DE10295594T5 - ARB-Generator mit mehreren Ausgängen - Google Patents

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Abstract

ARB-Generator mit mehreren Ausgängen, der folgendes umfasst:
einen Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung zum Erzeugen eines Ausgangssignalformdatensignals für einen LSI-Test;
einen Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt zum Steuern des Abschnitts für die Ausgangssignalformdatenerzeugung, basierend auf einer Testfolge, die für einen zu testenden LSI spezifisch ist; und
einen Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung zum digital/analog-wandeln eines Ausgangssignalformdatensignals, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung ausgegeben wurde, um die Signale an eine Vielzahl von zu testender LSIs anzulegen,
wobei der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung folgendes umfasst:
einen Abschnitt für die Verstärkungseinstellung, der eine Vielzahl von Anschlüssen enthält, über welche die analogen Testsignale, die an die Vielzahl von LSIs angelegt werden, individuell ausgegeben werden, um individuell Verstärkungen der analogen Testsignale einzustellen, die über die Anschlüsse ausgegeben werden; und
einen Abschnitt für die Offseteinstellung zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen ARB-Generator mit mehreren Ausgängen und einen Gemischt-LSI-Tester, der die Einheit einschließt, insbesondere eine Parallelmesstechnik des gleichzeitigen Testens einer Vielzahl von Bauteilen.
  • Ein LSI-Testgerät legt analoge Testsignale an zu testende LSIs an führt einen Test basierend auf einer Testfolge aus, die für einen Typ eines jeden zu testenden LSI spezifisch ist. Das LSI-Testgerät enthält einen ARB-Generator um die analogen Testsignale zu erzeugen.
  • Hier wird ein Aufbau eines herkömmlichen ARB-Generators unter Bezugnahme auf 3 beschrieben werden.
  • Ein ARB-Generator 1 ist, wie es in 3(A) gezeigt ist, aus einem Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt 11, einem Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 und einem Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 13 aufgebaut.
  • Der Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt 11 gibt ein Testfolgesignal S1 aus, basierend auf der Testfolge, die für einen zu testenden LSI (DUT/Prüfling)) 3 spezifisch ist, um den Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 zu steuern. Der Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 erzeugt ein Ausgangssignalformdatensignal S2 in Übereinstimmung mit dem Testfolgesignal S1.
  • Der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 13 digital/analog-wandelt das Signalformdatensignal S2, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 ausgegeben wurde, und erzeugt ein analoges Testsignal S3. Das analoge Testsignal S3 wird an den zu testenden LSI (DUT/Prüfling) 3 angelegt, der auf eine Leistungskarte 2 gelegt wurde. Die Leistungskarte 2 fungiert als eine Schnittstellenkarte (I/F-Karte) mit dem Prüfling 3. Es wird die Leistungskarte 2 zum exklusiven Gebrauch bei jedem Typ des zu testenden LSI 3 verwendet.
  • Desweiteren enthält der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 13, wie es in 3(B) gezeigt ist, einen Digital/Analog-Wandler (D/A) 41, einen Tiefpassfilter (LPF) 42, ein Dämpfungsglied (ATT) 43, einen Differentialabschnitt 44 und einen Digital/Analog-Wandler für Offset (D/A) 45.
  • Das Ausgangssignalformdatensignal S2, das in den Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 13 eingegeben wurde, wird durch den Digital/Analog-Wandler (D/A) 41 in ein analoges Testsignal gewandelt. Anschließend, wenn dieses analoge Testsignal durch den Tiefpassfilter (LPF) 42 geschickt wird, werden Hochfrequenzrauschkomponenten beseitigt.
  • Nun wird eine Signalamplitude (Verstärkung) des analogen Testsignals in diesem Stadium manchmal einen erlaubten Bereich der Eingangssignalamplitude im Prüfling 3 überschreiten. Dann wird die Signalamplitude des analogen Testsignals durch das Dämpfungsglied 43 eingestellt, so dass die Signalamplitude des Prüflings 3 innerhalb des erlaubten Bereichs hinein fällt.
  • Anschließend erzeugt der Differenzialabschnitt 44 ein differentiales analoges Testsignal, das aus positiven und negativen Signalen aus dem analogen Testsignal zusammengesetzt ist.
