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Die
Erfindung betrifft ein elektroakustisches Bauelement, insbesondere
ein Bandpaßfilter
für Hochfrequenz-Schaltungen.
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Ein
solches Bauelement umfaßt
zumindest eine piezoelektrische Schicht und zumindest zwei mit dieser
Schicht verbundene, auf unterschiedlichen Potentialen liegende Elektroden
zur Anregung einer elektroakustischen Welle. Die Elektroden können auf einander
gegenüberliegenden
Flächen
der piezoelektrischen Schicht angeordnet sein und zur Anregung einer
akustischen Volumenwelle dienen, deren Ausbreitungsrichtung mit
der vertikalen Achse übereinstimmt.
Dieser Effekt wird z. B. in Dünnschicht-Resonatoren
genutzt.
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Zwischen
zwei auf unterschiedlichen Potentialen liegenden Elektroden, die
jeweils Elektrodenfinger umfassen, wobei die Elektrodenfinger der
ersten und der zweiten Elektrode ineinander greifen und einen elektroakustischen
Wandler bilden, kann eine akustische Oberflächenwelle angeregt werden.
Diese breitet sich in lateraler Ebene aus und induziert in den Elektroden
beim Eintreffen auf die Elektrodenfinger wiederum eine elektrische
Spannung.
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Es
sind z. B. Resonatoren, DMS-Filter (Double Mode Surface Acoustic
Wave), breitbandige Fan-Filter und weitere Bauelemente bekannt,
die mit akustischen Oberflächenwellen
arbeiten.
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Über dem
elektroakustischen Wandler ist üblicherweise
ein Hohlraum vorgesehen, damit sich die Oberflächenwelle ausbreiten kann.
Die (hinsichtlich der Anregung der akustischen Volumenwelle) aktiven Bereiche
von Dünnschicht-Resonatoren können auf einem
Trägersubstrat über einem
Hohlraum angeordnet sein. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, zwischen
dem Trägersubstrat
und dem Dünnschicht-Resonator einen akustischen
Spiegel anzuordnen, um den Abfluß der Energie der Volumenwelle
ins Substrat zu verhindern. In jedem Fall ist der mit Verschaffung
bzw. Abdichtung der Hohlräume
oder Ausbildung der akustischen Spiegel verbundene Aufwand groß.
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In
der Druckschrift von Furukawa et al „Piezoelectric Boundary and
Surface Waves Propagating on Glass Film/ZnO Film/Glass Substrate
Structures", IEICE
Transactions, Vol. E 74, No. 8, 1991, SS. 2184–2187, werden elektroakustische
Grenzschichtwellen bzw. Volumenwellen untersucht, die im Volumen
einer ZnO-Schicht, welche zwischen zwei Glasschichten angeordnet
ist, (im Gegensatz zu einer Volumenwelle in einem Dünnschicht-Resonator)
in lateraler Richtung ausbreitungsfähig sind. Die Ausbreitung der
Volumenwelle parallel zu den Grenzflächen der piezoelektrischen
Schicht ist dadurch möglich, daß die Ausbreitungsgeschwindigkeit
der Welle in der mittleren Schicht kleiner ist als in den außen liegenden
Glasschichten. Diese Eigenschaften bzw. Anordnung dreier Medien
entspricht im Prinzip der Grundstruktur eines herkömmlichen
Wellenleiters. Diese Anordnung hat den Vorteil, daß zur Ausbreitung
der akustischen Welle keine Hohlräume notwendig sind. In dieser
Druckschrift ist jedoch weder beschrieben, wie die Volumenwelle
anzuregen ist, noch wie ein Bauelement auszubilden ist, das mit
akustischen Wellen dieser Art arbeiten und insbesondere zur Bearbeitung
eines Hochfrequenz-Signals eingesetzt werden kann. Die laterale
Volumenwelle kann sich vielmehr im beschriebenen Schichtsystem in
beliebigen Richtungen in lateraler Ebene ausbreiten, da der Weg
zur Anregung und zielgerichteten Führung der Welle (z. B. durch
Anordnung der Elektroden) nicht angegeben ist.
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Aus
der Druckschrift
US 6046656 ist
ein Bauelement bekannt, welches mit Grenzschichtwellen (boundary
waves) arbeitet. Das Bauelement umfaßt eine piezoelektrische Schicht,
die als erstes Substrat dient, darauf angeordnete Elektrodenstrukturen,
eine darüber
aufgebrachte Planarisierungsschicht und ein auf der Planarisierungsschicht
angeordnetes zweites Substrat, das mit dem restlichen Aufbau mittels
eines Direct Wafer Bonding Verfahrens bei einer Temperatur zwischen
100 und 1000°C
verbunden wird. Da die piezoelektrische Schicht als erstes Substrat
bzw. Trägersubstrat
vorgesehen ist, ist dieses Bauelement nicht zur Erzeugung und Führung der
lateralen Moden akustischer Volumenwellen geeignet.
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Laterale
Moden akustischer Volumenwellen sind auch aus weiteren Druckschriften
bekannt und werden meist als zu unterdrückende störende Moden betrachtet. Bekannt
sind auch Anwendungen, bei denen die lateralen Moden der Volumenwellen
zur akustischen Verkopplung zweier dicht nebeneinander angeordneter
Dünnschicht-Resonatoren
verwenden werden. Dabei wird aber die Führung einer lateralen Mode
der Volumenwelle in einer bestimmten Richtung nicht durch irgendwelche
dafür vorgesehene
Vorrichtungen unterstützt.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein elektroakustisches Bauelement
anzugeben, das mit akustischen Volumenwellen in piezoelektrischen Dünnschichten
arbeitet und bei dem zur Ausbreitung der akustischen Volumenwelle
keine Hohlräume über elektroakustisch
aktiven Bereichen oder akustische Spiegel notwendig sind, und ein
Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein
elektroakustisches Bauelement mit den Merkmalen von Anspruch 1 und
durch ein Verfahren mit den Merkmalen von Anspruch 29 gelöst. Vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung sind aus weiteren Ansprüchen zu
entnehmen.
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Die
Erfindung gibt ein elektroakustisches Bauelement an, welches ein
erstes Substrat mit einem darauf angeordneten (elektroakustischen) Schichtsystem
umfaßt.
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Das
Schichtsystem enthält
eine piezoelektrische Schicht, auf der eine erste Metallschicht
angeordnet ist. In der ersten Metallschicht sind (vorzugsweise parallel
zueinander auf periodischem Raster angeordnete) Elektrodenstrukturen
und Kontaktflächen
ausgebildet, wobei die Kontaktflächen
von außen
hinsichtlich deren elektrischer Verschaltung mit weiteren Bauelementen
zugänglich
sind. Die Zugänglichkeit
der Kontakte kann z. B. über
eine Durchkontaktierung (bevorzugte Ausführungsform) oder einen mit
der Kontaktfläche
verbundenen Außenleiter gewährleistet
werden. Auf der ersten Metallschicht ist eine dielektrische Planarisierungsschicht
und über der
Planarisierungsschicht ein zweites Substrat angeordnet. Die Planarisierungsschicht
weist zum zweiten Substrat hin eine planare Oberfläche auf,
bedeckt die Elektrodenstrukturen und schließt außerhalb der von den Elektrodenstrukturen
bedeckten Bereichen mit der piezoelektrischen Schicht dicht ab.
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Die
Elektrodenstrukturen der ersten Metallschicht, die nebeneinander
vorzugsweise periodisch oder entsprechend einem zur gerichteten
Abstrahlung der akustischen Welle geeigneten Muster angeordnet sind,
bilden eine Funktionseinheit (z. B. die Funktionseinheit eines elektroakustischen
Wandlers) zur Führung
einer akustischen Welle (die weiterhin GBAW genannt wird; GBAW =
guided Bulk Acoustic Wave, oder geführte akustische Volumenwelle)
in lateraler Ebene. Bereiche der piezoelektrischen Schicht, die
jeweils durchgehend und unterhalb einer solchen Funktionseinheit
angeordnet sind, bilden jeweils einen aktiven Bereich, in dem eine
geführte akustische
Volumenwelle der Wellenlänge λ anregbar
bzw. ausbreitungsfähig
ist. Im erfindungsgemäßen Bauelement
sind vorzugsweise mehrere elektrisch miteinander verbundene Funktionseinheiten und
entsprechend viele aktive Bereiche vorgesehen. Die aktiven Bereiche
können
dabei akustisch miteinander gekoppelt oder akustisch voneinander
entkoppelt sein.
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Weder
im Schichtsystem noch an der Grenzfläche zwischen dem Schichtsystem
und dem jeweiligen Substrat sind Hohlräume vorhanden. Die Ausbreitungsgeschwindigkeit
der geführten
Volumenwelle in der piezoelektrischen Schicht ist kleiner gewählt als
die Ausbreitungsgeschwindigkeit der geführten Volumenwelle im ersten
und zweiten Substrat. Das erste und zweite Substrat und die dazwischen
angeordnete piezoelektrische Schicht bilden daher einen Wellenleiter,
wobei die piezoelektrische Schicht den Kernbereich bzw. die beiden
Substrate den Mantelbereich des Wellenleiters bilden.
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Die
piezoelektrische Schicht besteht vorzugsweise aus ZnO, AlN, LiNiO3 oder LiTaO3.
