DE102022209425A1

DE102022209425A1 - Folienaufklebevorrichtung und Folienaufklebeverfahren

Info

Publication number: DE102022209425A1
Application number: DE102022209425.5A
Authority: DE
Inventors: Tadatomo Yamada
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2021-09-30
Filing date: 2022-09-09
Publication date: 2023-03-30
Also published as: JP2023050395A; TW202316541A; CN115910850A

Abstract

[Aufgabe] Bereitstellung einer Folienaufklebevorrichtung und eines Folienaufklebeverfahrens, durch welche eine Zunahme der laufenden Kosten zum Schützen einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche eines zu beklebenden Körpers verhindert werden kann.[Lösung] Eine Folienaufklebevorrichtung EA umfasst ein Zuführmittel 10 zum Zuführen einer durch eine bestimmte Energie verformbaren Klebefolie AS und ein Andrückmittel 20 zum Andrücken und Aufkleben der durch das Zuführmittel 10 zugeführten Klebefolie AS auf eine erste Fläche WK1 eines zu beklebenden Körpers WK, wobei das Andrückmittel 20 die Klebefolie AS derart auf die erste Fläche WK1 aufklebt, dass die Klebefolie AS einen vom Außenrand WKE der ersten Fläche WK1 überstehenden Überstandsbereich ASH bildet, und außerdem ein Umbiege-Aufklebemittel 30 umfasst ist, das den Überstandsbereich ASH durch das Erteilen einer bestimmten Energie verformt, und den Überstandsbereich ASH in Richtung zu einer zweiten Fläche WK2, die sich von der ersten Fläche WK1 unterscheidet, umbiegt und den Überstandsbereich ASH auf die zweite Fläche WK2 aufklebt.

Description

[Technisches Gebiet]
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Folienaufklebevorrichtung und ein Folienaufklebeverfahren.
[Hintergrundtechnologie]
Eine Folienaufklebevorrichtung zum Aufkleben einer Klebefolie auf einen zu beklebenden Körper ist bekannt (vgl. z. B. Patentdokument 1).
[Dokumente des Standes der Technik]
[Patentdokumente]
[Patentdokument 1] Patentveröffentlichung Nr. JP 2015-162634 A
[Übersicht über die Erfindung]
[Technische Aufgabe der Erfindung]
Bei der im Patentdokument 1 angegebenen Folienaufklebevorrichtung 10 (Folienaufklebevorrichtung) handelt es sich um eine Struktur, bei der mittels zwei Materialien, nämlich einem Schutzband A und einem Schutzband B, eine erste Fläche eines Wafers W (zu beklebender Körper) und eine zweite Fläche, die sich von der ersten Fläche unterscheidet, geschützt werden, wodurch sich der Nachteil ergibt, dass die laufenden Kosten zum Schützen der ersten Fläche und der zweiten Fläche zunehmen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Folienaufklebevorrichtung und eines Folienaufklebeverfahrens, durch welche eine Zunahme der laufenden Kosten zum Schützen einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche eines zu beklebenden Körpers verhindert werden kann.
[Mittel zum Lösen der Aufgabe]
Die vorliegende Erfindung verwendet in den Ansprüchen angegebene Strukturen.
[Effekte der Erfindung]
Der vorliegenden Erfindung zufolge wird ein Überstandsbereich einer Klebefolie, die auf eine erste Fläche aufgeklebt wurde, verformt, und dieser Überstandsbereich in Richtung zu einer zweiten Fläche, die sich von der ersten Fläche unterscheidet, umgebogen und aufgeklebt, sodass eine Klebefolie ausreicht, um die erste Fläche und die zweite Fläche eines zu beklebenden Körpers zu schützen. Infolgedessen kann eine Zunahme der laufenden Kosten zum Schützen einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche eines zu beklebenden Körpers verhindert werden.
Figurenliste

1A-D sind erläuternde Ansichten einer Folienaufklebevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und erläuternde Ansichten des Betriebs dieser Vorrichtung.

[Formen zur Ausführung der Erfindung]
Im Folgenden wird anhand der Zeichnungen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert.
Bei der vorliegenden Ausführungsform befinden sich die X-Achse, Y-Achse und Z-Achse jeweils in einer orthogonalen Beziehung zueinander, wobei vorgegeben ist, dass die X-Achse und die Y-Achse in einer bestimmten Ebene liegen, und die Z-Achse eine zu der bestimmten Ebene orthogonale Achse ist. Ferner handelt es sich bei der vorliegenden Ausführungsform, wenn eine Richtung ohne Hinweis auf eine Zeichnung basierend auf einer zur Y-Achse parallelen Betrachtung in 1A-D von vorne angezeigt wird, bei „oben“ um die Pfeilrichtung der Z-Achse, bei „unten“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „links“ um die Pfeilrichtung der X-Achse, bei „rechts“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „vorne“ um die zur Y-Achse parallele vordere Richtung in 1A-D und bei „hinten“ um deren entgegengesetzte Richtung.