  • Darüber hinaus gibt es für den Prüfling 3 einen erlaubten Bereich für eine Offsetspannung des Eingangssignals. Dann wird ein DC-Offsetsignal S4 im erlaubten Bereich durch den Digital/Analog-Wandler für Offset 45 digital/analoggewandelt, um eine Offsetspannung V der gleichen Phase zu erzeugen, wie die des differentialen analogen Testsignals. Desweiteren wird die Offsetspannung V zum differentialen analogen Testsignal hinzu addiert und das offseteingestellte differentiale analoge Testsignal wird über Anschlüsse 40 ausgegeben.
  • Demgemäß wird das differentiale analoge Testsignal, dessen Verstärkung und Offset hinsichtlich dem zu testenden LSI optimiert wurden, in den Prüfling 3 eingegeben.
  • Beim LSI-Testgerät, das auf diese Art und Weise zusammengesetzt ist, ist in den letzten Jahren ein Testverfahren verwendet worden, das Parallelmessung genannt wird. Bei diesem Verfahren wurde eine Vielzahl von Prüflingen 3 auf die Leistungskarte 2 gelegt und wird gleichzeitig gemessen. Wenn ein LSI-Test durch die Parallelmessung ausgeführt wird, kann die Vielzahl von Prüflingen 3 gleichzeitig gemessen werden und die Testzeit kann reduziert werden.
  • Es gibt jedoch bei den Prüflingen Abweichungen in einem Ausmaß eines erlaubten Bereichs der Eingangssignalamplitude des Prüflings 3 oder einen erlaubten Bereich der Offsetspannung. Deshalb ist es im Allgemeinen notwendig, um den LSI-Test durch die Parallelmessung auszuführen, pro Leistungskarte 2 die gleiche Anzahl von ARB-Generatoren 1 anzuordnen, wie die der auf die Leistungskarte 2 gelegten zu testenden LSIs, wie es in 4(A) gezeigt ist. Im Ergebnis ergibt sich das Problem, dass das LSI-Testgerät vergrößert wird und die Kosten des LSI-Tests steigen.
  • Beispielsweise sind bei einem in 4(A) gezeigten Beispiel vier Systeme von ARB-Generatoren 1 abgeordnet, um die Parallelmessung hinsichtlich der vier Prüflinge 3 auszuführen.
  • Desweiteren müssen acht Systeme von ARB-Generatoren 1 abgeordnet werden, wenn beim LSI-Test zwei Arten von analogen Testsignalen an den Prüflingen 3 angelegt werden müssen, um die Parallelmessung der vier Prüflinge auszuführen. Deshalb wird das LSI-Testgerät weiter vergrößert und die Kosten steigen.
  • Um das Problem zu lösen, ist ein Verfahren der Verteilung von analogen Testsignalen S3, die von einen ARB-Generator 1 an die Leistungskarte 2 ausgegeben wurden, um die Signale an der Vielzahl von Prüflingen anzulegen, vorgeschlagen worden, wie es in 4(B) gezeigt ist.
  • Bei diesem Verfahren ist es jedoch schwierig, die Verstärkungen und Offsets der Testsignale in Übereinstimmung mit dem erlaubten Bereich der einzelnen Prüflinge 3 individuell einzustellen. Deshalb besteht ein Problem, dass es schwierig ist, das analoge Testsignal für jeden Prüfling 3 optimiert anzuwenden.
  • Außerdem ist der Schaltkreisaufbau der Leistungskarte 2 kompliziert, da es notwendig ist, die Verteilung der analogen Testsignale an die Leistungskarte 2 zu steuern, und ein Testprogramm ist ebenfalls kompliziert.
  • Die vorliegende Erfindung wurde entwickelt, um das oben beschriebene Problem zu lösen und es ist eine ihrer Aufgaben, einen ARB-Generator mit mehreren Ausgängen bereitzustellen, bei dem beim gleichzeitigen Testen einer Vielzahl von zu testenden LSIs das analoge Testsignal für jeden zu testenden LSI optimiert mit einem einfachen Schaltkreisaufbau erzeugt werden kann, ohne den Schaltkreisaufbau der Leistungskarte zu verkomplizieren, und ferner einen Gemischt-LSI-Tester, der den Generator enthält.
