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[Technisches Gebiet]
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Folienaufklebevorrichtung und ein Folienaufklebeverfahren.
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[Hintergrundtechnologie]
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Eine Folienaufklebevorrichtung zum Aufkleben einer Klebefolie auf einen zu beklebenden Körper ist bekannt (vgl. z. B. Patentdokument 1).
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[Dokumente des Standes der Technik]
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[Patentdokumente]
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[Patentdokument 1] Patentveröffentlichung Nr.
JP 2012-84578 A -
[Übersicht über die Erfindung]
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[Technische Aufgabe der Erfindung]
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Bei der im Patentdokument 1 angegebenen Folienaufklebevorrichtung 1 (Folienaufklebevorrichtung) kann jedoch selbst dann, wenn am Außenrandabschnitt einer Fläche eines Wafers W (zu beklebender Körper) ein beidseitiges Klebeband S (Klebefolie) aufgeklebt wurde, die Klebefolie nicht auf die Außenrandendfläche des betreffenden zu beklebenden Körpers aufgeklebt werden. Wird beispielsweise der zu beklebende Körper einer bestimmten Behandlung unterzogen, z. B. in eine Flüssigkeit eingetaucht oder einem Gas ausgesetzt, ergibt sich daher der Nachteil, dass an der Außenrandendfläche des zu beklebenden Körpers Fremdkörper wie eine Flüssigkeit oder ein Gas anhaften.
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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Folienaufklebevorrichtung und eines Folienaufklebeverfahrens, durch welche die Außenrandendfläche eines zu beklebenden Körpers und die Außenrandendflächenseite einer an die Außenrandendfläche angrenzenden anderen Fläche durch eine Klebefolie sicher geschützt werden können.
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[Mittel zum Lösen der Aufgabe]
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Die vorliegende Erfindung verwendet in den Ansprüchen angegebene Strukturen.
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[Effekte der Erfindung]
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Gemäß der vorliegenden Erfindung können die Außenrandendfläche eines zu beklebenden Körpers und die Außenrandendflächenseite einer an die Außenrandendfläche angrenzenden anderen Fläche durch eine Klebefolie dadurch sicher geschützt werden, dass ein Überstandsbereich der Klebefolie, die auf die Außenrandendfläche aufgeklebt wurde, in Richtung zu der an die Außenrandendfläche angrenzenden anderen Fläche umgebogen und aufgeklebt wird.
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Figurenliste
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- 1 sind erläuternde Ansichten einer Folienaufklebevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und erläuternde Ansichten des Betriebs dieser Vorrichtung.
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[Formen zur Ausführung der Erfindung]
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Im Folgenden wird anhand der Zeichnungen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform befinden sich die X-Achse, Y-Achse und Z-Achse jeweils in einer orthogonalen Beziehung zueinander, wobei vorgegeben ist, dass die X-Achse und die Y-Achse in einer bestimmten Ebene liegen, und die Z-Achse eine zu der bestimmten Ebene orthogonale Achse ist. Ferner handelt es sich bei der vorliegenden Ausführungsform, wenn eine Richtung ohne Hinweis auf eine Zeichnung basierend auf einer zur Y-Achse parallelen Betrachtung in 1 von unten angezeigt wird, bei „oben“ um die Pfeilrichtung der Z-Achse, bei „unten“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „links“ um die Pfeilrichtung der X-Achse, bei „rechts“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „vorne“ um die zur Y-Achse parallele vordere Richtung in 1 und bei „hinten“ um deren entgegengesetzte Richtung. Bei 1E und F handelt es sich um Ansichten aus einer zur X-Y-Ebene geneigten Sicht, sodass keine die Richtung anzeigenden Pfeile dargestellt sind.