Eine Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst ein Zuführmittel 10, das einen Zuführschritt ausführt, in dem eine durch Wärme als eine bestimmte Energie verformbare Klebefolie AS zugeführt wird, ein Andrückmittel 20, das einen Andrückschritt ausführt, in dem die durch das Zuführmittel 10 zugeführte Klebefolie AS an eine erste Fläche WK1 eines zu beklebenden Körpers WK angedrückt und aufgeklebt wird, ein Umbiege-Aufklebemittel 30, das einen Umbiege-Aufklebeschritt ausführt, in dem ein Überstandsbereich ASH durch das Erteilen von Wärme verformt wird, der Überstandsbereich ASH in Richtung zu einer zweiten Fläche WK2, die sich von der ersten Fläche WK1 unterscheidet, umgebogen und der Überstandsbereich ASH auf die zweite Fläche WK2 aufgeklebt wird, ein Lenkmittel 40, das einen Lenkschritt ausführt, in dem der Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 gelenkt wird, und ein Überstandsbereich-Andrückmittel 50, das einen Überstandsbereich-Andrückschritt ausführt, in dem der Überstandsbereich ASH an die zweite Fläche WK2 angedrückt wird, und ist in der Nähe eines Bewegungsmittel 60 angeordnet, das einen Bewegungsschritt ausführt, in dem das Andrückmittel 20 und der zu beklebende Körper WK zueinander bewegt werden.
Bei der vorliegenden Ausführungsform wird ein kreisförmiger zu beklebender Körper WK mit einer Referenzposition WKR im Zentrum verwendet. Ferner wird eine Klebefolie AS verwendet, die infolge einer Kontraktion durch Wärme von 80°C verformbar ist.
Das Zuführmittel 10 umfasst eine Trägerrolle 11, die eine Rohfolie RS trägt, bei der die Klebefolie AS vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, eine die Rohfolie RS führende Führungsrolle 12, eine Abziehplatte 13 als Abziehmittel, durch welches die Abziehfolie RL an einem Abziehrand 13A umgeschlagen und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen wird, eine Antriebsrolle 14, die an einer nicht dargestellten Abtriebswelle eines Drehmotors 14A als Antriebsgerät getragen wird und mittels einer Klemmrolle 14B die Abziehfolie RL einklemmt, und eine Einsammelrolle 15 als Einsammelmittel, die an der Abtriebswelle eines nicht dargestellten Antriebsgeräts getragen wird, und während der Durchführung eines automatischen Betriebs der Folienklebevorrichtung EA der zwischen der Klemmrolle 14B vorliegenden Abziehfolie RL stets eine bestimmte Spannkraft erteilt und die Abziehfolie RL einsammelt.
Das Andrückmittel 20 umfasst Andrückrollen 21. Das Andrückmittel 20 kann die Klebefolie AS auf die erste Fläche WK1 der Klebefolie AS derart aufkleben, dass die Klebefolie AS einen von einem Außenrand WKE der ersten Fläche WK1 überstehenden Überstandsbereich ASH bildet.
Das Umbiege-Aufklebemittel 30 umfasst ein Heißluftgebläsemittel 31, das durch ein nicht dargestelltes Heizgerät wie die Heizseite usw. einer Heizspirale oder eines Heizrohrs eine gasförmige Materie wie Luft, Gas usw. erwärmt und Heißluft AR erzeugt, die Heißluft AR über eine Leitung 31A ausbläst, und dadurch den Überstandsbereich ASH auf 80°C erwärmen kann, und einen Gebläsekopf 32, der in einer Torusform mit einer Mittellinie CL als Zentrum vorgesehen ist, bei der es sich um eine zur Z-Achse parallele Gerade handelt.
Der Gebläsekopf 32 umfasst eine ringförmige Düse 32A, an der eine Austrittsöffnung 32B gebildet ist, aus der die Heißluft AR austritt, die über die Leitung 31 A geblasen wurde.
Das Lenkmittel 40 umfasst einen Gleichstrommotor 41 als Antriebsgerät, und einen Lenkkopf 43, der über eine Klammer 42 an einer Abtriebswelle 41 A des Gleichstrommotors 41 getragen wird, und in einer Torusform mit der Mittellinie CL als Zentrum vorgesehen ist.
In einer Innenumfangsfläche 43A des Lenkkopfs 43 ist eine ringförmige Austrittsöffnung 43C gebildet, aus der die Heißluft AR austritt, die von dem Heißluftgebläsemittel 31 über eine Leitung 43B ausgeblasen wurde.
Das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 umfasst einen Gleichstrommotor 51 als Antriebsgerät, der über Klammern 51A am Lenkkopf 43 getragen wird, und eine Andrückkomponente 52 einer Torusform, die an dessen Abtriebswelle 51B getragen wird.