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Die
piezoelektrische Schicht hat vorzugsweise eine Dicke zwischen 0.1λ und λ. Bei wesentlich kleineren
als 0.1λ Schichtdicken
ist die Dispersion der GBAW unvorteilhaft groß und die elektroakustische
Kopplung zu gering. Bei Schichtdicken, die den Wert von λ wesentlich überschreiten,
sind ggf. weitere Moden akustischer Wellen anregbar, welche dem aktiven
Bereich die Energie entziehen und daher zur Erhöhung der Einfügedämfung des
Bauelements beitragen können.
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Das
Schichtsystem wird durch die Schichten gebildet, in denen ein wesentlicher
Anteil der Energie der GBAW konzentriert ist (wobei das Maximum
der Energieverteilung in vertikaler Richtung in der piezoelektrischen
Schicht liegt). Die Dicke des jeweiligen Substrats wird entsprechend
der Eindringtiefe der GBAW so gewählt, daß die GBAW nach außen hin ausreichend
abklingt, so daß eine
weitere Erhöhung der
Substratdicke oder das Hinzufügen
(von außen) von
weiteren Schichten die Eigenschaften der GBAW nicht beeinflussen
kann. Die Dicke des ersten bzw. des zweiten Substrats ist vorzugsweise
jeweils zwischen 2λ und
5λ gewählt.
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Die
Gesamtdicke des Schichtsystems beträgt vorzugsweise zwischen λ und 2λ.
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Das
elektroakustische Bauelement gemäß Erfindung
hat den Vorteil, daß es
verglichen mit den bekannten Bauelementen kleine Abmessungen hat und
in einem kostengünstigen
DWB (Direct Wafer Bonding) Verfahren hergestellt werden kann, da
auf die Verschaffung der Hohlräume
oder akustischer Spiegel verzichtet werden kann. Dadurch, daß nur geringe
Schichtdicken erforderlich sind, ist der Zeitbedarf zum Abscheiden
solcher Schichten entsprechend gering.
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Da
die durch die GBAW hervorgerufene Auslenkung des Materials im jeweiligen
Substrat aufgrund einer verhältnismäßig groß gewählten Dicke der
Substrate im Substratvolumen nach außen hin abklingt, kann auf
ein Gehäuse
im herkömmlichen Sinne
verzichtet werden.
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Der
Erfindung liegt die Idee zugrunde, die auf einer piezoelektrischen
Schicht angeordneten Elektrodenstrukturen (Elektrodenfinger, die
an einer gemeinsamen Stromschiene angeschlossen sind) – vorzugsweise
auf einem periodischen Raster oder in einer der Abstrahlung der
akustischen Welle bevorzugt in eine Richtung dienenden Anordnung – anzuordnen,
damit im darunterliegenden Volumen (aktiven Bereich) der piezoelektrischen
Schicht eine geführte
Volumenwelle (GBAW) erzeugt bzw. in lateraler Richtung geführt werden
kann, die sich bevorzugt senkrecht zu den Elektrodenfingern ausbreitet. GBAW
stellt im Grunde eine geführte
laterale Mode einer akustischen Volumenwelle (BAW = Bulk Acoustic
Wave) dar und unterscheidet sich von einer BAW insofern, als sie
sich in eine durch die Elektrodenstruktur vorgegebene laterale Richtung
ausbreitet, in der eine konstruktive Überlagerung lokal angeregter Wellenkomponenten
stattfindet. GBAW unterscheidet sich von einer SAW (Surface Acoustic
Wave) insofern, als sie keine Oberflächenwelle, sondern eine sich
entlang der Grenzfläche
der piezoelektrischen Schicht ausbreitende Volumenwelle ist. Die
periodische Elektrodenstruktur dient dabei zur Führung der Volumenwelle.
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Aus
der Druckschrift von Furukawa et al, IEICE Transactions, Vol. E
74, No. 8, 1991, SS. 2184–2187
kann man darauf schließen,
daß beim Aufbau
eines entsprechenden Bauelements die außen liegenden Glasschichten
eine (zum Abklingen der angeregten Welle im Volumen der Glasschichten ausreichende)
Mindestdicke haben müssen,
die für ein
HF-Bauelement, das z. B. für
1 oder 2 GHz ausgelegt ist, mindestens 10 μm beträgt.
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Da
die Glasschichten an die piezoelektrische Schicht grenzen und da
in diesen Schichten ein beträchtlicher
Teil der Energie der akustischen Welle (insgesamt bis zu 50%) konzentriert
ist, werden die akustischen Eigenschaften des gesamten Schichtsystems
durch die Zusammensetzung und die Qualität der Glasschichten stark beeinflußt. Daher
müssen (insbesondere
im Hinblick auf Massenfertigung der Bauelemente und auch weil nachträgliches
Trimmen des Bauelements aus unten genannten Gründen erschwert ist) die beiden
Glasschichten in hohen Maße reproduzierbar
sein, was im Prinzip durch eine niedrige Abscheidegeschwindigkeit
in einem Abscheideverfahren – jedoch
bei einem entsprechend hohen Zeitaufwand – erzielt werden kann.
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Dabei
ist unklar, wie man einen Schichtstapel, der zwei Schichten erforderlicher
Qualität
mit einer Dicke z. B. im Bereich zwischen 10 und 100 μm und eine
hochtexturierte piezoelektrische Schicht enthält, in einem kostengünstigen
Verfahren erzeugen kann.
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Das
Herstellungsverfahren des o. g. elektroakustischen Bauelements mittels
Direct Wafer Bonding bildet einen zweiten Aspekt der Erfindung.
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Zunächst wird
ein erster Wafer bereitgestellt, der ein erstes Substrat (Trägersubstrat)
darstellt. Auf das erste Substrat wird ein Schichtsystem aufgetragen
wird. Zum Aufbau des Schichtsystems wird auf dem ersten Substrat
in der entsprechenden Reihenfolge eine piezoelektrische Schicht,
eine Metallschicht und eine dielektrische Schicht aufgetragen, wobei
die nach oben weisende freiliegende Oberfläche der dielektrischen Schicht
z. B. mittels Chemical Mechanical Polishing planarisiert wird, so
daß eine Planarisierungsschicht
gebildet wird. Ein zweiter Wafer wird bereitgestellt, der ein zweites
Substrat umfaßt.
Der erste und der zweite Wafer werden nun durch ein Direct Wafer
Bonding Verfahren (vorzugsweise in einem „kalten" Verfahren, d. h. < 100°C)
miteinander verbunden.
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Die
dielektrische Schicht (z. B. aus Siliziumoxid) wird vorzugsweise
bei niedrigen Temperaturen (z. B. bei Raumtemperatur) abgeschieden.
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Die
periodisch angeordneten Elektrodenstrukturen sind vorzugsweise an
einer gemeinsamen Stromschiene angeschlossen und bilden eine kammartige
Elektrode. Die Elektrodenstrukturen einer Elektrode und die Elektrodenstrukturen
einer weiteren Elektrode können
ineinander greifen, so daß die auf
verschiedenen Potentialen liegenden Elektrodenstrukturen abwechselnd
angeordnet sind. Zwei ineinander greifenden Elektroden bilden z.
B. einen elektroakustischen Wandler. Mehrere nebeneinander angeordnete
Finger, die auf dem gleichen Potential liegen, können einen Reflektor bilden.
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Der
Wandler kann in Wellenausbreitungsrichtung in mehrere Bereiche aufgeteilt
sein, wobei mehrere nebeneinander angeordnete Elektrodenstrukturen
z. B. Anregungszellen oder Reflexionszellen bilden.
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Der
Mittenabstand nebeneinander angeordneter und auf unterschiedlichem
Potential liegender Finger, die für die akustische Welle anregend
wirken, beträgt
vorzugsweise eine halbe Wellenlänge,
wobei die Finger vorzugsweise eine Breite von einer Viertelwellenlänge haben.
In einer Reflexionszelle können die
Finger eine davon abweichende Breite bzw. Mittenabstand aufweisen.
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Die
Anregungszellen und die Reflexionszellen können abwechselnd angeordnet
sein, wobei durch eine entsprechende an sich bekannte Anordnung
der Zellen die Abstrahlung der geführten Volumenwelle in eine
bevorzugte Richtung erzielt werden kann.
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Die
piezoelektrische Schicht kann die Eigenschaften eines NSPUDT-Substrats
(NSPUDT = Natural Single Phase Uni-Directional Transducer) aufweisen, wobei
die Abstrahlung der geführten
Volumenwelle in eine bevorzugte Richtung durch natürliche Eigenschaften
des piezoelektrischen Substrats erzielt wird.
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Die
Effizienz der elektroakustischen Wandlung in einem elektroakustischen
Bauelement hängt von
der elektroakustischen Kopplung ab, die wiederum von der Ausrichtung
der piezoelektrischen Achse zur Anregungsrichtung abhängt. Die
maximale elektroakustische Kopplung wird erreicht, wenn die Anregung
der akustischen Welle entlang der piezoelektrischen Achse erfolgt.
Die piezoelektrische Achse der piezoelektrischen Schicht ist in
der Regel senkrecht zur lateralen Ebene gerichtet. Daher wird in
einer Variante der Erfindung vorgeschlagen, zwischen dem ersten
Substrat und der piezoelektrischen Schicht eine zweite Metallschicht
anzuordnen, in der zumindest eine Elektrode zur Anregung der geführten akustischen
Welle in vertikaler Richtung ausgebildet ist. Die Elektrode der
zweiten Metallschicht liegt in vertikaler Richtung den Elektrodenstrukturen
der ersten Metallschicht gegenüber,
ist unter dem entsprechenden aktiven Bereich angeordnet und vorzugsweise
durchgehend ausgebildet. Die GBAW wird vertikal zwischen den Elektrodenstrukturen
der ersten und der Elektrode der zweiten Metallschicht angeregt und
breitet sich lateral aus.
