleiden des freiliegenden Teils wird allgemein Löten verwendet.
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Es handelt sich jedoch um ein Verfahren,
das den Kontakt zur Zeit der Messung berücksichtigt, anstatt die Verbesserung
der Korrosionsbeständigkeit zum
Ziel zu haben, und zwar beschränkt
auf einen Fall, der zur Messung notwendig ist. Weiter gibt es, selbst
wenn das Löten übernommen
wird, aufgrund der schlechten Netzbarkeit des Lots viele freiliegende
Teile von Leiterdrähten.
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Als Verbesserungsmaßnahme für die Lotnetzbarkeit
wird, wie in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. Hei 04-334083
beschrieben, ein verbesserndes Verfahren durch einen Prozeß, wie beispielsweise
zweidimensionales Kalzinieren, übernommen.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Nach dem Stand der Technik sind die
Leiterdrähte,
die die Schaltung bilden, teilweise nicht überzogen, und die Korrisionsbeständigkeit
ist in mancher Umgebung nicht zufriedenstellend. Weiter liegen selbst
beim Ausbilden des Überzugs
mit einem Lot aufgrund der schlechten Netzbarkeit des Lots die Leiterdrähte und
die Enden des Anbringungsabschnitts eines angebrachten Teils, insbesondere
die Ecken, frei, und die Korrosionsbeständigkeit ist nicht zufriedenstellend.
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Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung
ist es, die Funktion der elektronischen Schaltung frei von Schäden zu halten,
selbst wenn die Öffnung
korrodiert ist, und die Korrosionsbeständigkeit zu verbessern.
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Die obige Aufgabe kann durch die
in den Ansprüchen
angegebene Erfindung erreicht werden. Zum Beispiel kann, um das
zuvor erwähnte
Problem der Korrosionsbeständigkeit
in einer elektronischen Vorrichtung zu lösen, zum Messen der Widerstandsanpassung
und Charakteristikanpassung durch Verwendung eines Aufbaus des Überziehens der
Glas- oder Harzüberzugsöffnung mit
einem Lot oder einer metallischen Paste die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden. Weiter ist die Öffnung in einer Form ausgebildet,
die keine Ecken mit 90° oder weniger
aufweist, beispielsweise in einer runden Form, in einer elliptischen
Form oder in einer Form, bei der die Ecken eines Tetragons gerundet
(R) oder abgefast (C) sind, und so die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden kann.
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Weiter kann die Öffnung von der Leiterbahn, die
die Schaltung bildet, abzweigen und/oder die Leiter können parallel
ausgebildet sein, so dass selbst wenn die Öffnung korrodiert ist, die
Funktion der elektronischen Schaltung vor einem Schaden bewahrt und
die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden kann.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine schematische Querschnittsansicht einer elektronischen Vorrichtung
zur Verwendung in Autos, die die Charakteristika der vorliegenden
Erfindung zeigt;
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2 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel einer Umgebung zeigt, in der eine
elektronische Vorrichtung zur Verwendung in Auto platziert ist;
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3 ist
ein Strukturdiagramm eines Luftstrom-Messinstruments vom thermalen Typ;
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4 ist
eine schematische Querschnittsansicht eines Luftstrom-Messinstruments
vom thermalen Typ;
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5 ist
eine schematische Ansicht eines elektronischen Schaltungssubstrats;
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6 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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7 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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8 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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9 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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10 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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11 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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12 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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13 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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14 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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15 ist
ein Querschnitts-Strukturdiagramm eines elektronischen Schaltungssubstrats;
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16 ist
eine Zeichnung, die ein Beispiel für einen Erfassungsabschnitt
eines elektronischen Schaltungssubstrats zeigt;
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17 ist
ein Querschnitts-Strukturdiagramm eines elektronischen Schaltungssubstrats; und
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18 ist
ein Querschnitts-Strukturdiagramm eines elektronischen Schaltungssubstrats.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Zuerst wird ein typischer Querschnittsaufbau einer
elektronischen Vorrichtung zur Verwendung in Autos, das einer stark
korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, als elektronische Vorrichtung
in der 1 gezeigt. Weiter
werden mit Bezug auf die 2,
die die korrosive Umgebung, der die elektronische Vorrichtung zur
Verwendung in Autos ausgesetzt ist, der Aufbau der elektronischen
Vorrichtung zur Verwendung in Autos, die Verwendungsumgebung und
das Problem erläutert.