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Eine Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst ein Zuführmittel 10, das einen Zuführschritt ausführt, in dem eine elastisch verformbare Klebefolie AS zugeführt wird, ein Andrückmittel 20, das einen Andrückschritt ausführt, in dem die durch das Zuführmittel 10 zugeführte Klebefolie AS an eine Außenrandendfläche WKE eines zu beklebenden Körpers WK angedrückt wird, ein Bewegungsmittel 30, das einen Bewegungsschritt ausführt, in dem das Andrückmittel 20 und der zu beklebende Körper WK zueinander bewegt werden und die Klebefolie AS auf die Außenrandendfläche WKE aufgeklebt wird, ein Umbiege-Aufklebemittel 40, das einen Umbiege-Aufklebeschritt ausführt, in dem dadurch, dass der Klebefolie AS, die in einem Zwischenraum CL zwischen dem Zuführmittel 10 und dem Andrückmittel 20 positioniert ist, eine Spannkraft entlang der Richtung einer Zuführrichtung SD der Klebefolie AS verliehen wird, ein Überstandsbereich ASH in Richtung zu einer ersten Fläche WK1 und einer zweiten Fläche WK2 als andere Flächen, die an die Außenrandendfläche WKE angrenzen, umgebogen und aufgeklebt wird, und ein Überstandsbereich-Andrückmittel 50, das einen Überstandsbereich-Andrückschritt ausführt, in dem der Überstandsbereich ASH sowohl an die erste Fläche WK1 als auch an die zweite Fläche WK2 angedrückt wird.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform wird ein kreisförmiger zu beklebender Körper WK mit einer Referenzposition WKR im Zentrum verwendet.
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Das Zuführmittel 10 umfasst eine Trägerkomponente 11, welche die jeweiligen Komponenten, aus denen das Zuführmittel 10 besteht, direkt oder indirekt trägt, eine Trägerrolle 12, die eine Rohfolie RS trägt, bei der die Klebefolie AS vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, eine die Rohfolie RS führende Führungsrolle 13, eine Abziehplatte 14 als Abziehmittel, durch welches die Abziehfolie RL an einem Abziehrand 14A umgeschlagen und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen wird, eine Antriebsrolle 15, die an einer nicht dargestellten Abtriebswelle eines Drehmotors 15A als Antriebsgerät getragen wird und mittels einer Klemmrolle 15B die Abziehfolie RL einklemmt, eine Einsammelrolle 16 als Einsammelmittel, die an der Abtriebswelle eines nicht dargestellten Antriebsgeräts getragen wird und während der Durchführung eines automatischen Betriebs der Folienklebevorrichtung EA der zwischen der Klemmrolle 15B vorliegenden Abziehfolie RL stets eine bestimmte Spannung erteilt und die Abziehfolie RL einsammelt, und ein Längeneinstellmittel 17, das als Schneidemittel die Klebefolie AS abschneidet.
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Das Längeneinstellmittel 17 umfasst einen Luftzylinder 17A als Antriebsgerät und eine Schneideklinge 17C, die an dessen Abtriebswelle 17B getragen wird.
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Das Andrückmittel 20 umfasst eine Andrückrolle 21, die von einer nicht dargestellten Klammer frei drehbar getragen wird. Das Andrückmittel 20 kann die Klebefolie AS an die Außenrandendfläche WKE derart andrücken, dass sich sowohl auf der Seite eines ersten Außenrandes AS1 als auch auf der Seite eines zweiten Außenrandes AS2 der Klebefolie AS entlang der Zuführrichtung SD ein von der Außenrandendfläche WKE überstehender Überstandsbereich ASH bildet.
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Das Bewegungsmittel 30 umfasst einen Linearmotor 31 als Antriebsgerät, einen an dessen Schieber 31 A getragenen Drehmotor 32 als Antriebsgerät, einen an dessen Abtriebswelle 32A getragenen Trägertisch 33, der eine Trägerfläche 33A aufweist, bei der durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe, einen Vakuum-Ejektor usw. ein Ansaugen und Halten möglich ist, und ein oberes Druckmittel 34, welches den zu beklebenden Körper WK von oben gegen den Trägertisch 33 drückt. Der Trägertisch 33 ist derart aufgebaut, dass er sich mittels des Drehmotors 32 um einen Tischmittelpunkt 33R dreht.
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Das obere Druckmittel 34 umfasst einen Gleichstrommotor 34A als Antriebsgerät und eine an dessen Abtriebswelle 34B getragene und der Bewegung des Trägertisches 33 nachlaufende drehbare obere Druckplatte 34C. Die obere Druckplatte 34C dreht sich um einen oberen Druckplattenmittelpunkt 34R.
