DE10252326A1 - Elektronisches Element mit einem zu testenden elektronischen Schaltkreis und Testsystem-Anordnung zum Testen des elektronischen Elements - Google Patents

Elektronisches Element mit einem zu testenden elektronischen Schaltkreis und Testsystem-Anordnung zum Testen des elektronischen Elements Download PDF

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Abstract

Ein elektronisches Element weist einen zu testenden elektronischen Schaltkreis und eine Vergleicherschaltung auf. Die Vergleicherschaltung weist erste Eingangsanschlüsse, wobei jeder der Ausgangsanschlüsse des zu testenden elektronischen Schaltkreises mit einem ersten Eingangsanschluss gekoppelt ist, auf, sowie zweite Eingangsanschlüsse zum Zuführen von Soll-Wert-Signalen und mindestens einen Ausgangsanschluss auf. Die Vergleicherschaltung ist derart eingerichtet, dass sie die Ist-Wert-Signale mit den Soll-Wert-Signalen vergleicht. Die Ergebnisse des Vergleiches sind an dem mindestens einen Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung bereitstellbar.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein elektronisches Element mit einem zu testenden elektronischen Schaltkreis und einer Testsystem-Anordnung zum Testen des elektronischen Elements.
  • Bei der Herstellung von hochintegrierten Halbleiterchips werden insbesondere durch die immer weiter steigende Miniaturisierung der Strukturen auf dem Halbleiterchip immer höhere Anforderungen an die für die Herstellung der Halbleiterchips verwendeten Fertigungsanlagen und Herstellungsprozesse auftreten. Die Stabilität und Reproduzierbarkeit sowohl der Fertigungsanlagen als auch der Herstellungsprozesse beeinflussen maßgeblich die Ausbeute und Produktivität im Rahmen der Halbleiterchip-Fertigung. Schon kleine Abweichungen von einem Soll-Verhalten einer Chip-Fertigungsanlage im Rahmen der Produktion können zu einer erheblichen Verschlechterung der Ausbeute, das heißt zu einer erheblichen Erhöhung der Fehlerrate bei den hergestellten Halbleiterchips führen.
  • Um die Qualität der Halbleiterchips sicherzustellen und eventuelle Fehler eines Halbleiterchips festzustellen, müssen alle prozessierten Halbleiterchips Tests unterzogen werden. Bislang verwendet man unter anderem funktionale Tests, die den Halbleiterchip wie in der Applikation betreiben und damit auf Fertigungsfehler abprüfen. Da Halbleiterchips aus sehr vielen elektronischen Einzelkomponenten bestehen, sind die einzelnen elektronischen Komponenten schwer prüfbar, in dem jede einzelne elektronische Komponenten getrennt mit einen Testsignal von außen angesteuert wird, da dies viel zu viele Anschlüsse auf dem Chip erfordern würde.
  • Um dieses Problem zu lösen, wurde ein so genannter Scantest eingeführt. Beim Scantest, werden alle Komponenten, d.h. digitale Gatter, aller produzierten Chips geprüft. Hierzu wird eine Vielzahl der speichernden Komponenten eines Chips (Flip Flops) zu einer so genannten Scankette gekoppelt, d.h. die einzelnen Elemente (Flip Flops) einer Scankette sind miteinander in Reihe geschaltet, wobei für die gesamte Scankette ein Eingangsanschluss bzw. ein Ausgangsanschluss zur Verfügung steht, mit welchem die Scankette von außen angesteuert werden kann bzw. ausgelesen werden kann. Während einer ersten Phase des Scantests, einer so genannten „Shiftphase", wird mittels eines Testsystems eine Testsignalfolge an den Eingangsanschluss der Scankette angelegt, wobei eine Testsignalfolge getaktet durch die Scankette geschoben wird. Insgesamt ist die Anzahl der Takte der Shiftphase genau so groß wie die Anzahl der speichernden Komponenten (Flip Flops) in der Scankette. Nach dem Ende der Shiftphase steht so an jeder speichernden Komponente der Scankette ein Testsignal zur Verfügung.
  • In einer zweiten Phase des Scantests wird der zu testende Chip mindestens einen Takt im so genannten „Normalmode" betrieben, d.h. der Chip wird gemäß seiner Funktion betrieben. Hierbei wird mittels des an den jeweiligen speichernden Komponenten der Scankette bereitgestellten Testsignals ein jeweiliges Teil-Ist-Wert-Signal an einem jeweiligen Funktionseingang einer speichernden Komponente der Scankette erzeugt, wobei die Teil-Ist-Wert-Signale aller speichernden Komponenten der Scankette ein Ist-Wert-Signal bilden.
  • Während einer dritten Phase des Scantests werden diese Ausgangssignale der Elemente, d.h. der speichernden Komponenten der Scankette, getaktet durch die Scankette geschoben und am Ausgangsanschluss der Scankette ausgelesen. Die dritte Phase des Scantests weist wiederum genau die Anzahl von Takten auf, wie die Anzahl der speichernden Komponenten in der Scankette ist.
  • Nach Ende eines solchen Zyklus aus den oben beschriebenen drei Phasen kann das an dem Ausgangsanschluss der Scankette ausgelesene Ist-Wert-Signal an das Testsystem zurückgeleitet werden. Das Testsystem hatte vorher die Signale der Testsignalfolge gespeichert, d.h. die Eingangsdaten (Stimuli), welche an die speichernden Komponenten der Scankette angelegt wurden, und das dazugehörigen ermittelte Soll-Wert-Signal, d.h. die Ausgangsdaten (Expected Responses), welche die Reaktion der zu testenden elektronischen Komponenten (digitale Gatter) auf die Signale der Testsignalfolge darstellen. Ferner wird von dem Testsystem das Ist-Wert-Signal mit einem Soll-Wert-Signal verglichen, um auf diese Weise eventuell fehlerhafte elektronische Komponenten des Halbleiterchips festzustellen.
  • Mittels des vorher beschriebenen Standard-Scantests kann somit mit nur einem Eingangsanschluss und einem Ausgangsanschluss je Scankette eine große Anzahl von elektronischen Komponenten (digitale Gatter) eines Halbleiterchips getestet werden.
  • Ferner sind gemäß dem Stand der Technik Verfahren bekannt, die beim Funktional bzw. Scan basierenden Test von einer auf dem elektrischen Schaltkreis befindlichen Eingangsdaten Generierung, Umverteilung bzw. Dekompression ausgehen.
