JPWO2009147724A1 - 試験用ウエハユニットおよび試験システム - Google Patents
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Abstract
半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験用ウエハユニットであって、半導体ウエハと対応する形状を有する試験用ウエハと、試験用ウエハに形成され、それぞれが2以上の半導体チップと対応するように設けられ、それぞれ対応する2以上の半導体チップを試験する複数の試験回路とを備える試験用ウエハユニットを提供する。試験用ウエハユニットは、試験用ウエハに形成され、複数の半導体チップのそれぞれの試験用端子と一対一に対応して設けられ、それぞれ対応する試験用端子と電気的に接続される複数の接続端子を更に備えてよい。
Description
本発明は、試験用ウエハユニットおよび試験システムに関する。特に本発明は、半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験用ウエハユニットおよび試験システムに関する。
被試験デバイスの試験において、半導体チップが形成された半導体ウエハの状態で、各半導体チップの良否を試験する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。当該装置は、複数の半導体チップと一括して電気的に接続可能なプローブカードを備えることが考えられる。
特開2002−222839号公報
プローブカードは、プリント基板等を用いて形成される。当該プリント基板に複数のプローブピンを形成することで、複数の半導体チップと一括して電気的に接続することができる。
また、半導体チップの試験として、例えばBOST回路を用いる方法がある。このとき、プローブカードにBOST回路を搭載することも考えられるが、半導体ウエハの状態で複数の半導体チップを試験する場合、搭載すべきBOST回路が多数となり、BOST回路をプローブカードのプリント基板に実装することが困難となる。
また、半導体チップの試験として、半導体チップ内に設けたBIST回路を用いる方法も考えられる。しかし、当該方法は、半導体チップ内に、実動作に用いない回路を形成するので、半導体チップの実動作回路を形成する領域が小さくなってしまう。
半導体ウエハの状態で半導体チップを試験する場合、半導体チップの実装密度が高いほど、試験回路を実装することができる面積も小さくなってしまう。このため、高機能な試験回路を実装しにくくなってしまう場合がある。
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験用ウエハユニットおよび試験システムを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験用ウエハユニットであって、前記半導体ウエハと対応する形状を有する試験用ウエハと、前記試験用ウエハに形成され、それぞれが2以上の前記半導体チップと対応するように設けられ、それぞれ対応する2以上の前記半導体チップを試験する複数の試験回路とを備える試験用ウエハユニットが提供される。
また、本発明の第2の形態においては、半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験システムであって、前記半導体ウエハと接続される試験用ウエハユニットと、前記試験用ウエハユニットを制御する制御装置とを備え、前記試験用ウエハユニットは、前記半導体ウエハと対応する形状を有する試験用ウエハと、前記試験用ウエハに形成され、それぞれが2以上の前記半導体チップと対応するように設けられ、それぞれ対応する2以上の前記半導体チップを試験する複数の試験回路とを有する試験システムが提供される。
なお、上記の発明の概要は、発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
10・・・制御装置、100・・・試験用ウエハユニット、102・・・ウエハ接続面、104・・・装置接続面、110・・・回路ブロック、111・・・試験用ウエハ、112・・・接続パッド、113・・・中間パッド、114・・・装置側接続端子、116・・・スルーホール、117・・・配線、118・・・試験回路ユニット、119・・・パッド、120・・・回路ブロック、121・・・接続用ウエハ、122・・・入出力切替部、124・・・中間パッド、126・・・スルーホール、132・・・ドライバ、134・・・コンパレータ、138・・・論理比較部、152・・・出力切替部、154・・・測定切替部、160・・・試験回路、162・・・パターン発生部、164・・・パターンメモリ、166・・・期待値メモリ、168・・・信号生成部、170・・・波形成形部、172・・・ドライバユニット、174・・・測定ユニット、176・・・タイミング発生部、178・・・電源供給部、180・・・駆動回路、182・・・書込回路、184・・・読出回路、301・・・半導体ウエハ、310・・・半導体チップ、312・・・試験用パッド、320・・・動作回路、330・・・制御回路、332・・・配線、334・・・配線、340・・・内蔵メモリ、342・・・データ端子、344・・・アドレス端子、350・・・スイッチ、352・・・外部データ端子配線、354・・・外部アドレス端子配線、356・・・外部スイッチ配線、400・・・試験システム、
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、試験システム400の概要を示す図である。試験システム400は、半導体ウエハ301に形成された、被試験デバイスとしての複数の半導体チップ310を試験する。本例の試験システム400は、試験用ウエハユニット100および制御装置10を備える。なお図1では、半導体ウエハ301および試験用ウエハユニット100の斜視図の一例を示す。
半導体ウエハ301は、例えば円盤状の半導体ウエハであってよい。より具体的には、半導体ウエハ301はシリコン、化合物半導体、その他の半導体ウエハであってよい。また、半導体チップ310は、半導体ウエハ301において露光等の半導体プロセスを用いて形成されてよい。複数の半導体チップ310は、動作回路および内蔵メモリをそれぞれ有する。
試験用ウエハユニット100は、試験用ウエハ111を有する。試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と電気的に接続する。より具体的には、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301に形成された複数の半導体チップ310のそれぞれと一括して電気的に接続する。
試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と同一の半導体材料で形成された半導体ウエハであってよい。例えば試験用ウエハ111は、シリコンウエハであってよい。また、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と略同一の熱膨張率を有する半導体材料で形成されてもよい。また、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と対応する形状を有してよい。ここで、対応する形状とは、同一の形状、および、一方が他方の一部分となる形状を含む。
例えば試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と同一形状のウエハであってよい。より具体的には、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と略同一の直径を有する円盤状のウエハであってよい。また、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と重ね合わせたときに、半導体ウエハ301の一部を覆う形状を有してもよい。半導体ウエハ301が円盤形状の場合、試験用ウエハ111は、例えば半円形状のように、当該円盤の一部を占める形状であってよい。