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Das Umbiege-Aufklebemittel 40 umfasst einen Drehmotor 41 als Antriebsgerät, bei dem eine Drehmomentsteuerung möglich ist, und eine an dessen nicht dargestellter Abtriebswelle getragene Antriebsrolle 42, die mittels einer Klemmrolle 43 die Rohfolie RS einklemmt.
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Das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 umfasst durch nicht dargestellte Klammern drehbar getragene erste, zweite und dritte Andrückrollen 51, 52 und 53. Bei der vorliegenden Ausführungsform sind die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53, wie in 1E bis G gezeigt, jeweils paarweise oben und unten angeordnet, wobei die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 sich in einem entlang des Außenrandes des zu beklebenden Körpers WK angeordneten Zustand befinden, wenn der zu beklebende Körper WK sich zwischen den ersten, zweiten und dritten Rollen 51, 52 und 53 befindet. Ferner können sich die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 z. B. um eine nicht dargestellte Drehachse drehen, die zur Z-Achse jeweils in einer 30 Grad, 60 Grad, 90 Grad Referenzposition-WKR-Richtung geneigt ist.
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Der Betrieb der vorstehenden Folienaufklebevorrichtung EA wird erläutert. Zunächst wird an die Folienaufklebevorrichtung EA, deren jeweilige Komponenten an einer in 1A mittels einer durchgezogenen Linie gezeigten Anfangsposition angeordnet sind, nachdem ein Bediener der Folienaufklebevorrichtung EA (im Folgenden einfach als „Bediener“ bezeichnet) eine Rohfolie RS wie in dieser Zeichnung angegeben eingesetzt hat, ein Signal für den Beginn des Automatikbetriebs über ein nicht dargestelltes Bedienungsmittel wie ein Bedienfeld oder ein Personal Computer eingegeben. Dann wird bei dem Zuführmittel 10 der Drehmotor 15A angetrieben, die Rohfolie RS abgerollt und wenn, wie in 1A mit einer durchgezogenen Linie gezeigt, ein vorderer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen wurde, wird der Antrieb des Drehmotors 15A unterbrochen.
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Wird dann durch einen Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel wie einen mehrgelenkigen Roboter, ein Transportband usw., wie in 1A gezeigt, der zu beklebende Körper WK derart auf die Trägerfläche 33A aufgesetzt, dass die Referenzposition WKR den Tischmittelpunkt 33R überlagert, betreibt das Bewegungsmittel 30 das nicht dargestellte Druckminderungsmittel und das Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 33A beginnt. Ferner wird bei dem Zuführmittel 10 der Drehmotor 15A angetrieben, die Rohfolie RS abgerollt und, wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, der vordere Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung an einer bestimmten Position vor der Andrückrolle 21 positioniert. Dabei gelangt der vordere Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung durch die Vorspannung mittels eines nicht dargestellten Vorspannungsmittels wie einer Luftdüse, eines Ionisators usw. vorne mit der Andrückrolle 21 in einen Kontaktzustand.
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Anschließend wird bei dem Bewegungsmittel 30 der Linearmotor 31 angetrieben, der zu beklebende Körper WK nach links bewegt, und wenn, wie in 1 B und C gezeigt, der Tischmittelpunkt 33R (die Referenzposition WKR) mit dem Druckplattenmittelpunkt 34R übereinstimmt, der Antrieb des Linearmotors 31 unterbrochen. Dabei gelangt der vordere Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung, wie in 1B gezeigt, in einen zwischen der Andrückrolle 21 und der Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK eingeklemmten Zustand, und außerdem gelangen die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 in einen Zustand, in dem ein Andrücken der Klebefolie AS an einen Außenrandabschnitt des zu beklebenden Körpers WK möglich ist.