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Möglich ist
es aber auch, die Elektrode der zweiten Metallschicht zu strukturieren,
wobei Elektrodenstrukturen (Elektrodenfinger) ausgebildet werden.
Eine weitere Möglichkeit
besteht darin, auf die Strukturierung der zweiten Metallschicht
zu verzichten, so daß die
Elektrode der zweiten Metallschicht sowohl unter dem aktiven Bereich
oder den aktiven Bereichen als auch unter den Zuleitungen und Kontaktflächen des
Bauelements angeordnet ist. Dabei sollte allerdings beachtet werden,
daß keine
unerwünschte
Anregung der akustischen Wellen zwischen den Kontaktflächen der
ersten Metallschicht und ihnen gegenüberliegenden Bereichen der
zweiten Metallschicht zustande kommt.
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Die
unerwünschte
Anregung einer akustischen Welle (insbesondere unterhalb der Kontaktflächen und
Zuleitungen des Bauelements, die relativ großflächig sind und daher parasitären kapazitiven Kopplungen
mit leitenden oder halbleitenden Strukturen der Umgebung unterliegen)
kann man z. B. dadurch beseitigen, daß die Struktur bzw. Textur
der piezoelektrischen Schicht in den entsprechenden Bereichen so
geändert
wird, daß die
Ausbreitung akustischer Welle dort gehindert wird. Man kann z. B.
die Schicht, die beim Aufwachsen der piezoelektrischen Schicht als
Unterlage dient, in den entsprechenden Bereichen aufrauhen. Dies
verhindert beim Aufwachsen der piezoelektrischen Schicht die Bildung
einer monokristallinen Struktur mit der vorgegebenen Ausrichtung
der piezoelektrischen Achse. Es werden vielmehr in solchen Bereichen
piezoelektrische Polykristalle gebildet, deren piezoelektrische
Achsen insgesamt keine Vorzugsrichtung aufweisen, weswegen die piezoelektrische
Kopplung zerstört
wird.
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Es
ist beispielsweise möglich,
die zweite Metallschicht außerhalb
aktiver Bereiche (insbesondere unterhalb der Kontaktflächen und
der Zuleitungen) so zu strukturieren, daß die dabei erzeugten Strukturen zufällig verteilt
und/oder wesentlich kleiner sind als die Wellenlänge der akustischen Welle.
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Es
besteht die Möglichkeit,
von außen
zugängliche
Kontaktflächen
auch in der zweiten Metallschicht auszubilden.
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Zwischen
dem ersten Substrat und der piezoelektrischen Schicht kann eine
erste funktionale Zwischenschicht angeordnet sein. Zwischen dem zweiten
Substrat und der Planarisierungsschicht kann eine zweite funktionale
Zwischenschicht angeordnet sein. Die beiden Zwischenschichten bilden dann
die außenliegenden
Schichten des Schichtsystems und können jeweils dazu benutzt werden,
den Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten des jeweiligen
Substrats und der nächstliegenden
Schicht des Schichtsystems auszugleichen.
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Die
erste und/oder zweite Zwischenschicht kann aus SiOx mit
1,9 ≤ x ≤ 2,1 bestehen,
die vorzugsweise einen Brechungsindex zwischen 1,43 und 1,49 (dieser
Bereich ist für
eine hochtexturierte Siliziumoxid-Schicht charakteristisch) aufweist.
Ein so texturiertes Siliziumoxid weist nach dem Ausheilen des Bauelements
geringe intrinsische Spannungen und daher eine geringe Dämpfung der
akustischen Welle sowie (hinsichtlich der Ausbreitungsgeschwindigkeit
der BAW) günstige
elastische Eigenschaften auf. Siliziumoxid hat darüber hinaus
den Vorteil, daß es – im Gegensatz
zu den meisten anderen Materialien – einen negativen Temperaturkoeffizienten
(TCF) aufweist und im Verbund mit einer Schicht aus einem Material
mit einem TCF > 0
(hier piezoelektrische Schicht) einen geringen TCF (z. B. < 25 ppm/K) des Verbunds
(d. h. des Schichtsystems) gewährleistet.
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Es
ist vorteilhaft, wenn die Ausbreitungsgeschwindigkeit der GBAW in
der jeweiligen Zwischenschicht kleiner ist in dem (ersten bzw. zweiten)
Substrat, das an diese Zwischenschicht grenzt. Zur Erhöhung der
elektroakustischen Kopplung im Schichtsystem ist es von Vorteil,
wenn die Ausbreitungsgeschwindigkeit der GBAW in der jeweiligen
Zwischenschicht größer ist
als diejenige in der piezoelektrischen Schicht.
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Die
Planarisierungsschicht kann auch aus Siliziumoxid bzw. SiOx mit eben dargelegten Eigenschaften bestehen.
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Das
erste und/oder das zweite Substrat kann z. B. aus einem Material,
ausgewählt
aus Glas, Halbleiter (z. B. Si) oder Piezoelektrikum, bestehen.
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Das
Schichtsystem kann eine zu dem jeweiligen Substrat hin gewandte
funktionale Zwischenschicht aufweisen, die aus einem magnetisch
abstimmbaren Material (z. B. Material, das den Giant-Delta-E Effekt
aufweist) gewählt
ist. Falls das mit dieser Schicht direkt verbundene Substrat piezoelektrische
Eigenschaften hat, kann es zur Einbringung eines akustischen Stresses
im Schichtsystem benutzt werden und so die Frequenz des Bauelements verändern.
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Die
dielektrische Schicht (die später
die Planarisierungsschicht bildet) und die Zwischenschichten können z.
B. mittel CVD- oder PVD-Verfahren erzeugt werden (CVD = Chemical
Vapor Deposition, PVD = Physical Vapor Deposition).
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Die
erste und/oder die zweite Metallschicht besteht im Wesentlichen
aus Al, Cu, Mo, Ti, W, Ta, Cr oder einer Legierung, die diese Komponenten
enthält.
Möglich
ist es auch, daß die
Metallschichten jeweils aus mehreren Schichten bestehen, wobei zumindest
eine der Schichten aus einem der genannten Materialien besteht.
Die Metallschichten können
jeweils an eine als Passivierungsschicht ausgebildete funktionale
Zwischenschicht (z. B. eine Oxid- oder Metalloxid-Schicht) grenzen.
Die Passivierungsschicht kann großflächig ausgebildet sein oder
nur die Strukturen der jeweiligen Metallschicht zumindest teilweise
umschließen.
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Es
ist grundsätzlich
möglich,
daß die
hier genannten Schichten des Schichtsystems jeweils einen Vielschichtaufbau
aus geeigneten Materialien aufweisen.
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Eine
Weiterbildung der Erfindung schlägt
vor, das elektroakustische Bauelement so auszubilden, daß die Eigenschaften
(insbesondere Textur) zumindest einer der Schichten des Schichtsystems
durch das erste oder zweite Substrat hindurch geändert werden können. Die
Schichten des Schichtsystems können
z. B. bei einer geeigneten Materialauswahl des ersten oder des zweiten
Substrats für
einen Laserstrahl von außen
zugänglich
sein (wenn das entsprechende Substrat z. B. im optischen Bereich durchsichtig
ist). Der Laserstrahl kann z. B. durch das Substrat hindurch eine
Oxidation oder (bei Schichten aus Kunststoff) Vernetzung einer der
innen liegenden Schicht auslösen.
Dabei können
insbesondere zur Führung
der GBAW relevante elastische Parameter des betroffenen Materials
verändert
werden.
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Die
Wellenlänge
der in einem erfindungsgemäßen Wandler
ausbreitungsfähigen
GBAW wird einerseits wie bei einer SAW durch die Periodizität der Elektrodenfinger
und andererseits wie bei einer BAW durch die Dicke der piezoelektrischen
Schicht bestimmt.
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Bei
herkömmlichen
elektroakustischen Bauelementen mit Hohlräumen über den akustisch aktiven Bauelementstrukturen
kann die Fertigungstoleranz und die damit verbundene Frequenzverschiebung
des Bauelements durch Trimmen korrigiert werden, wobei z. B. die
Dicke einer als Trimmschicht vorgesehenen Schicht entsprechend verändert wird.
Ein solches Trimmen ist in einem Bauelement ohne die Hohlräume (z.
B. nach dem Verbinden zweier Wafer bei der Herstellung eines erfindungsgemäßen Bauelements)
allerdings nicht möglich,
da der für
die Ausbreitung der GBAW relevante Schichtbereich zwischen den Substraten „vergraben" und daher dem äußeren Zugriff
entzogen ist, was von der Erfindung aus oben schon dargelegten Gründen angestrebt wird.
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Aufgrund
der relativ geringen Dicke der piezoelektrischen Schicht, die in
der Größenordnung
einer Wellenlänge
liegt, ist die relative Fertigungstoleranz dieser Schichtdicke vergleichsweise
groß.
Auf der anderen Seite ist bei einer besonders geringen Schichtdicke
der piezoelektrischen Schicht auch bei geringen Variationen der
Schichtdicke eine große Dispersion
(Frequenzabhängigkeit
der Ausbreitungsgeschwindigkeit der GBAW) und daher eine entsprechend
große
fertigungsbedingte Frequenzungenauigkeit des Bauelements zu erwarten.