Die elektronische Vorrichtung zur Verwendung in Autos ist allgemein
in eine Kraftstoffsteuereinheit für einen Sensor und eine Steuereinheit und
eine Zündsteuereinheit
für eine
Zündvorrichtung und
eine Spule eingeteilt.
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Der Sensor erfasst physikalische
Größen, wie
beispielsweise die Einlaßluftströmungsrate,
die Lufttemperatur, den atmosphärischen
Druck und den Ladedruck, und die Steuereinheit hat eine Funktion zum
Empfangen eines Signals des Sensors und Steuern des Verbrennungszustands
in den Zylindern, und die Zündvorrichtung
und Spule haben eine Funktion zum Steuern der Zündzeit in den Zylindern.
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Die Gemeinsamkeiten der Aufbauten
dieser elektronischen Vorrichtungen zur Verwendung in Autos sind,
dass ein Aufbau, bei dem die entsprechenden elektronischen Vorrichtungen
eine elektronische Treiberschaltung 1 oder eine elektronische
Steuerschaltung aufweisen und an einem metallischen Träger 2 angeklebt
und befestigt sind, an dem die e lektronische Treiberschaltung 1 oder
die elektronische Steuerschaltung installiert ist, und ein Träger 3 zum Aufnehmen
der elektronischen Treiberschaltung 1 oder der elektronischen
Steuerschaltung an den Träger 2 angeklebt
und befestigt (4) ist, und darüber hinaus der obere Teil davon
durch eine Abdeckung 5 angeklebt und befestigt (6),
häufig
verwendet wird.
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Für
die elektronische Treiberschaltung 1 oder die elektronische
Steuerschaltung wird oft ein Hybridschaltungssubstrat 9 gewählt, das
durch Drucken und Kalzinieren eines Leiterdrahts 8 als
Leiter der Schaltung und eines Widerstands auf der Oberfläche eines
ebenen Substrats 7 gebildet ist, das durch ein anorganisches
Material, wie beispielsweise Keramik, gebildet ist und mit einem
Kondensator, einer Diode und einer integrierten Halbleiterschaltung auf
der Oberfläche
vorgesehen ist, und, um die Wärmeableitung
von dem Hybridschaltungssubstrat 9 zu fördern, wird das Hybridschaltungssubstrat 9 an
dem metallischen Träger 2 mit
einem Silikonklebstoff angeklebt und befestigt.
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Da der metallische Träger 2 als
Wärmesenke zur
Wärmeableitung
dient, wird oft ein Metall mit einer großen Wärmeübergangsleistung, insbesondere Aluminium,
verwendet. Das Gehäuse 3 zum
Aufnehmen des Hybridschaltungssubstrats 9 und die Abdeckung 5 zum
Abdecken des oberen Teils sind integral mit dem Verbinder ausgebildet,
der ein Interface für E/A-Signale der elektronischen
Treiberschaltung 1 ist, und ein Aufbau, bei dem ein aus
einem leitenden Element aufgebauter Anschluss 11 zum Steuern
der Übertragung
eines elektrischen Signals in das das Gehäuse 3 bildende Harz
eingesetzt wird, wird oft verwendet.
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In diesem Fall wird der Sensor zum
Detektieren der physikalischen Größen, wie beispielsweise der
Einlasslufttemperatur, der Einlassluftströmungsrate und des Ladedrucks,
so aufgebaut, dass ein Sensorelement 10 außerhalb
oder in der Gehäuseöffnung installiert
ist und elektrisch mit der elektronischen Treiberschaltung 1 über den
Anschluss 11 ver bunden ist. Das Gehäuse 3 wird an dem
Träger 2 angeklebt
und befestigt (4), und die Abdeckung 5 wird auch
an dem Gehäuse 3 angeklebt
und befestigt (6).