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Dann wird bei dem Bewegungsmittel 30 der Gleichstrommotor 34A angetrieben, und nachdem der zu beklebende Körper WK, wie in 1C gezeigt, zwischen der oberen Druckplatte 34C und dem Trägertisch 33 eingeklemmt wurde, wird der Drehmotor 32 angetrieben, der zu beklebende Körper WK gegen den Uhrzeigersinn gedreht und die Klebefolie AS auf die Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt. Dabei wird bei dem Umbiege-Aufklebemittel 40 der Drehmotor 41 angetrieben, ein über die Antriebsrolle 42 ausgehend von der Klebefolie AS wirkendes Drehmoment detektiert, und der Klebefolie AS eine Spannkraft entlang der Zuführrichtung SD dadurch erteilt, dass die Klebefolie AS zugeführt wird, während das Drehmoment stets auf einem bestimmten Wert gehalten wird. Bei der elastisch verformbaren Klebefolie AS, die dadurch, dass das Umbiege-Aufklebemittel 40 die vorstehende Zufuhr durchführt, auf die Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt wurde, werden durch eine ihr innewohnende elastische Rückstellkraft, wie in 1C mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, ein Überstandsbereich ASH auf der Seite des ersten Außenrandes AS1 zur Seite der ersten Fläche WK1 umgebogen und auf die erste Fläche WK1 aufgeklebt, und ein Überstandsbereich ASH auf der Seite des zweiten Außenrandes AS2 zur Seite der zweiten Fläche WK2 umgebogen und auf die zweite Fläche WK2 aufgeklebt.
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Für den Fall, dass sich aufgrund verschiedener Bedingungen wie Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung, Struktur, Form, Abmessungen und Gewicht der Klebefolie AS, Bedingungen der Atmosphäre sowie sonstigen Faktoren usw. die jeweiligen Überstandsbereiche ASH nicht wie in 1C durch eine Strich-Zweipunktlinie gezeigt bis zu einem Kontakt mit dem zu beklebenden Körper WK umbiegen lassen, sich die verschiedenen Überstandsbereiche ASH zwar bis zu einem Kontakt mit dem zu beklebenden Körper WK umbiegen lassen, aber aufgrund eines Druckkraftmangels eine bestimmte Adhäsionskraft nicht erzielt wird, oder vorsichtshalber die jeweiligen Überstandsbereiche ASH an die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 angedrückt werden sollen, kann ein Überstandsbereich-Andrückschritt durchgeführt werden, in dem die jeweiligen Überstandsbereiche ASH durch das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 an die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 angedrückt werden. Bei diesem Überstandsbereich-Andrückschritt handelt es sich um einen Schritt, in dem wie in 1D, E und F gezeigt, während sich die Drehung des zu beklebenden Körpers WK entgegen dem Uhrzeigersinn fortsetzt, die jeweiligen Überstandsbereiche ASH durch die ersten und zweiten Andrückrollen 51, 52 stufenweise umgebogen, und schließlich die jeweiligen Überstandsbereiche ASH, wie in 1G gezeigt, durch die dritten Andrückrollen 53 an die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK angedrückt und aufgeklebt werden („Überstandsbereich-Andrückschritt“).
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Während sich das Drehen des Trägertischs 31 und das Aufkleben der Klebefolie AS fortsetzen, wird dann bei dem Zuführmittel 10 der Luftzylinder 17A angetrieben, die Schneideklinge 17C vor- und zurückbewegt, und die Klebefolie AS in einer Länge, in der die Klebefolie AS über den Umfang der Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt werden kann, abgeschnitten. Dann wird ein durch das Abschneiden gebildeter neuer vorderer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen, bei dem Zuführmittel 10 der Antrieb des Drehmotors 15A unterbrochen und das Abrollen der Rohfolie RS unterbrochen. Wird anschließend ein durch das Abschneiden gebildeter hinterer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung auf die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt und ein Einheitskörper UP gebildet, wird bei dem Bewegungsmittel 30 der Antrieb des Drehmotors 32 unterbrochen. Dabei können der vordere Endabschnitt und der hintere Endabschnitt der Klebefolie AS, die auf die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK aufgeklebt wurden, miteinander überlappen, voneinander beabstandet sein oder auch aneinander anstoßend in Kontakt sein.