また、試験用ウエハ111には、複数の回路ブロック110が形成される。複数の回路ブロック110は、複数の半導体チップ310と対応して設けられる。本構成例では、複数の回路ブロック110は、それぞれが2以上の半導体チップ310と対応するように設けられる。なお、以後の説明では、複数の回路ブロック110のそれぞれに対応するように設けられた2以上の半導体チップ310を、対応する半導体チップ310と略称する場合がある。
それぞれの回路ブロック110は、試験用ウエハ111を半導体ウエハ301に重ね合わせた場合に、それぞれ対応する2以上の半導体チップ310が形成された領域と重なる位置に設けられてよい。それぞれの回路ブロック110は、試験用ウエハ111が半導体ウエハ301に重ね合わせられることで、それぞれ対応する半導体チップ310と電気的に接続され、当該半導体チップ310を試験する。
なお、回路ブロック110は、試験用ウエハ111において、半導体ウエハ301と対応する面の裏面に設けられてもよい。この場合、それぞれの回路ブロック110は、試験用ウエハ111に形成されるスルーホール(ビアホール)を介して、それぞれが対応する半導体チップ310と電気的に接続されてよい。
例えば、複数の接続パッド112は、試験用ウエハ111のウエハ接続面に形成される。また、接続パッド112は、それぞれの半導体チップ310に対して少なくとも一つずつ設けられる。例えば接続パッド112は、それぞれの半導体チップ310のそれぞれの試験用パッドに対して、一つずつ設けられてよい。つまり、それぞれの半導体チップ310が複数の試験用パッドを有する場合、接続パッド112は、それぞれの半導体チップ310に対して複数個ずつ設けられてよい。
例えば、試験用ウエハ111には、試験用パッドと同数の接続パッド112が形成されてよい。それぞれの接続パッド112は、対応する半導体チップ310の試験用パッドと電気的に接続される。
なお、試験用パッドは、試験用端子の一例であってよい。また、接続パッド112は、試験用パッドと電気的に接続される複数の接続端子として機能する。このように、試験用ウエハ111には、複数の半導体チップ310のそれぞれの試験用パッドと一対一に対応して設けられ、それぞれ対応する試験用パッドと電気的に接続される複数の接続パッド112が形成されている。
なお、電気的に接続するとは、2つの部材間で電気信号を伝送可能となる状態を指してよい。例えば、回路ブロック110および半導体チップ310の試験用パッドは、直接に接触、または、他の導体を介して間接的に接触することで、電気的に接続されてよい。例えば試験システム400は、半導体ウエハ301および試験用ウエハ111の間に、これらのウエハと略同一直径のメンブレンシート等のプローブ部材を備えてよい。メンブレンシートは、回路ブロック110および半導体チップ310の、対応する試験用パッド間を電気的に接続するバンプを有する。また試験システム400は、メンブレンシートおよび試験用ウエハ111の間に異方性導電シートを備えてもよい。
また、回路ブロック110および半導体チップ310の試験用パッドは、容量結合(静電結合とも称する)または誘導結合(磁気結合とも称する)等のように、非接触の状態で電気的に接続されてもよい。また、回路ブロック110および半導体チップ310における試験用パッド間の伝送線路の一部が、光学的な伝送線路であってもよい。
回路ブロック110は、接続パッド112を介して、それぞれが対応する半導体チップ310と信号を受け渡す。回路ブロック110は、それぞれが対応する半導体チップ310に、測定用信号の一例としての試験信号を供給する。また、回路ブロック110は、それぞれが対応する半導体チップ310が試験信号に応じて出力する応答信号を受け取る。なお、試験用ウエハ111を制御する制御装置10から回路ブロック110に試験信号を供給する場合、回路ブロック110は、ウエハ接続面の裏面の装置接続面に形成される装置側接続端子を介して、制御装置10と電気的に接続される。
なお、半導体ウエハ301に、同一の回路構成を有する複数の半導体チップ310が形成される場合、試験用ウエハ111におけるそれぞれの回路ブロック110は、同一の回路構成を有してよい。それぞれの半導体チップ310の試験用パッドの配列が同一である場合、それぞれの回路ブロック110には、他の回路ブロック110と同一配列の接続パッド112が形成される。
それぞれの回路ブロック110は、それぞれ応答信号の論理パターンと、予め定められた期待値パターンとを比較することで、それぞれが対応する半導体チップ310の良否を判定してよい。そして、回路ブロック110は、それぞれが対応する半導体チップ310がそれぞれ有する内蔵メモリに、それぞれが対応する半導体チップ310のそれぞれの良否をそれぞれ書き込む。また、回路ブロック110は、それぞれが対応する半導体チップ310がそれぞれ有する内蔵メモリから良否を読み込んで、読み込んだ良否に応じた試験信号を、当該半導体チップ310に供給してよい。
本例の試験用ウエハユニット100によると、半導体チップ310が有する内蔵メモリに試験結果が書き込まれるので、回路ブロック110に形成すべきフェイルメモリの容量を著しく削減することができる。場合によってはフェイルメモリを設けなくてよくなる。
なお、回路ブロック110は、対応する半導体チップ310が有する内蔵メモリの試験結果を、制御装置10に出力してもよい。例えば、回路ブロック110は、対応する半導体チップ310が有する内蔵メモリの試験結果が否である場合に、当該内蔵メモリの試験結果を制御装置10に送信してよい。他にも、回路ブロック110は、対応する半導体チップ310が有する内蔵メモリを動作させるために必要な機能を試験した試験結果を、制御装置10に送信してよい。また、回路ブロック110は、内蔵メモリの試験結果が否である半導体チップ310の試験結果を、対応する半導体チップ310のうち内蔵メモリの試験結果が良である他の半導体チップ310が有する内蔵メモリに書き込んでもよい。
また、本例の試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と同一の半導体材料で形成されるので、周囲温度が変動したような場合であっても、試験用ウエハ111と半導体ウエハ301との間の電気的な接続を良好に維持することができる。このため、例えば半導体ウエハ301を加熱して試験するような場合であっても、半導体ウエハ301を精度よく試験することができる。
また、試験用ウエハ111が半導体材料で形成されるので、試験用ウエハ111に高密度の回路ブロック110を容易に形成することができる。例えば、露光等を用いた半導体プロセスにより、試験用ウエハ111に高密度の回路ブロック110を容易に形成することができる。このため、多数の半導体チップ310に対応する多数の回路ブロック110を、試験用ウエハ111に比較的に容易に形成することができる。
また、試験用ウエハ111に回路ブロック110を設ける場合、制御装置10の規模を低減することができる。つまり本例の試験システム400は、半導体チップ310を試験する回路を試験用ウエハユニット100に設けるので、制御装置10は、試験用ウエハユニット100を制御することで、それぞれの半導体チップ310を試験できる。例えば制御装置10は、回路ブロック110に対して試験の開始等のタイミングを通知する機能、回路ブロック110における試験結果を読み出す機能、回路ブロック110および半導体チップ310の駆動電力を供給する機能の各機能を有すればよい。