  • In 5 ist schematisch ein Testsystem 500 mit einem zu testenden Halbleiterchip 501 im Standard-Scantest dargestellt. Das Testsystem 500 weist einen Vektorspeicher 502, Ausgangsanschlüsse 503 und Eingangsanschlüsse 504 auf. Auf dem Halbleiterchip 501 sind schematisch vier Scanketten 505 dargestellt, von denen jede einen Eingangsanschluss 506 und einen Ausgangsanschluss 507 aufweist. Jeder Ausgangsanschluss 503 des Testsystems 500 ist beim Standard-Scantest mit einem Eingangsanschluss 506 der Scanketten 505 des Halbleiterchips 501 gekoppelt und jeder Ausgangsanschluss 507 der Scanketten 505 des Halbleiterchips 501 ist beim Standard-Scantest mit einem Eingangsanschluss 504 des Testsystems 500 gekoppelt.
  • Wenn mittels der Ausgangsanschlüsse 503 des Testsystems 500 den Eingangsanschlüssen 506 der Scanketten 505 des Halbleiterchips 501 während der ersten Shiftphase des Scantests Testsignale zugeführt werden, erzeugt der Halbleiterchip 501 während der nachfolgenden Normalphase Teil-Ist-Wert-Signale, welche gemeinsam das Ist-Wert-Signal bilden. Die Teil-Ist-Wert-Signale werden dann in der zweiten Shiftphase mittels der Ausgangsanschlüsse 507 der Scanketten 505 des Halbleiterchips 501 in den Eingangsanschlüssen 504 des Testsystems 500 mit den vorher abgespeicherten ermittelte Soll-Wert-Signal (Expected Responses) aus dem Vektorspeicher 502 in dem Testsystem 500 verglichen. Im Vektorspeicher 502 wurden sowohl die Signale der Testsignalfolge als auch das Soll-Wert-Signal des Halbleiterchips 501 gespeichert. Weiter werden in dem Testsystem 500 Informationen über den Unterschied Soll-Wert-Signal zu Ist-Wert-Signal zur Analyse abgelegt. Die Analyse wird mittels des Testsystems 500 durchgeführt.
  • Als ein Problem des Scantestes gemäß dem Stand der Technik ergibt sich, dass das Testsystem im Fehlerfall, d.h. wenn der Vergleich mit den Expected Responses aus dem Vectorspeicher 502 ergibt, dass ein Ist-Wert-Signal nicht mit dem entsprechenden Soll-Wert-Signal übereinstimmt, nur langsam reagieren kann. Dies wird durch Signallaufzeiten zwischen dem Halbleiterchip 501 und dem Testsystem 500, dem so genannten Roundtrip Delay verursacht.
  • Ferner muss eine Testsystem-Pipeline des Vektorspeichers erst vollständig abgearbeitet werden, bevor das Testsystem 500 feststellen kann, ob ein Fehler aufgetreten ist und darauf reagieren kann.
  • Eine möglichst schnelle Reaktion ist aber nötig, damit noch alle Daten, welche für eine Fehleranalyse erforderlich sind, zur Verfügung stehen, sobald ermittelt wird, dass ein Fehler aufgetreten ist. Anders ausgedrückt muss vermieden werden, dass die speichernden Komponenten des Halbleiterchips 501 in einen anderen Zustand übergehen verglichen mit dem Zustand, der einen Fehler in der jeweiligen elektronischen Komponente repräsentiert. Dies kann mittels des oben beschriebenen Testsystems 500 gemäß dem Stand der Technik nicht gewährleistet werden, da in dem Zeitintervall zwischen dem Erzeugen des einen Fehler repräsentierenden Teil-Ist-Signals bis zu dem Feststellen eines Fehlers und Reagieren durch das Testsystem 500 die speichernden Komponenten ihre Zustände schon verändert haben.
  • Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein elektronisches Element mit einem zu testenden elektronischen Schaltkreis und ein Testsystem zum Testen des elektronischen Elements zu schaffen, mittels welchem ein Test zeit- und kostensparender durchzuführen ist.
  • Das Problem wird mittels eines elektronischen Elements und eines Testsystems mit Merkmalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst.
  • Ein elektronisches Element weist einen zu testenden elektronischen Schaltkreis, welcher Eingangsanschlüsse zum Zuführen einer Testsignalfolge, welche zum Testen des elektronischen Schaltkreises verwendet wird, und Ausgangsanschlüsse auf, wobei an den Ausgangsanschlüssen in Reaktion auf die Testsignalfolge Ist-Wert-Signale des zu testenden elektronischen Schaltkreises bereitgestellt werden. Ferner weist das elektronische Element mindestens eine Vergleicherschaltung auf. Die mindestens eine Vergleicherschaltung weist erste Eingangsanschlüsse auf, wobei jeder der Ausgangsanschlüsse des zu testenden elektronischen Schaltkreises mit einem der ersten Eingangsanschlüsse gekoppelt ist. Ferner weist die Vergleicherschaltung zweite Eingangsanschlüsse zum Zuführen von Soll-Wert-Signalen und mindestens einen Ausgangsanschluss auf. Die Vergleicherschaltung ist derart eingerichtet, dass sie die Ist- Wert-Signale mit den Soll-Wert-Signalen vergleicht. Die Ergebnisse des Vergleiches sind an dem mindestens einen Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung bereitstellbar.
  • Eine Testsystem-Anordnung gemäß der Erfindung weist einen Vektorspeicher und ein elektronisches Element mit den oben beschriebenen Merkmalen auf. Ferner weist das Testsystem erste Ausgangsanschlüsse, welche mit den Eingangsanschlüssen des zu testenden elektronischen Schaltkreises gekoppelt sind und zweite Ausgangsanschlüsse auf, welche mit den zweiten Eingangsanschlüssen der Vergleicherschaltung gekoppelt sind. Zusätzlich weist das Testsystem mindestens einen Eingangsanschluss auf, wobei für jeden der Ausgangsanschlüsse der Vergleicherschaltung ein Eingangsanschluss des Testsystems vorgesehen ist, welcher mit dem entsprechenden Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung gekoppelt ist.