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Dann wird bei dem Bewegungsmittel 30 der Gleichstrommotor 34A angetrieben, und nach der Rückkehr der oberen Druckplatte 34C an die Anfangsposition wird der Antrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen und das Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 33A aufgehoben. Anschließend wird, wenn der Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel den Einheitskörper UP zum nächsten Schritt transportiert, bei dem Bewegungsmittel 30 der Linearmotor 31 angetrieben, der Trägertisch 33 an die Anfangsposition zurückgebracht, und ab dann der vorstehende Betrieb wiederholt.
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Gemäß der vorstehenden Ausführungsform können die Außenrandendfläche WKE eines zu beklebenden Körpers WK und die Außenrandendflächenseite einer an die Außenrandendfläche WKE angrenzenden ersten Fläche WK1 und zweiten Fläche WK2 durch die Klebefolie AS dadurch sicher geschützt werden, dass Überstandsbereiche AS1, AS2 der Klebefolie AS, die auf die Außenrandendfläche WKE aufgeklebt wurde, in Richtung zur an die Außenrandendfläche WKE angrenzenden ersten Fläche WK1 und zweiten Fläche WK2 umgebogen und aufgeklebt werden.
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Die Mittel und Schritte bei der vorliegenden Erfindung unterliegen keinerlei Beschränkung, solange der Betrieb, die Funktionen oder die Schritte, die bezüglich dieser Mittel und Schritte erläutert wurden, erreicht werden können, und noch viel weniger besteht irgendeine Beschränkung auf die Strukturen oder Schritte der lediglich einen Ausführungsform, die durch die vorstehende Ausführungsform dargestellt wurde. Beispielsweise kann es sich bei dem Zuführmittel um ein beliebiges Mittel handeln, solange die Zuführung einer elastisch verformbaren Klebefolie möglich ist, und es besteht diesbezüglich keinerlei Beschränkung, solange es sich beim Vergleich mit dem technischen Allgemeinwissen zum Zeitpunkt dieser Anmeldung um ein solches innerhalb dieses technischen Bereichs handelt (dies gilt auch für andere Mittel und Schritte).
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Das Zuführmittel 10 kann auch dadurch, dass in einem bandförmigen Klebefolien-Basismaterial, das vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, eine Klebefolie AS, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine bandförmige Klebefolien-Rohfolie verwenden, bei der auf eine bandförmige Abziehfolie RL ein bandförmiges Klebefolien-Basismaterial vorübergehend aufgeklebt wurde, und inmitten des Abrollens der bandförmigen Klebefolien-Rohfolie durch eine Schneideklinge als Schneidemittel ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, und eine Klebefolie AS, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine Klebefolie AS, bei der eine bandförmige Klebefolie AS auf eine bandförmige Abziehfolie RL vorübergehend aufgeklebt wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine Klebefolie AS, die nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet ist, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann ein Sammelmittel verwenden, bei dem die Abziehfolie RL dadurch eingesammelt wird, dass sie nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet, durch z. B. einen Schredder usw. kleingeschnitten und einfach aufgehäuft wird, es kann kein Sammelmittel verwenden, es kann eine nicht vorübergehend auf eine Abziehfolie RL aufgeklebte Klebefolie AS wiederholt zuführen, es kann ein nicht dargestelltes Vorspannmittel umfassen oder nicht umfassen, es kann ein Längeneinstellmittel 17 verwenden, das die den Zwischenraum CL zwischen dem Zuführmittel 10 und der Andrückrolle 21 überspannende Klebefolie AS abschneidet, oder die Klebefolie AS auf dem zu beklebenden Körper WK abschneidet, und es kann für den Fall, dass eine vorab auf eine bestimmte Länge eingestellte Klebefolie AS verwendet wird, oder inmitten des Abrollens einer bandförmigen Klebefolien-Rohfolie eine Klebefolie AS einer bestimmten Form gebildet wird, ein Längeneinstellmittel 17 umfassen oder nicht umfassen.