  • Erfindungsgemäß wird ein ARB-Generator mit mehreren Ausgängen bereitgestellt, der folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung zum Erzeugen eines Ausgangssignalformdatensignals für einen LSI-Test; einen Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt zum Steuern des Abschnitts für die Ausgangssignalformdatenerzeugung; basierend auf einer Testfolge, die für einen zu testenden LSI spezifisch ist; und einen Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung zum digital/analog-wandeln eines Ausgangssignalformdatensignals, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung ausgegeben wurde, um die Signale an eine Vielzahl von zu testender LSIs anzulegen, wobei der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Verstärkungseinstellung, der eine Vielzahl von Anschlüssen enthält, über welche die analogen Testsignale, die an die Vielzahl von LSIs angelegt werden, individuell ausgegeben werden, um individuell Verstärkungen der analogen Testsignale einzustellen, die über die Anschlüsse ausgegeben werden; und einen Abschnitt für die Offseteinstellung zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale.
  • Demgemäß verteilt der ARB-Generator mit mehreren Ausgängen der vorliegenden Erfindung die analogen Testsignale im Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung und gibt die Signale über die Vielzahl von Anschlüssen aus. Deshalb können der Abschnitt für die Ausgangsfolgesteuerung und der Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung in einem System zusammengebaut sein, auch wenn die Vielzahl von zu testenden LSIs durch die Parallelmessung getestet werden.
  • Zusätzlich werden die verteilten analogen Testsignale individuell für jeden zu testenden LSI durch den Abschnitt für die Verstärkungseinstellung und den Abschnitt für die Offseteinstellung des Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung optimiert.
  • Demgemäß kann das analoge Testsignal, das für jeden zu testenden LSI optimiert ist, mit einem einfachen Schaltkreisaufbau erzeugt werden, wenn die Vielzahl von zu testenden LSIs gleichzeitig getestet werden.
  • Desweiteren kann bei der vorliegenden Erfindung das Testsignal für jedes Bauteil optimiert werden, um den Parallelmesstest ohne Verkomplizierung des Schaltkreisaufbaus der Leistungskarte und ohne Verkomplizierung des Testprogramms auszuführen, da die analogen Testsignale im Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung verteilt und optimiert werden.
  • Darüber hinaus ist der ARB-Generator mit mehreren Ausgängen ein ARB-Generator mit mehreren Ausgängen nach Anspruch 1 und umfasst ein Parallelmessungsbetätigungsregister zum Auswählen eines Anschlusses aus allen Anschlüssen, über den das analoge Testsignal ausgegeben wird.
  • Wenn das Parallelmessungsbetätigungsregister im ARB-Generator mit mehreren Ausgängen angeordnet ist, kann ein Ausgangsanschluss ausgewählt werden, um die Zahl der durch die Parallelmessung zu testenden LSIs auszuwählen. Das heißt, ein spezifischer LSI kann von den Testobjekten ausgeschlossen werden.
  • Desweiteren wird erfindungsgemäß ein Gemischt-LSI-Tester bereitgestellt, der folgendes umfasst: einen ARB-Generator mit mehreren Ausgängen zum Erzeugen eines analogen Testsignals, basierend auf einer Testfolge, die für einen Typ eines zu testenden LSI spezifisch ist; und eine Leistungskarte, auf der eine Vielzahl von zu testenden LSIs gelegt wurden, welche die analogen Testsignale enthalten, die daran angelegt wurden, wobei der ARB-Generator folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung zum Erzeugen eines Ausgangssignalformdatensignals für einen LSI-Test; einen Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt zum Steuern des Abschnitts für die Ausgangssignalformdatenerzeugung, basierend auf der Testfolge, die für den zu testenden LSI spezifisch ist; und einen Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung zum digital/analog-wandeln des Ausgangssignalformdatensignals, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung ausgegeben wurde, um die analogen Testsignale zu erzeugen, die an die Vielzahl zu testender LSIs angelegt werden sollen, und wobei der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Verstärkungseinstellung, der eine Vielzahl von Anschlüssen enthält, über welche die analogen Testsignale, die an die Vielzahl von LSIs angelegt werden sollen, individuell ausgegeben werden, um individuell Verstärkungen der analogen Testsignale einzustellen, die über die Anschlüsse ausgegeben werden; und einen Abschnitt für die Offseteinstellung zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale.