  • Mittels des erfindungsgemäßen elektronischen Elements lässt sich ein Test eines elektronischen Schaltkreises besonders schnell und kostengünstig durchführen. Da der Vergleich zwischen Ist-Wert-Signalen und Soll-Wert-Signalen direkt auf dem elektronischen Element durchgeführt wird, entfallen ferner Signallaufzeiten zwischen dem elektronischen Schaltkreis und dem Testsystem, die sogenannten „Round Trip Delays" und darüber hinaus die Zeiten zum Abarbeiten der Testsystem-Pipeline. Hierdurch wird die für einen Test benötigte Zeitdauer verkürzt und damit ist es ermöglicht, den elektronischen Schaltkreis in dem Fehlerzustand „einzufrieren". Ferner ist erfindungsgemäß vorzugsweise nur noch ein Ausgangsanschluss für das elektronische Element nötig, da der Vergleich in der Vergleicherschaltung auf dem elektronischen Element stattfindet. Dadurch stehen praktisch alle Anschlüsse des elektronischen Schaltkreises als Eingangsanschlüsse zur Verfügung, was die Möglichkeiten einer Parallelisierung der Tests des elektronischen Schaltkreises erhöht.
  • Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. Die weiteren Ausgestaltungen der Erfindung betreffen sowohl das elektronische Element als auch die Testsystem-Anordnung zum Testen des elektronischen Elements.
  • Vorzugsweise ist der elektronische Schaltkreis ein Halbleiterchip.
  • Ferner ist der elektronische Schaltkreis vorzugsweise derart eingerichtet, dass als Testsignalfolge eine beliebige Variation einer Scantest-Signalfolge verwendet werden kann.
  • Vorzugsweise ist der elektronische Schaltkreis derart eingerichtet ist, dass ein Funktionaltest durchgeführt werden kann, d.h. ein beliebiger funktionaler Test für die funktionelle Überprüfung der Schaltung.
  • Der elektronische Schaltkreis kann derart eingerichtet sein, dass ein Analogtest mit digitalem Ausgang durchgeführt werden kann, d.h. ein Test einer Analogstufe, welcher digitale Ist-Wert-Signale liefert.
  • Das Verwenden eines Scantests ist für einen Test für eventuell vorhandene Fehler eines Halbleiterchips besonders vorteilhaft, da bei einem Halbleiterchip viele einzelne elektronische Komponenten getestet werden müssen, welche nicht alle einzeln von außen mit Testsignalen angesteuert werden können.
  • Die Vergleicherschaltung kann derart eingerichtet sein, dass sie Signale einer zweiwertigen (binären) Logik verarbeiten kann.
  • In einer bevorzugten Weiterbildung weist die getaktete Testsignalfolge ein derartig vorgegebenes Signalmuster auf, dass jedes Teil-Ist-Wert-Signal einen definierten Zustand einer speichernden Komponente und somit jedes Ist-Wert-Signal einen definierten Zustand einer getesteten elektronischen Schaltung charakterisiert.
  • Das Verwenden eines derartigen Signalmusters weist den Vorteil auf, dass eine zweiwertige Logik verwendet werden kann, ohne dass beim Vergleich ein Ist-Wert-Signal eines undefinierten Zustands einer oder mehrerer speichernden Komponenten des elektronischen Schaltkreises erzeugt wird. Insbesondere beim Verwenden einer Kompression von Signalen würde es sonst dazu kommen, dass beim Auftreten eines undefinierten Zustandes bei einer einzelnen speichernden Komponente alle Information an den anderen speichernden Komponenten, die zur Abprüfung von Fehlern und damit zur Erhöhung der Testabdeckung beitragen, ignoriert werden müssen.
  • Besonders bevorzugt weist das elektronische Element ferner ein Steuerelement auf, welches derart eingerichtet ist, dass es abhängig vom Ergebnis des Vergleichs ein Zustand des zu testenden elektronischen Schaltkreises unverändert halten kann.
  • Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung wird das unverändert Halten des Zustandes einer oder mehrerer speichernden Komponenten oder der gesamten getesteten elektronischen Schaltung mittels eines ebenfalls vorzugsweise auf dem Halbleiterchip integrierten und mit dem Steuerelement gekoppelten Taktgebers realisiert, wobei vorzugsweise der Taktgeber mittels eines von dem Steuerelement erzeugten und dem Taktgeber zugeführten Stoppsignals, mittels welchem der Taktgeber gestoppt wird und somit keine Taktsignale mehr erzeugt, zumindest nicht für die speichernden Komponenten, die gerade mittels des Testsystems getestet werden. Anders ausgedrückt bedeutet dies, dass der Taktgeber, welcher den Takt zur Verfügung stellt, mittels des Steuerelements angehalten und dadurch der Zustand der einzelnen jeweiligen speichernden Komponenten (möglicherweise alle getesteten speichernden Komponenten des getesteten elektronischen Schaltkreises) „eingefroren" wird.
  • Mittels der Erfindung lässt sich ein Scantest an elektronischen Schaltkreisen einfacher, schneller und kostengünstiger durchführen. Der elektronische Schaltkreis weist eine Vergleicherschaltung auf, so dass ein Vergleich zwischen Teil-Ist-Wert-Signalen von speichernden Komponenten und Teil-Soll-Wert-Signalen direkt mittels dieser Vergleicherschaltung auf dem Halbleiterchip durchgeführt werden kann. Hierdurch reduziert sich die Menge der von dem Halbleiterchip zu dem Testsystem zu übertragenden Daten. Weiterhin stehen die Ergebnisse des Vergleichs auch direkt auf dem Halbleiterchip zur Verfügung, d.h. die Ist-Wert-Signale müssen nicht erst durch eine Pipeline eines Vektorspeichers des Testsystems geschoben werden. Dies hat den Vorteil, dass bei der Shiftphase, welche dem Auslesen dient, des Scantests diese Shiftphase angehalten werden und der Zustand des Systems, d.h. der speichernden Komponenten des elektronischen Schaltkreises eingefroren werden kann, wenn beim Vergleich ein Fehler einer oder mehrerer speichernden Komponenten erkannt wird. Mittels einer Rückkopplung des Ausgangs der Vergleicherschaltung zu einem vorzugsweise auf dem Halbleiterchip ebenfalls integrierten Steuerelement ist es möglich, neben dem Einfrieren des Zustandes einer oder mehrerer speichernden Komponenten ferner eine zusätzliche Auslese von Ist-Wert-Signalen vorzunehmen, welche noch nicht mittels der Vergleicherschaltung verglichen und/oder komprimiert wurden. Hierdurch stehen noch alle Daten zur Verfügung, welche für eine Diagnose des Fehlers benötigt werden. Die Fehlerdiagnose wird also vereinfacht bzw. überhaupt erst sinnvoll möglich. In einem Scantest gemäß dem Stand der Technik kann der Vergleich erst so spät durchgeführt werden, dass ein Einfrieren des Systems in dem Zustand, der den erkannten Fehler verursacht hat, nicht mehr möglich ist. Die zur Fehlerdiagnose benötigten Werte gehen verloren. Eine Fehlerdiagnose ist somit bei einem Scantest gemäß dem Stand der Technik erschwert.