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Das Andrückmittel 20 kann die Klebefolie AS an die Außenrandendfläche WKE auch derart andrücken, dass sich nur auf der Seite des ersten Außenrandes AS1 der Klebefolie AS entlang der Zuführrichtung SD ein von der Außenrandendfläche WKE überstehender Überstandsbereich ASH bildet, oder es kann die Klebefolie AS an die Außenrandendfläche WKE auch derart andrücken, dass sich nur auf der Seite des zweiten Außenrandes AS2 der Klebefolie AS entlang der Zuführrichtung SD ein von der Außenrandendfläche WKE überstehender Überstandsbereich ASH bildet.
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Ohne dass das Bewegungsmittel 30 den Trägertisch 33 bewegt oder während es diesen bewegt, können das Zuführmittel 10 und das Andrückmittel 20 bewegt werden, und die Klebefolie AS auf den zu beklebenden Körper WK aufgeklebt werden, es kann auch ein Trägertisch 33 verwendet werden, bei dem ein Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 33A nicht möglich ist, und das obere Druckmittel 34 kann umfasst oder nicht umfasst sein.
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Das Umbiege-Aufklebemittel 40 kann durch das Anlegen einer Spannkraft in einer Richtung entlang der Zuführrichtung SD der Klebefolie AS an die am Zwischenraum CL zwischen dem Zuführmittel 10 und dem Andrückmittel 20 positionierte Klebefolie AS einen Überstandsbereich ASH nur in Richtung zur an die Außenrandendfläche WKE angrenzenden ersten Fläche WK1 umbiegen und aufkleben, oder einen Überstandsbereich ASH nur in Richtung zur an die Außenrandendfläche WKE angrenzenden zweiten Fläche WK2 umbiegen und aufkleben, wobei die der Klebefolie AS erteilte bestimmte Spannkraft unter Berücksichtigung verschiedener Bedingungen wie Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung, Struktur, Form, Abmessungen und Gewicht der Klebefolie AS, Bedingungen der Atmosphäre sowie sonstigen Faktoren durch einen Bediener optional festgelegt werden kann.
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Das Überstandsbereich-Andrückmittel 50 kann auch nicht aus drei Stück erster, zweiter und dritter Andrückrollen 51, 52 und 53 bestehen sondern z. B. aus einer oder zwei Andrückrollen, es kann auch aus vier oder mehr Andrückrollen bestehen, anstelle der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 oder zusammen mit diesen kann auch ein auf einem Besprühen mit einem Gas beruhender Gegenstand, ein auf einer bürstenförmigen Komponente beruhender Gegenstand, ein auf einer plattenförmigen Komponente beruhender Gegenstand usw. verwendet werden, bei dem Material des andrückenden Gegenstands wie den ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 usw. kann es sich um Kautschuk, Harz, Schaumstoff, Metall usw. handeln, die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 können auch nicht paarweise vorliegen, sondern nur auf der ersten Fläche WK1 oder der zweiten Fläche WK2 des zu beklebenden Körpers WK vorgesehen sein und den Überstandsbereich ASH nur an die erste Fläche WK1 andrücken oder nur an die zweite Fläche WK2 andrücken, der Neigungswinkel der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 51, 52 und 53 zur Z-Achse kann auch jeweils einen anderen Neigungswinkel als 30 Grad, 60 Grad und 90 Grad haben, z. B. kann der jeweilige Neigungswinkel auch ein Neigungswinkel von jeweils 15 Grad, 45 Grad, 91 Grad usw. sein, und für den Fall, dass ohne die Durchführung eines Überstandsbereich-Andrückschritts der Überstandsbereich ASH auf die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 aufgeklebt wird, kann es bei der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
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Bei der Folienaufklebevorrichtung EA können eine Klebefolie AS oder eine Mehrzahl von Klebefolien AS auf die Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK und eine an die Außenrandendfläche WKE angrenzende andere Fläche aufgeklebt werden, und wenn eine Klebefolie AS oder eine Mehrzahl von Klebefolien AS auf die Außenrandendfläche WKE des zu beklebenden Körpers WK und eine an die Außenrandendfläche WKE angrenzende andere Fläche aufgeklebt werden, können ein vorderer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung und ein hinterer Endabschnitt der Klebefolie AS in der Zuführrichtung miteinander überlappen, voneinander beabstandet sein oder auch aneinander anstoßend in Kontakt sein. Bei der Folienaufklebevorrichtung EA kann zwischen dem Trägertisch 33 und dem zu beklebenden Körper WK eine Trägerkomponente aus Metall, Glas, Harz, einer anderen Klebefolie usw. angeordnet sein, und durch die Klebefolie AS der zu beklebende Körper WK und die Trägerkomponente einteilig gestaltet werden, es kann auch eine Klebefolie AS verwendet werden, die sich durch eine bestimmte Energie verformt, oder ein Energiezuführmittel 60 umfasst sein, das der Klebefolie AS, wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, eine bestimmte Energie erteilt. Beispiele für eine derartige Energie sind elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen, Gammastrahlen usw. oder Wärme, wobei es sich um ein Energiezuführmittel 60 handeln kann, das elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, oder Wärme von heißem Wasser, Heißluft usw. erteilt, und dieses unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS optional festgelegt werden kann. Ferner kann sich die Klebefolie AS durch eine bestimmte Energie infolge einer Kontraktion verformen, oder infolge einer Expansion verformen, oder sich weder infolge einer Kontraktion noch einer Expansion verformen.