図2は、試験用ウエハ111の側面図の一例である。上述したように、試験用ウエハ111は、半導体ウエハ301と対向するウエハ接続面102、および、ウエハ接続面102の裏面の装置接続面104を有する。また、複数の接続パッド112は、ウエハ接続面102に形成されている。また、複数のパッド119は、装置接続面104に形成される。試験用ウエハ111の端子は、導電材料をメッキ、蒸着等することで試験用ウエハ111に形成されてよい。
試験用ウエハ111は、対応するパッド119および接続パッド112を電気的に接続するそれぞれのスルーホール116を有してよい。それぞれのスルーホール116は、試験用ウエハ111を貫通して形成される。
また、それぞれのパッド119の間隔と、それぞれの接続パッド112の間隔とは、異なっていてよい。接続パッド112は、半導体チップ310の入力端子と電気的に接続するべく、各入力端子と同一の間隔で配置される。このため、接続パッド112は、例えば図1に示すように、半導体チップ310毎に微小な間隔で設けられる。
これに対し、それぞれのパッド119は、一つの半導体チップ310に対応する複数の接続パッド112の間隔より広い間隔で設けられてよい。例えばパッド119は、装置接続面104の面内において、パッド119の分布が略均等となるように等間隔に配置されてよい。また、試験用ウエハ111には、各パッド119と各スルーホール116とを電気的に接続する配線117が形成されてよい。
また、図2では回路ブロック110を図示していないが、回路ブロック110は、試験用ウエハ111の装置接続面104に形成されてよく、ウエハ接続面102に形成されてもよい。また、回路ブロック110は、試験用ウエハ111の中間層に形成されてもよい。
図3は、回路ブロック110の構成例を示す図である。本例では、装置接続面104に回路ブロック110が形成される例を説明する。
それぞれの回路ブロック110には、試験回路ユニット118が設けられる。また、回路ブロック110には、複数のパッド119、および、複数の装置側接続端子114が設けられる。複数のパッド119は、ウエハ接続面102に形成される接続パッド112と、スルーホール116を介して電気的に接続される。
それぞれの試験回路ユニット118は、装置側接続端子114を介して制御装置10に電気的に接続される。それぞれの試験回路ユニット118は、制御装置10からの制御信号、電源電力等が、装置側接続端子114を介して与えられてよい。
試験回路ユニット118は、パッド119を介して接続パッド112に試験信号を供給して、対応する半導体チップ310を試験させる。パッド119は、対応するそれぞれの半導体チップ310のそれぞれの試験用パッドに対して一つずつ設けられた接続パッド112のそれぞれに対して、一つずつ設けられている。例えば、パッド119−1、パッド119−2、パッド119−3、および、パッド119−4は、それぞれ接続パッド112−1、接続パッド112−2、接続パッド112−3、および、接続パッド112−4に接続される。ここで、接続パッド112−1、接続パッド112−2、接続パッド112−3、および、接続パッド112−4は、それぞれ互いに異なる半導体チップ310の試験用パッドに接続される。
なお、試験回路ユニット118は、対応する全ての半導体チップ310に接続された接続パッド112に試験信号を供給することによって、対応する全ての半導体チップ310を略同時に試験してよい。また、試験回路ユニット118は、対応する半導体チップ310のうちの一部の半導体チップ310に接続された接続パッド112に試験信号を供給することによって、当該一部の半導体チップ310を略同時に試験してよい。
また、試験回路ユニット118は、当該一部の半導体チップ310を試験した後に、当該一部の半導体チップ310以外の少なくとも一部の半導体チップ310に試験信号を供給することによって、当該少なくとも一部の半導体チップ310を試験してよい。なお、一部の半導体チップ310は、1の半導体チップ310であってよく、2以上の半導体チップ310であってもよい。
上述したように、回路ブロック110は半導体の試験用ウエハ111に形成されるので、半導体素子を有する試験回路ユニット118を高密度に形成することができる。また、回路ブロック110は、それぞれが対応する複数の半導体チップ310を試験するので、試験回路ユニット118を実装するスペースを十分に確保することができる。このため、試験回路ユニット118により大規模な回路を実装することができ、ひいては制御装置10の規模をより低減することができる。
図4は、試験回路ユニット118の機能構成例を示すブロック図である。回路ブロック110は、試験回路160、駆動回路180、書込回路182、および、読出回路184を有する。試験回路160は、パターン発生部162、信号生成部168、ドライバユニット172、測定ユニット174、タイミング発生部176、および、電源供給部178を有する。また、信号生成部168は、波形成形部170を有する。
パターン発生部162は、試験信号の論理パターンを生成する。本例のパターン発生部162は、パターンメモリ164および期待値メモリ166を含む。パターン発生部162は、パターンメモリ164に予め格納された論理パターンを出力してよい。パターンメモリ164は、試験開始前に制御装置10から与えられる論理パターンを格納してよい。また、パターン発生部162は、予め与えられるアルゴリズムに基づいて当該論理パターンを生成してもよい。
波形成形部170は、パターン発生部162から与えられる論理パターンに基づいて、試験信号の波形を成形する。例えば波形成形部170は、論理パターンの各論理値に応じた電圧を、所定のビット期間ずつ出力することで、試験信号の波形を成形してよい。
ドライバユニット172は、波形成形部170から与えられる波形に応じた試験信号を出力する。例えば、ドライバユニット172は、タイミング発生部176が生成したタイミング信号に応じて、接続パッド112およびパッド119を介して半導体チップ310に試験信号を供給する。例えば、ドライバユニット172は、接続パッド112およびパッド119を介して半導体チップ310の動作回路に試験信号を供給してよい。なお、ドライバユニット172から出力される試験信号としては、半導体チップ310が消費する直流電力が仕様を満たすか等を判定する直流試験、入力信号に対して半導体チップ310が所定の出力信号を出力するか等を判定するファンクション試験、半導体チップ310が出力する信号の特性が仕様を満たすか等を判定するアナログ試験等の試験をする試験信号を例示することができる。
測定ユニット174は、半導体チップ310が出力する応答信号を測定する。例えば、測定ユニット174は、タイミング発生部176が生成したタイミング信号に応じて、半導体チップ310が出力する応答信号を、接続パッド112およびパッド119を介して測定する。測定ユニット174は、応答信号に応じて半導体チップ310の良否を判定する。例えば論理比較部138は、パターン発生部162から与えられる期待値パターンと、応答信号に応じた論理パターンとが一致するか否かにより、半導体チップ310の良否を判定してよい。例えば、論理比較部138は、パターン発生部162から与えられる期待値パターンと、応答信号に応じた論理パターンとが一致するか否かにより、半導体チップ310の動作回路の良否を判定してよい。
なお、パターン発生部162は、期待値メモリ166に予め格納された期待値パターンを、測定ユニット174に供給してよい。期待値メモリ166は、試験開始前に制御装置10から与えられる論理パターンを格納してよい。また、パターン発生部162は、予め与えられるアルゴリズムに基づいて当該期待値パターンを生成してもよい。