  • Der Test kann ein beliebiger funktionaler Test für eine funktionale Überprüfung der Schaltung, ein Test einer Analogschaltung der digitale Ist-Wert-Signale liefert (Mixed Signal Test), oder eine beliebige Variation des Scantests sein.
  • Anschaulich stellt das erfindungsgemäße Verfahren also ein Verfahren zum verstärkten Parallelisieren eines Tests dar. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lassen sich Eingangsdaten besser und/oder mehrfach nutzen, wodurch die Parallelisierung des Tests verbessert werden kann. Verfahren zum Parallelisieren von Tests sind auch gemäß dem Stand der Technik bekannt, diese unterscheiden sich jedoch von dem erfindungsgemäßen Verfahren. D.h. eine eins zu eins Zuordnung von Testsystemanschlüssen zu Ein/Ausgängen von Blöcken der zu testenden elektronischen Schaltung ist wie beim Standard-Scantest nicht unbedingt gegeben.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Weiteren näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsystems mit einem elektronischen Element gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 2 eine schematische Darstellung einer nicht X-toleranten Vergleicherschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, welche auf dem elektrischen Element angeordnet sein kann;
  • 3 eine schematische Darstellung einer anderen, nicht X-toleranten Vergleicherschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, welche auf dem elektrischen Element angeordnet sein kann;
  • 4 eine schematische Darstellung eines X-toleranten Kompressors gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, welcher auf dem elektronischen Element angeordnet werden kann; und
  • 5 eine schematische Darstellung eines Testsystems und eines elektronischen Elements gemäß dem Stand der Technik.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsystems 100 und eines mit diesem gekoppelten zu testenden elektronischen Elements 101.
  • Das Testsystem 100 weist einen Vektorspeicher 102 auf, welcher zum Speichern von Testsignalen (Stimuli) und Soll-Wert-Signalen (Expected Responses) verwendet wird. Ferner weist das Testsystem 100 für jedes zu testendes elektronisches Element eine Mehrzahl von ersten Ausgangsanschlüssen 103, 104, 105 und 106 auf. In der 1 sind der Übersichtlichkeit wegen nur vier erste Ausgangsanschlüsse 103, 104, 105 und 106 dargestellt. Zusätzlich weist das Testsystem 100 eine Mehrzahl von zweiten Ausgangsanschlüssen 107, 108, 109 und 110 auf. Die Anzahl der ersten Ausgangsanschlüsse und die Anzahl der zweiten Ausgangsanschlüsse des Testsystems ist beim Standard-Scantest gleich, muss jedoch bei anderen Scantest-Varianten nicht gleich sein. Z.B. bei Test-Variaten, bei denen ausgehend von auf dem elektrischen Schaltkreis befindlichen Eingangsdaten eine Generierung, Umverteilung bzw. Dekompression vorgenommen wird. Ferner weist das Testsystem mindestens einen Eingangsanschluss 125 auf. Allgemein kann eine beliebige Anzahl erster Ausgangsanschlüsse und zweiter Ausgangsanschlüsse vorgesehen sein.
  • Das zu testenden elektronische Element 101 hier im Beispiel beim Standard-Scantest, gemäß dem Ausführungsbeispiel ein Halbleiterchip, weist eine Vielzahl von elektronischen Komponenten auf, von denen ein Teil speichernden Komponenten (Flip-Flops) sind, ein anderer Teil Logikgatter bzw. digitale Logik, wie beispielsweise UND-Gatter, ODER-Gatter, EXKLUSIV-ODER-Gatter, NICHT-Gatter, etc. Eine Mehrzahl von speichernden Komponenten sind zum Durchführen eines Scantest zu Scanketten 111, 112, 113 und 114 gekoppelt. Zur besseren Übersichtlichkeit sind nur vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 dargestellt. Die vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 weisen beim Standard-Scantest jeweils einen Eingangsanschluss 126, 127, 128, 129 auf, wobei jeder der Eingangsanschlüsse 126, 127, 128, 129 jeweils mit einem der ersten Ausgangsanschlüsse 103, 104, 105 bzw. 106 des Testsystems 100 gekoppelt ist.
  • Ferner weist der Halbleiterchip 101 eine Vergleicherschaltung 115 auf. Die Vergleicherschaltung 115 weist erste Eingangsanschlüsse 116, 117, 118 und 119 und zweite Eingangsanschlüsse 120, 121, 122 und 123 auf. Jeweils ein erster Eingangsanschluss ist mit jeweils einem Ausgangsanschluss der Scanketten 111, 112, 113 und 114 gekoppelt, während jeweils ein zweiter Eingangsanschluss 120, 121, 122 und 123 der Vergleicherschaltung 115 mit jeweils einem zweiten Ausgangsanschluss 107, 108, 109 und 110 des Testsystems 100 gekoppelt ist.
  • Zusätzlich weist die Vergleicherschaltung 115 einen Ausgangsanschluss 124 auf, welcher mit dem Eingangsanschluss 125 des Testsystems 100 gekoppelt ist.
  • Mittels der ersten Ausgangsanschlüsse 103, 104, 105 und 106 kann während eines Scantests den Eingangsanschlüssen 126, 127, 128, 129 der Scanketten 111, 112, 113 und 114 ein Signal zur Verfügung gestellt werden. Die Scanketten 111, 112, 113 und 114 werden also von außen angesteuert. Während einer ersten Phase des Scantests, der „Shiftphase", wird mittels des Testsystems 100 eine im Vektorspeicher 102 des Testsystems 100 gespeicherte Scantest-Signalfolge zur Verfügung gestellt, d.h. den Eingangsanschlüssen 126, 127, 128, 129 der Scanketten 111, 112, 113 und 114 zugeführt. Dies geschieht getaktet, d.h. jeweils ein Scantest-Signal liegt an jeweils einem ersten Ausgangsanschluss 103, 104, 105 bzw. 106 und damit an den mit den ersten Ausgangsanschlüssen 103, 104, 105 bzw. 106 gekoppelten Einganganschlüssen 126, 127, 128, 129 des Halbleiterchips 101 an. Mit dem nächsten Takt wird dieses Signal eine Komponente der Scankette 111, 112, 113 und 114 weitergeschoben und liegt somit an den zweiten speichernden Komponenten der Scanketten 111, 112, 113 und 114 an, während an den ersten Komponenten der Scankette 111, 112, 113 und 114 ein neues Scantest-Signal angelegt ist. Insgesamt ist die Anzahl der Takte der Shiftphase genau so groß wie die Anzahl der in der Scankette 111, 112, 113 und 114 enthaltenen speichernden Komponenten. Wenn die Scanketten 111, 112, 113 und 114 z.B. 500 Elemente aufweisen, dann weist die Shiftphase 500 Takte auf. Nach dem Ende der Shiftphase liegt somit an jeder speichernden Komponente der Scankette 111, 112, 113 und 114 ein Scantest-Signal an.
