DE10251527B4 - Verfahren zur Herstellung einer Stapelanordnung eines Speichermoduls - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Herstellung einer Stapelanordnung eines Speichermoduls, in der zumindest zwei Speicherchips (2), zentrale, erste Bond-Pads (7) aufweisend, auf einem Leitungsstrukturen, Kontakt-Pads (19) und rasterartig, flächig angeordnete Lotkugeln (14) (FBGA) umfassenden Trägersubstrat (13) direkt gestapelt und vertikal mit dem Trägersubstrat (13) elektrisch kontaktiert werden wobei mehrere identische Speicherchips (2), deren erste Bond-Pads (7) an den Rand geführt werden; indem sie mit einer Metallisierung (4), die auf einem auf der aktiven Seite des Speicherchips (2) ausgeführten Zwischenträger (3) aufgebracht ist und im Randbereich zweite Bond-Pads (8) aufweist, mittels geeigneter Verbindungsmittel elektrisch verbunden werden und deren zentrale Bereiche einschließlich der Verbindungsmittel mit einer Vergussmasse als Verkapselung (5) versehen werden, die eine Erhöhung und einen ebenen oberen Abschluss aufweist, nebeneinander auf einem dielektrichen Substratstreifen (11), welcher Positionierungs-Pads (10) aufweist, mit ihrer aktiven Seite nach oben angeordnet werden, wobei die zweiten Bond-Pads (8) mit den korrespondierenden Positionierungs-Pads (10) mittels BondVerbindungsmitteln elektrisch verbunden werden und...

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Stapelanordnung eines Speichermoduls, in der zumindest zwei Speicherchips, zentrale, erste Bond-Pads aufweisend, auf einem Leitungsstrukturen, Kontakt-Pads und rasterartig, flächig angeordneten Lotkugeln (FBGA) umfassenden Trägersubstrat direkt ge- stapelt und vertikal mit dem Trägersubstrat elektrisch kontaktiert werden.
  • Es sind verschiedene Verfahren zur Stapelung von Chips mit am Chiprand angeordneten Reihen von Bond-Pads bekannt. So wird in JP 2002 26 12 33 A beschrieben, dass zwischen den gestapelten Chips in deren zentralen, kontaktfreien Bereichen jeweils ein Abstandshalter angeordnet wird, der im Randbereich über den Bond-Pads den Raum schafft, welcher benötigt wird, um die Bond-Pads mittels Drahtbrücken zu kontaktieren. Dieses Verfahren ist zum einen für zentral angeordnete Bond-Pads nicht geeignet und hat zum anderen den wesentlichen Nachteil der Notwendigkeit von jeweils zumindest einem zusätzlichen Prozessschritt infolge des eingefügten Bestandteiles pro weiterem gestapelten Chip.
  • Ein anderes Verfahren zur Stapelung von Speicherchips ist das Stapeln zweier ungehäuster Bauteile mit unterschiedlicher Ausrichtung. Hierbei wird der erste Speicherchip direkt auf dem Substrat platziert, indem auf die Substratmetallisierung Kontakthöcker (Lot-Bumps) aus lötfähigen Metalllegierungen aufgebracht werden und der Speicherchip mit seiner aktiven Seite nach unten (Face-down) mittels eines geeigneten Bondprozesses auf dem Substrat elektrisch kontaktiert wird. Der zweite, obere Speicherchip wird mit seiner aktiven Seite nach oben (Face-up) auf der Rückseite des unteren Speicherchips mechanisch fixiert. Die elektrische Kontaktierung des oberen Speicherchips mit dem Substrat erfolgt mit Drahtbondverbindungen. Da die Bond-Pads von Speicherchips mittig angeordnet sind und die elektrischen Anschlüsse jeder Bond-Pad-Reihe des oberen auf der gleichen Seite wie die des unteren Speicherchips erfolgen muss, liegt ein besonderer Nachteil dieser gleichzeitigen Anordnung der Speicherchips mit der aktiven Seite nach oben- und nach unten mit doppel- und mehrreihigen Bond-Pads in einem Stapel in der Notwendigkeit, die Drahtbondverbindungen zur elektrischen Kontaktierung des oberen Speicherchips untereinander zu kreuzen, wodurch Drahtbondverbindungen bis zu 10 mm Länge erforderlich sein können. Da an den Kreuzungspunkten sowohl die Berührung der Drahtbondverbindungen, als auch ihre gegenseitige thermische und elektrische Beeinflussung verhindert werden muss, ergeben sich zahlreiche technologische Probleme hinsichtlich des Ablaufs sowie hinsichtlich des Equipments.