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Als Harzmaterialien zum Bilden des
Gehäuses 3 und
der Abdeckung 5 werden Harze, die eine überlegene Spritzgießbarkeit
aufweisen, wie beispielsweise Polyethylenterephthalat (PBT), Polyphenylensulfid
(PPS), Nylon 6, Nylon 66, Nylon 11 und Nylon 12, in vielen elektronischen
Vorrichtungen zur Verwendung in Autos gewählt.
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In diesem Fall unterscheiden sich
das Harzgehäuse 3 und
der zuvor erwähnte
metallische Träger 2 wesentlich
bezüglich
des linearen Ausdehnungskoeffizienten, so dass oft ein elastischer
Klebstoff mit viskoser Elastizität,
wie der Silikonklebstoff 12, verwendet wird, um sie anzukleben
und abzudichten. Weiter wird in den meisten Fällen ein Epoxidklebstoff verwendet,
wenn das Gehäuse 3 und
die Abdeckung 5 aus demselben Element bestehen, während ein
Silikonklebstoff verwendet wird, wenn sie aus unterschiedlichen
Elementen bestehen.
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Für
die meisten oben beschriebenen, elektronischen Vorrichtungen zur
Verwendung in Autos wird oft ein Klebstoff zum Verbinden von Bauteilen genommen,
und oft wird der Silikonklebstoff 12 verwendet.
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Allerdings weist der Silikonklebstoff 12 einige Fehler
aufgrund der dem Silikonharz innewohnenden Eigenschaften auf. In
dem Motorraum eines Autos mit einer elektronischen Vorrichtung zur
Verwendung in Autos wird ein belastetes Abgas aus dem Motor zurückgeblasen,
und unverbranntes Gas wird zurückgeführt, so
dass das Innere des Motorraums einer Atmosphäre 13 von anhaltendem
Kohlenwasserstoff ausgesetzt ist.
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Darüber hinaus ist das Innere des
Motorraums mit Produkten überfüllt, wie
beispielsweise einem Gummikanal und einem Schwefel enthaltenden Schlauch,
die oft in den Motorbautei len angeordnet sind und daher die Temperatur
der elektronischen Vorrichtung in dem Motor 100°C übersteigt. In diesem Zustand
wird von den mit Schwefel vulkanisierten Produkten, wie beispielsweise
dem Gummikanal und Schlauch, einzelnes Schwefelgas oder mit Schwefel
kombiniertes Gas 14 abgegeben.
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Weiter variieren diese Schwefelgase
je nach der Umgebung und können,
wie oben erwähnt,
zu einem Zurückblasen
von Abgas, einem Zurückführen von
unverbranntem Gas oder einer Koexistenz mit dem Kohlenwasserstoff 13 führen, so
dass, wenn nicht eine elektronische Vorrichtung zur Verwendung in
Autos, die diesen korrosiven Gasen widersteht, hergestellt wird,
die Möglichkeit
besteht, dass ein äußerst zuverlässiges Produkt
nicht erhalten werden kann.
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Der Grund ist, dass in diesen elektronischen Vorrichtungen
zur Verwendung in Autos die Leiterdrähte 8, die auf dem
ebenen Substrat 7 der elektronischen Treiberschaltung 1 gebildet
sind, oft mit Silber oder einer Silberlegierung ausgebildet sind
und, wenn korrosives Gas, insbesondere Schwefelgas oder das mit
Schwefel kombinierte Gas 14, in das Gehäuse 3 eintritt, die
Silber-, Silberlegierungs-, Kupfer- und Kupferlegierungsdrahtteile der
Leiterdrähte 8 korrodiert
werden und die Möglichkeit
besteht, dass die Leiterdrähte 8 der
elektronischen Treiberschaltung 1 brechen können und
die elektronische Treiberschaltung 1 nicht normal betrieben
werden kann.