書込回路182は、測定ユニット174が判定した半導体チップ310の良否データを、当該半導体チップ310の内蔵メモリに書き込む。例えば、書込回路182は、接続パッド112およびパッド119を介して、半導体チップ310の動作回路の良否データを当該半導体チップ310の内蔵メモリに書き込む。なお、半導体ウエハ301に形成された複数の半導体チップ310のそれぞれの内蔵メモリは、同一のアドレス空間を有してよい。そして、書込回路182は、それぞれの内蔵メモリにおいて予め定められた同一のアドレスに、良否データを書き込んでよい。
このように、試験回路160は、半導体チップ310が出力する信号の電気特性を測定した測定結果に基づいて、半導体チップ310の動作回路の良否を判定する。そして、書込回路182は、動作回路の良否データを内蔵メモリに書き込む。
読出回路184は、半導体チップ310が有する内蔵メモリから当該半導体チップ310の良否データを読み出す。読出回路184は、例えば、それぞれ対応する内蔵メモリが、予め定められたアドレスに予め格納しているデータを読み出す。パターン発生部162は、読出回路184が読み出した良否データに応じた論理パターンを出力してよい。これにより、信号生成部168は、読出回路184が読み出した良否データに応じた試験信号を生成する。このように、試験回路160は、読出回路184が読み出した良否データに応じた試験信号を半導体チップ310に出力することができる。
例えば、試験回路160は、読出回路184が内蔵メモリから読み出した良否データが否を示す場合に、当該内蔵メモリを有する半導体チップ310に、良否データが否であることを条件として供給すべき他の試験信号を出力してよい。例えば、試験回路160は、良否データが否である試験結果が得られた試験より条件を緩和した試験をする試験信号を、当該他の試験信号として出力してよい。
例えば、半導体チップ310の高周波動作の試験に対する良否データが否である場合には、当該他の試験信号としては、半導体チップ310の低周波数動作を試験する試験信号を例示することができる。なお、試験回路160は、読出回路184が内蔵メモリから読み出した良否データが否を示す場合には、当該内蔵メモリを有する半導体チップ310にはさらなる他の試験信号を出力しなくてよい。
なお、駆動回路180は、半導体チップ310が有する内蔵メモリと、書込回路182および読出回路184との電気的な接続を制御する。例えば、駆動回路180は、対応する2以上の半導体チップ310がそれぞれ有する内蔵メモリから、書込回路182が良否データを書き込む内蔵メモリを選択して、選択した内蔵メモリと書込回路182とを電気的に接続する。また、駆動回路180は、対応する2以上の半導体チップ310がそれぞれ有する内蔵メモリから、読出回路184が良否データを読み出す内蔵メモリを選択して、選択した内蔵メモリと読出回路184とを電気的に接続する。
電源供給部178は、半導体チップ310を駆動する電源電力を供給する。例えば電源供給部178は、試験中に制御装置10から与えられる電力に応じた電源電力を、半導体チップ310に供給してよい。また、電源供給部178は、試験回路160の各機能構成を実現する回路に駆動電力を供給してもよい。
試験回路ユニット118がこのような構成を有することで、制御装置10の規模を低減した試験システム400を実現することができる。例えば制御装置10として、汎用のパーソナルコンピュータ等を用いることができる。
上述したように、試験用ウエハ111には、複数の半導体チップ310に対応して、複数の試験回路160、複数の書込回路182、複数の読出回路184が設けられている。複数の試験回路160は、それぞれ対応する半導体チップ310の動作回路に試験信号を供給する。そして、試験回路160は、動作回路が試験信号に応じて出力する信号の電気的特性を測定する。また、複数の書込回路182は、それぞれ対応する試験回路160における測定結果に応じたデータを、対応する内蔵メモリに書き込む。
また、複数の読出回路184は、それぞれ対応する内蔵メモリが、予め定められたアドレスに予め格納しているデータを読み出す。そして、試験回路160は、対応する読出回路184が読み出したデータに応じた試験信号を、対応する動作回路に供給する。
なお、試験システム400は、複数の試験用ウエハ111を、順次に半導体ウエハ301に電気的に接続してよい。例えば、試験システム400は、それぞれ異なる種類の試験を行う複数の試験用ウエハ111を、順次に半導体ウエハ301に電気的に接続してよい。制御装置10は、第1の試験用ウエハ111のそれぞれの書込回路182に対して、内蔵メモリの所定のアドレスを指定して測定結果を書き込ませてよい。そして、制御装置10は、第2の試験用ウエハ111のそれぞれの読出回路184に対して、所定のアドレスを指定して、内蔵メモリから測定結果を読み出させてよい。このとき、制御装置10は、試験回路160に対して、測定結果に応じた試験信号を、半導体チップ310の動作回路に出力させてよい。
図5は、ドライバユニット172および測定ユニット174の機能構成例を示すブロック図である。ドライバユニット172は、複数のドライバ132を含む。測定ユニット174は、複数のコンパレータ134および複数の論理比較部138を含む。
複数のドライバ132は、回路ブロック110に対応する半導体チップ310にそれぞれ試験信号を出力する。複数のドライバ132は、対応する半導体チップ310と一対一に設けられてよい。なお、複数のドライバ132は、それぞれが対応する半導体チップ310と、パッド119および接続パッド112を介して接続される。ドライバ132が出力した試験信号は、パッド119および接続パッド112を介して半導体チップ310に供給される。
なお、ドライバ132は、波形成形部170から与えられる波形に応じた試験信号を、対応する半導体チップ310に出力する。例えばドライバ132は、タイミング発生部176から与えられるタイミング信号に応じて、試験信号を出力してよい。例えばドライバ132は、タイミング信号と同一周期の試験信号を出力してよい。
また、複数のコンパレータ134は、回路ブロック110に対応する半導体チップ310が出力する応答信号を測定する。複数のコンパレータ134は、対応する半導体チップ310と一対一に設けられてよい。なお、複数のコンパレータ134は、それぞれが対応する半導体チップ310と、接続パッド112およびパッド119を介して接続される。対応する半導体チップ310からの応答信号は、接続パッド112およびパッド119を介してコンパレータ134に供給される。なお、コンパレータ134は、タイミング発生部176から与えられるストローブ信号に応じて応答信号の論理値を順次検出することで、応答信号の論理パターンを測定してよい。
複数の論理比較部138は、複数のコンパレータ134が測定した応答信号の論理パターンに基づいて、回路ブロック110に対応する半導体チップ310の良否を判定する。複数の論理比較部138は、回路ブロック110が対応する半導体チップ310と一対一に設けられてよい。複数の論理比較部138は、コンパレータ134によって測定された、それぞれが対応する半導体チップ310の応答信号の論理パターンに基づいて、半導体チップ310の良否を判定する。例えば論理比較部138は、パターン発生部162から与えられる期待値パターンと、コンパレータ134が検出した論理パターンとが一致するか否かにより、半導体チップ310の良否を判定してよい。論理比較部138における比較結果は、書込回路182に供給され、対応する半導体チップ310が有する内蔵メモリに書き込まれる。
上述したように、ドライバユニット172は、信号生成部168が生成した試験信号を並列に受け取って、試験信号に応じた信号を、複数の半導体チップ310に略同時に試験信号を供給することができる。このように、それぞれの試験回路160は、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通の試験信号を生成し、接続パッド112を介して2以上の半導体チップ310に試験信号を略同時に供給することができる。そして、測定ユニット174は、複数の半導体チップ310から略同時に応答信号を取得して、半導体チップ310の良否を判定することができる。したがって、試験回路160は、対応する複数の半導体チップ310を略同時に試験することができる。