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Die Materialqualität, Art, Form usw. der Klebefolie AS, der Trägerkomponente und des zu beklebenden Körpers WK bei der vorliegenden Erfindung unterliegt keiner besonderen Beschränkung. Beispielsweise können die Klebefolie AS, die Trägerkomponente und der zu beklebende Körper WK kreisförmig oder oval sein, eine polygone Form wie ein Dreieck, Viereck usw. oder eine andere Form haben, und bei der Klebefolie AS kann es sich um eine Adhäsionsform wie eine druckempfindliche Adhäsion, wärmedruckempfindliche Adhäsion usw. handeln, wobei bei der Verwendung einer Klebefolie AS mit einer wärmedruckempfindlichen Adhäsion, das Aufkleben durch ein angemessenes Verfahren erfolgen kann, z. B. durch die Vorsehung eines zum Erwärmen der Klebefolie AS geeigneten Erwärmungsmittels wie der Heizseite einer Heizspirale, eines Heizrohrs usw. Ferner kann es sich um eine beliebige Klebefolie AS handeln, wie um eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige Klebefolie, eine aus einem Basismaterial und einer Klebstoffschicht aufgeschichtete zweischichtige Klebefolie, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der zwischen dem Basismaterial und der Klebstoffschicht eine oder eine Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet sind, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der auf der Oberseite des Basismaterials eine oder eine Mehrzahl von Deckschichten aufgeschichtet sind, eine Klebefolie, bei der das Basismaterial, eine Zwischenschicht oder eine Deckschicht abziehbar vorgesehen sind, eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige doppelseitige Klebefolie, eine doppelseitige Klebefolie, bei der eine Klebstoffschicht auf beiden äußersten Flächen einer oder einer Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet ist, usw. Außerdem kann es sich bei der Trägerkomponente und dem zu beklebenden Körper WK z. B. um ein Lebensmittel, einen Kunststoffbehälter, einen Halbleiterwafer wie einen Silikon-Halbleiterwafer, einen Verbindungshalbleiterwafer usw., ein Datenspeichersubstrat wie eine Leiterplatte, eine optische Speicherplatte usw., um einen Einzelkörper aus einer Glasplatte, einem Stahlblech, einer Keramik, einer Holzplatte oder einem Harz usw. oder um einen zusammengesetzten Körper aus zwei oder mehr als zwei von diesen handeln, und auch Komponenten, Artikel usw. einer optionalen Form können Gegenstand sein. Bei der Klebefolie AS ist als Ersatz durch eine funktionelle oder zweckmäßige Angabe auch optional die Bezeichnung Folie, Film, Tape usw. wie z. B. Datenträgeretikett, Dekorationsetikett, Schutzfolie, Dicing-Tape, Die-Attach-Film, Die-Bonding-Tape, Aufzeichnungsschicht bildender Harzfilm usw. möglich.