  • In einer zweiten Phase des Scantest wird der zu testende Chip genau einen Takt im so genannten „Normalmodus" betrieben, d.h. der Chip 101 wird gemäß seiner normalen Funktion betrieben. Hierbei wird mittels des an den jeweiligen speichernden Komponenten der Scankette 111, 112, 113 und 114 bereitgestellten Scantest-Signals ein jeweiliges Teil-Ist-Wert-Signal an einem jeweiligen Funktionseingang einer speichernden Komponente der Scankette 111, 112, 113 und 114 erzeugt. Alle Teil-Ist-Wert-Signale einer Scankette 111, 112, 113 und 114 zusammen bilden ein Ist-Wert-Signal einer Scankette 111, 112, 113 und 114.
  • Während einer dritten Phase des Scantests werden die Teil-Ist-Wert-Signale der elektronischen Komponenten getaktet durch die jeweilige Scankette 111, 112, 113 und 114 geschoben und stehen an dem Ausgangsanschluss der jeweiligen Scankette 111, 112, 113 und 114 bzw. an den mit diesen gekoppelten ersten Eingangsanschlüssen 116, 117, 118, 119 der Vergleicherschaltung 115 bereit. D.h. am jeweiligen Ausgangsanschluss der Scankette 111, 112, 113 und 114 werden die Teil-Ist-Wert-Signale und damit das jeweilige Ist-Wert-Signal ausgelesen, welche während der zweiten Phase des Scantests erzeugt wurden.
  • Die Ist-Wert-Signale der einzelnen Scanketten 111, 112, 113 und 114 stehen, da die Ausgangsanschlüsse der Scanketten 111, 112, 113 und 114 mit den ersten Eingangsanschlüssen 116, 117, 118, 119 der Vergleicherschaltung 115 gekoppelt sind, in der Vergleicherschaltung 115 zur Verfügung. Gleichzeitig werden, getaktet mit dem gleichen Takt, den zweiten Eingangsanschlüssen 120, 121, 122, 123 der Vergleicherschaltung 115 von dem Testsystem Soll-Wert-Signale zugeführt, welche an den zweiten Ausgängen 107, 108, 109, 110 des Testsystems 100 aus dem Vektorspeicher 102 ausgelesen und der Vergleicherschaltung 115 zur Verfügung gestellt werden.
  • Der Vergleicherschaltung 115 stehen somit gleichzeitig die Ist-Wert-Signale der Scanketten 111, 112, 113 und 114 und Soll-Wert-Signale, welche im Vektorspeicher 102 gespeichert sind, zur Verfügung. Die Vergleicherschaltung 115 vergleicht die Ist-Wert-Signale mit den Soll-Wert-Signalen und stellt an ihrem Ausgangsanschluss 124 das Ergebnis des jeweiligen Vergleichs bereit.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren weist den Vorteil auf, dass die Vergleicherschaltung wesentlich weniger Ausgangsdaten erzeugt als bei einem Scantest, hier im Beispiel dem Standard-Scantest, gemäß dem Stand der Technik erzeugt würden. Auch ist das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Testsystem-Anordnung besser als das Verfahren und die Testsystem-Anordnung gemäß dem Stand der Technik für eine verstärkte Parallelisierung des Tests geeignet, da es für das elektronische Element 101, d.h. für den Halbleiterchip praktisch nur Eingangsdaten gibt und Eingangsdaten mittels bekannter Verfahren besser für eine parallelisierte Verarbeitung eignen als Ausgangsdaten.
  • In 2 ist schematisch eine erste Vergleicherschaltung 200 in dem erfindungsgemäßen elektronischen Element 101 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Das dargestellte Ausführungsbeispiel ist nur beispielhaft, wobei jede bekannte Komparatorschaltung verwendet werden kann.
  • Im Falle von vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 weist die Vergleicherschaltung die vier ersten Eingangsanschlüsse 116, 117, 118 und 119 bzw. die vier zweiten Eingangsanschlüsse 120, 121, 122 und 123 auf, welche mit den Ausgangsanschlüssen der Scanketten 111, 112, 113 und 114 bzw. den zweiten Ausgangsanschlüssen 107, 108, 109 und 110 des Testsystems 100 gekoppelt sind.
  • Eine erste Stufe der Vergleicherschaltung 105 weist vier EXOR-Schaltungen 226, 227, 228 und 229 (EXKLUSIV-ODER-Gatter) auf. Die EXOR-Schaltungen 226, 227, 228 und 229 weisen jeweils zwei Eingangsanschlüsse auf, von denen jeweils ein Eingangsanschluss mit einem ersten Eingangsanschluss 116, 117, 118 und 119 der Vergleicherschaltung 200 gekoppelt ist, während jeweils der zweite Eingangsanschluss der EXOR-Schaltungen 226, 227, 228 und 229 mit jeweils einem zweiten Eingangsanschluss 120, 121, 122 und 123 der Vergleicherschaltung 200 gekoppelt ist. Ferner weist jede EXOR-Schaltung einen Ausgangsanschluss auf.
  • Die Vergleicherschaltung 200 weist als zweite Stufe zwei OR-Schaltungen 230 und 231 (ODER-Gatter) auf, wobei jede OR-Schaltung zwei Eingangsanschlüsse und einen Ausgangsanschluss aufweist. Die Eingangsanschlüsse der OR-Schaltungen der zweiten Stufe sind mit den Ausgängen der EXOR-Schaltungen 226, 227, 228 und 229 der ersten Stufe gekoppelt.