なお、1のコンパレータ134、および、当該コンパレータ134が測定した応答信号に基づいて半導体チップ310の良否を判定する論理比較部138は、半導体チップ310が出力する信号を測定する測定部として機能する。したがって、ドライバユニット172は、試験すべき2以上の半導体チップ310毎に設けられ、それぞれの半導体チップ310が出力する信号を測定する複数の測定部を有している。
また、図4に関連して説明したように、試験回路ユニット118は1の信号生成部168を有してよい。すなわち、信号生成部168は、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通に設けられる。一方、ドライバ132は、試験すべき2以上の半導体チップ310毎に設けられる。そして、2以上の半導体チップ310毎に設けられる複数のドライバ132は、信号生成部168が生成した試験信号を並列に受け取り、試験信号に応じた信号を、接続パッド112を介して半導体チップ310の試験用パッドに供給する。
試験すべき2以上の半導体チップ310毎にドライバ132が複数設けられるので、試験用ウエハ111の回路ブロック110には低出力のドライバ132を実装すればよくなる。このため、試験用ウエハ111の回路ブロック110に実装すべきドライバ132を小型化することができ、複数のドライバ132を回路ブロック110に容易に実装することができる。
なお、本構成例では、半導体チップ310毎に1のドライバ132が設けられているが、半導体チップ310のそれぞれに対応して、複数のドライバ132がそれぞれ設けられてもよい。例えば、半導体チップ310のそれぞれの試験用パッドに対応して、複数のドライバ132が設けられてもよい。
また、図4および図5に関連して説明したように、試験すべき2以上の半導体チップ310を略同時に試験する場合には、パターン発生部162、信号生成部168、タイミング発生部176、および、電源供給部178を、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通に設けることができる。また、書込回路182、読出回路184、および、駆動回路180も、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通に設けることができる。このため、パターン発生部162、信号生成部168、タイミング発生部176、および、電源供給部178の各機能を実現する回路を全ての半導体チップ310毎に実装する場合に比べて、試験回路160、書込回路182、読出回路184、および、駆動回路180を実装する実装面積を削減することができる。
図6は、ドライバユニット172および測定ユニット174の他の機能構成を示すブロック図である。ドライバユニット172は、ドライバ132および出力切替部152を含む。また、測定ユニット174は、論理比較部138、コンパレータ134、および、測定切替部154を含む。
ドライバ132の動作は、出力切替部152に試験信号を出力することを除いて、図5に関連して説明したドライバ132の動作と同様であってよい。出力切替部152は、回路ブロック110が対応する半導体チップ310と、パッド119および接続パッド112を介して接続されている。そして、出力切替部152は、ドライバ132からの試験信号を出力する半導体チップ310を選択する。
具体的には、出力切替部152は、ドライバ132からの試験信号を、いずれの半導体チップ310と電気的に接続される接続パッド112に供給するか選択する。このようにして、出力切替部152は、ドライバが出力する信号を、いずれの半導体チップ310の試験用パッドと電気的に接続される接続パッド112に供給するかを切り替える。
また、測定切替部154は、回路ブロック110が対応する半導体チップ310と、接続パッド112およびパッド119を介して接続されている。そして、測定切替部154は、応答信号を取得する半導体チップ310を選択する。具体的には、測定切替部154は、いずれの半導体チップ310と電気的に接続される接続パッド112をコンパレータ134と接続するかを選択する。このようにして、測定切替部154は、いずれの半導体チップ310が出力する応答信号を、コンパレータ134に供給するかを切り替える。
なお、出力切替部152は、ドライバが出力する信号を、いずれの半導体チップ310の試験用パッドと電気的に接続される接続パッド112に供給するかを順次切り替えてよい。また、測定切替部154は、いずれの半導体チップ310が出力する応答信号を、コンパレータ134に供給するかを順次切り替えてよい。
また、コンパレータ134の動作は、測定切替部154から応答信号を取得することを除いて、図5に関連して説明したコンパレータ134の動作と同様であってよい。また、論理比較部138の動作は、図5に関連して説明したコンパレータ134の動作と同様であってよい。なお、1のコンパレータ134、および、当該コンパレータ134が測定した応答信号に基づいて半導体チップ310の良否を判定する論理比較部138は、半導体チップ310が出力する信号を測定する測定部として機能する。したがって、測定ユニット174は、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通に設けられ、2以上の半導体チップ310が出力する信号を順次測定する測定部を有する。
なお、本ブロック図が示す機能構成では、回路ブロック110には、回路ブロック110が対応する2以上の半導体チップ310に対して、ドライバ132、出力切替部152、論理比較部138、コンパレータ134、および、測定切替部154が1つずつ含まれる。他の構成では、回路ブロック110には、回路ブロック110が対応する半導体チップ310の数よりそれぞれ少ない数の、ドライバ132、出力切替部152、論理比較部138、コンパレータ134、および、測定切替部154を含んでよい。
このように、出力切替部152および測定切替部154による切り替え制御により、試験回路160は、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通の試験信号を生成し、接続パッド112を介して2以上の半導体チップ310に試験信号を順番に供給することができる。また、本構成例では、図4および図5に関連して説明した機能構成に加えて、ドライバ132、コンパレータ134、および論理比較部138も、試験すべき2以上の半導体チップ310に対して共通に設けることができる。このため、試験回路160、書込回路182、読出回路184、および、駆動回路180を実装する実装面積をさらに削減することができる。
図7は、半導体チップ310の機能構成例を示すブロック図である。半導体チップ310は、動作回路320、制御回路330、内蔵メモリ340、データ端子342、内部アドレス端子344、内部データ端子配線332、内部アドレス端子配線334、スイッチ350、外部データ端子配線352、外部アドレス端子配線354、外部スイッチ配線356、および、複数の試験用パッド312を有する。半導体チップ310の機能は、動作回路320の動作により実現される。また、内蔵メモリ340は、動作回路320の動作に用いられる。
半導体チップ310の動作中に、動作回路320は、動作回路320の動作用のデータを内蔵メモリ340に書き込んでよい。また、動作回路320は、半導体チップ310の動作中に、内蔵メモリ340に書き込まれているデータを内蔵メモリ340から読み出して、読み出したデータを使用してよい。また、動作回路320は、半導体チップ310の動作中に、内蔵メモリ340に書き込まれているデータを内蔵メモリ340から消去してよい。なお、半導体チップ310の動作中に、動作回路320は、制御回路330を通じて内蔵メモリ340に対してデータを読み書きすることができる。