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Es wird in dem freiliegenden Teil
der Leiterdrähte 8 Sulfidkorrosion
der Leiterdrähte 8 erzeugt, so
dass wir eine elektronische Vorrichtung zur Verwendung in Autos
vorschlagen, bei der das freiliegende Teil mit Glas, Harz, Lot oder
einer metallischen Paste abgedeckt ist und so die Funktion zum Schutz der
elektronischen Treiberschaltung 1 vor korrosivem Gas verbessert
wird.
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Der Schwefelkorrosions-Gegenmaßnahmenaufbau
für eine
elektronische Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend
erläutert.
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Es gibt viele Arten von verfügbaren elektronischen
Vorrichtungen, und es ist schwierig, alle zu erläutern, so dass stellvertretend
für eine
elektronische Vorrichtung der Aufbau des Luftströmungsmeßinstruments vom thermalen
Typ zum Messen der Einlassluftströmungsrate, der in der 3 gezeigt ist, und die Ausführungsform
davon nach der vorliegenden Erfindung nachfolgend erläutert werden.
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Zuerst wird das Luftströmungsmessinstrument
vom thermalen Typ kurz erläutert.
Die 3 und 4 sind Querschnitts-Strukturdiagramme,
die den Aufbau des Luftströmungsmessinstruments
vom thermalen Typ zeigen. Das Luftströmungsmessinstrument vom thermalen
Typ ist ein Sensor zum Messen der Einlassluft. Ein Heizwiderstand 15 eines
Luftströmungsmeßinstruments 17 vom
thermalen Typ, das den Heizwiderstand 15 und einen Temperatursensorwiderstand 16 verwendet,
wird von einer Konstanttemperatursteuerschaltung 18 gesteuert,
um so eine feste Temperaturdifferenz von dem Temperatursensorwiderstand 16 zum
Messen der Lufttemperatur immer zu halten, und immer erwärmt.
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Der Heizwiderstand 15 und
der Temperatursensorwiderstand 16 sind in einem Luftreiniger
zum Leiten von Luft, die in den Motor eingesaugt wird, oder einem
Luftkanal, der nach dem Luftreiniger installiert ist, angeordnet
und so aufgebaut, dass ein elektrisches Signal über die Konstanttemperatursteuerschaltung 18 und
das leitende Element 11, das in dem Gehäuse 3 eingebettet
ist, übertragen
wird.
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In dem zuvor genannten Luftströmungsmeßinstrument
vom thermalen Typ ist der Träger 2 zum Verbreiten
von selbsterzeugter Wärme
einer Leistungsvorrichtung, wie beispielsweise eines Leistungstransistors,
ein bauliches Substrat. An dem Träger 2 wird das Hybridschaltungssubstrat 2,
bei dem die Leiterdrähte 8 und
die Widerstände
auf der vorderen Seite oder hinteren Seite des ebenen Substrats 7 gedruckt
sind und zusätzlich
die integrierte Halbleiterschaltung, der Leistungstransistor, Kondensator, Induktor
und die Diode angebracht sind, mit einem Silikonklebstoff angeklebt.
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Weiter wird das Gehäuse 3 als
Substrat zum Aufnehmen des Hybridschaltungssubstrats 9,
bei dem der Verbinder, der eine Interface-Einheit zum Übertragen
eines Sensorsignals nach außen
oder Liefern einer Schaltungstreiberleistung von außen ist,
gleichzeitig gebildet wird, auf dem Träger 2 mit einem Silikonkleber 12 angeklebt
und abgedichtet, und dann wird das obere Teil des Gehäuses 3 mit
der Abdeckung 5 abgedeckt und mit einem Silikonkleber oder
einem Epoxidkleber abgedichtet.
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In dem Hybridschaltungssubstrat 9 sind
die gedruckten Widerstände
und Leiterdrähte 8 mit
Glas oder Harz überzogen.