Das Bewegungsmittel 60 umfasst einen Trägertisch 62 mit einer Haltefläche 62A, mittels der durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe, einen Vakuum-Ejektor usw., das von einem Schieber 61A eines Linearmotors 61 als Antriebsgerät getragen wird, ein Ansaugen und Halten möglich ist, einen in einer Vertiefung 62B, die in der Haltefläche 62A gebildet ist, angeordneten Gleichstrommotor 63 als Antriebsgerät und einen an dessen Abtriebswelle 63A getragenen Hebetisch 64, dessen Oberfläche durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe, einen Vakuum-Ejektor usw. zu einem Haltetisch 64A wird, bei dem ein Ansaugen und Halten möglich ist. Als Haltefläche 62A ist ein nicht-adhäsives Material wie Flusssäureharz oder Silikonharz laminiert, sodass die Klebefolie AS nicht anhaftet, oder bei einem Anhaften der Klebefolie AS die Klebefolie AS abgelöst werden kann.
Der Betrieb der vorstehenden Folienaufklebevorrichtung EA wird erläutert. Zunächst wird an die Folienaufklebevorrichtung EA, deren jeweilige Komponenten an einer in 1A mittels einer durchgezogenen Linie gezeigten Anfangsposition angeordnet sind, nachdem ein Bediener der Folienaufklebevorrichtung EA (im Folgenden einfach als „Bediener“ bezeichnet) eine Rohfolie RS wie in dieser Zeichnung angegeben eingesetzt hat, ein Signal für den Beginn des Automatikbetriebs über ein nicht dargestelltes Bedienungsmittel wie ein Bedienfeld oder ein Personal Computer eingegeben. Dann wird bei dem Zuführmittel 10 der Drehmotor 14A angetrieben, die Rohfolie RS abgerollt und wenn ein vorderer Endabschnitt der Spitze der Klebefolie AS in der Abrollrichtung durch den Abziehrand 13A der Abziehplatte 13 in einer bestimmten Länge abgezogen wurde, wird der Antrieb des Drehmotors 14A unterbrochen. Wird dann durch einen Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel wie einen mehrgelenkigen Roboter, ein Transportband usw., wie in 1A gezeigt, der zu beklebende Körper WK derart auf die Halteflächen 62A, 64A aufgesetzt, dass die Referenzposition WKR einen Hebetischmittelpunkt 64R überlagert, treibt das Bewegungsmittel 60 das nicht dargestellte Druckminderungsmittel an, und das Ansaugen und Halten durch die Halteflächen 62A, 64A beginnt.
Anschließend wird bei dem Bewegungsmittel 60 der Linearmotor 61 angetrieben, der Trägertisch 62 nach links bewegt, und wenn der zu beklebende Körper WK eine bestimmte Position bezüglich des Zuführmittels 10 erreicht hat, treibt das Zuführmittel 10 den Drehmotor 14A an und die Rohfolie RS wird angepasst an die Bewegungsgeschwindigkeit des zu beklebenden Körpers WK abgerollt. Dadurch wird die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen, und die von der Abziehfolie RL abgezogene Klebefolie AS wird durch die Andrückrolle 21 an den zu beklebenden Körper WK angedrückt und derart auf die erste Fläche WK1 aufgeklebt, dass sich wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, der Überstandsbereich ASH bildet. Dann wird, nachdem die gesamte Klebefolie AS der Spitze auf den zu beklebenden Körper WK aufgeklebt wurde, ein sich an die Spitze der Klebefolie AS anschließender nächster vorderer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Abrollrichtung durch den Abziehrand 13A der Abziehplatte 13 in einer bestimmten Länge abgezogen, und durch das Zuführmittel 10 der Antrieb des Drehmotors 14A unterbrochen. Stimmt dann, wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, der Hebetischmittelpunkt 64R (die Referenzposition WKR) mit der Mittellinie CL überein, unterbricht das Bewegungsmittel 60 den Antrieb des Linearmotors 61, und nachdem das Bewegen des zu beklebenden Körpers WK nach links unterbrochen wurde, werden der Antrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 62A aufgehoben.
Dann treibt das Bewegungsmittel 60, wie in 1A mit einer Zwei-Strichpunktlinie gezeigt, den Gleichstrommotor 63 an, und nachdem der Hebetisch 64 nach oben bewegt wurde, treibt das Umbiege-Aufklebemittel 30, wie in 1B gezeigt, das Heißluftgebläsemittel 31 an, sodass aus der Austrittsöffnung 32B Heißluft AR auf den Überstandsbereich ASH geblasen wird. Dadurch verformt sich der Überstandsbereich ASH infolge einer Kontraktion, wobei sich der Überstandsbereich ASH, wie in 1B mit einer durchgezogenen Linie gezeigt, derart verformt, dass er in Richtung zur zweiten Fläche WK2 umgebogen, auf die zweite Fläche WK2 aufgeklebt, und ein Einheitskörper UP gebildet wird. Anschließend treibt das Bewegungsmittel 60 den Gleichstrommotor 63 an, sodass der Hebetisch 64 nach unten bewegt wird und an die Anfangsposition zurückkehrt.