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Zum
Ausgleich der o. g. Fertigungstoleranz wird in einer Variante der
Erfindung vorgeschlagen, bestimmte Bereiche des Schichtsystems (Trimmbereiche)
freizulegen, um insbesondere das Trimmen des Bauelements nach dem
Verbinden aller Komponenten (1. Substrat, Schichtsystem, 2. Substrat)
zu ermöglichen.
Man kann z. B. zwischen einem Reflektor und dem Wandler (ersten
Wandler) einen weiteren, elektrisch mit einer Trimmstruktur verschalteten Wandler
(zweiten Wandler) anordnen. Die Trimmstruktur, die von dem eben
beschriebenen Aufbau (Wandler – weiterer
Wandler – Reflektor)
beabstandet ist, ist vorzugsweise als ein Wandler ausgebildet und
stellt eine Kapazität
bzw. für
den zweiten Wandler eine Last dar, welche über den mit ihr verschalteten
Wandler kapazitiv an den ersten Wandler gekoppelt ist. Die Kapazität bzw. die
Lastimpedanz der Trimmstruktur ist entsprechend der Anzahl ihrer
ineinander greifenden Elektrodenfinger groß.
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Durch
die Veränderung
der Lastimpedanz des Wandlers der Trimmstruktur (z. B. durch Abtrennen
einer Anzahl von Elektrodenfingern der Trimmstruktur mittels Laser)
können
die Reflexionseigenschaften des Gesamtaufbaus und dadurch die Frequenz
der GBAW beeinflußt
werden.
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Das
Trimmen des Bauelements erfolgt auf der Wafer-Ebene (d. h. vor dem
Zersägen
der Basisplatte bzw. dem Vereinzeln der Bauelemente) und kann nach
dem Planarisieren der dielektrischen Schicht oder nach dem Verbinden
zweier Wafer zu einer großflächigen Basisplatte
durchgeführt
werden.
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Die
Trimmstruktur wird nach dem Trimmen vorzugsweise hermetisch versiegelt,
um den Umwelteinflüssen
bzw. einer weiteren Veränderung
der Trimmstruktur vorzubeugen, indem zumindest auf den Trimmbereich
(oder auch auf die gesamte freiliegende Oberfläche des Bauelements mit Ausnahme der
als Außenkontakte
vorgesehenen Bereiche) eine Versiegelungsschicht aufgebracht wird.
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Im
Prinzip lassen sich durch das Trimmen nicht nur elektrische, sondern
auch (elektro)akustische Eigenschaften des Bauelements durch die
Modifikation der innen liegenden Schichten verändern Solche Modifikation werden
vorzugsweise bei den Schichten vorgenommen, in denen ein wesentlicher Anteil
der Energie der GBAW konzentriert ist, also in den Schichten des
Schichtsystems.
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Die
Außenkontakte
des Bauelements sind vorzugsweise auf der freiliegenden Oberfläche des ersten
und/oder des zweiten Substrats ausgebildet. Die Außenkontakte
sind mit den Kontaktflächen
z. B. über
Durchkontaktierungen durch jeweils das erste und/oder das zweite
Substrat hindurch elektrisch leitend verbunden.
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Die
Durchkontaktierungen stellen vorzugsweise metallisierte Öffnungen
im entsprechenden Substrat dar. Diese Öffnungen werden vorzugsweise nach
dem Verbinden des ersten und des zweiten Wafers ausgebildet und
anschließend
metallisiert.
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Die
Bereitstellung der Außenkontakte
an Oberseite oder Unterseite des Bauelements (was bei elektroakustischen
Bauelementen mit Hohlräumen schwierig
und wegen beträchtlicher
Höhe eines
solchen Bauelements wenig sinnvoll erscheint) hat den Vorteil, daß ein modularer
Aufbau mehrerer Bauelemente auch übereinander möglich ist.
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Zumindest
eine der im ersten Substrat ausgebildeten Durchkontaktierungen kann über die
entsprechende Kontaktfläche
an zumindest eine der im zweiten Substrat ausgebildeten Durchkontaktierungen
angeschlossen sein.
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In
einer Weiterbildung der Erfindung wird vorgeschlagen, zumindest
zwei der Durchkontaktierungen im jeweiligen Substrat im Querschnitt
senkrecht zur Substratebene V-förmig
auszubilden, wobei die entsprechenden Kontaktflächen durchgeschnitten werden.
Die V-förmige
Durchkontaktierung endet vorzugsweise über bzw. unter der Grenzfläche des jeweils
anderen Substrats und stellt ein Hindernis für die Ausbreitung der GBAW
dar, was zur Entkopplung zweier verschiedenen Funktionsbereiche
des Bauelements (z. B. Sendefilter und Empfangsfilter eines Duplexers)
genutzt werden kann.
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Im
Prinzip können
beliebige elektrisch miteinander verbundene, zumindest teilweise
in der ersten Metallschicht ausgebildete Funktionsschaltkreise des
Bauelements, die jeweils in einer Funktionszone ausgebildet sind,
durch eine durchgehende V-förmige
Durchkontaktierung in lateraler Ebene voneinander akustisch und/oder
elektrisch abgeschirmt sein. Dabei ist die V-förmige Durchkontaktierungen
elektrisch mit der großflächigen Metallschicht
und mit Masse verbunden und trennt im Bereich des Schichtsystems
die genannten Funktionszonen voneinander, jedoch ohne durch die
beiden Substrate gänzlich zu
durchschneiden.
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In
einer Variante der Erfindung kann entweder die Oberseite des zweiten
Substrats oder die Unterseite des ersten Substrats durch eine großflächige Metallschicht
metallisiert sein, welche durch die V-förmigen Durchkontaktierungen
mit den dafür
vorgesehenen Kontaktflächen
(bzw. Masse) elektrisch verbunden ist.
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Beispielsweise
kann die großflächige Metallschicht
auf der Oberseite des zweiten Substrats angeordnet sein, wobei die
Außenkontakte
im ersten Substrat und die mit der großflächigen Metallschicht elektrisch
verbundenen V-förmigen
Durchkontaktierungen im zweiten Substrat ausgebildet sind.
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Alternativ
kann die großflächige Metallschicht
auf der Unterseite des ersten Substrats angeordnet sein, wobei die
Außenkontakte
im zweiten Substrat und die mit der großflächigen Metallschicht elektrisch
verbundenen V-förmigen
Durchkontaktierungen im ersten Substrat ausgebildet sind.
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Die
V-förmigen
Durchkontaktierungen werden durch V-förmiges Ansägen des Gesamtschichtaufbaus
und anschließendes
Metallisieren der dabei gebildeten Einschnitte erzeugt.
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Die
V-förmigen
Durchkontaktierungen können
auch zur Vereinzelung der in dem Verbund, der durch die Verbindung
des ersten und des zweiten Wafers entsteht, ausgebildeten Bauelemente
und deren Abdichtung dienen. Die Bauelemente können z. B. durch Sägen entlang
von V-förmigen
Durchkontaktierungen vereinzelt werden.
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In
diesem Fall sind die V-förmigen
Durchkontaktierungen entlang der Sägelinien vorzugsweise durchgehend
ausgebildet, so daß die
darin aufgebrachte Metallisierung eine hermetische Abdichtung des
Bauelements gewährleistet.
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In
einer vorteilhaften Variante der Erfindung kann zumindest eines
der Substrate eine Halbleiterschicht (insbesondere eine Si-Schicht)
umfassen, in deren Volumen integrierte Bauelement-Strukturen ausgebildet
sind, welche durch die Durchkontaktierungen oder weitere vertikale
elektrische Verbindungen elektrisch mit den Kontaktflächen und/oder
den Außenkontakten
des Bauelements verbunden sind.
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und der dazugehörigen Figuren
näher erläutert. Die
Figuren zeigen anhand schematischer und nicht maßstabsgetreuer Darstellungen verschiedene
Ausführungsbeispiele
der Erfindung. Gleiche oder gleich wirkende Teile sind mit gleichen Bezugszeichen
bezeichnet. Es zeigen
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1 den Schichtaufbau eines
erfindungsgemäßen Bauelements
im schematisch Querschnitt
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2 eine Weiterbildung der
Erfindung mit zwei Metallschichten und funktionalen Zwischenschichten
im schematischen Querschnitt
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3a, 3b jeweils eine beispielhafte Anordnung
der Elektrodenstrukturen der ersten und der zweiten Metallschicht
des Bauelements gemäß 2 in schematischer Draufsicht
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4 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
das Schichtsystem mit teilweise aufgerauhten unter den Kontaktflächen angeordneten
Bereichen der direkt unter der piezoelektrischen Schicht liegenden
Zwischenschicht
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5 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
(oben) und in schematischer Draufsicht von oben (unten) das Schichtsystem,
wobei die unter den Kontaktflächen
angeordneten Bereiche der zweiten Metallschicht zur Erhöhung der
Rauhigkeit der Grenzfläche
zur piezoelektrischen Schicht strukturiert sind
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6 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
ein elektroakustisches Bauelement gemäß Erfindung mit im zweiten
Substrat ausgebildeten Durchkontaktierungen und V-förmigen Durchkontaktierungen
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7 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
einen Wafer mit mehreren noch nicht vereinzelten elektroakustischen
Bauelementen gemäß Erfindung,
wobei die Durchkontaktierungen und die V-förmigen Durchkontaktierungen
in jeweils unterschiedlichen Substraten ausgebildet sind
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8 im schematischen Querschnitt
ein weiteres Bauelement gemäß Erfindung
mit einer strukturierten zweiten Metallschicht
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9 im schematischen Querschnitt
ein weiteres Bauelement gemäß Erfindung
mit einer durchgehenden, mit der Rückseitenmetallisierung verbundenen
zweiten Metallschicht
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10 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
ein weiteres Bauelement gemäß Erfindung
mit in beiden Substraten vorgesehenen Durchkontaktierungen bzw.