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Abgesehen davon, dass als Antriebsgerät bei der vorliegenden Ausführungsform ein elektrisches Gerät wie ein Drehmotor, ein Gleichstrommotor, ein Linearmotor, ein einachsiger Roboter, ein mehrgelenkiger Roboter, der zwei, drei oder mehr als drei Gelenke umfasst, Aktoren wie ein Luftzylinder, Hydraulikzylinder, kolbenstangenloser Zylinder, Drehzylinder usw. verwendet werden kann, ist auch die Verwendung eines solchen möglich, das hiermit direkt oder indirekt kombiniert ist. Wird bei der vorstehenden Ausführungsform eine Drehkomponente wie eine Rolle usw. verwendet, kann ein die Drehkomponente drehend antreibendes Antriebsgerät umfasst sein, wobei die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aus einem verformbaren Material wie Kautschuk oder Harz bestehen kann, die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aber auch aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, und anstelle einer Rolle auch eine sich drehende oder nicht drehende andere Komponente wie eine Achse, ein Blatt usw. verwendet werden kann, wenn als Gegenstand zum Drücken eines zu drückenden Gegenstands ein Andrückmittel oder eine Druckkomponente wie eine Andrückrolle, ein Druckkopf usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen, abgesehen von einer Rolle, einem Rundstab, einem Blattmaterial und einer bürstenförmigen Komponente auch ein auf einem Besprühen mit Luft, Gas usw. beruhender Gegenstand verwendet werden, als Struktur zum Drücken kann es sich um eine solche aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz, Schaumstoff usw., oder um eine Struktur aus einem nicht verformbaren Material wie Metall, Harz usw. handeln, wenn als Gegenstand zum Abziehen eines abzuziehenden Gegenstands ein Abziehmittel oder eine Abziehkomponente wie eine Abziehplatte, eine Abziehrolle usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen auch eine Komponente wie eine plattenförmige Komponente, ein Rundstab oder eine Rolle verwendet werden, wobei der abziehende Gegenstand aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz usw. oder aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, wenn ein Gegenstand zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente (zu haltenden Komponente) wie ein Trägermittel (Haltemittel), eine Trägerkomponente (Haltekomponente) usw. verwendet wird, kann ein Greifmittel wie ein mechanisches Spannfutter, ein Spannfutterzylinder usw., oder eine Struktur zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente durch Coulombsche Kraft, Klebstoff (Klebefolie, Klebeband), Haftmittel (Haftfolie, Haftband), Magnetkraft, Bernoulli-Adsorption, Ansaugen-Festsaugen, ein Antriebsgerät usw. verwendet werden, wenn ein Gegenstand wie ein Schneidmittel oder eine Schneidkomponente zum Schneiden einer zu schneidenden Komponente oder um in einer zu schneidenden Komponente einen Einschnitt oder eine Trennlinie zu bilden, verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen ein solches zum Schneiden mittels einer Schneideklinge, einem Laserschneidegerät, einem lonenstrahl, Wärmekraft, Wärme, Wasserdruck, einem Heizdraht, Besprühen mit einer Flüssigkeit, Gas usw. verwendet werden, wobei durch eine Kombination mit einem geeigneten Antriebsgerät das Schneiden durch ein Bewegen des schneidenden Gegenstand erfolgt, und wenn ein Vorspannmittel verwendet wird, eine Struktur mittels einer Feder, Kautschuk, Harz, einem Antriebsgerät usw. möglich ist.
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Bezugszeichenliste
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- EA
- Folienaufklebevorrichtung
- 10
- Zuführmittel
- 20
- Andrückmittel
- 30
- Transportmittel
- 40
- Umbiege-Aufklebemittel
- 50
- Überstandsbereich-Andrückmittel
- 60
- Energiezuführmittel
- AS
- Klebefolie
- AS1
- Erster Außenrand
- AS2
- Zweiter Außenrand
- ASH
- Überstandsbereich
- SD
- Zuführrichtung
- WK
- Zu beklebender Körper
- WK1
- Erste Fläche (andere Fläche)
- WK2
- Zweite Fläche (andere Fläche)
- WKE
- Außenrandendfläche
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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