  • Eine vergleichbare Stapelanordnung mit wechselnder Face-up- und Face-down-Anordnung, jedoch wiederum für Chips mit randnahen Bond-Pads, wird in JP 11 135 714 A beschrieben.
  • Nach der elektrischen Kontaktierung beider Speicherchips und damit erst nach der Fertigstellung der Stapelanordnung kann deren Test und Voralterungsprüfung (Burn-In) erfolgen, indem die Kontaktierungspunkte auf dem Substrat (Positionierungs-Pads) mit Sonden kontaktiert und mit wechselnden Signalen beaufschlagt werden. Während des Produktionsprozesses und der Tests als fehlerhaft erkannte Anordnungen gehen in die Rework-Schleife. Der Test erst nach der Herstellung der Stapelanordnung führt zu einer deutlich höheren Verlustrate und somit wesentlich höherem Rework-Aufwand als üblicherweise bei Testung von Einzelkomponenten entstehen. Ein weiterer Nachteil dieser Lösung liegt im Handling der einzelnen Speicherchips als Stapelkomponenten, was zu hohen Anfor derungen im Herstellungsprozess insbesondere hinsichtlich der Positioniergenauigkeit, der parallelen Ausrichtung des Chips zum Substrat und der Temperaturprofile von Chip und Substrat führt.
  • Bei der in JP 08 250 651 A beschriebenen Stapelanordnung wird zwar die Notwendigkeit randnaher Bond-Pads umgangen, jedoch nur durch eine flächenmäßige Vergrößerung der Stapelanordnung, indem jeder Chip über eine räumlich vom Chip getrennte Verdrahtungsebene kontaktiert wird.
    •
  • Der Erfindung liegt demzufolge die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Speichermoduls mittels Stapelung und vertikalen elektrischen Kontaktierung geeigneter Einzelkomponenten darzustellen, welches kostenoptimal in die bestehende Herstellungs- und Prüftechnologie integrierbar ist und die Verlustrate der montierten Anordnungen reduziert.
  • Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass identische Speicherchips verwendet werden, deren Bond-Pads mit einer Metallisierung auf der aktiven Seite des Speicherchips elektrisch verbunden werden und die Metallisierung im Randbereich zweite Bond-Pads aufweist, dass der zentrale Bereich der Speicherchips mit einer Schutzmasse als Verkapselung versehen wird, die einen ebenen oberen Abschluss aufweist, dass die Speicherchips nebeneinander auf einem dielektrischen Substratstreifen, welcher Positionierungs-Pads aufweist, Face-up angeordnet werden, dass die zweiten Bond-Pads mit den korrespondierenden Positionierungs-Pads mittels Bond-Verbindungsmittel elektrisch verbunden werden und dass auf jeder derart angeordneten Einzelkomponente zumindest eine weitere Einzelkomponente Face-up in gleicher Weise gestapelt und mit dem Substratstreifen kontaktiert wird. Nachfolgend wird der nun mehrere identische Stapel von Einzelkomponenten aufweisende Substratstreifen Face-down so auf dem Trägersubstrat abgelegt und befestigt, dass der erste Stapel auf einer definierten Stelle des Trägersubstrats zu liegen kommt und wird dieser Abschnitt des Substratstreifens, na hezu in der Größe eines Speicherchips, abgetrennt und somit die Bond-Verbindungsmittel zwischen den zweiten Bond-Pads und den Positionierungs-Pads durchtrennt, wodurch freie Enden der Bondverbindungsmittel entstehen, die mit einem geeigneten Bond-Werkzeug eingefangen und auf den korrespondierenden Kontakt-Pads des Trägersubstrats gebondet werden.
