DE102023110010A1 - Folienaufklebevorrichtung und Folienaufklebeverfahren - Google Patents

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Abstract

[Aufgabe] Bereitstellung einer Folienaufklebevorrichtung und eines Folienaufklebeverfahrens, durch welche verhindert werden kann, dass ein Schutzabschnitt, der durch das Aufkleben einer Klebefolie auf ein Werkstück geschützt wurde, im nächsten Schritt verunreinigt wird.[Lösung] Bei einer Folienaufklebevorrichtung EA, die ein Zuführmittel 10 zum Zuführen einer Klebefolie AS, und ein Aufklebemittel 20 umfasst, durch das ein Überlappungsabschnitt ASP gebildet wird, an dem sich ein vorderes Ende ASF in der Zuführrichtung und ein hinteres Ende ASR in der Zuführrichtung der durch das Zuführmittel 10 zugeführten Klebefolie AS überlappen, und die Klebefolie AS an ein Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt wird, ist außerdem ein Wiederandrückmittel 30 umfasst, das den Überlappungsabschnitt ASP, der durch das Aufklebemittel 20 angedrückt wurde, wiederholt andrückt.

Description

  • [Technisches Gebiet]
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Folienaufklebevorrichtung und ein Folienaufklebeverfahren.
  • [Hintergrundtechnologie]
  • Eine Folienaufklebevorrichtung zum Aufkleben einer Klebefolie auf ein Werkstück, bei der ein Überlappungsabschnitt gebildet wird, an dem sich ein vorderes Ende in der Zuführrichtung und ein hinteres Ende in der Zuführrichtung der Klebefolie überlappen, ist bekannt (vgl. z. B. Patentdokument 1).
  • [Dokumente des Standes der Technik]
  • [Patentdokumente]
  • [Patentdokument 1] Patentveröffentlichung Nr. JP 2022-30877 A
  • [Übersicht über die Erfindung]
  • [Durch die Erfindung zu lösende Aufgabe]
  • Bei dem in Patentdokument 1 angegebenen Bandaufklebesystem 1 (Folienaufklebevorrichtung) kommt es aufgrund des Aufbaus oder der Zusammensetzung des verwendeten Schutzklebebandes 27 (Klebefolie) vor, dass trotz einer ausreichenden Adhäsionskraft bezüglich eines Wafers W (Werkstück), die Adhäsionskraft bezüglich einer Gegen-Klebefläche als Gegenseite zur eigenen Klebefläche nicht ausreichend ist. In einem solchen Fall, kann es in einem nächsten Schritt, in dem eine bestimmte Verarbeitung erfolgt, z. B., dass ein Werkstück, bei dem durch das Aufkleben der Klebefolie ein bestimmter Schutzabschnitt geschützt wurde, in eine Flüssigkeit eingetaucht oder einem Gas ausgesetzt wird, oder einem nächsten Schritt einer anderen Verarbeitung vorkommen, dass sich die Klebefläche des hinteren Endes in der Zuführrichtung bei einem Überlappungsabschnitt der Klebefolie von der Gegen-Klebefläche des vorderen Endes in der Zuführrichtung löst, und zu dem Nachteil führen, dass ausgehend von dem gelösten Abschnitt Fremdkörper wie eine Flüssigkeit oder ein Gas eindringen und der durch das Aufkleben der Klebefolie auf das Werkstück geschützte Schutzabschnitt verunreinigt wird.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Folienaufklebevorrichtung und eines Folienaufklebeverfahrens, durch welche verhindert werden kann, dass ein Schutzabschnitt, der durch das Aufkleben einer Klebefolie auf ein Werkstück geschützt wurde, im nächsten Schritt verunreinigt wird.
  • [Mittel zum Lösen der Aufgabe]
  • Die vorliegende Erfindung verwendet in den Ansprüchen angegebene Strukturen.
  • [Effekte der Erfindung]
  • Der vorliegenden Erfindung zufolge wird ein Überlappungsabschnitt, der durch ein Aufklebemittel angedrückt wurde, wiederholt angedrückt, wodurch verhindert werden kann, dass ein Schutzabschnitt, der durch das Aufkleben einer Klebefolie auf ein Werkstück geschützt wurde, im nächsten Schritt verunreinigt wird
  • [Kurze Erläuterung der Figuren]
    • [1] 1 sind erläuternde Ansichten einer Folienaufklebevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und erläuternde Ansichten des Betriebs dieser Vorrichtung.
    • [2] 2 sind erläuternde Ansichten einer Folienaufklebevorrichtung und erläuternde Ansichten des Betriebs dieser Vorrichtung.
  • [Formen zur Ausführung der Erfindung]
  • Im Folgenden wird anhand der Zeichnungen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert.
    Bei der vorliegenden Ausführungsform befinden sich die X-Achse, Y-Achse und Z-Achse jeweils in einer orthogonalen Beziehung zueinander, wobei vorgegeben ist, dass die X-Achse und die Y-Achse in einer bestimmten Ebene liegen, und die Z-Achse eine zu der bestimmten Ebene orthogonale Achse ist. Ferner handelt es sich bei der vorliegenden Ausführungsform, wenn eine Richtung ohne Hinweis auf eine Zeichnung basierend auf einer Betrachtung aus einer zur in 1A gezeigten Y-Achse parallelen Pfeilrichtung DR angezeigt wird, bei „oben“ um die Pfeilrichtung der Z-Achse, bei „unten“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „links“ um die Pfeilrichtung der X-Achse, bei „rechts“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „vorne“ um die zur Y-Achse parallele vordere Richtung in 1 und bei „hinten“ um deren entgegengesetzte Richtung. 1D ist eine Ansicht in Pfeilrichtung AA von 1A und E ist eine Ansicht in Pfeilrichtung BB von 1A.