  • Demgemäß kann das für jeden zu testenden LSI optimierte analoge Testsignal beim gleichzeitigen Testen der Vielzahl von zu testender LSIs mit einem einfachen Schaltkreisaufbau erzeugt werden, da der Gemischt-LSI-Tester der vorliegenden Erfindung den ARB-Generator mit mehreren Ausgängen umfasst, der entsprechend zu dem von Anspruch 1 ist.
  • 1 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines ARB-Generators mit mehreren Ausgängen und eines Gemischt-LSI-Testers gemäß einem Ausführungsbeispiel zeigt;
  • 2 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 3(A) ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines herkömmlichen ARB-Generators und Gemischt-LSI-Testers zeigt, und 3(B) ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung der diesbezüglichen Technik zeigt; und
  • 4(A) ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau des herkömmlichen ARB-Generators und Gemischt-LSI-Testers zeigt, bei dem Parallelmessung möglich ist, und 4(B) ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau des herkömmlichen ARB-Generators und Gemischt-LSI-Testers zeigt, bei dem Parallelmessung möglich ist.
  • Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf 1 beschrieben werden.
  • 1 zeigt einen Grundaufbau eines Gemischt-LSI-Testers gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel.
  • Der Gemischt-LSI-Tester des Ausführungsbeispiels enthält einen ARB-Generator mit mehreren Ausgängen 10 und eine Leistungskarte 2, wie es in 1 gezeigt ist. Die Leistungskarte 2 fungiert als eine Schnittstellenkarte mit zu testenden LSIs (DUT/Prüfling) 3. 1 zeigt, dass vier Prüflinge 3 auf die Leistungskarte 2 gelegt wurden.
  • Desweiteren ist der ARB-Generator mit mehreren Ausgängen 10 aus einem Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt 11 aufgebaut, ferner einem Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12, einem Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4, der vier Anschlüsse 40 enthält, und ferner ein Parallelmessungsbetätigungsregister 5, um basierend auf einer Testfolge, die für einen Typ der zu testenden LSI (Prüfling/DUT) 3 analoge Testsignale zu erzeugen.
  • Die Bauelemente werden im folgenden beschrieben werden.
  • Der Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt 11 gibt ein Testfolgesignal S 1 aus und steuert den Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 basierend auf der Testfolge für den Prüfling 3.
  • Der Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 erzeugt ein Ausgangssignalformdatensignal S2 für den LSI-Test in Übereinstimmung mit dem Folgesignal S1.
  • Desweiteren wird das Ausgangssignalformdatensignal S2 an den Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4 ausgegeben.
  • Desweiteren digital/analog-wandelt der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4 das Ausgangssignalformdatensignal S2, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung 12 ausgegeben wurde, und erzeugt analoge Testsignale S3, die an die vier Prüflinge angelegt werden sollen.
  • Nun wird der Aufbau des Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung 4 unter Bezugnahme auf 2 beschrieben.
  • Wie es in 2 gezeigt ist, enthält der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4 einen Digital/Analog-Wandler (D/A) 41, ferner einen Tiefpassfilter (LPF) 42 und ferner eine erste Stufe eines Dämpfungsglieds (ATT1) 43a in einem System. Darüber hinaus enthält der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4 eine zweite Stufe von Dämpfungsgliedern (ATT2) 43b, ferner Differentialabschnitte 44 und ferner Digital/Analog-Wandler für die Offseteinstellung (D/A) 45 für vier Systeme.
  • Anschließend wird zuerst das Ausgangssignalformdatensignal S2, das in den Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung 4 eingegeben wurde, durch den Digital/Analog-Wandler 41 digital/analog-gewandelt, um ein analoges Testsignal zu erzeugen. Anschließend, wenn dieses analoge Testsignal durch den Tiefpassfilter 42 hindurch geschickt wird, werden Hochfrequenzrauschkomponenten beseitigt. Darüber hinaus stellt die erste Stufe des Dämpfungsglieds 43a die Verstärkung der Signalamplitude des analogen Testsignals einmal alle 3 dB ein, so dass die Amplitude im Wesentlichen innerhalb eines erlaubten Bereichs des Prüflings 3 fällt.