  • Die Metallisierung und kann ebenso wie die Verkapselung der zentralen Bereiche der Speicherchips mit den bekannten Verfahren hergestellt werden. So sind als Metallisierung sowohl Umverdrahtungsebenen (Reroute Layer), für deren Herstellung verschiedene Abscheide- und Strukturierungsverfahren in Abhängigkeit von den geforderten Eigenschaften der Leitbahnensysteme sowie der Bond-Pads, insbesondere den mechanischen, elektrischen oder Oberflächen- und gefügetechnischen Eigenschaften, zur Anwendung kommen, als auch Leitungsstrukturen aufweisende Zwischenträger bekannt. Für die Herstellung der Verkapselung kommen als mögliche Verfahren das Printen, gemeint ist der Auftrag der Vergussmasse mittels Siebdruck, Molden, das Aufbringen eines mehrkomponentigen, bei Raumtemperatur festen Epoxydharzsystems, oder Dispensen, dem Massenauftrag mit Hilfe einer Dosiernadel und Druckluft, in Betracht. Ebenso sind für Bond-Verbindungen sowie für deren Herstellung verschiedene Materialien und Verfahren der bekannten Technologien anwendbar. Die Umverdrahtung der zentralen Bond-Pads der Speicherchips in den Randbereich und die Herstellung der Verkapselung, die als Abstandshalter zwischen den Speicherchips innerhalb der Stapelanordnung fungiert, ermöglicht die Stapelung der Einzelkomponenten mit gleicher Ausrichtung, wodurch Stapelanordnungen herstellbar sind, die kurze, direkte elektrische Verbindungen zum Substratstreifen und nachfolgend zum Trägersubstrat und damit kurze Signallaufzeiten realisieren. Durch die Face-down Stapelung der Einzelkomponenten kann dieser Effekt noch verstärkt werden.
  • Da die Stapelung der Einzelkomponenten erfolgt, indem die inaktive Rückseite eines Speicherchips auf der Verkapselung des darunter liegenden Speicherchips befestigt wird, ist ein ebener oberer Abschluss der Verkapselung erforderlich. Dieser nimmt eine Schicht zum Verkleben der Einzelkomponenten auf, zum Beispiel ein Klebeband oder ein gedrucktes, dünnschichtiges Klebematerial. Alternativ kann für die Verkapselung ein selbstklebendes Material verwendet werden, das die Fixierung der Einzelkomponenten übernimmt.
  • Mit der Anordnung der Stapel auf einem Substratstreifen in einem Zwischenschritt um sie Face-down auf dem Trägersubstrat an definierter Stelle zu platzieren, wird das Handling der Einzelkomponenten entscheidend verbessert, was unter Anderem wiederum Einfluss auf die Effektivität des Herstellungsprozesses und die Zuverlässigkeit der Kontaktierungen, sowohl der mechanischen als auch der elektrischen, hat. So kann zum Beispiel die parallele Ausrichtung von Einzelkomponente und Trägersubstrat verbessert werden. Weiterhin liegen durch das Abtrennen eines Abschnittes des Substratstreifens und das gleichzeitige Durchtrennen der Bond-Verbindungen zwischen den äußeren Bond-Pads der Metallisierung und den Positionierungs-Pads des Substratstreifens freie Enden der Bond-Verbindungsmittel in definierter Länge und Position vor, die den Einsatz zum Beispiel eines kammähnlichen Bond-Werkzeuges ermöglichen, der das Bonden aller vereinzelten Enden in einem Arbeitsschritt ausführen kann. Es ist in Abhängigkeit von den Anforderungen an den Herstellungsprozess und das Speichermodul jedoch auch ein vereinfachtes Werkzeug mit einer Führung, vergleichbar einem Schwalbenschwanz, möglich. Als Bond-Verbindungsmittel können insbesondere Drahtbond-, Leadbond- oder TAB-Verbindungen zum Einsatz kommen, während zum Bonden sowohl das US-Reibschweiß- als auch das Thermokompressionsschweißverfahren angewendet werden können.
  • Neben der Anwendbarkeit der Standardverfahren und somit des Standardequipments liegt ein weiterer Vorteil der Erfindung im Schutz der elektrischen Verbindungen zwischen den zentralen Bond-Pads des Speicherchips und der Metallisierung durch die Verkapselung für die weiteren Prozessschritte der Stapelher stellung. Damit kann in einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung jede Einzelkomponente vor der Stapelung der Voralterungsprüfung und den nachfolgenden Tests unterzogen werden, was eine deutliche Reduzierung der Verlustrate der montierten Stapelanordnungen ermöglicht.