制御回路330は、内蔵メモリ340に対するデータの読み書きを制御する。制御回路330は、内蔵メモリ340のデータ端子342と内部データ端子配線332により電気的に接続されている。また、制御回路330は、内蔵メモリ340のアドレス端子344と内部アドレス端子配線334により電気的に接続されている。
制御回路330は、内蔵メモリ340にデータを書き込む場合に、書き込むメモリアドレスを指定する電気信号を、内部アドレス端子配線334を通じてアドレス端子344に出力する。また、制御回路330は、内蔵メモリ340にデータを書き込む場合に、書き込むデータを指定する電気信号を、内部データ端子配線332を通じてデータ端子342に出力する。内蔵メモリ340は、データ端子342に入力された電気信号が示すデータを、アドレス端子344に入力された電気信号が示すメモリアドレスに格納する。
また、制御回路330は、内蔵メモリ340からデータを読み出す場合に、読み出すメモリアドレスを指定する電気信号を、内部アドレス端子配線334を通じてアドレス端子344に出力する。内蔵メモリ340は、アドレス端子344に入力された電気信号が示すメモリアドレスに格納しているデータを示す電気信号を、データ端子342に出力する。制御回路330は、データ端子342に出力された電気信号を内部データ端子配線332を通じて取得することにより、内蔵メモリ340からデータを読み出す。
なお、外部データ端子配線352は、データ端子342を試験用パッド312−1に電気的に接続する。また、外部アドレス端子配線354は、アドレス端子344を試験用パッド312−2に電気的に接続する。スイッチ350−1は、外部データ端子配線352に設けられ、試験用パッド312とデータ端子342との間の電気的な接続を制御する。また、スイッチ350−2は、外部アドレス端子配線354に設けられ、試験用パッド312とアドレス端子344との間の電気的な接続を制御する。なお、試験用パッド312−1および試験用パッド312−2は、外部回路に接続される外部メモリアクセス端子として機能する。また、試験用パッド312−1および試験用パッド312−2は、データ端子342およびアドレス端子344のいずれより大きくてよい。
このように、それぞれの半導体チップ310は、内蔵メモリ340のデータ端子342およびアドレス端子344を、それぞれ半導体チップ310に設けられた試験用パッド312−1および試験用パッド312−2に電気的に接続する配線(例えば、外部データ端子配線352および外部アドレス端子配線354)を有している。また、それぞれの半導体チップ310は、それぞれの内蔵メモリ340のデータ端子342およびアドレス端子344と試験用パッド312との間の電気的な接続を制御するスイッチ350を有している。
また、外部スイッチ配線356は、試験用パッド312−3とスイッチ350とを電気的に接続する。スイッチ350は、外部スイッチ配線356を介して試験用パッド312−3から入力された電気信号に応じて動作する。具体的には、スイッチ350−1は、外部スイッチ配線356を介して試験用パッド312−3から所定の電気信号が入力された場合に閉動作することにより、外部データ端子配線352に接続された試験用パッド312−1とデータ端子342とを電気的に接続する。同様に、スイッチ350−2は、外部スイッチ配線356を介して試験用パッド312−3から所定の電気信号が入力されたことを条件として閉動作することにより、外部アドレス端子配線354に接続された試験用パッド312−2とアドレス端子344とを電気的に接続する。
なお、スイッチ350−1およびスイッチ350−2は、予め定められた値以上の電圧が入力された場合に閉動作してよい。また、スイッチ350−1およびスイッチ350−2は、外部スイッチ配線356が接続された試験用パッド312−3に外部から電気信号が与えられていない場合には、開状態であってよい。
なお、駆動回路180は、当該試験用パッド312−3に接続されるパッド119および接続パッド112を介して、試験用パッド312−3に電気信号を出力する。例えば、駆動回路180は、書込回路182および読出回路184が試験用パッド312−1および試験用パッド312−2を介して内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする場合に、試験用パッド312−3に所定の電気信号を出力することにより、対応する半導体チップ310が有するスイッチ350に、データ端子342およびアドレス端子344と試験用パッド312−1〜2とを電気的に接続させる。例えば、駆動回路180は、書込回路182および読出回路184が試験用パッド312−1および試験用パッド312−2を介して内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする場合に、試験用パッド312−3に、予め定められた値以上の電圧を出力してよい。
書込回路182および読出回路184は、試験用パッド312−1および試験用パッド312−2を介して、内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする。具体的には、書込回路182および読出回路184は、駆動回路180による制御により、データ端子342およびアドレス端子344と試験用パッド312とをスイッチ350が電気的に接続している間に、試験用パッド312−1および試験用パッド312−2を介して、内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする。
上述したように、それぞれの半導体チップ310は、それぞれの内蔵メモリ340に対するデータの読み書きを制御する制御回路330を有している。なお、書込回路182および読出回路184は、制御回路330を介して、内蔵メモリ340に対してデータを読み書きしてよい。例えば、制御回路330は、試験用パッド312と電気的に接続されていてよい。書込回路182および読出回路184は、当該試験用パッド312と電気的に接続される接続パッド112およびパッド119に、制御回路330にデータを内蔵メモリ340に対して読み書きさせる電気信号を出力してよい。
なお、駆動回路180によるスイッチ350に替えて、半導体チップ310がスイッチ350を制御してよい。例えば、半導体チップ310は、半導体チップ310の状態を試験状態にすべき旨の指示が外部から与えられている場合に、半導体チップ310がスイッチ350を閉状態にしてよい。
例えば、半導体チップ310は、半導体チップ310の状態を設定するレジスタを有してよい。ここで、半導体チップ310の状態としては、半導体チップ310が試験システム400により試験される状態である試験状態を含む。半導体チップ310の状態を試験状態に設定する電気信号が当該レジスタに与えられている場合には、半導体チップ310はスイッチ350を閉状態にしてよい。これにより、試験用パッド312−1とデータ端子342とが電気的に接続され、試験用パッド312−2とアドレス端子344とが電気的に接続される。
なお、半導体チップ310の状態を試験状態に設定する電気信号が当該レジスタに与えられていない場合には、半導体チップ310はスイッチ350を開状態にしてよい。これにより、試験用パッド312−1とデータ端子342との間、および、試験用パッド312−2とアドレス端子344との間は、電気的に切断される。