auf der Oberseite und der Unterseite des Bauelements vorgesehenen
Außenkontakten
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11 ausschnittsweise im schematischen Querschnitt
ein weiteres Bauelement gemäß Erfindung
mit einer magnetisch abstimmbaren Schicht
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12a in schematischer Draufsicht
einen Wandler, der in einem Bauelement gemäß Erfindung verwendet wird
und kapazitiv mit Trimmstrukturen verkoppelt ist
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12b im schematischen Querschnitt
ein Bauelement gemäß Erfindung
mit den Trimmstrukturen gemäß 12a
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13 im schematischen Querschnitt
ein weiteres Bauelement mit zwei durch eine V-förmige, mit Masse verbundene
Durchkontaktierung voneinander abgeschirmten Funktionsbereichen
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1 zeigt eine erste Variante
eines erfindungsgemäßen Bauelements
im schematischen Querschnitt. Das Bauelement umfaßt ein erstes
Substrat S1, ein zweites Substrat S2 und ein dazwischen angeordnetes
Schichtsystem SS. Das Schichtsystem SS umfaßt eine piezoelektrische Schicht
PS, eine darauf angeordnete erste Metallschicht MS1 und eine über der
ersten Metallschicht angeordnete dielektrische Schicht, die eine
Planarisierungsschicht DS bildet. In der Metallschicht MS1 sind
Kontaktflächen
KF und Elektrodenstrukturen E11 und E12 ausgebildet, die jeweils
z. B. Elektrodenfinger einer ersten und einer zweiten Elektrode
E1 bzw. E1' (gemäß 3b) darstellen.
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Die
piezoelektrische Schicht ist vorzugsweise aus ZnO oder AlN ausgebildet.
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Das
erste und das zweite Substrat sind vorzugsweise aus Silizium ausgebildet.
Die Substrate können
auch z. B. aus Glas, SiO2, ZnO, LiNbO3, LiTaO3 bestehen
bzw. zumindest eine Schicht aus den hier genannten Materialien umfassen.
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Die
Planarisierungsschicht DS besteht vorzugsweise aus Siliziumoxid.
Die Kontaktflächen
KF dienen zur Kontaktierung des Bauelements.
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Das
Schichtsystem und die beiden Substrate bilden einen akustischen
Wellenleiter, in dem die GBAW anregbar und ausbreitungsfähig ist.
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Die
vorzugsweise periodisch und abwechselnd angeordneten Elektrodenstrukturen
E11, E12 bilden z. B. einen elektroakustischen Wandler oder Reflektor.
Die geführte
akustische Volumenwelle wird zwischen den Elektrodenstrukturen E11
und E12, die auf verschiedenen Potentialen liegen, angeregt. Die geführte akustische
Volumenwelle breitet sich in der lateralen Ebene in einem Bereich
der piezoelektrischen Schicht aus, der als aktiver Bereich AB bezeichnet
wird. Dieser Bereich ist in der 1 schraffiert
dargestellt.
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Die
Dicke des ersten und des zweiten Substrates ist vorzugsweise so
gewählt,
daß die
im jeweiligen Substrat durch die GBAW hervorgerufene Auslenkung
der Atome vom Schichtsystem aus nach außen (zur freien Oberfläche des
Substrats) hin ausreichend abklingt. Das Abklingen der GBAW zu freien Oberflächen des
Bauelements hin hat den Vorteil, daß die elektroakustischen Eigenschaften
des akustischen Wellenleiters durch die Änderungen in der Umgebung,
insbesondere das Auftragen weiterer Schichten (z. B. einer Abschirmschicht
oder eines Vergusses), nicht beeinflußt werden.
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Das
Bauelement kann in einem DWB-Verfahren durch Verbinden eines ersten
Wafers W1 mit einem zweiten Wafer W2 hergestellt werden, wobei das
erste Substrat S1 zusammen mit dem Schichtsystem SS den ersten Wafer
W1 bzw. das zweite Substrat S2 den zweiten Wafer W2 bildet. Pro
Wafer sind dabei mehrere Bauelemente vorgesehen, die in einem späteren Verfahrensschritt
voneinander vereinzelt werden.
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Bei
einem herkömmlichen
Abscheideverfahren werden alle Schichten des Bauelements aufeinander
abgeschieden, wobei die Qualität
der unterlegenden Schicht auch die Qualität der nachfolgenden Schicht
bestimmt.
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Das
DWB-Verfahren zur Verbindung zweier Wafer hat demgegenüber den
Vorteil, daß sich
im jeweiligen Wafer in hohem Maße
reproduzierbare (einkristalline) Schichten bilden lassen.
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Bei
bisher bekannten DWB-Verfahren wurden Temperaturen über 100°C verwendet,
wobei an der Grenzfläche
zweier Wafer ggf. Gitterfehler (lattice mismatch strains) entstehen,
welche die akustischen Eigenschaften des Wellenleiters (insbesondere
im Hinblick auf die Reproduzierbarkeit des Bauelements) beeinträchtigen
können.
In einer Variante eines erfindungsgemäßen DWB-Verfahrens können die
Wafer auch bei niedrigen Temperaturen < 100°C (oder
bei Raumtemperatur) gebondet werden.
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Vor
dem Verbinden der Wafer muß die
dielektrische Schicht, die auf der ersten Metallschicht aufgetragen
ist, planarisiert werden, wobei das Wafer auf dieser Seite gedünnt wird.
Die Schichtdicke der Planarisierungsschicht kann unter diesen Umständen nicht
besonders genau eingestellt werden und läßt sich nach dem Verbinden
der Wafer (z. B, zum Trimmen des Bauelements) nicht mehr verändern. Die
Erfindung schlägt
daher ein alternatives Trimmverfahren vor (siehe 12a, 12b).
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2 zeigt eine weitere Variante
eines erfindungsgemäßen Bauelements.
In dieser Variante enthält
das Schichtsystem eine zweite (strukturierte) Metallschicht MS2,
die zwischen der piezoelektrischen Schicht PS und einer ersten Zwischenschicht ZS1
angeordnet ist. Die erste Zwischenschicht ZS1 ist zwischen der zweiten
Metallschicht MS2 und dem ersten Substrat S1 angeordnet.
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Zwischen
der Planarisierungsschicht DS und dem zweiten Substrat S2 ist eine
zweite funktionale Zwischenschicht ZS2 angeordnet. In der zweiten
Metallschicht MS2 sind Elektroden E21 und E22 ausgebildet, die jeweils
den Elektrodenstrukturen E11 beziehungsweise E12 der ersten Metallschicht
MS1 gegenüber
liegen und unter diesen Elektrodenstrukturen (die zusammen z. B.
einen Wandler bilden) durchgehend ausgebildet sind.
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Der
Bereich der piezoelektrischen Schicht PS, der zwischen den Elektrodenstrukturen
E11 und der Elektrode E21 liegt, bildet einen ersten aktiven Bereich
AB1 (z. B. den aktiven Bereich eines ersten Wandlers), in dem die
geführte
akustische Volumenwelle ausbreitungsfähig ist. Analog bilden die
Elektrodenstrukturen E12 und die ihnen gegenüberliegende Elektrode E22 zusammen
mit dem entsprechenden Bereich der piezoelektrischen Schicht PS einen
zweiten aktiven Bereich AB2 (z. B. den aktiven Bereich eines zweiten
Wandlers).
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Die
erste und die zweite funktionalen Zwischenschichten ZS1 bzw. ZS2
sind vorzugsweise die außenliegenden
Schichten des Schichtsystems SS. Die Zwischenschichten ZS1, ZS2
dienen beispielsweise zur Reduzierung des Temperaturkoeffizienten des
gesamten Schichtsystems oder erfüllen
eine andere Funktion. Die Zwischenschichten ZS1, ZS2 können jeweils
einen Vielschichtaufbau aus verschiedenen funktionalen Teilschichten
aufweisen.
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Die
elektrische Anregung der GBAW zwischen der Elektrode der ersten
und der Elektrode der zweiten Metallschicht, also senkrecht zur
Oberfläche der
piezoelektrischen Schicht, hat den Vorteil, daß die GBAW entlang der piezoelektrischen
Achse angeregt wird, die meist normal zur Schichtoberfläche gerichtet
ist. Dabei kann durch die bessere elektroakustische Kopplung eine
größere Bandbreite
eines als Bandpaßfilter
ausgebildeten Bauelements erreicht werden.
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Die
Erfindung erzielt eine hochtexturierte piezoelektrische Schicht
in den aktiven Bereichen, die zur Ausbreitung der GBAW vorgesehen
sind. Außerhalb
aktiver Bereiche, insbesondere unterhalb relativ großflächig ausgebildeter
Kontaktflächen
und Zuleitungen, werden Strukturstörungen der piezoelektrischen
Schicht erzielt. Die Strukturstörungen
entstehen beim Aufwachsen einer Schicht auf einer rauhen Unterlage.