  • In einer weiteren Ausführung der Erfindung wird vor der Herstellung der elektrischen Verbindung zwischen den ersten Bond-Pads und der Metallisierung sowie vor der Herstellung der Verkapselung auf der Rückseite jedes Speicherchips ein Dielektrikum aufgebracht. Diese zusätzliche Schicht verbessert die elektrische Trennung zwischen den Einzelkomponenten und führt somit zu einer höheren Zuverlässigkeit des Speichermoduls.
  • Ein besonders effektives Verfahren stellt eine Gestaltung der Erfindung dar, die dadurch charakterisiert ist, dass die Abtrennung eines Abschnittes des Face-down auf dem Trägersubstrat abgelegten und befestigten Substratstreifens mit einem der darauf angeordnetem Stapel, die Durchtrennung der Bond-Verbindungsmittel und die elektrische Verbindung der gestapelten Einzelkomponenten mit dem Trägersubstrat an den Trennstellen der einzelnen Bond-Verbindungsmittel in einem Arbeitsschritt mittels eines geeigneten Werkzeugs und einer geeigneter Bondtechnologie durchgeführt wird. Dieses Werkzeug könnte ein Stanz-Bond-Werkzeug sein, an dem kammähnliche Elemente vorhanden sind, die die Verbindungsmittel separat halten und führen können. Dieses Stanz-Bond-Werkzeug drückt unmittelbar nach dem Ausstanzen des Substratstreifens die Verbindungsmittel gegen das Trägersubstrat und stellt die Bondverbindungen mit einem der benannten Verfahren her.
  • Um eine höhere Zuverlässigkeit der Bond-Verbindungen zu erreichen, werden in einer Ausgestaltung der Erfindung die Kontakt-Pads des Trägersubstrates im Vergleich zur umgebenden Substratoberfläche erhöht ausgeführt, wobei nachfolgend oder alternativ auf den Kontakt-Pads nach dem Bonden jeweils ein zusätzlicher Lothöcker zur Sicherung des Kontaktes hergestellt wird. Die Ausführung der Kontakt-Pads als Podest ist durch einen fotolithografischen Prozess mit Galvanik oder durch vorheriges Bumpen des Trägersubstrates möglich.
  • Die Face-down-Anordnung gestattet in einer weiteren möglichen Verfahrensweise der Erfindung die direkte Kontaktierung der auf dem Substratstreifen vorgefertigten Stapelanordnung über geeignete Verfahren, insbesondere Löt- oder Reibschweißverbindungen. Somit ist es möglich, das Herstellungsverfahren dahingehend zu optimieren, dass insbesondere alle Kontakte der Metallisierung, parallel hergestellt werden können.
  • Zum Schutz der Stapelanordnung und der elektrischen Kontaktierungen vor Umwelteinflüssen, die den Ausfall des Bauteiles bewirken können, sowie zur elektrischen Isolierung und Handhabung kann der Erfindungsgegenstand mit einem Gehäuse versehen werden. Auch hier kommen wieder bekannte Verfahren, wie zum Beispiel Plastik- oder Keramikgehäusetechnologien oder das Aufbringen einer Vergussmasse, die in Abhängigkeit vom verwendeten Epoxydharzsystem bei Raumtemperatur oder einer definierten Verarbeitungstemperatur vergossen wird und beispielsweise eine gute mechanische und chemische Beständigkeit aufweist.
    •
  • Nachfolgend soll die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen
  • 1 die Querschnittsdarstellung einer Einzelkomponente,
  • 2 die Ansicht eines Streifensubstrates von oben,
  • 3 die Querschnittsdarstellung einer Stapelanordnung und
  • 4 die Querschnittsdarstellung einer gehäusten Stapelanordnung
  • In 1 ist eine Einzelkomponente 1 dargestellt, die zur Herstellung einer Stapelanordnung eines Speichermoduls verwendet wird. Als Basiskomponente dient in diesem Ausführungsbeispiel ein Speicherchip 2 mit doppelreihigen zentralen ersten Bond-Pads 7. Auf der aktiven Seite des Speicherchips 2 ist eine Metallisierung 4 erzeugt, die einen Zwischenträger 3 umfasst, auf dem mit einem geeigneten, nicht näher dargestellten Verfahren elektrische Leitungsstrukturen mit im Randbereich vorhandenen zweiten Bond-Pads 8 hergestellt wurden. Die Metallisierung 4 wird mittels Drahtbond-Verbindungen 9 mit den ersten Bond-Pads 7 des Speicherchips elektrisch verbunden. Auf den zentralen Bereich des Speicherchips 2 einschließlich der Drahtbond-Verbindungen 9 wird eine Vergussmasse eines Epoxydharzsystems mit einem ebenen oberen Abschluss aufgebracht, die die ersten Bond-Pads 7 und die Drahtbond-Verbindungen 9 vollständig einschließt, die zweiten Bond-Pads 8 jedoch frei lässt.