Allerdings muss zur Anpassung der Widerstände der gedruckten Widerstände und
auch zur Anpassung der Charakteristika, wie beispielsweise der Nutzleistung,
ein Erfassungsabschnitt, der zum Messen in der Lage ist und mit
den Leiterdrähten 8 elektrisch
verbunden ist, installiert sein und die Sonde den Erfassungsabschnitt
kontaktieren, um die Charakteristika anzupassen.
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Wie oben beschrieben wird, wenn der
Silikonkleber 12, der dazu geeignet ist, viele Elemente miteinander
zu verkleben, eine große
Gasdurchlässigkeit
hat und sich in einer korrosiven Umgebung befindet, korrosives Gas
durch den angeklebten und befestigten Abschnitt 4 in das
Gehäuse 3 durchgelassen.
Weiter tritt korrosives Gas von dem Luftloch, das in dem Verbinder
des Gehäuses 3 angebracht
ist, ein.
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Daher wird, um die Situation zu verhindern, die
eine Korrosion der Leiterdrähte 8 des
Hybridschaltungssubstrats 9 und von befestigten Teilen
in dem Gehäuse 3 bewirkt,
der Erfassungsabschnitt, der zur Anpassung notwendig ist und in
dem Hybridschaltungssubstrat 9 installiert ist, oder der
freiliegende Teil der Leiterdrähte
geschaffen, und die Leiter drähte 8 werden
daran gehindert, aufgrund von korrosivem Gas zu korrodieren, so
dass eine elektronische Vorrichtung, die ein Luftströmungsmeßinstrument
vom thermalen Typ aufweist, das äußerst zuverlässig bezüglich des
Korrosionswiderstands ist, hergestellt werden kann.
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Im einzelnen ist der Erfassungsabschnitt
des Hybridschaltungssubstrats 9 mit einem Lot oder einer metallischen
Paste überzogen,
so dass der Kontakt von korrosivem Gas mit den Leiterdrähten 8 reduziert wird
und der Korrosionswiderstandsfähigkeit
verbessert werden kann. Weiter können
durch Überziehen des
freiliegenden Teils der Leiterdrähte 8 mit
Glas oder Harz nach der Anpassung des Widerstands und der Charakteristika
dieselben Wirkungen erhalten werden.
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Wenn der Erfassungsabschnitt auf
dem Hybridschaltungssubstrat 9 installiert werden soll,
ist es wirkungsvoll, eine Öffnung
durch Überziehen
von Glas oder Harz zu bilden und die Öffnung mit einem leitenden
Metall, wie beispielsweise einem Lot oder einer metallischen Paste,
zu überziehen.
Allerdings liegen in diesem Fall, wenn die Netzbarkeit des Lots oder
der metallischen Paste an den Leiterdrähten schlecht ist, die Leiterdrähte an den
Enden, insbesondere in den Ecken, frei und können durch korrosives Gas korrodiert
werden.
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Daher wird die Oberfläche des Überzugsabschnitts
durch das Lot oder die metallische Paste in einer Form ausgebildet,
die keine Ecken von 90° oder weniger
hat, zum Beispiel in einer runden Form, in einer elliptischen Form
oder in einer Form, in der die Ecken eines Tetragons gerundet (R,
Kreisbogen) oder abgefast sind (C, konisch), so dass das Freiliegen
der Ecken an den Enden der Leiterdrähte reduziert werden kann und
die Korrosionsbeständigkeit verbessert
werden kann. Im Falle eines Tetragons ist es wünschenswert, das Verhältnis der
kurzen Seite zu der langen Seite zwischen 0,5 und 1,5 festzulegen und
R und C der Ecken jeweils zwischen R0,1 und R0,5 und zwischen C0,1
und C0,5 festzulegen.