  • Als nächstes wird das analoge Testsignal, das von der ersten Stufe des Dämpfungsglieds 43a ausgegeben wurde, in vier Systeme verteilt und in eine zweite Stufe von Dämpfungsgliedern 43b der vier Systeme eingegeben. Für die entsprechenden analogen Testsignale, die in die vier Systeme hinein verteilt wurden, werden die Verstärkungen individuell durch die zweite Stufe von Dämpfungsgliedern 43b endgültig eingestellt, so dass die Signalamplitude innerhalb des erlaubten Bereichs eines jeden Prüflings 3 fällt. Bei der zweiten Stufe von Dämpfungsgliedern 43b werden die Verstärkungen individuell bei einer Einstellamplitude von 3 dB alle 0.1 dB eingestellt.
  • Anschließend erzeugen die Differentialabschnitte 44 differentiale analoge Testsignale, die positive und negative Signale aus dem verstärkungseingestellten analogen Testsignal enthält.
  • Desweiteren werden Offsetspannungen zu den entsprechenden differentialen analogen Testsignalen der vier Systeme in Übereinstimmung mit einem erlaubten Bereich der Offsetspannung der entsprechenden Prüflinge 3 hinzuaddiert, um eine Offseteinstellung auszuführen. Die Offsetspannung ist in der gleichen Phase wie die des differentialen analogen Testsignals. Diese Offsetspannungen werden durch digital/analog-wandeln von Gleichstromoffsetsignalen S4 durch die Digital/Analog-Wandler für die Offseteinstellung 45 in Übereinstimmung mit dem erlaubten Bereich für die Offsetspannung für jeden Prüfling 3 erzeugt.
  • Das offseteingestellte differentiale analoge Testsignal, das für jeden Prüfling 3 optimiert wurde, der an jeden Anschluss angeschlossen ist, wird auf diese An und Weise über jeden der Anschlüsse 40 der vier Systeme ausgegeben.
  • Desweiteren steuert beim vorliegenden Ausführungsbeispiel das Parallelmessungsbetätigungsregister 5 das Öffnen/Schließen der Ausgangsschalter 46 des Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung 4 für jeden Anschluss 40. Demgemäß kann der Anschluss, über den das analoge Testsignal ausgegeben wird, beliebig aus den Anschlüssen 40 der vier Systeme ausgewählt werden. Im Ergebnis kann der zu testende Prüfling 3 durch die Parallelmessung ausgewählt werden. Demgemäß kann der Test hinsichtlich des beliebigen Prüflings 3 durch die Parallelmessung ohne Verkomplizieren des Testprogramms ausgeführt werden.
  • Die vorliegende Erfindung ist hinsichtlich eines Beispiels beschrieben worden, das beim oben beschriebenen Ausführungsbeispiel auf bestimmten Bedingungen aufbaute, aber die vorliegende Erfindung kann verschiedenartig verändert werden. Beispielsweise ist beim oben beschriebenen Ausführungsbeispiel das Beispiel beschrieben worden, bei dem vier Prüflinge 3 auf die Leistungskarte gelegt wurden, aber die Zahl der Prüflinge ist bei der vorliegenden Erfindung nicht auf vier beschränkt. Beispielsweise können zwei Prüflinge durch die Parallelmessung getestet werden oder es können acht Prüflinge durch die Parallelmessung getestet werden.
  • Darüber hinaus wird beim oben beschriebenen Ausführungsbeispiel beispielsweise das gleiche Offsetsignal sowohl zu den positiven als auch den negativen Signalen des differentialen analogen Testsignals hinzu addiert, aber bei der vorliegenden Erfindung können die Offsetsignale, die sich in der Intensität voneinander unterscheiden, separat zu den positiven und negativen Signalen hinzu addiert werden.
  • Wie es oben beschrieben wurde, werden gemäß dem ARB-Generator mit mehreren Ausgängen und dem Gemischt-LSI-Tester der vorliegenden Erfindung im Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung die analogen Testsignale über die Vielzahl von Anschlüssen verteilt und ausgegeben. Deshalb kann, sogar wenn die Vielzahl von zu testenden LSIs durch die Parallelmessung getestet wird, der Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt und der Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung in einem System zusammengebaut sein.
  • Außerdem werden die verteilten analogen Testsignale durch den Abschnitt für die Verstärkungseinstellung und den Abschnitt für die Offseteinstellung des Abschnitts für die Analogsignalformerzeugung individuell für jeden zu testenden LSI optimiert. Demgemäß kann das analoge Testsignal, das für jeden zu testenden LSI optimiert wurde, mit einem einfachen Schaltkreisaufbau erzeugt werden, wenn die Vielzahl von zu testenden LSIs gleichzeitig getestet werden.