駆動回路180は、半導体チップ310を試験する場合に、当該半導体チップ310の状態を試験状態に設定すべく、試験状態に設定する電気信号を当該半導体チップ310のレジスタに出力してよい。なお、駆動回路180は、半導体チップ310を試験状態に設定する場合に出力すべきレジスタ情報を制御装置10から取得してよい。
なお、内蔵メモリ340は、半導体素子で形成された半導体メモリであってよい。また、内蔵メモリ340は、揮発性メモリであってもよい。一例として、内蔵メモリ340は、揮発性のランダムアクセスメモリであってよい。
また、書込回路182および読出回路184は、内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする制御情報を制御装置10から取得してよい。書込回路182および読出回路184は、制御装置10から取得した制御情報に基づいて、内蔵メモリ340に対してデータを読み書きしてよい。なお、当該制御情報としては、アドレス端子344にメモリアドレスを出力する出力方式、アドレス端子344に出力する書き込みデータの仕様、および、アドレス端子344に出力された読み出しデータの仕様などを例示することができる。また、制御回路330を介して内蔵メモリ340に対してデータを読み書きする場合には、制御回路330の制御仕様などを、制御情報として例示することができる。
図8は、試験用ウエハユニット100の他の構成例を示す図である。本例の試験用ウエハユニット100は、試験用ウエハ111および接続用ウエハ121を有する。本構成例における試験用ウエハ111は、図1〜7に関連して説明した複数の接続パッド112に替えて、当該複数の接続パッド112より少数の複数の中間パッド113を有する点を除いて、図1〜7に関連して説明した試験用ウエハ111と同一となっている。以後の説明では、図1〜7に関連して説明した試験用ウエハ111との相違点を除いて、試験用ウエハ111が有する各構成要素の説明を省略する。
接続用ウエハ121は、試験用ウエハ111および半導体ウエハ301の間に設けられ、試験用ウエハ111と半導体ウエハ301とを電気的に接続する。接続用ウエハ121は、複数の半導体チップ310に対応する複数の回路ブロック120を有する。接続用ウエハ121の複数の回路ブロック120と、半導体ウエハ301の複数の半導体チップ310とは、一対一に対応して設けられる。対応する半導体チップ310および回路ブロック120は、電気的に接続される。そして、接続用ウエハ121は、試験用ウエハ111における回路ブロック110と、半導体ウエハ301における半導体チップ310とを電気的に接続する。
試験用ウエハ111および接続用ウエハ121はともに、半導体ウエハ301と同一の半導体材料で形成され、半導体ウエハ301と対応する形状を有してよい。図1に関連して説明したように、対応する形状とは同一の形状、および、一方が他方の一部分となる形状を含む。なお、試験用ウエハ111および接続用ウエハ121は、略同一の形状であってよい。
本構成例では、複数の回路ブロック110は、それぞれが2以上の半導体チップ310および2以上の回路ブロック120と対応するように設けられる。なお、以後の説明では、複数の回路ブロック110のそれぞれに対応するように設けられた2以上の回路ブロック120を、対応する回路ブロック120と略称する場合がある。
例えばそれぞれの回路ブロック120は、接続用ウエハ121を半導体ウエハ301に重ね合わせた場合に、対応する半導体チップ310と重なる位置に設けられてよい。また、それぞれの回路ブロック110は、試験用ウエハ111を接続用ウエハ121に重ね合わせた場合に、それぞれ対応する回路ブロック120が形成された領域と重なる位置に設けられてよい。
それぞれの回路ブロック110は、試験用ウエハ111が接続用ウエハ121に重ね合わせられることで、それぞれ対応する回路ブロック120と電気的に接続され、当該回路ブロック120に電気信号を供給する。そして、それぞれの回路ブロック120は、試験用ウエハ111および接続用ウエハ121が半導体ウエハ301に重ね合わせられることで、それぞれ対応する半導体チップ310と電気的に接続され、対応する回路ブロック110から供給された試験信号を対応する半導体チップ310に供給する。
なお、接続用ウエハ121は、異方性導電シートを介して試験用ウエハ111と電気的に接続してよい。また、接続用ウエハ121は、異方性導電シートおよびバンプ付きメンブレンシートを介して、半導体ウエハ301と電気的に接続してよい。また、制御装置10は、図1から図7に関連して説明した制御装置10と同様に、回路ブロック110におけるそれぞれの試験回路ユニット118を制御してよい。
図9は、試験用ウエハ111における回路ブロック110の構成例を示す図である。回路ブロック110は、図3に関連して説明した回路ブロック110の構成に対して、より少数のパッド119を有する点で相違する。例えば、回路ブロック110は、対応するそれぞれの半導体チップ310のうちの一部の半導体チップ310が有する試験用パッド312の数のパッド119を有する。一例として、回路ブロック110は、一の半導体チップ310が有する試験用パッド312の数のパッド119を有する。
それぞれのパッド119は、接続用ウエハ121と電気的に接続される。なお、パッド119および試験回路ユニット118は、試験用ウエハ111において、接続用ウエハ121と対向する対向面に形成されてよく、対向面の裏面に形成されてもよい。パッド119が、対向面の裏面に形成される場合、それぞれのパッド119は、図2に関連して説明したようなスルーホール116を介して、接続用ウエハ121に電気的に接続してよい。例えば、それぞれのパッド119は、接続用ウエハ121に電気的に接続される中間パッド113と、図2に関連して説明したようなスルーホール116を介して電気的に接続されてよい。
また、回路ブロック110における他の構成は、図3に関連して説明した回路ブロック110と同一であってよい。また、試験回路ユニット118は、図4に関連して説明した試験回路ユニット118の機能構成と同一の機能構成を有してよい。
図10は、ドライバユニット172および測定ユニット174の機能構成例を示す図である。本構成例は、図6に関連して説明したドライバユニット172および測定ユニット174の構成例に対して、出力切替部152および測定切替部154を有しない点で相違する。
本構成例におけるドライバ132は、パッド119に電気的に接続されており、パッド119に試験信号を出力する。また、コンパレータ134は、パッド119に電気的に接続されており、半導体チップ310からの応答信号をパッド119を介して取得する。なお、論理比較部138の機能および動作、ドライバ132の上述した点以外の機能および動作、ならびに、コンパレータ134の上述した点以外の機能および動作は、それぞれ図6に関連して説明したそれぞれの機能および動作と略同一であるので、説明を省略する。
図11は、接続用ウエハ121における回路ブロック120の構成例を示す図である。回路ブロック120は、入出力切替部122、中間パッド124、および複数の接続パッド112を有する。
入出力切替部122および中間パッド124は、接続用ウエハ121において、試験用ウエハ111と対向する面に設けられてよい。また、接続用ウエハ121において、入出力切替部122および中間パッド124が設けられた面の裏面、すなわち半導体ウエハ301と対向する面には、半導体チップ310と電気的に接続される複数の接続パッド112が設けられてよい。複数の中間パッド124は、対応する回路ブロック110のパッド119と、中間パッド113を介して電気的に接続される。
入出力切替部122は、それぞれの中間パッド124に、いずれの接続パッド112を電気的に接続するかを選択する。例えば、入出力切替部122は、複数の中間パッド124と複数の接続パッド112の接続関係を切り替えるスイッチを有してよい。また、回路ブロック110は、中間パッド124毎に、入出力切替部122を有してもよい。