Dabei kann es vorkommen, dass sich aufgrund verschiedener Bedingungen wie Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung, Struktur, Form, Abmessungen und Gewicht der Klebefolie AS, Bedingungen der Atmosphäre sowie sonstigen Faktoren usw. (im Folgenden als „Kenngrößen usw.“ bezeichnet) der Überstandsbereich ASH nicht in die gewünschte Richtung verformt. Das heißt, bei der vorliegenden Ausführungsform kann für den Fall, dass kein Umbiegen nach unten, sondern ein Umbiegen nach oben erfolgt, durch das Lenkmittel 40 ein Lenkschritt erfolgen, in dem der Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 gelenkt wird. Bei dem Lenkschritt handelt es sich wie in 1C gezeigt um einen Schritt, in dem, wenn der Überstandsbereich ASH beginnt, sich durch die Heißluft AR zu verformen, das Lenkmittel 40 den Gleichstrommotor 41 antreibt, sodass der Lenkkopf 43 nach unten bewegt wird, der Überstandsbereich ASH in dessen Innenumfangsfläche 43A eintritt, und ein Verformen verhindert wird, bei dem sich der Überstandsbereich ASH nach oben umbiegt. Tritt der Überstandsbereich ASH in die Innenumfangsfläche 43A des Lenkkopfs 43 ein, treibt das Umbiege-Aufklebemittel 30 das Heißluftgebläsemittel 31 an und aus der Austrittsöffnung 43C wird Heißluft AR auf den Überstandsbereich ASH geblasen. Dadurch verformt sich der Überstandsbereich ASH infolge einer Kontraktion weiter, wobei er sich wie in 1C mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, derart verformt, dass er in Richtung zur zweiten Fläche WK2 umgebogen und auf die zweite Fläche WK2 aufgeklebt wird („Lenkschritt“).
Für den Fall, dass sich aufgrund von Kenngrößen usw. der Klebefolie AS der Überstandsbereich ASH nicht bis zu einem Kontakt mit der zweiten Fläche WK2 umbiegen lässt, oder sich der Überstandsbereich ASH zwar bis zu einem Kontakt mit der zweiten Fläche WK2 umbiegen lässt, aber aufgrund eines Druckkraftmangels eine bestimmte Adhäsionskraft nicht erzielt wird, oder vorsichtshalber der Überstandsbereich ASH an die zweite Fläche WK2 angedrückt werden soll, kann ein im Folgenden gezeigter Überstandsbereich-Andrückschritt durchgeführt werden, in dem der Überstandsbereich ASH durch das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 an die zweite Fläche WK2 angedrückt wird. Der Überstandsbereich-Andrückschritt ist ein Schritt, in dem, nachdem der Hebetisch 64 nach unten bewegt wurde, das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 den Gleichstrommotor 51 antreibt, sodass die Andrückkomponente 52 nach unten bewegt wird, und wie in 1D gezeigt, der Überstandsbereich ASH durch die Andrückkomponente 52 und die Haltefläche 62A an die zweite Fläche WK2 angedrückt wird. Dadurch kann der Überstandsbereich ASH sicherer auf die zweite Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt werden („Überstandsbereich-Andrückschritt“).
Dann unterbricht das Umbiege-Aufklebemittel 30 den Antrieb des Heißluftgebläsemittel 31, das Lenkmittel 40 und das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 treiben jeweils die Gleichstrommotoren 41, 51 an, sodass der Lenkkopf 43 und die Andrückkomponente 52 an die Ausgangsposition zurückkehren. Dann wird, nachdem das Bewegungsmittel 60 den Antrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen hat und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 64A aufgehoben wurde, wenn durch einen Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel der Einheitskörper UP zum nächsten Schritt transportiert wird, der Linearmotor 61 angetrieben, der Trägertisch 62 an die Anfangsposition zurückgebracht, und ab dann der vorstehende Betrieb wiederholt.
Der vorstehenden Ausführungsform zufolge wird der Überstandsbereich ASH der Klebefolie AS, die auf die erste Fläche WK1 aufgeklebt wurde, verformt, und dieser Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2, die sich von der ersten Fläche WK1 unterscheidet, umgebogen und aufgeklebt, sodass eine Klebefolie AS ausreicht, um die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK zu schützen. Infolgedessen kann eine Zunahme der laufenden Kosten zum Schützen der ersten Fläche WK1 und der zweiten Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK verhindert werden.
Die Mittel und Schritte bei der vorliegenden Erfindung unterliegen keinerlei Beschränkung, solange der Betrieb, die Funktionen oder die Schritte, die bezüglich dieser Mittel und Schritte erläutert wurden, erreicht werden können, und noch viel weniger besteht irgendeine Beschränkung auf die Strukturen oder Schritte der lediglich einen Ausführungsform, die durch die vorstehende Ausführungsform dargestellt wurde. Beispielsweise kann es sich bei dem Zuführmittel um ein beliebiges Mittel handeln, solange die Zuführung einer durch eine bestimmte Energie verformbaren Klebefolie möglich ist, und es besteht diesbezüglich keinerlei Beschränkung, solange es sich beim Vergleich mit dem technischen Allgemeinwissen zum Zeitpunkt dieser Anmeldung um ein solches innerhalb dieses technischen Bereichs handelt (dies gilt auch für andere Mittel und Schritte).