  • Desweiteren kann das Testsignal bei der vorliegenden Erfindung für jedes Bauteil optimiert werden, um den Parallelmesstest auszuführen, ohne den Schaltkreisaufbau zu verkomplizieren oder das Testprogramm zu verkomplizieren, da die analogen Testsignale im Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung verteilt und optimiert werden.
  • Wie es oben beschrieben wurde, kann ein ARB-Generator mit mehreren Ausgängen und ein Gemischt-LSI-Tester der vorliegenden Erfindung wirkungsvoll beim gleichzeitigen Testen einer Vielzahl von zu testenden LSIs verwendet werden.
  • Zusammenfassung
  • Es werden ein Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt und ein Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung für ein System angeordnet und ein Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung enthält vier Systeme von Anschlüssen 40, Dämpfungsgliedern 43b zum individuellen Einstellen von Verstärkungen von analogen Testsignalen, die über die entsprechenden Anschlüsse ausgegeben werden, und Digital/Analog-Wandler 45 zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale. Demgemäß werden die analogen Testsignale, die für jeden zu testenden LSI optimiert sind, mit einem einfachen Schaltkreisaufbau ohne Verkomplizierung des Schaltkreisaufbaus einer Leistungskarte erzeugt, wenn eine Vielzahl von zu testenden LSIs gleichzeitig getestet werden.

Claims (3)

  1. ARB-Generator mit mehreren Ausgängen, der folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung zum Erzeugen eines Ausgangssignalformdatensignals für einen LSI-Test; einen Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt zum Steuern des Abschnitts für die Ausgangssignalformdatenerzeugung, basierend auf einer Testfolge, die für einen zu testenden LSI spezifisch ist; und einen Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung zum digital/analog-wandeln eines Ausgangssignalformdatensignals, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung ausgegeben wurde, um die Signale an eine Vielzahl von zu testender LSIs anzulegen, wobei der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Verstärkungseinstellung, der eine Vielzahl von Anschlüssen enthält, über welche die analogen Testsignale, die an die Vielzahl von LSIs angelegt werden, individuell ausgegeben werden, um individuell Verstärkungen der analogen Testsignale einzustellen, die über die Anschlüsse ausgegeben werden; und einen Abschnitt für die Offseteinstellung zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale.
  2. ARB-Generator mit mehreren Ausgängen nach Anspruch 1, der darüber hinaus folgendes umfasst: ein Parallelmessungsbetätigungsregister zum Auswählen eines Anschlusses aus allen Anschlüssen, über den das analoge Testsignal ausgegeben wird.
  3. Gemischt-LSI-Tester, der folgendes umfasst: einen ARB-Generator mit mehreren Ausgängen zum Erzeugen eines analogen Testsignals, basierend auf einer Testfolge, die für einen Typ eines zu testenden LSI spezifisch ist; und eine Leistungskarte, auf der eine Vielzahl von zu testenden LSIs gelegt wurden und in der die analogen Testsignale an die zu testenden LSIs angelegt werden, wobei der ARB-Generator folgendes umfasst: einen Ausgangssignalformdatengenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignalformdatensignals für einen LSI-Test; einen Ausgangsfolgesteuerungsabschnitt zum Steuern des Abschnitts für die Ausgangssignalformdatenerzeugung, basierend auf der Testfolge, die für den zu testenden LSI spezifisch ist; und einen Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung zum digital/analog-wandeln des Ausgangssignalformdatensignals, das vom Abschnitt für die Ausgangssignalformdatenerzeugung ausgegeben wurde, um die analogen Testsignale zu erzeugen, die an die Vielzahl zu testender LSIs angelegt werden sollen, und wobei der Abschnitt für die Analogsignalformerzeugung folgendes umfasst: einen Abschnitt für die Verstärkungseinstellung, der eine Vielzahl von Anschlüssen enthält, über welche die analogen Testsignale, die an die Vielzahl von LSIs angelegt werden sollen, individuell ausgegeben werden, um individuell Verstärkungen der analogen Testsignale einzustellen, die über die Anschlüsse ausgegeben werden; und einen Abschnitt für die Offseteinstellung zum individuellen Einstellen der Offsetspannungen der analogen Testsignale.
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