JP2018166259A - 弾性波素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本開示の一実施形態に係るSAW素子1の構成を示す平面図である。図2は図1のII−II線における断面図である。
(中間部20の熱伝導率)×(中間部20のうち配線8またはパッド9に接する面積もしくは面方向において支持基板31に接する面積)/(基板3の厚み)≧(配線8の熱伝導率)×(配線8の厚み方向における断面積)/(配線8の中間部20に接する位置から最も近いパッド9までの長さ)
上述の例では、IDT電極5を保護する構成については特に限定されていないが、図3に示すSAW素子1Aのように、基板3の上面に配置され、基板3との間に空間を形成し、この空間内にIDT電極3を収容するような、保護カバー25を備えていてもよい。
上述の例では、中間部20は、配線8やパッド9の直下にのみ設けられていたが、その限りではない。図4に示すSAW素子1Bのように、上部に配線8等がないところに第2中間部20aを設けてもよい。図4に示す例では、基板3の上面に、IDT電極5を複数個、ラダー型や多重モード型フィルタを構成するように互いに接続させることで、受信フィルタ51と送信フィルタ52とを構成する。受信フィルタ51はアンテナに接続されるパッド9ANTと受信端子に接続されるパッド9Rとの間にIDT電極5を有し、送信フィルタ52は9ANTと送信端子に接続されるパッド9Tとの間にIDT電極5を有する。そして、第2中間部20aは受信フィルタ51が配置された領域と、送信フィルタ52が配置された領域との間に形成されている。
上述の説明では、中間部20の厚み方向における断面形状(貫通孔32の厚み方向における形状)は矩形状としていたがこの限りではない。例えば、台形状としてもよい。上面3a側の開口が小さく、下面側の開口が大きい場合には、面方向へのすみやかな放熱を可能とする。上面3a側の開口が大きく、下面側の開口が小さい場合には、上面3a近傍で発生した熱を効率的に中間部20の側に放熱することを可能とする。
上述の例では、いずれも外部回路との信号のやりとりを基板3の上面3aの側から行なう例について説明したが、この例には限定されない。例えば、図5に示すSAW素子1Cのように、基板3の下面の側からパッド9と外部回路とを電気的に接続してもよい。
Claims (7)
- 基板と、
該基板の下面に配置された、前記基板に比べて熱伝導率の高い材料からなる支持基板と、
前記基板の上面に配置された、弾性波を励起するIDT電極と、
前記基板の上面に配置された、外部回路に電気的に接続されるパッドと、
前記基板の上面に配置された、前記IDT電極または前記パッドの少なくとも一方に電気的に接続された配線と、
前記基板を厚み方向に貫通する、前記基板に比べて熱伝導率の高い材料からなる、少なくとも1つの中間部と、を備える弾性波素子。 - 少なくとも1つの前記中間部は、前記パッドまたは前記配線の直下に位置する、請求項1に記載の弾性波素子。
- 少なくとも1つの前記中間部は複数あり、前記パッドの直下と前記配線の直下にそれぞれ位置する、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記基板の上面に位置し、前記基板の前記上面との間に前記IDT電極を収容する空間を形成する保護カバーと、
前記パッド上に位置し、前記保護カバーの上面まで導出された柱状電極とを備える、請求項3に記載の弾性波素子。 - 前記柱状電極と、前記中間部のうち前記柱状電極が電気的に接続された前記パッドの直下に位置する中間部とは、平面視でずれて位置している、請求項4に記載の弾性波素子。
- 前記中間部は、弾性波の伝搬方向において前記IDT電極と重ならないように位置している、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 少なくとも1つの前記中間部は、前記パッドの直下に位置しており、
この中間部と平面視で重なる位置に位置するとともにこれと電気的に接続され、前記支持基板を厚み方向に貫通する、柱状電極をそなえる、請求項1に記載の弾性波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017062685A JP2018166259A (ja) | 2017-03-28 | 2017-03-28 | 弾性波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017062685A JP2018166259A (ja) | 2017-03-28 | 2017-03-28 | 弾性波素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018166259A true JP2018166259A (ja) | 2018-10-25 |
Family
ID=63922997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017062685A Pending JP2018166259A (ja) | 2017-03-28 | 2017-03-28 | 弾性波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018166259A (ja) |
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