Das Zuführmittel 10 kann auch dadurch, dass in einem bandförmigen Klebefolien-Basismaterial, das vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, eine Klebefolie AS, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, nach dem Abrollen der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann auch eine bandförmige Klebefolien-Rohfolie verwenden, bei der auf eine bandförmige Abziehfolie RL ein bandförmiges Klebefolien-Basismaterial vorübergehend aufgeklebt wurde, und inmitten des Abrollens der bandförmigen Klebefolien-Rohfolie durch eine Schneideklinge als Schneidemittel in dem Klebefolien-Basismaterial ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, und eine Klebefolie AS, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine Klebefolie AS, bei der eine bandförmige Klebefolie AS auf eine bandförmige Abziehfolie RL vorübergehend aufgeklebt wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine Klebefolie AS, die nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet ist, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann ein Sammelmittel verwenden, bei dem die Abziehfolie RL dadurch eingesammelt wird, dass sie nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet, durch einen Schredder usw. kleingeschnitten und einfach aufgehäuft wird, es kann kein Sammelmittel verwenden, oder es kann eine nicht vorübergehend auf eine Abziehfolie RL aufgeklebte Klebefolie AS wiederholt zuführen.
Das Andrückmittel 20 kann die Klebefolie AS auf die erste Fläche WK1 auch derart aufkleben, dass der gesamte Außenrand der Klebefolie AS zum Überstandsbereich ASH wird, oder es kann die Klebefolie AS auf die erste Fläche WK1 derart aufkleben, dass ein Teil des Außenrandes der Klebefolie AS zum Überstandsbereich ASH wird.
Bei dem Umbiege-Aufklebemittel 30 kann der Gebläsekopf 32 auch keine Torusform haben, sondern polygon wie ein Viereck, Achteck usw. sein, oder eine ovale Ringform usw. haben, anstelle der ringförmigen Düse 32A eine Mehrzahl von Düsen umfassen, angepasst an die Position des sich verformenden Überstandsbereichs ASH, können z. B. eine Mehrzahl von Austrittsöffnungen 32B in vertikaler Richtung vorgesehen sein, angepasst an die Position des sich verformenden Überstandsbereichs ASH kann die Austrittsöffnung 32B auch eine sich vertikal bewegende Struktur sein, die Austrittsöffnung 32B kann auch nicht ringförmig sein, sondern es kann sich um eine Mehrzahl von Löchern oder ein einzelnes Loch handeln, die Temperatur der aus den Austrittsöffnungen 32B, 43C geblasenen Heißluft AR kann eine den Überstandsbereich ASH verformbare Temperatur (bei der vorstehenden Ausführungsform 80°C) sein, sie kann auch eine höhere Temperatur als die den Überstandsbereich ASH verformbare Temperatur sein (bei der vorstehenden Ausführungsform 85°C, 100°C usw.), es kann sich um eine Struktur handeln, bei der eine ringförmige Komponente, die bis zu einer den Überstandsbereich ASH verformbaren Temperatur (bei der vorstehenden Ausführungsform eine Temperatur von 80°C oder höher) erwärmt wurde, mit dem Überstandsbereich ASH in Kontakt gebracht wird, der Überstandsbereich ASH verformt und auf die zweite Fläche WK2 aufklebt wird, es ist auch eine Struktur möglich, bei der eine ringförmige Komponente, die bis zu einer den Überstandsbereich ASH verformbaren Temperatur (bei der vorstehenden Ausführungsform eine Temperatur von 80°C oder höher) erwärmt wurde, in einem Kontaktzustand mit dem Überstandsbereich ASH nach unten bewegt wird, wobei die ringförmige Komponente als Lenkmittel fungiert, das Heißluftgebläsemittel 31 kann auch nicht gemeinsam mit dem Lenkmittel 40 vorgesehen sein, die der Klebefolie AS erteilte Wärme kann eine erwärmte Flüssigkeit wie Wasser, Öl, Gel usw. sein, die Temperatur der Heißluft AR oder des Fluids kann unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS optional festgelegt werden, als bestimmte Energie, die der Klebefolie AS erteilt wird, kann es sich um elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen usw., oder Wärme wie heißes Wasser, Heißluft usw. handeln, wobei diese unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS optional festgelegt werden kann.