  • Als dritte Stufe weist die Vergleicherschaltung 200 eine OR-Schaltung 232 (ODER-Gatter) mit zwei Eingangsanschlüssen und einem Ausgangsanschluss auf. Dieser Ausgangsanschluss ist der Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung 200.
  • Dieser dreistufige Aufbau ist exemplarisch für den Fall von vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 dargestellt. Im Falle von mehr als vier Scanketten muss die Anzahl der Stufen der Vergleicherschaltung entsprechend erhöht werden, wenn erreicht werden soll, dass nur ein Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung benötigt wird.
  • Wenn in der zweiten Shiftphase des Scantests, d.h. der Auslesephase der Ist-Wert-Signale, die Teil-Ist-Wert-Signale an den ersten Eingangsanschlüssen 116, 117, 118 und 119 anliegen und gleichzeitig an den zweiten Eingangsanschlüssen 120, 121, 122 und 123 die Teil-Soll-Wert-Signale, so vergleicht die Vergleicherschaltung jeweils ein Teil-Soll-Wert-Signal mit dem entsprechenden Teil-Ist-Wert-Signal. In dem Fall, dass alle Teil-Soll-Wert-Signale mit den entsprechenden Teil-Ist-Wert-Signalen übereinstimmen liegt am Ausgang 124 der Vergleicherschaltung 200 ein Wert logisch „0" an, d.h. alle Scanketten 111, 112, 113 und 114 liefern ein erwartetes Ergebnis und keine der speichernden Komponenten liefert einen Fehler. Im Gegenzug liegt am Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung 200 ein Wert logisch „1" an, wenn auch nur in einer Scankette 111, 112, 113 und 114 das Teil-Ist-Wert-Signal nicht mit dem entsprechenden Teil-Soll-Wert-Signal übereinstimmt.
  • Die in 2 dargestellte Vergleicherschaltung ist nicht X-tolerant. D.h. wenn ein Teil-Ist-Wert-Signal einen Wert hat, welcher nicht definiert ist, d.h. ein X-Signal, dann ergibt sich am Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung auch ein X-Zustand, d.h. in diesem Fall ist der Zustand ebenfalls nicht definiert.
  • Dies ist in einem Scantest nicht gewünscht, da bei einem X-Zustand nicht entschieden werden kann, ob ein Fehler vorliegt oder nicht und dadurch nicht zur Erhöhung der Testabdeckung beiträgt.
  • Eine Möglichkeit, eine solche nicht X-tolerante Vergleicherschaltung in einem Scantest zu verwenden ist beispielsweise darin zu sehen, eine derart vorgegebene Scantest-Signalfolge zu verwenden, dass sichergestellt ist, dass es an keiner der speichernden Komponenten des elektronischen Schaltkreises zu einem X-Zustand kommt. Somit kann es zu keinem X-Zustand bei den Teil-Ist-Wert-Signalen kommen und damit erzeugt auch die Vergleicherschaltung 200 keinen X-Zustand an ihrem Ausgang.
  • In 3 ist schematisch die Vergleicherschaltung 200 aus 2 dargestellt, wobei gemäß diesem Ausführungsbeispiel das Ausgangssignal, welches am Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung 200 anliegt, jedoch nicht an den Eingangsanschluss 125 des Testsystems 100 weitergeleitet wird.
  • Das elektronische Element, d.h. der Halbleiterchip, weist zusätzlich ein Steuerelement 333 auf. Ein Steuereingang des Steuerelements 333 ist mit dem Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung 200 gekoppelt. An das Steuerelement 333 wird somit das Ausgangssignal der Vergleicherschaltung 200 angelegt. Wenn das Ausgangssignal anzeigt, dass ein Fehler einer speichernden Komponente beim Scantest aufgetreten ist, hält das Steuerelement 333 die weitere Taktfolge des Auslesezykluses an. Der Zustand zumindest der getesteten speichernden Komponenten des elektronischen Schaltkreises wird eingefroren und kann detailliert ausgelesen werden, damit eine Diagnose durchgeführt werden kann. Es kann noch auf die einzelnen Teil-Ist-Wert-Signale aller Ketten 111, 112, 113 und 114 zugegriffen werden, da der Vergleich mittels der integrierten Vergleicherschaltung 200 gleichzeitig mit dem Auslesen der Daten aus den Scanketten 111, 112, 113 und 114 durchgeführt wird. Dies bedeutet, dass auch noch die einzelne jeweilige Scankette 111, 112, 113 und 114, in welcher ein Fehler aufgetreten ist, d.h. bei der ein Teil-Ist-Wert-Signal nicht mit dem betreffenden Teil-Soll-Wert-Signal übereinstimmt, bestimmt werden kann. Somit kann eine Diagnose daraufhin durchgeführt werden, ob zum Beispiel die diesen Fehler erzeugende speichernden Komponente gehäuft einen Fehler erzeugt.
  • Es findet also eine Rückkopplung zwischen dem Ausgang der Vergleicherschaltung 200 und dem Eingang der Vergleicherschaltung 200 statt auf die Weise, dass, wenn ein Signal am Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung 200 anliegt, das Zuführen der Ist-Wert-Signalfolge und die Soll-Wert-Signalfolge angehalten werden können. Ohne eine solche Rückkopplung wäre eine spezielle Fehlerdiagnose, welche der Scanketten 111, 112, 113 und 114 einen Fehler liefert, nicht mehr möglich. Diese Rückkopplung und die damit verbundene Einfrierung des Zustandes der speichernden Komponenten ist in der Praxis vor allem deshalb wichtig, weil ein tatsächlicher Halbleiterchip wesentlich mehr Scanketten als die hier exemplarisch dargestellten vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 aufweist. Somit weist eine Vergleicherschaltung 200 in der Praxis auch wesentlich mehr Stufen als die hier dargestellten drei Stufen auf. Dies bedeutet, dass mittels der erfindungsgemäßen Vergleicherschaltung eine stärkere Parallelisierung des Tests durchgeführt werden kann. Es wird jedoch eine Aussage erschwert, in welcher Scankette 111, 112, 113 und 114 das Teil-Ist-Wert-Signal nicht mit dem Teil-Soll-Wert-Signal übereinstimmt, wenn ein Signal, welches einen Fehler signalisiert, am Ausgang anliegt. Hierdurch wird eine Diagnose einer möglichen Fehlerquelle stark erschwert.