  • Wie in 2 dargestellt, wird die Einzelkomponente 1 in Reihe mit weiteren identischen Einzelkomponenten 1 Face-up auf einen Substratstreifen 11 geklebt. Anschließend werden die zweiten Bond-Pads 8 mit den korrespondierenden Positionierungs-Pads 10 des Substratstreifens 11 mittels Drahtbrücken 12, die als Bond-Verbindungsmittel dienen, elektrisch verbunden. Auf die Verkapselung 5 wird nachfolgend durch Printen eine Klebstoffschicht 6 aufgetragen und auf jede der auf dem Substratstreifen 11 angeordneten Einzelkomponente 1 eine weitere, identische Einzelkomponente 1 fixiert, welche ebenfalls mittels Drahtbrücken 12 auf den Positionierungs-Pads 10 kontaktiert werden.
  • Auf einem Trägersubstrat 13, das rasterartig, flächig angeordneten Lotkugeln (FBGA) 14, eine obere 15 und untere 16 strukturierte Kupferebene, ein Laminat 17 und Durchgänge 18 durch das Laminat 17, zur Verbindung der oberen 15 mit der unteren 16 Kupferebene und somit mittelbar mit den rasterartig, flächig angeordneten Lotkugeln 14, umfasst, werden mittels fotolithografischer Prozesse mit Galvanik zur Aufnahme der Stapelanordnung mit den Positionierungs-Pads 10 korrespondierende Podeste 20 hergestellt, auf denen Kontakt-Pads 19 aufgebracht werden. Der beschriebene Substratstreifen 11 wird nun Face-down an einer definierten Stelle des derart vorbereiteten Trägersubstrats 13 positioniert und mittels eines auf die Verkapselung 5 des nunmehr untersten Einzelkomponente 1 geprinteten Klebstoffes 6 fixiert. Durch ein geeignetes, nicht näher dargestelltes Stanzwerkzeug wird anschließend ein Abschnitt aus dem Substratstreifen 11 gestanzt, der nahezu den Umrissen der derart positionierten Stapelanordnung entspricht. Infolge des Ausstanzens werden gleichzeitig die Drahtbrücken 12 durchtrennt, so das freie Enden 21 der Drahtbrücken 12 entstehen. Nachfolgend wird der Abschnitt des Substratstreifens 11 von der Rückseite der nunmehr obersten Einzelkomponente 1 der separierten Stapelanordnung entfernt.
  • Wie in 3 dargestellt werden mit einem kammähnlichen Bond-Werkzeug 22 die freien Enden 21 der Drahtbrücken 12 eingefangen, separat gehalten und geführt und auf den korrespondierenden Kontakt-Pads 19 gebondet und jeweils ein zusätzlicher Lothöcker 23 zur Sicherung des Kontaktes auf jeden Bond-Anschluss gesetzt.
  • Nachfolgend wird, wie in 4 dargestellt die Stapelanordnung mit einem häusenden Element 24 umgeben.