Das Lenkmittel 40 kann anstelle des Lenkkopfs 43 oder zusammen mit diesem eine gasförmige Materie wie Luft, Gas usw. und die Heißluft AR ausblasen und den Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 lenken, es ist eine Struktur möglich, bei der eine Bürste, plattenförmige Komponente usw., die durch den Ausgangsabschnitt des Antriebsgeräts getragen wird, an den Überstandsbereich ASH angedrückt wird und den Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 lenkt, es kann ohne ein gemeinsames Nutzen des Heißluftgebläsemittels 31 mit dem Umbiege-Aufklebemittel 30 ein individuelles Heißluftgebläsemittel umfasst sein, der Lenkkopf 43 kann auch keine Torusform haben, sondern polygon wie in Viereck, Achteck usw. sein, oder eine ovale Ringform usw. haben, es kann sich um eine Struktur handeln, bei der keine Heißluft AR aus der Austrittsöffnung 43C austritt, sondern ein anderes sich von dem Heißluftgebläsemittel 31 unterscheidendes Gebläsemittel verwendet wird, bei dem z. B. Kaltluft, Heißluft oder eine gasförmige Materie einer normalen Temperatur austritt, wobei durch die gasförmige Materie, die bei diesem Gebläsemittel austritt, der Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 gelenkt wird, es kann auch keine Struktur vorliegen, bei der Heißluft AR, Kaltluft usw. austritt, und anstelle einer Struktur, bei der Heißluft AR austritt und einem separaten Gebläsemittel, oder zusammen hiermit kann eine Struktur verwendet werden, bei der eine Bürste, eine plattenförmige Komponente usw., die durch den Ausgangsabschnitt des Antriebsgeräts getragen wird, an den Überstandsbereich ASH angedrückt wird und den Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 lenkt, anstelle des Lenkkopfs 43 kann ein Lenkkopf verwendet werden, der ein Loch oder einen Zwischenraum aufweist, das/den die aus dem Gebläsekopf 32 austretende Heißluft AR passiert, und ohne Heißluft AR aus dem Gebläsekopf 32, die zum Überstandsbereich ASH geblasen wird, zu behindern, den Überstandsbereich ASH in Richtung zur zweiten Fläche WK2 lenkt, die Austrittsöffnung 43C kann auch nicht ringförmig sein sondern es kann sich um eine Mehrzahl von Löchern oder ein einzelnes Loch handeln, es kann auch dann ein Lenkbetrieb erfolgen, wenn sich der Überstandsbereich ASH aufgrund einer Verformung in die gewünschte Richtung verformt, und es kann von der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
Das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 kann ohne den Gleichstrommotor 51 und die Andrückkomponente 52 zu verwenden, den Gleichstrommotor 63 und den Hebetisch 64 zusammen mit dem Bewegungsmittel 60 verwenden, und einen Überstandsbereich-Andrückschritt ausführen, in dem der Hebetisch 64 mit der Kraft zur Rückkehr an die Anfangsposition den Überstandsbereich ASH an den zu beklebenden Körper WK andrückt, es kann auch für den Fall, dass aufgrund des Umbiegens mittels des Umbiege-Aufklebemittels 30 die Adhäsionskraft des Überstandsbereichs ASH gegenüber der zweiten Fläche WK2 eine bestimmte Adhäsionskraft erlangt hat, den Überstandsbereich-Andrückschritt durchführen, den Überstandsbereich-Andrückschritt nicht durchführen und von der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
Das Bewegungsmittel 60 kann, ohne dass es den Trägertisch 62 bewegt oder während es diesen bewegt, das Zuführmittel 10 und das Andrückmittel 20 bewegen, sodass die Klebefolie AS auf den zu beklebenden Körper WK aufgeklebt wird, bei einem Einklemmen des Überstandsbereichs ASH durch den zu beklebenden Körper WK (vgl. 1D) kann an einer Position der Haltefläche 62A, mit welcher der Überstandsbereich ASH Kontakt hat, ein Energieerteilungsmittel angeordnet sein, das eine der bestimmten Energie, die von dem Umbiege-Aufklebemittel 30 erteilt wird, gleichwertige bestimmte Energie erteilt, es kann eine Struktur verwendet werden, bei der ein Trägertisch 64 mit einer Haltefläche 64A einer Größe verwendet wird, bei der der Außenrand des zu beklebenden Körpers WK übersteht, und das Umbiege-Aufklebemittel 30 ohne dass der zu beklebende Körper WK durch den Hebetisch 64 angehoben wird, den Überstandsbereich ASH auf die zweite Fläche WK2 aufkleben kann, es kann eine Struktur verwendet werden, die derart aufgebaut ist, dass der zu beklebende Körper WK ohne Verwendung des Hebetischs 64 durch ein anderes Antriebsgerät angehoben wird, und das Umbiege-Aufklebemittel 30 den Überstandsbereich ASH auf die zweite Fläche WK2 aufkleben kann, und es kann von der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
Die Folienaufklebevorrichtung EA kann auf den zu beklebenden Körper WK auch eine Mehrzahl von Klebefolien AS aufkleben, sie kann auch durch eine vertikal umkehrende Anordnung und eine seitliche Anordnung die Klebefolie AS auf den zu beklebenden Körper WK aufkleben.