  • In 4 ist eine schematische Darstellung einer X-toleranten Vergleicherschaltung 400 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, in diesem Falle eines Kompressors, dargestellt. Auch die X-tolerante Vergleicherschaltung 400 ist wiederum beispielhaft für eine elektronische Schaltung mit vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 gezeigt.
  • Im Falle von vier Scanketten 111, 112, 113 und 114 weist die Vergleicherschaltung die vier ersten Eingangsanschlüsse 116, 117, 118 und 119 bzw. die vier zweiten Eingangsanschlüsse 120, 121, 122 und 123 auf, welche mit den Ausgangsanschlüssen der Scanketten 111, 112, 113 und 114 bzw. den zweiten Ausgangsanschlüssen 107, 108, 109 und 110 des Testsystems 100 gekoppelt sind.
  • Eine erste Stufe der Vergleicherschaltung 400 weist vier AND-Schaltungen 434, 435, 436 und 437 (UND-Gatter) auf. Die AND-Schaltungen 434, 435, 436 und 437 weisen jeweils zwei Eingangsanschlüsse auf, von denen jeweils ein Eingangsanschluss mit einem der ersten Eingangsanschlüsse der Vergleicherschaltung 400 gekoppelt ist. Der jeweils zweite Eingangsanschluss der AND-Schaltungen 434, 435, 436 und 437 ist mit jeweils einem der zweiten Eingangsanschlüsse der Vergleicherschaltung 400 gekoppelt. Ferner weist jede AND-Schaltung einen Ausgangsanschluss auf.
  • Die Vergleicherschaltung 400 weist als zweite Stufe zwei EXOR-Schaltungen 438 und 439 (EXKLUSIV-ODER-Gatter) auf, wobei jede EXOR-Schaltung 438 und 439 zwei Eingangsanschlüsse und einen Ausgangsanschluss aufweist. Die Eingangsanschlüsse der EXOR-Schaltungen 438 und 439 der zweiten Stufe sind mit den Ausgängen der AND-Schaltungen der ersten Stufe gekoppelt.
  • Als dritte Stufe weist die Vergleicherschaltung 400 eine EXOR-Schaltung 440 (EXKLUSIV-ODER-Gatter) mit zwei Eingangsanschlüssen und einem Ausgangsanschluss auf. Dieser Ausgangsanschluss ist der Ausgangsanschluss 124 der Vergleicherschaltung 400.
  • Die in 4 dargestellte Vergleicherschaltung stellt einen Kompressor dar, welcher gleichzeitig als Komparator verwendet werden kann. Wenn in der zweiten Shiftphase des Scantests, d.h. der Auslesephase der Ist-Wert-Signale, die Ist-Wert-Signale an den ersten Eingangsanschlüssen 116, 117, 118 und 119 anliegen und gleichzeitig an den zweiten Eingangsanschlüssen 120, 121, 122 und 123 die Soll-Wert-Signale, so komprimiert die Vergleicherschaltung 400 die Signale, d.h. sie reduziert die vier Signale der vier Scanketten auf ein einziges Signal. Ferner vergleicht sie gleichzeitig jeweils ein Soll-Wert-Signal mit dem entsprechenden Ist-Wert-Signal. Im Falle dass alle Soll-Wert-Signale mit den entsprechenden Ist-Wert-Signalen übereinstimmen liegt am Ausgang 124 der Vergleicherschaltung 400 ein Signal an, welches anzeigt, dass alle Scanketten 111, 112, 113 und 114 ein erwartetes Ergebnis geliefert haben und keine der elektronischen Komponenten einen Fehler geliefert, haben.
  • Im Gegensatz zu der in 2 dargestellten Vergleicherschaltung 200 liegt jedoch am Ausgang 125 der in 4 dargestellten Vergleicherschaltung 400 das Signal, welches anzeigt, dass kein Fehler in der Scankette 111, 112, 113 und 114 aufgetreten ist, auch dann an, wenn in einer geraden Anzahl von Scanketten 111, 112, 113 und 114 ein Fehler aufgetreten ist. Mittels der in 4 dargestellten Vergleicherschaltung lässt sich folglich nur eine ungerade Anzahl von Fehlern erkennen. Wobei auch wiederum nur entschieden werden kann, ob ein Fehler vorlag, nicht jedoch in welcher Scankette der Fehler vorlag.
  • Dafür weist diese Vergleicherschaltung 400 den Vorteil auf, dass sie X-tolerant ist, d.h. auch ein nicht definierter Zustand eines Ist-Wert-Signals verhindert nicht die Verwendbarkeit des am Ausgang der Vergleicherschaltung anliegenden Signals.
  • Zusammenfassend schafft die Erfindung ein elektronisches Element, z.B. einen Halbleiterchip, mit einem zu testenden elektronischen Schaltkreis, wobei ein Vergleich und/oder Kompression von Ist-Wert-Signalen eines Scantests oder Funktionaltests oder Analogtest mit digitalem Ausgang direkt mittels einer Vergleicherschaltung auf dem elektronischen Element durchgeführt wird. Hierdurch wird die anfallende Datenmenge welche von dem elektronischen Element zu einem Testsystem zu übertragen ist stark reduziert. Das elektronische Element benötigt nur noch einen Ausgangsanschluss, welcher für einen Scantest verwendet wird. Alle anderen Anschlüsse des elektronischen Elements stellen Eingangsanschlüsse für das elektronische Element dar. Die Signale, welche über diese Eingangsanschlüsse angelegt werden stellen Eingangsdaten dar. Eingangsdaten eignen sich wesentlich besser für eine Parallelisierung als Ausgangsdaten, d.h. mittels der verstärkten Verwendung von Eingangsdaten lässt sich der Test wesentlich stärker parallelisieren, da Eingangsdaten eventuell mehrfach innerhalb des Tests verwendet werden können..
  • Erfindungsgemäß erfolgt eine Testbewertung in Echtzeit, d.h. während der Durchführung des Tests, auf einem elektronischen Element, welches sogleich seinen Fehler-Zustand einfrieren kann. Nachfolgend ist dann vom Testsystem gesteuert eine Auswertung des Fehler-Zustandes möglich. Da erfindungsgemäß in Echtzeit auf Fehler reagiert wird, kann somit auch eine Volumenproduktion, d.h. Massenproduktion, eines elektronischen Bausteins überwacht werden. Damit können die Ausbeute (Yield) beeinflussende Daten zu statistischen Zwecken auch während der Produktion von elektronischen Bausteinen aufgezeichnet werden. Dies gilt auch, wenn Komprimierer verwendet werden.