In dem in 4 vorgestellten
Ausführungsbeispiel
dient als Wachstumsschicht für
die piezoelektrische Schicht die erste funktionale Zwischenschicht
ZS1. Die den Kontaktflächen
KF gegenüberliegenden
Bereiche der Zwischenschicht ZS1 sind angerauht.
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Es
ist vorgesehen, daß das
erste oder das zweite Substrat zur Freilegung der Kontaktflächen z. B.
durch Ätzen
strukturiert werden kann. Es besteht darüber hinaus die Möglichkeit,
das jeweilige Substrat mit halbleitenden Eigenschaften so zustrukturieren,
daß im
Volumen des Substrats Halbleiter-Bauelementstrukturen ausgebildet
werden (3D-Integration), die über
die Durchkontaktierungen DK oder weitere vertikale elektrische Verbindungen
mit den Kontaktflächen
und elektroakustisch aktiven Bauelementstrukturen verbunden sind.
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In 3a ist eine beispielhafte
Anordnung der Elektrodenstrukturen E11 der ersten Metallschicht
MS1 und der Elektrode E21 der zweiten Metallschicht MS2 in einem
erfindungsgemäßen Bauelement
gezeigt. Die Elektrodenstrukturen E11 sind an eine gemeinsame Stromschiene
angeschlossen und bilden zusammen eine erste Elektrode E1 der ersten Metallschicht
MS1. Die Elektrodenstrukturen E11 der Elektrode E1 liegen der Elektrode
E21 der zweiten Metallschicht gegenüber. Die Elektrodenstrukturen E11
sind auf einem periodischen Raster angeordnet, dessen Periodizität zum Beispiel
eine ganze Wellenlänge λ beträgt (wobei
die Phasen der an jedem der Elektrodenfinger E11 lokal angeregten
Wellenkomponenten übereinstimmen,
so daß sich
die Wellenkomponenten konstruktiv überlagern).
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Die
Elektrodenstrukturen E11 und die Elektrode E21 bilden zusammen mit
der dazwischen angeordneten piezoelektrischen Schicht einen elektroakustischen
Wandler. Wenn in der in 3a vorgestellten
Anordnung die Periodizität
der Elektrodenstrukturen λ/2
statt λ beträgt, wirkt
die Anordnung für die
GBAW reflektierend.
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In 3b ist eine weitere mögliche Anordnung
der Elektrodenstrukturen E11, E12 der ersten Metallschicht MS1 und
der Elektrode E21 der zweiten Metallschicht MS2 in einem erfindungsgemäßen Bauelement
gezeigt.
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In
diesem Ausführungsbeispiel
sind in der ersten Metallschicht MS1 zwei Elektroden E1 und E1' ausgebildet, deren
Elektrodenstrukturen beziehungsweise Fingerstrukturen ineinander
greifen und vorzugsweise auf einem periodischen Raster abwechselnd
angeordnet sind. Der Mittenabstand der Elektrodenfinger zweier Elektrodenstrukturen
E11 beziehungsweise E12 beträgt λ/2. Die erste
Elektrode E1 der ersten Metallschicht MS1 weist dabei Elektrodenstrukturen
E11 auf. Die zweite Elektrode E1' der
ersten Metallschicht MS1 weist Elektrodenstrukturen E12 auf. Die
akustische Volumenwelle wird zwischen einerseits der Elektrode E21
der zweiten Metallschicht MS2 und andererseits den Elektrodenstrukturen
E11, E12 der ersten Metallschicht MS1 angeregt, wobei die stärkste Anregung
in den Bereichen zustande kommt, in welchen der Elektrodenfinger
der ersten Metallschicht direkt der Elektrode der zweiten Metallschicht
gegenüber
liegt.
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Die
Elektrodenstrukturen der ersten und der zweiten Elektrode der ersten
Metallschicht schaffen die Bedingungen für eine konstruktive Interferenz
der lokal angeregten Wellenkomponenten in beide Vorzugsrichtungen
(in der Figur nach links und nach rechts), senkrecht zu den Elektrodenfingern.
Die Elektrodenstrukturen der ersten Metallschicht MS1 dienen also
dazu, die Energie der angeregten lateralen Mode einer akustischen
Volumenwelle hauptsächlich
im aktiven Bereich zu halten.
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Ein
Wandler ist in dieser Variante der Erfindung durch die interdigital
angeordneten Elektroden E1 und E1', die darunter liegende piezoelektrische Schicht
PS und die zur Anregung der GBAW dienende Elektrode E21 der zweiten
Metallschicht gebildet. Dabei dienen die einander gegenüberliegenden Elektroden
der unterschiedlichen Metallschichten als Anregungselektroden und
die Elektroden der ersten Metallschicht als Führungselektroden zur Führung von
GBAW.
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Ein
erfindungsgemäßer Wandler
oder Resonator kann in einer Signalleitung angeordnet oder parallel
zu dieser (z. B. gegen Masse) geschaltet sein. Die Elektroden der
zur gerichteten Führung
der GBAW dienenden Elektrodenpaare der ersten Metallschicht MS1
(E1 und E1') können elektrisch
mit zwei „heißen" Anschlüssen verbunden
sein, während die
ihnen gegenüber
liegende Anregungselektrode E21 der zweiten Metallschicht MS2 an
Masse angeschlossen ist. Möglich
ist es auch, z. B. die Elektroden E1 an Masse und die Elektroden
E1' und E21 jeweils
an einen „heißen" Anschluß anzuschließen.
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In 4 ist das Schichtsystem
SS eines erfindungsgemäßen Bauelements
gezeigt. In dieser Variante der Erfindung wird die piezoelektrische Schicht
PS auf der ersten funktionalen Zwischenschicht ZS1 aufgewachsen,
die beim Aufwachsen der piezoelektrischen Schicht als Unterlage
dient. Die Bereiche der Oberfläche
der ersten Zwischenschicht ZS1, welche den Kontaktflächen KF
und Zuleitungen des Bauelements (z. B. Stromschienen der Elektroden)
gegenüber
liegen, sind aufgerauht, weswegen die Bildung einer hochtexturierten
piezoelektrischen Schicht direkt über diesen Bereichen gehindert
wird. In einer bevorzugten Ausführungsform
werden alle Bereiche der oberen Grenzfläche der ersten Zwischenschicht
ZS1 aufgerauht, die nicht direkt unter dem aktiven Bereich AB angeordnet
sind. Dabei wird eine hochtexturierte piezoelektrische Schicht PS ausschließlich in
den aktiven Bereichen AB erzielt, so daß die Energie der geführten akustischen
Volumenwelle hauptsächlich
in diesem Bereich konzentriert ist.
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Eine
weitere Möglichkeit,
eine hochtexturierte piezoelektrische Schicht nur in bestimmten,
als aktive Bereiche vorgesehenen Bereichen zu erzeugen, ist in 5 vorgestellt. In dieser
Variante der Erfindung dient die zweite Metallschicht MS2 als Unterlage
beim Aufwachsen der piezoelektrischen Schicht PS. Die zweite Metallschicht
MS2 ist in den Bereichen, die den Kontaktflächen KF oder Zuleitungen ZL direkt
gegenüberliegen,
derart strukturiert, daß das Aufwachsen
einer geordneten piezoelektrischen Schicht mit einer Vorzugsrichtung
der piezoelektrischen Achse durch die so gebildeten Unebenheiten der
Unterlage gehindert wird. Der Vorteil einer derart aufgerauhten
Unterlage liegt darin, daß die
Rauhigkeitsstrukturen (photolithographisch) in demselben Verfahrensschritt
wie die zweite Metallschicht MS2 erzeugt werden.
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In 5 unten ist eine schematische
Ansicht der zweiten Metallschicht MS2 von unten (durch die erste
Zwischenschicht ZS1 hindurch) gezeigt. Gegenüber den Kontaktflächen KF
der ersten Metallschicht MS1 sind vorzugsweise zufällig angeordnete unterbrochene
Metallstrukturen US angeordnet (kleine Metallflächen, die jeweils miteinander
nicht elektrisch verbunden sind). Solche Strukturen haben vorzugsweise
Abmessungen, die deutlich unterhalb einer Wellenlänge sind.
Die unterbrochenen Metallstrukturen US sind außerdem unterhalb der Zuleitung ZL
und der Stromschienen der Elektroden E1 und E1' angeordnet.
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Die
großflächig ausgebildete
Elektrode E21 der zweiten Metallschicht MS2 ist also vorzugsweise nur
im Bereich eines Wandlers angeordnet, in welchem die auf verschiedenen
Potentialen liegenden benachbarten Elektrodenfinger E11, E12 in
Wellenausbreitungsrichtung einander gegenüber stehen (d. h. im aktiven
Bereich). Dabei ist die statische Kapazität des Wandlers besonders gering.
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6 zeigt ausschnittsweise
im schematischen Querschnitt ein elektroakustisches Bauelement gemäß Erfindung
mit den im zweiten Substrat S2 ausgebildeten Durchkontaktierungen
DK und v-förmigen
Durchkontaktierungen VDK. Die Durchkontaktierungen DK können im
zweiten Substrat S2 beispielsweise durch Ätzen und anschließendes Metallisieren
der dabei gebildeten Öffnung erzeugt
werden. Die Durchkontaktierung DK stellt eine vertikale elektrische
Verbindung zwischen einem Außenkontakt
AK des Bauelements, der auf der Oberseite des zweiten Substrats
S2 angeordnet ist, und der Kontaktfläche KF dar. Die V-förmige Durchkontaktierung VDK
verbindet elektrisch leitend den Außenkontakt AK' und die entsprechende
Kontaktfläche
KF'.