    • 1
    Einzelkomponente
    2
    Speicherchip
    3
    Zwischenträger
    4
    Metallisierung
    5
    Verkapselung
    6
    Klebstoff
    7
    erste Bond-Pads
    8
    zweite Bond-Pads
    9
    Drahtbond-Verbindungen
    10
    Positionierungs-Pads
    11
    Substratstreifen
    12
    Drahtbrücken
    13
    Trägersubstrat
    14
    rasterartig, flächig angeordneten Lotkugeln (FBGA)
    15
    obere Kupferebene
    16
    untere Kupferebene
    17
    Laminat
    18
    Durchgang
    19
    Kontakt-Pads
    20
    Podest
    21
    freie Enden
    22
    Bondwerkzeug
    23
    zusätzlicher Lothöcker
    24
    häusendes Element

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung einer Stapelanordnung eines Speichermoduls, in der zumindest zwei Speicherchips (2), zentrale, erste Bond-Pads (7) aufweisend, auf einem Leitungsstrukturen, Kontakt-Pads (19) und rasterartig, flächig angeordnete Lotkugeln (14) (FBGA) umfassenden Trägersubstrat (13) direkt gestapelt und vertikal mit dem Trägersubstrat (13) elektrisch kontaktiert werden wobei mehrere identische Speicherchips (2), deren erste Bond-Pads (7) an den Rand geführt werden; indem sie mit einer Metallisierung (4), die auf einem auf der aktiven Seite des Speicherchips (2) ausgeführten Zwischenträger (3) aufgebracht ist und im Randbereich zweite Bond-Pads (8) aufweist, mittels geeigneter Verbindungsmittel elektrisch verbunden werden und deren zentrale Bereiche einschließlich der Verbindungsmittel mit einer Vergussmasse als Verkapselung (5) versehen werden, die eine Erhöhung und einen ebenen oberen Abschluss aufweist, nebeneinander auf einem dielektrichen Substratstreifen (11), welcher Positionierungs-Pads (10) aufweist, mit ihrer aktiven Seite nach oben angeordnet werden, wobei die zweiten Bond-Pads (8) mit den korrespondierenden Positionierungs-Pads (10) mittels BondVerbindungsmitteln elektrisch verbunden werden und auf jeder derart angeordneten Einzelkomponente (1) zumindest eine weitere Einzelkomponente (1) mit ihrer aktiven Seite nach oben in gleicher Weise gestapelt und mit dem Substratstreifen (11) kontaktiert wird, wobei der nun mehrere identische Stapel von Einzelkomponenten (1) aufweisende Substratstreifen (11) mit seiner aktiven Seite nach unten so auf dem Trägersubstrat (13) abgelegt wird, dass der erste Stapel auf einer definierten Stelle des Trägersubstrats (13) zu liegen kommt, wobei dieser Abschnitt des Substratstreifens (11), nahezu in der Größe eines Speicherchips (2), abgetrennt wird, wodurch die Bond-Verbindungsmittel zwischen den zweiten Bond-Pads (8) und den Positionierungs-Pads (10) durchtrennt werden und freie Enden (21) der Bond-Verbindungsmittel entstehen, die mit einem geeigneten Bond-Werkzeug (22) vereinzelt, eingefangen und auf den korrespondierenden Kontakt-Pads (19) des Trägersubstrats (13) gebondet werden.
  2. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelkomponenten (1) vor der Stapelung mit den bekannten Verfahren der Voralterungsprüfung unterzogen und getestet werden.
  3. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass die Stapelung erfolgt, indem jede Einzelkomponente (1) mit der Rückseite direkt auf den ebenen oberen Abschluss der Verkapselung (5) der jeweils unteren Einzelkomponente (1) geklebt wird.
  4. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass vor der Herstellung der elektrischen Verbindung zwischen den ersten Bond-Pads (7) und der Metallisierung (4) sowie vor der Herstellung der Verkapselung (5) auf der Rückseite jedes Speicherchips (2) ein Dielektrikum aufgebracht wird.
  5. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, dass die Abtrennung des Abschnittes des Substratstreifens (11), die Durchtrennung der Bond-Verbindungsmittel und die elektrische Verbindung der gestapelten Einzelkomponenten (1) mit dem Trägersubstrat (13) an den Trennstellen der einzelnen Bond-Verbindungsmittel in einem Arbeitsschritt mittels eines geeigneten Werkzeugs und einer geeigneter Bondtechnologie durchgeführt wird.
  6. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Kontakt-Pads (19) des Trägersubstrats (13) im Vergleich zur umgebenden Substratoberfläche erhöht ausgeführt werden.
  7. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass auf den Kontakt-Pads (19) nach dem Bonden jeweils ein zusätzlicher Lothöcker (23) ausgeführt wird.
  8. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 bis 7 dadurch gekennzeichnet, dass die untere Einzelkomponente (1) über geeignete Verfahren direkt mit den Kontakt-Pads (19) des Trägersubstrats (13) verbunden wird.
  9. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach einem der Ansprüche 1 bis 8 dadurch gekennzeichnet, dass das Speichermodul mit einem häusenden Element (24) versehen wird.
  10. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung eines Speichermoduls nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, dass das häusende Element (24) aus Vergussmasse hergestellt wird.
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