Die Klebefolie AS kann sich auch durch eine andere bestimmte Energie als der von elektromagnetischen Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen usw. oder Wärme von heißem Wasser, Heißluft usw. als bestimmter Energie verformen, sich durch eine bestimmte Energie infolge einer Kontraktion verformen, oder infolge einer Expansion verformen, oder sich weder infolge einer Kontraktion noch einer Expansion verformen.
Es kann sich auch um eine Folienaufklebevorrichtung EA handeln, bei der durch das Bilden einer Öffnung im mittleren Abschnitt eine ringförmig gebildete Klebefolie AS verwendet, und die Klebefolie AS am Außenrand der ersten Fläche WK1 und am Außenrand der zweiten Fläche WK2 bei dem zu beklebenden Körper WK aufgeklebt wird.
Bei dem zu beklebenden Körper WK kann die zweite Fläche WK2 eine beliebige Fläche sein, solange es sich um eine andere Fläche als die erste Fläche WK1 handelt, wobei sie zu einer Rückfläche werden kann, die auf der Rückseite der ersten Fläche WK1 positioniert ist, die zweite Fläche WK2 aber auch eine zwischen der ersten Fläche WK1 und der Rückseite positionierte Seitenfläche usw. sein kann.
Die Materialqualität, Art, Form usw. der Klebefolie AS und des zu beklebenden Körpers WK bei der vorliegenden Erfindung unterliegt keiner besonderen Beschränkung. Beispielsweise können die Klebefolie AS und der zu beklebende Körper WK kreisförmig, oval, polygon wie ein Dreieck, Viereck usw. sein oder eine andere Form haben, und bei der Klebefolie AS kann es sich um eine Adhäsionsform wie eine druckempfindliche Adhäsion, wärmedruckempfindliche Adhäsion usw. handeln, wobei bei der Verwendung einer Klebefolie AS mit einer wärmedruckempfindlichen Adhäsion, das Aufkleben durch ein angemessenes Verfahren erfolgen kann, z. B. durch die Vorsehung eines zum Erwärmen der Klebefolie AS geeigneten Erwärmungsmittels wie der Heizseite einer Heizspirale, eines Heizrohrs usw. Ferner kann es sich um eine beliebige Klebefolie AS handeln, wie um eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige Klebefolie, eine aus einem Basismaterial und einer Klebstoffschicht aufgeschichtete zweischichtige Klebefolie, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der zwischen dem Basismaterial und der Klebstoffschicht eine oder eine Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet sind, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der auf der Oberseite des Basismaterials eine oder eine Mehrzahl von Deckschichten aufgeschichtet sind, eine Klebefolie, bei der das Basismaterial, eine Zwischenschicht oder eine Deckschicht abziehbar vorgesehen sind, eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige doppelseitige Klebefolie, eine doppelseitige Klebefolie, bei der eine Klebstoffschicht auf beiden äußersten Flächen einer oder einer Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet ist, usw. Außerdem kann es sich bei dem zu beklebenden Körper WK z. B. um ein Lebensmittel, einen Kunststoffbehälter, einen Halbleiterwafer wie einen Silikon-Halbleiterwafer, einen Verbindungshalbleiterwafer usw., ein Datenspeichersubstrat wie eine Leiterplatte, eine optische Speicherplatte usw., um einen Einzelkörper aus einer Glasplatte, einem Stahlblech, einer Keramik, einer Holzplatte oder einem Harz usw. oder um einen zusammengesetzten Körper aus zwei oder mehr als zwei von diesen handeln, und auch Komponenten, Artikel usw. einer optionalen Form können Gegenstand sein. Bei der Klebefolie AS ist als Ersatz durch eine funktionelle oder zweckmäßige Angabe auch optional die Bezeichnung Folie, Film, Tape usw. wie Datenträgeretikett, Dekorationsetikett, Schutzfolie, Dicing-Tape, Die-Attach-Film, Die-Bonding-Tape, Aufzeichnungsschicht bildender Harzfilm usw. möglich.
Abgesehen davon, dass als Antriebsgerät bei der vorliegenden Ausführungsform ein elektrisches Gerät wie ein Drehmotor, ein Gleichstrommotor, ein Linearmotor, ein einachsiger Roboter, ein mehrgelenkiger Roboter, der zwei, drei oder mehr als drei Gelenke umfasst, Aktoren wie ein Luftzylinder, Hydraulikzylinder, kolbenstangenloser Zylinder, Drehzylinder usw. verwendet werden kann, ist auch die Verwendung eines solchen möglich, das hiermit direkt oder indirekt kombiniert ist.