図12は、試験用ウエハ111、接続用ウエハ121、および、半導体ウエハ301の接続関係を示す図である。なお図12は、試験用ウエハ111、接続用ウエハ121、および、半導体ウエハ301の一部の断面を示す。
試験用ウエハ111の表面には、複数の試験回路ユニット118が形成される。それぞれの試験回路ユニット118は、パッド119およびスルーホール116および中間パッド113を介して、試験用ウエハ111の裏面側に配置された接続用ウエハ121の中間パッド124と電気的に接続される。
接続用ウエハ121において、試験用ウエハ111と対向する表面には、入出力切替部122が形成される。入出力切替部122は、接続用ウエハ121の表面に設けられた中間パッド124を介して、試験用ウエハ111のパッド119と電気的に接続される。
また、入出力切替部122は、接続用ウエハ121において、半導体ウエハ301と対向する裏面に設けられた接続パッド112と電気的に接続される。入出力切替部122は、接続用ウエハ121を貫通して形成されるスルーホール126を介して、接続パッド112と電気的に接続されてよい。入出力切替部122は、中間パッド124に接続させる接続パッド112を選択する。
ここで、複数の接続パッド112は、複数の半導体チップ310のそれぞれの試験用パッド312と一対一に対応して設けられ、それぞれ対応する試験用パッドと電気的に接続される。例えば、接続パッド112は、半導体ウエハ301における試験用パッド312と同一のパッド間隔で設けられる。中間パッド124は、試験用ウエハ111におけるパッド119と同一のパッド間隔で設けられるので、中間パッド124は、接続パッド112とは異なるパッド間隔で設けられてよい。
このように、入出力切替部122は、パッド119と電気的に接続される試験用パッド312を選択することができる。例えば、入出力切替部122は、ドライバ132が出力する信号を、いずれの半導体チップ310の試験用パッド312と電気的に接続される接続パッド112に供給するかを、順次切り替えることができる。また、入出力切替部122は、いずれの半導体チップ310が出力する信号を、コンパレータ134に接続されているパッド119に供給するかを、順次切り替えることができる。このように、接続用ウエハ121は、それぞれの試験回路160が生成する試験信号を、それぞれの試験回路160が試験すべき2以上の半導体チップ310に供給することができる。
また、接続用ウエハ121は、試験用ウエハ111よりも厚いウエハであってよい。つまり、試験用ウエハ111は、比較的に薄いウエハであってよい。試験用ウエハ111として薄いウエハを用いることで、試験用ウエハ111におけるスルーホール116を形成するのに要する時間を短くすることができ、スルーホール116を形成するときに、試験回路ユニット118に与えるダメージを低減することができる。また、試験用ウエハ111を、比較的に厚い接続用ウエハ121に固定することで、試験用ウエハユニット100の強度を向上させることができる。
以上、発明を実施の形態を用いて説明したが、発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
Claims (10)
- 半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験用ウエハユニットであって、
前記半導体ウエハと対応する形状を有する試験用ウエハと、
前記試験用ウエハに形成され、それぞれが2以上の前記半導体チップと対応するように設けられ、それぞれ対応する2以上の前記半導体チップを試験する複数の試験回路と
を備える試験用ウエハユニット。 - 前記試験用ウエハに形成され、複数の前記半導体チップのそれぞれの試験用端子と一対一に対応して設けられ、それぞれ対応する前記試験用端子と接続される複数の接続端子を更に備える
請求項1に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの前記試験回路は、試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通の試験信号を生成し、前記接続端子を介して2以上の前記半導体チップに前記試験信号を略同時に供給する
請求項2に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの前記試験回路は、
試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通に設けられ、前記試験信号を生成する信号生成部と、
試験すべき2以上の前記半導体チップ毎に設けられ、前記信号生成部が生成した前記試験信号を並列に受け取り、前記試験信号に応じた信号を、前記接続端子を介して前記半導体チップの試験用端子に供給する複数のドライバと
を有する請求項3に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの前記試験回路は、試験すべき2以上の前記半導体チップ毎に設けられ、それぞれの前記半導体チップが出力する信号を測定する複数の測定部を更に有する
請求項4に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの試験回路は、試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通の試験信号を生成し、前記接続端子を介して2以上の前記半導体チップに前記試験信号を順番に供給する
請求項2に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの前記試験回路は、
試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通に設けられ、前記試験信号を生成する信号生成部と、
試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通に設けられ、前記信号生成部が生成した前記試験信号を受け取り、前記試験信号に応じた信号を出力するドライバと、
前記ドライバが出力する信号を、いずれの前記半導体チップの前記試験用端子と接続される前記接続端子に供給するかを順次切り替える出力切替部と
を有する請求項6に記載の試験用ウエハユニット。 - それぞれの前記試験回路は、
試験すべき2以上の前記半導体チップに対して共通に設けられ、2以上の前記半導体チップが出力する信号を順次測定する測定部と、
いずれの前記半導体チップが出力する信号を前記測定部に供給するかを順次切り替える測定切替部と
を更に有する請求項7に記載の試験用ウエハユニット。 - 複数の前記試験回路が形成された試験用ウエハと、
前記半導体ウエハと対応する形状を有し、それぞれの前記試験回路が生成する試験信号を、それぞれの前記試験回路が試験すべき2以上の前記半導体チップに供給する接続用ウエハと、
前記接続用ウエハに形成され、複数の前記半導体チップのそれぞれの試験用端子と一対一に対応して設けられ、それぞれ対応する前記試験用端子と接続される複数の接続端子と
を備える請求項1に記載の試験用ウエハユニット。 - 半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験システムであって、
前記半導体ウエハと接続される試験用ウエハユニットと、
前記試験用ウエハユニットを制御する制御装置と
を備え、
前記試験用ウエハユニットは、
前記半導体ウエハと対応する形状を有する試験用ウエハと、
前記試験用ウエハに形成され、それぞれが2以上の前記半導体チップと対応するように設けられ、それぞれ対応する2以上の前記半導体チップを試験する複数の試験回路と
を有する試験システム。
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