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Weiter werden, wenn die Netzbarkeit
des Lots oder der metallischen Paste an dem Anbringungsabschnitt
zum Anbringen der Bauteile, wie beispielsweise des Kondensators,
Induktors und der Diode, an dem Hybridschaltungssubstrat 9 schlecht
ist, die Leiterdrähte
an den Enden, insbesondere in den Ecken, freigelegt und können durch
korrosives Gas korrodiert werden, so dass, wenn die Ecken des freiliegenden
Teils 22 der Leiterdrähte 8 zum
Anbringen der Teile gerundet (R) oder abgefast sind, die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden kann. Zu diesem Zeitpunkt ist die Größe von R
der Ecken vorzugsweise zwischen R0,1 und R0,5 und die Größe der Abfasung
ist vorzugsweise zwischen C0,1 und C0,5.
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Weiter sind die Leiterdrähte unter
den Bauteilen, wie beispielsweise dem anzubringenden Kondensator,
Induktor und der anzubringenden Diode, ausgebildet, so dass die
Korrosionsbeständigkeit verbessert
werden kann.
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Weiter kann durch das Leitermuster,
mit dem der Erfassungsabschnitt oder der Anbringungsabschnitt in
einer Position verzweigt von der Leiterbahn gebildet ist, wo die
Funktion der elektronischen Schaltung nicht beschädigt wird,
selbst wenn der Abschnitt unterbrochen ist oder die Leiter parallel
ausgebildet sind, die Korrosionsbeständigkeit verbessert werden.
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Wenn die Leiterdrähte in einer Mehrschicht, wie
beispielsweise 2 oder mehr Schichten, gebildet sind, sind der obere
Teil und der Boden des Erfassungsabschnitts durch Leiterdrähte 24 verbunden, die
unter einem Nichtleiter 25, wie beispielsweise Glas, gebildet
sind, so dass selbst wenn das freiliegende Teil des Leiters korrodiert
ist, die Leiterdrähte durch
die untere Schicht verbunden sind und die Schaltungsstruktur beibehalten
wird, so dass die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden kann.
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Weiterhin wird den Leiterdrähten 26 an
der äußersten
Seite, die außerhalb
des Keramiksubstrats 9 gebildet ist, oft eine Möglichkeit
zur Belastungsanwendung in der Herstellungsstufe und in dem eigentlichen
Verwendungszustand gegeben, und im Vergleich zu den innen ausgebildeten
Leiterdrähten neigen
sie dazu, beschädigt
zu werden, so dass die Leiterbreite auf der äußersten Seite breiter gemacht wird
als die innere Leiterbreite, wodurch die Korrosionsbeständigkeit
verbessert werden kann. Wenn die Leiterbreite auf der äußersten
Seite zwei- oder mehrfach größer als
die innere Leiterbreite hergestellt wird, kann die Korrosionsbeständigkeit
weiter verbessert werden.
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Die Bedeutung der in den Figuren
verwendeten Zeichen lautet wie folgt:
1: elektronische
Treiberschaltung, 2: Träger, 3:
Gehäuse, 4, 6:
Ankleben und Befestigen, 5: Abdeckung, 7: ebenes
Substrat, 8: Leiterdrähte, 9:
Hybridschaltungssubstrat, 10: Sensorelement, 11:
Anschluss, 12: Silikonkleber, 13: Korrosives NOx-
oder HC-Gas, wie beispielsweise Abgas, unverbranntes Gas und Kohlenwasserstoff, 14:
mit Schwefel kombiniertes Gas, 15: Heizwiderstand, 16:
Temperatursensorwiderstand, 17: Luftströmungsmessinstrument vom thermischen
Typ, 18: Konstanttemperatursteuerschaltung, 19:
Unterpfad, 20: Einlasslufttemperatursensor, 21:
Erfassungsabschnitt, 22: freiliegendes Teil der Leiterdrähte, 23:
Widerstand, 24, 26: Leiterdrähte, 25: Nichtleiter,
wie beispielsweise Glas, 27: Lot.
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Nach der vorliegenden Erfindung können die Leiterdrähte vor
einer Korrosion in einer korrosionsbeständigen Umgebung, der das Hybridschaltungssubstrat
ausgesetzt ist, bewahrt werden.