Wird bei der vorstehenden Ausführungsform eine Drehkomponente wie eine Rolle usw. verwendet, kann ein die Drehkomponente drehend antreibendes Antriebsgerät umfasst sein, wobei die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aus einem verformbaren Material wie Kautschuk oder Harz bestehen kann, die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aber auch aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, und anstelle einer Rolle auch eine sich drehende oder nicht drehende andere Komponente wie eine Achse, ein Blatt usw. verwendet werden kann, wenn als Gegenstand zum Drücken eines zu drückenden Gegenstands ein Andrückmittel oder eine Druckkomponente wie eine Andrückrolle, ein Druckkopf usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen, abgesehen von einer Rolle, einem Rundstab, einem Blattmaterial und einer bürstenförmigen Komponente auch ein auf einem Besprühen mit Luft, Gas usw. beruhender Gegenstand verwendet werden, als Struktur zum Drücken kann es sich um eine solche aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz, Schaumstoff usw., oder um eine Struktur aus einem nicht verformbaren Material wie Metall, Harz usw. handeln, wenn als Gegenstand zum Abziehen eines abzuziehenden Gegenstands ein Abziehmittel oder eine Abziehkomponente wie eine Abziehplatte, eine Abziehrolle usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen auch eine Komponente wie eine plattenförmige Komponente, ein Rundstab oder eine Rolle verwendet werden, wobei der abziehende Gegenstand aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz usw. oder aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, wenn ein Gegenstand zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente (zu haltenden Komponente) wie ein Trägermittel- (Haltemittel, eine Trägerkomponente (Haltekomponente) usw. verwendet wird, kann ein Greifmittel wie ein mechanisches Spannfutter, ein Spannfutterzylinder usw., oder eine Struktur zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente durch Coulombsche Kraft, Klebstoff (Klebefolie, Klebeband), Haftmittel (Haftfolie, Haftband), Magnetkraft, Bernoulli-Adsorption, Ansaugen-Festsaugen, ein Antriebsgerät usw. verwendet werden, wenn ein Gegenstand wie ein Schneidmittel oder eine Schneidkomponente zum Schneiden einer zu schneidenden Komponente oder um in einer zu schneidenden Komponente einen Einschnitt oder eine Trennlinie zu bilden, verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen ein solches zum Schneiden mittels einer Schneideklinge, einem Laserschneidegerät, einem lonenstrahl, Wärmekraft, Wärme, Wasserdruck, einem Heizdraht, Besprühen mit einer Flüssigkeit, Gas usw. verwendet werden, wobei durch eine Kombination mit einem geeigneten Antriebsgerät das Schneiden durch ein Bewegen des schneidenden Gegenstand erfolgt.
Bezugszeichenliste

EA: Folienaufklebevorrichtung
10: Zuführmittel
20: Andrückmittel
30: Umbiege-Aufklebemittel
40: Lenkmittel
50: Überstandsbereich-Andrückmittel
AS: Klebefolie
ASH: Überstandsbereich
AR: Heißluft (bestimmte Energie)
WK: Zu beklebender Körper
WK1: Erste Fläche
WK2: Zweite Fläche
WKE: Außenrand

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2015162634 A [0003]

Claims

Folienaufklebevorrichtung, umfassend ein Zuführmittel zum Zuführen einer durch eine bestimmte Energie verformbaren Klebefolie, und ein Andrückmittel zum Andrücken und Aufkleben der durch das Zuführmittel zugeführten Klebefolie auf eine erste Fläche eines zu beklebenden Körpers, dadurch gekennzeichnet, dass das Andrückmittel die Klebefolie derart auf die erste Fläche aufklebt, dass die Klebefolie einen vom Außenrand der ersten Fläche überstehenden Überstandsbereich bildet, und außerdem ein Umbiege-Aufklebemittel umfasst ist, das den Überstandsbereich durch das Erteilen einer bestimmten Energie verformt, den Überstandsbereich in Richtung zu einer zweiten Fläche, die sich von der ersten Fläche unterscheidet, umbiegt und den Überstandsbereich auf die zweite Fläche aufklebt.
Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Lenkmittel, das den Überstandsbereich zur zweiten Fläche lenkt.
Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch ein Überstandsbereich-Andrückmittel, das den Überstandsbereich an die zweite Fläche andrückt.
Folienaufklebeverfahren, bei dem ein Zuführschritt, in dem eine durch eine bestimmte Energie verformbare Klebefolie zugeführt wird, und ein Andrückschritt, in dem die im Zuführschritt zugeführte Klebefolie an eine erste Fläche eines zu beklebenden Körpers angedrückt und aufgeklebt wird, ausgeführt werden, dadurch gekennzeichnet, dass durch den Andrückschritt die Klebefolie auf die erste Fläche derart aufgeklebt wird, dass die Klebefolie einen vom Außenrand der ersten Fläche überstehenden Überstandsbereich bildet, und außerdem ein Umbiege-Aufklebeschritt durchgeführt wird, in welchem der Überstandsbereich durch das Erteilen einer bestimmten Energie verformt wird, und der Überstandsbereich in Richtung zu einer zweiten Fläche, die sich von der ersten Fläche unterscheidet, umgebogen wird, und der Überstandsbereich auf die zweite Fläche aufgeklebt wird.