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Bei
der Ausbildung der V-förmigen
Durchkontaktierung VDK wird die Kontaktfläche KF' durch einen keilförmigen Schnitt durchgetrennt.
Der keilförmige
Schnitt wird metallisiert, wobei die elektrische Verbindung zwischen
der Kontaktfläche
KF' und dem Außenkontakt
AK' entsteht. In
der bevorzugten Ausführungsform
schneidet die V-förmige
Durchkontaktierung VDK das Schichtsystem SS komplett durch, wobei
auch die Grenzfläche
zum ersten Substrat S1 durchgeschnitten wird. Die so gebildete V-förmige Durchkontaktierung
DK (die durch das erste Substrat und das Schichtsystem hindurch-
und teilweise in das zweite Substrat hineingeht) gewährleistet
auch nach der Vereinzelung des Bauelements (entlang der V-förmigen Durchkontaktierung)
einen hermetischen Abschluß der
seitlichen Außenkanten
des Bauelements entlang der Sägelinien.
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Eine
V-förmige
Durchkontaktierung kann auch als normale vertikale elektrische Verbindung zwischen
einer Kontaktfläche
und einem Außenkontakt
oder zur elektroakustischen Entkopplung bzw. elektrischen Abschirmung
zweier Bereiche des Bauelements voneinander dienen (s. 13).
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In 7 ist ein großflächiger Verbund
vorgestellt, der mehrere noch nicht vereinzelte Bauelemente umfaßt. Die
Vereinzelung der Bauelemente erfolgt entlang von Sägelinien,
die den V-förmigen Durchkontaktierungen
VDK entsprechen. Die V-förmigen
Durchkontaktierungen VDK sind dabei nicht als einzelne Löcher, sondern
grabenförmig
und langgestreckt ausgebildet. In diesem Ausführungsbeispiel ist die zweite
Metallschicht MS2 mit den V-förmigen
Durchkontaktierungen VDK elektrisch verbunden, welche wiederum elektrisch
mit einer großflächigen Metallschicht
RSM (Rückseitenmetallisierung) und
z. B. Masse verbunden ist. Die großflächige Metallschicht RSM ist
auf der freiliegenden Seite des ersten Substrats S1 aufgetragen.
Die großflächige Metallschicht
RSM und die Metallisierung der V-förmigen Durchkontaktierungen
DK wird vorzugsweise im gleichen Verfahrensschritt z. B. durch Sputtern
erzeugt.
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In
diesem Ausführungsbeispiel
ist die zweite Metallschicht MS2 als eine nicht strukturierte Schicht ausgebildet.
Die Außenkontakte
AK des Bauelements sind in dieser Variante der Erfindung nur auf
einer Seite des Bauelements vorgesehen.
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In 8 ist ein entlang der v-förmigen Durchkontaktierungen
VDK vereinzeltes Bauelement gezeigt. Die v-förmige Durchkontaktierung VDK1
ist über
die Kontaktfläche
KF1 mit der im zweiten Substrat S2 ausgebildeten Durchkontaktierung
DK1 und weiter mit dem Außenkontakt
AK1 elektrisch leitend verbunden. Der Außenkontakt AK1 ist dabei vorzugsweise
ein Masseanschluß des
Bauelements vorgesehen.
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Die
zweite Metallschicht MS2 ist gemäß 5 strukturiert. Die v-förmigen Durchkontaktierungen
VDK, VDK1 sind elektrisch mit der großflächigen Metallschicht RSM (Rückseitenmetallisierung)
verbunden, wobei die großflächige Metallschicht
RSM in diesem Ausführungsbeispiel
auf der Unterseite des ersten Substrats S1 angeordnet ist.
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9 zeigt ein Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen elektroakustischen
Bauelements mit den funktionalen Zwischenschichten ZS1 und ZS2.
Die Durchkontaktierungen DK, DK1, die jeweils mit den Außenkontakten
des Bauelements AK, AK1 elektrisch verbunden sind, sind in diesem
Ausführungsbeispiel
so ausgebildet, daß sie
durch das zweite Substrat S2, die zweite Zwischenschicht ZS2 und
die Planarisierungsschicht DS hindurch gehen und auf die jeweilige
Kontaktfläche
KF bzw. KF1 treffen. Die Außenkontakte
des Bauelements AK, AK1 sind auf der freiliegenden Oberfläche des
zweiten Substrats S2 ausgebildet. Die freiliegende Oberfläche des
ersten Substrats S1 ist durch die großflächige Metallschicht RSM bedeckt,
die mit den v-förmigen
Durchkontaktierungen VDK, VDK1 elektrisch verbunden ist.
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10 zeigt ausschnittsweise
im schematischen Querschnitt ein weiteres erfindungsgemäßes Bauelement.
In dieser Variante sind die Durchkontaktierungen DK, DK' sowohl im ersten
Substrat S1 als auch im zweiten Substrat S2 ausgebildet. Dabei ist es
möglich,
daß die
Kontaktflächen
KF, KF' in nur einer
der Metallschichten MS1 oder MS2 ausgebildet sind. Eine weitere
Möglichkeit
besteht darin, daß die Kontaktflächen KF' in der ersten Metallschicht
MS1 ausgebildet sind und die Kontaktflächen KF in der zweiten Metallschicht
MS2.
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Die
Bereitstellung der Außenkontakte
auf zwei gegenüber
liegenden Oberflächen
des Bauelements hat den Vorteil, daß ein solches Bauelement leicht
als Teilmodul eines in vertikaler Richtung modular aufgebauten Bauteils
integriert werden kann.
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In
der in 10 schematisch
dargestellten Variante der Erfindung sind beide Metallschichten MS1
und MS2 strukturiert und weisen jeweils Elektroden und Kontaktflächen auf.
Die zweite Metallschicht MS2 ist z. B. gemäß 5 strukturiert.
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In
einer Variante der Erfindung kann die erste funktionale Zwischenschicht
eine (elektrisch oder magnetisch) abstimmbare Schicht umfassen,
die eine Dicke hat, welche vorzugsweise den Wert von λ/2 nicht
unterschreitet. Diese Schicht besteht vorzugsweise aus einem Material,
das bei mechanischen Verspannungen einen Giant-Delta-E Effekt (d. h.
große Änderungen
des Elastizitätsmoduls
E, die z. B. 5% übersteigen)
aufweist. Da die abstimmbare Schicht vorzugsweise an die piezoelektrische Schicht
PS grenzt, beeinflußt
die Veränderung
der elastischen Eigenschaften der Schicht auch die akustischen Eigenschaften
der piezoelektrischen Schicht PS bzw. die Ausbreitungsgeschwindigkeit der
im Schichtsystem SS geführten
Volumenwelle (und daher die Frequenzlage des Bauelements).
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Die
mechanischen Verspannungen können in
der abstimmbaren Schicht, die über
magnetostriktive Eigenschaften verfügt, durch ein äußeres Magnetfeld
hervorgerufen werden.
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Eine
weitere Möglichkeit,
die Verspannungen in der abstimmbaren Schicht GDE zu erzeugen, besteht
darin, diese Schicht mechanisch mit einer piezoelektrischen Steuerschicht
zu verkoppeln bzw. fest zu verbinden, die im Gegensatz zu der piezoelektrischen
Schicht PS nicht zur Führung
der GBAW, sondern hauptsächlich
zum Einbringen eines mechanischen Stresses in die abstimmbare Schicht
dient. Der mechanische Streß kann
in der piezoelektrischen Steuerschicht durch Anlegen einer Steuerspannung
verursacht werden. Die elektrisch leitfähige abstimmbare Schicht GDE
kann z. B. in dem in 11 schematisch
gezeigten Bauelement als eine erste Elektrode und die großflächige Metallschicht RSM
als eine zweite Elektrode dienen, an welche die Steuerspannung U
zur elektrischen Ansteuerung der piezoelektrischen Steuerschicht
angelegt wird.
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Der
Elastizitätsmodul
E der abstimmbaren Schicht GDE ist (z. B. unter Einwirkung äußeres Magnetfeldes
oder einer mechanischen Verspannung) in hohem Maße veränderbar. Die Schicht GDE ist elektrisch
einerseits mit einer v-förmigen
Durchkontaktierung VDK und über
diese Durchkontaktierung und die Kontaktfläche KF und die Durchkontaktierung
DK2 mit dem Außenkontakt
AK2 des Bauelement verbunden. Die großflächige Metallschicht RSM ist
auf der freiliegenden Oberfläche
des ersten Substrats S1 angeordnet und elektrisch mit der v-förmigen Durchkontaktierung VDK1
und weiter über
die daran angeschlossene Kontaktfläche KF1 bzw. Durchkontaktierung
DK1 mit dem Außenkontakt
AK1 verbunden. Da die abstimmbare Schicht GDE meist aus einem elektrisch
leitenden Material besteht, kann auf die Ausbildung der zweiten
Metallschicht MS2 verzichtet werden, wobei die abstimmbare Schicht GDE
selbst als eine Elektrode der zweiten Metallschicht dient.