  • Der elektronische Schaltkreis kann auch, bei beliebigen funktionalen Tests für die funktionale Überprüfung der Schaltung bzw. bei Test einer Analogschaltung, der digitale Ist-Wert-Signale liefert, angewendet werden.
  • 100
    Testsystem
    101
    Halbleiterchip
    102
    Vektorspeicher
    103
    erster Ausgangsanschluss des Testsystems
    104
    erster Ausgangsanschluss des Testsystems
    105
    erster Ausgangsanschluss des Testsystems
    106
    erster Ausgangsanschluss des Testsystems
    107
    zweiter Ausgangsanschluss des Testsystems
    108
    zweiter Ausgangsanschluss des Testsystems
    109
    zweiter Ausgangsanschluss des Testsystems
    110
    zweiter Ausgangsanschluss des Testsystems
    111
    erste Scankette
    112
    zweite Scankette
    113
    dritte Scankette
    114
    vierte Scankette
    115
    Vergleicherschaltung
    116
    erster Eingangsanschluss des Komparators
    117
    erster Eingangsanschluss des Komparators
    118
    erster Eingangsanschluss des Komparators
    119
    erster Eingangsanschluss des Komparators
    120
    zweiter Eingangsanschluss des Komparators
    121
    zweiter Eingangsanschluss des Komparators
    122
    zweiter Eingangsanschluss des Komparators
    123
    zweiter Eingangsanschluss des Komparators
    124
    Ausgangsanschluss des Komparators
    125
    Eingangsanschluss des Testsystems
    126
    Eingangsanschluss erste Scannkette
    127
    Eingangsanschluss zweite Scannkette
    128
    Eingangsanschluss dritte Scannkette
    129
    Eingangsanschluss vierte Scannkette
    200
    Vergleicherschaltung
    226
    EXOR-Schaltung
    227
    EXOR-Schaltung
    228
    EXOR-Schaltung
    229
    EXOR-Schaltung
    230
    OR-Schaltung der zweiten Stufe
    231
    OR-Schaltung der zweiten Stufe
    232
    OR-Schaltung der dritten Stufe
    333
    Steuerschaltung
    400
    Vergleicherschaltung
    434
    AND-Schaltung
    435
    AND-Schaltung
    436
    AND-Schaltung
    437
    AND-Schaltung
    438
    EXOR-Schaltung
    439
    EXOR-Schaltung
    440
    EXOR-Schaltung
    500
    Testsystem
    501
    Halbleiterchip
    502
    Vektorspeicher
    503
    Ausgangsanschluss des Testsystems
    504
    Eingangsanschluss des Testsystems
    505
    Scankette des Halbleiterchips
    506
    Eingangsanschluss Halbleiterchips
    507
    Ausgangsanschluss des Halbleiterchips

Claims (10)

  1. Elektronisches Element, welches aufweist: – einen zu testenden elektronischen Schaltkreis, welcher Eingangsanschlüsse zum Zuführen einer Testsignalfolge, welche zum Testen des elektronischen Schaltkreises verwendet wird, und Ausgangsanschlüsse aufweist, wobei an den Ausgangsanschlüssen in Reaktion auf die Testsignalfolge Ist-Wert-Signale des zu testenden elektronischen Schaltkreises bereitgestellt werden; und – mindestens eine Vergleicherschaltung, welche erste Eingangsanschlüsse aufweist, wobei jeder der Ausgangsanschlüsse des zu testenden elektronischen Schaltkreises mit einem ersten Eingangsanschluss gekoppelt ist, wobei die Vergleicherschaltung ferner zweite Eingangsanschlüsse zum Zuführen von Soll-Wert-Signalen aufweist, und wobei die Vergleicherschaltung mindestens einen Ausgangsanschluss aufweist; – wobei die Vergleicherschaltung derart eingerichtet ist, dass sie die Ist-Wert-Signale mit den Soll-Wert-Signalen vergleicht; und – und wobei die Ergebnisse des Vergleiches an dem mindestens einen Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung bereitstellbar sind.
  2. Elektronisches Element gemäß Anspruch 1, wobei das elektronische Element ein Halbleiterchip ist.
  3. Elektronisches Element gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der elektronische Schaltkreis derart eingerichtet ist, dass als Testsignalfolge eine Scantest-Signalfolge verwendet werden kann.
  4. Elektronisches Element gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der elektronische Schaltkreis derart eingerichtet ist, dass ein Funktionaltest durchgeführt werden kann.
  5. Elektronisches Element gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der elektronische Schaltkreis derart eingerichtet ist, dass ein Analogtest mit digitalem Ausgang durchgeführt werden kann.
  6. Elektronisches Element gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Vergleicherschaltung derart eingerichtet ist, dass sie Signale einer zweiwertigen Logik verarbeiten kann.
  7. Elektronisches Element gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die getaktete Testsignalfolge ein derartig vorgegebenes Signalmuster aufweist, das jedes Ist-Wert-Signal einen definierten Zustand charakterisiert.
  8. Elektronisches Element gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, welches ferner ein Steuerelement aufweist, welches derart eingerichtet ist, dass abhängig vom Ergebnis des Vergleichs ein Zustand des zu testenden elektronischen Schaltkreises unverändert gehalten werden kann.
  9. Elektronisches Element gemäß Anspruch 8, mit einem mit dem Steuerelement gekoppelten Taktgeber zum Takten des elektronischen Schaltkreises, wobei das Steuerelement derart eingerichtet ist, dass abhängig vom Ergebnis des Vergleichs ein dem Taktgeber ein Stoppsignal zugeführt werden kann, mit dem der Taktgeber gestoppt wird.
  10. Testsystem-Anordnung mit einem zu testenden elektronischen Element gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9 und einem Testsystem, wobei das Testsystem aufweist: – einen Vektorspeicher; – erste Ausgangsanschlüsse, welche mit den Eingangsanschlüssen des zu testenden elektronischen Schaltkreises des zu testenden elektronischen Elements gekoppelt sind; – zweite Ausgangsanschlüsse, welche mit den zweiten Eingangsanschlüssen der Vergleicherschaltung des zu testenden elektronischen Elements gekoppelt sind; und – mindestens einen Eingangsanschluss, wobei für jeden der Ausgangsanschlüsse der Vergleicherschaltung des zu testenden elektronischen Elements ein Eingangsanschluss vorgesehen ist, welcher mit dem entsprechenden Ausgangsanschluss der Vergleicherschaltung gekoppelt ist.
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