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In
dieser Variante der Erfindung besteht das Substrat S1 vorzugsweise
aus einem piezoelektrischen Material und bildet die piezoelektrische
Steuerschicht. Möglich
ist es auch, die piezoelektrische Steuerschicht als Bestandteil
der ersten Zwischenschicht ZS1 auszubilden und die piezoelektrische Steuerschicht
dabei zwischen der abstimmbaren Schicht GDE und dem ersten Substrat
S1 anzuordnen.
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Zwischen
den Außenkontakten
AK1 und AK2 wird zur Abstimmung der Frequenz des Bauelements eine
elektrische Steuerspannung U von außen angelegt. Die Steuerspannung
U erzeugt ein elektrisches Feld zwischen den einander gegenüberliegenden
Bereichen der großflächigen Metallschicht
RSM und der leitfähigen
abstimmbaren Schicht GDE. Das elektrische Feld ruft in dem dazwischen
liegenden Volumen der piezoelektrischen Steuerschicht (die in 11 mit dem ersten Substrat
S1 übereinstimmt) Dehnungen
und Stauchungen des Materials hervor und dient daher zur mechanischen
Ansteuerung des Elastizitätsmoduls
der abstimmbaren Schicht GDE.
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Die
Dicke der piezoelektrischen Steuerschicht ist (wegen optimaler Übertragung
der mechanischen Verspannung auf die abstimmbare Schicht GDE) vorzugsweise
gleich groß oder
größer als
die Dicke der abstimmbaren Schicht GDE.
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Die
jeweilige funktionale Zwischenschicht ZS1, ZS2 kann mehrere Funktionsschichten
umfassen, die im Bauelement jeweils eine oder mehrere Funktionen
erfüllen.
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12a zeigt in schematischer
Ansicht von oben einen elektroakustischen Resonator RE, der in einem
erfindungsgemäßen Bauelement
verwendet werden kann. Der Resonator umfaßt einen Wandler WA, endständige Reflektoren
RF1' und RF2' und im akustischen
Pfad zwischen dem Wandler und dem jeweiligen endständigen Reflektor
angeordnete Hilfsstrukturen RF1 und RF2, die als Wandler ausgebildet und
elektrisch mit Trimmstrukturen TR bzw. TR2 verbunden sind. Die als
Interdigitalwandler ausgebildeten Trimmstrukturen TR, TR2 wirken
jeweils als eine Trimmkapazität,
wobei durch die interdigitale Fingeranordnung ein hoher Kapazitätswert erreichbar
ist.
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Die
in dieser Figur dargestellte Anordnung ist auf der piezoelektrischen
Schicht PS aufgebracht. Die geführte
akustische Volumenwelle wird im Wandler WA zwischen den Elektroden
E1 und E1' angeregt.
Der Wandler WA ist zwischen einem zweiten Wandler RF1 und einem
dritten Wandler RF2 angeordnet. Die so gebildete Bauelementstruktur
ist beidseitig durch die Reflektoren RF1', RF2' umgeben. Der zweite Wandler RF1 ist
elektrisch mit der Trimmstruktur TR1 verbunden, wobei die Trimmstruktur
TR von der Wandleranordnung beabstandet ist. Der dritte Wandler
RF2 ist analog mit der Trimmstruktur TR2 verbunden. Die Trimmstrukturen
TR, TR2 sind jeweils als Wandler ausgebildet und bilden jeweils
eine große
Kapazität
für den
damit verbundenen Wandler RF1 bzw. RF2 eine Last. Die Veränderung
der Trimmstrukturen, wobei ein Teil der Elektrodenfinger der Trimmstrukturen
abgetrennt wird, ruft die Änderung
der Kapazität
der Trimmstruktur hervor. Dadurch verändern sich auch die Reflexionsbedingungen
für die
geführte
akustische Volumenwelle im Resonator RE.
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12b zeigt im schematischen
Querschnitt ein Bauelement gemäß Erfindung
mit der Trimmstruktur TR2 gemäß 12a. Die Trimmstruktur TR2 ist
durch das zweite Substrat S2 hindurch freigelegt. Damit ist es möglich, die
erfindungsgemäßen Bauelemente
auf der Waferebene zu trimmen. Dabei wird ein Teil der Elektrodenfinger
der Trimmstruktur TR2 zum Beispiel mittels Laser vom Rest der Trimmstruktur
abgetrennt. Nach dem Trimmen wird die Trimmstruktur TR2 vorzugsweise
versiegelt.
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In
einer vorteilhaften Variante ist das entsprechende Substrat (für den Laserstrahl)
transparent gewählt,
so daß die
Freilegung der Trimmstruktur TR2 im Prinzip entfallen kann.
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13 zeigt eine weitere Variante
eines erfindungsgemäßen Bauelements,
das mehrere elektrisch miteinander verbundene Funktionsbereiche Z1,
Z2 enthält.
Die voneinander abzuschirmenden Funktionsbereiche können zum
Beispiel jeweils einen Sendepfad beziehungsweise Empfangspfad einer
Duplexerschaltung umfassen. Beispielsweise ist im ersten Funktionsbereich
Z1 ein Empfangsfilter RXF und im zweiten Funktionsbereich Z2 ein
Sendefilter TXF angeordnet. Der erste Funktionsbereich Z1 ist vom
zweiten Funktionsbereich Z2 mittels einer v-förmigen Durchkontaktierung VDK
getrennt bzw. elektroakustisch entkoppelt. Die mit der v-förmigen Durchkontaktierung
VDK elektrisch verbundene großflächige Metallisierung
RSM ist vorzugsweise elektrisch mit einem Bezugspotential verbunden. Durch
die Metallisierung der V-förmigen
Durchkontaktierung VDK sind die Funktionsbereiche Z1 und Z2 des
Schichtsystems SS einerseits an den entsprechenden Schnittkanten
hermetisch versiegelt und andererseits voneinander abgeschirmt.
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In
einer Variante der Erfindung können
zwei (z. B. in Wellenausbreitungsrichtung) nebeneinander angeordnete
Wandler durch die GBAW gekoppelt sein, wobei z. B. einer der Wandler
als Eingangswandler zur Einkopplung des Signals und deren Umwandlung
in die akustische Welle und der andere Wandler als Ausgangswandler
zur Umwandlung der akustischen Welle in ein elektrisches Signal
dient.
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Gruppen
der Elektrodenstrukturen können SPUDT
(Single Phase Unidirectional Transducer) Zellen bilden, wobei eine
gerichtete Abstrahlung der GBAW bevorzugt in eine Richtung zustande
kommt. Die piezoelektrische Schicht PS kann auch über NSPUDT-Eigenschaften
(Natural Single Phase Unidirectional Transducer) verfügen, wobei
die gerichtete Abstrahlung der GBAW im Wandler aufgrund der natürlichen
Kristalleigenschaften der piezoelektrischen Schicht erfolgt.
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Die
der Erfindung zugrunde liegende Idee kann z. B. zur Realisierung
von an sich bekannten Reaktanzfiltern, Double Mode Filtern, Filtern
auf der Basis von SPUDT oder Multiport-Resonatoren, Fan-Filter, Duplexern,
Diplexern verwendet werden. Die erfindungsgemäßen Bauelemente können in
der Kommunikationstechnik (z. B. Mobilfunk) verwendet und insbesondere
für PCS
und UMTS Mobilfunkstandards ausgelegt werden.
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Obwohl
in den Ausführungsbeispielen
nur eine beschränkte
Anzahl möglicher
Weiterbildungen der Erfindung beschrieben werden konnte, ist die
Erfindung nicht auf diese beschränkt.
Es ist möglich, elektroakustisch
aktive Strukturen wie z. B. Wandler und Reflektoren in beliebiger
Anzahl und Formgebung herzustellen, um die Eigenschaften des Filters in
einer gewünschten
Weise zu verändern.
Ein erfindungsgemäßes Filter
ist auch nicht auf die angegebenen Materialien, auf die Anzahl der
dargestellten Bohrungen oder auf bestimmte Frequenzbereiche beschränkt.
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- S1
- das
erste Substrat
- S2
- das
zweite Substrat
- SS
- Schichtsystem
- KF
- Kontaktfläche
- AK
- Außenkontakt
- MS1
- 1.
Metallschicht
- MS2
- 2.
Metallschicht
- E11,
E12
- Elektrodenstrukturen
der ersten Metallschicht MS1
- E1,
E1'
- Elektroden
der ersten Metallschicht MS1
- E21,
E22
- Elektroden
der zweiten Metallschicht MS2
- PS
- piezoelektrische
Schicht
- AB,
AB1, AB2
- aktiver
Bereich
- DS
- Planarisierungsschicht
- ZS1
- erste
Zwischenschicht
- ZS2
- zweite
Zwischenschicht
- US
- unterbrochene
Metallstrukturen der 2. Metallschicht
- TR,
TR2
- Trimmstruktur
- RF1
- 2.
Wandler, der mit der Trimmstruktur TR verbunden
-
- ist
- RF2
- 3.
Wandler, der mit einer Trimmstruktur TR2
-
- verbunden
ist
- RF1', RF2'
- (endständige) Reflektoren
- DK,
DK1, DK2
- Durchkontaktierung
- VDK
- V-förmige Durchkontaktierung
- RSM
- großflächige Metallschicht
- WA
- Wandler
- RE
- Wandleranordnung
(Resonator)
- RXF
- Empfangsfilter
- TXF
- Sendefilter
- GDE
- magnetisch
abstimmbare Schicht
- U
- Steuerspannung
- W1
- 1.
Wafer
- W2
- 2.
Wafer