  • Eine Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst ein Zuführmittel 10, das einen Zuführschritt ausführt, in dem eine Klebefolie AS zugeführt wird, ein Aufklebemittel 20, das einen Aufklebeschritt ausführt, in dem ein Überlappungsabschnitt ASP (vgl. 2B bis E) gebildet wird, an dem sich ein vorderes Ende ASF in der Zuführrichtung und ein hinteres Ende ASR in der Zuführrichtung der durch das Zuführmittel 10 zugeführten Klebefolie AS überlappen, und die Klebefolie AS an ein Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt wird, ein Wiederandrückmittel 30, das einen Wiederandrückschritt ausführt, in dem der Überlappungsabschnitt ASP, der durch das Aufklebemittel 10 angedrückt wurde, wiederholt angedrückt wird, ein Energiezuführmittel 40, das einen Energiezuführschritt ausführt, in dem der Klebefolie AS Wärmeenergie als eine bestimmte Energie zugeführt wird, und ein Abheben-Einschränkungsmittel 50, das einen Abheben-Einschränkungsschritt ausführt, in dem beim wiederholten Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP durch das Wiederandrückmittel 30 ein Abheben der Klebefolie AS von einer Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK eingeschränkt wird.
    Bei der vorliegenden Ausführungsform wird eine Klebefolie AS verwendet, bei der durch Wärmeenergie als eine bestimmte Energie die Adhäsionskraft verstärkt wird. Ferner wird bei der vorliegenden Ausführungsform ein kreisförmiges Werkstück WK mit einem Werkstückmittelpunkt WKC im Zentrum verwendet.
  • Das Zuführmittel 10 umfasst eine Trägerkomponente 11, welche die jeweiligen Komponenten, aus denen das Zuführmittel 10 besteht, direkt oder indirekt trägt, eine Trägerrolle 12, die eine Rohfolie RS trägt, bei der die Klebefolie AS vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, eine die Rohfolie RS führende Führungsrolle 13, eine Abziehplatte 14 als Abziehmittel, durch welches die Abziehfolie RL an einem Abziehrand 14A umgeschlagen und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen wird, eine Antriebsrolle 15, die an einer nicht dargestellten Abtriebswelle eines Drehmotors 15A als Antriebsgerät getragen wird und mit einer Klemmrolle 15B die Trennfolie RL einklemmt, eine Einsammelrolle 16 als Einsammelmittel, die an der Abtriebswelle eines nicht dargestellten Antriebsgeräts getragen wird und während der Durchführung eines automatischen Betriebs der Folienklebevorrichtung EA der zwischen der Klemmrolle 15B vorliegenden Abziehfolie RL stets eine bestimmte Spannkraft verleiht und die Abziehfolie RL einsammelt, und ein Spannkraftverleihungsmittel 17, das der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wird, Spannkraft verleiht.
    Das Spannkraftverleihungsmittel 17 umfasst einen Drehmotor 17A als Antriebsgerät, bei dem eine Drehmomentsteuerung möglich ist, und eine an dessen nicht dargestellter Abtriebswelle getragene Antriebsrolle 17C, die mittels einer Klemmrolle 17B die Rohfolie RS einklemmt.
  • Das Aufklebemittel 20 umfasst eine an einer nicht dargestellten Klammer drehbar getragene Andrückrolle 21 als Andrückkomponente, um die Klebefolie AS derart an die Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK anzudrücken, dass sich an der durch das Zuführmittel 10 zugeführten Klebefolie AS Überstandsbereiche ASH bilden, durch nicht dargestellte Klammern drehbar getragene erste, zweite und dritte Andrückrollen 22, 23 und 24 als Andrückmittel, einen Linearmotor 25 als Antriebsgerät, einen an dessen Schieber 25A getragenen Drehmotor 26 als Antriebsgerät, und einen an dessen Abtriebswelle 26A getragenen Trägertisch 27, der eine Trägerfläche 27A aufweist, bei der durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe oder einen Vakuum-Ejektor ein Ansaugen und Halten möglich ist, und ist derart aufgebaut, dass die Klebefolie AS auf den Außenrandabschnitt einer ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt einer zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK sowie auf eine zwischen der ersten Fläche WK1 und der zweiten Fläche WK2 positionierten Außenrandendfläche WK3 aufgeklebt wird. Der Trägertisch 27 ist derart aufgebaut, dass er sich mittels des Drehmotors 26 um einen Tischmittelpunkt 27C dreht.
    Bei der vorliegenden Ausführungsform ist die Andrückrolle 21, wie in 1B und C gezeigt, an einer Position angeordnet, an der sie, wenn der Werkstückmittelpunkt WKC des Werkstücks WK an einem Rollenanordnung-Mittelpunkt RC positioniert ist, die durch das Zuführmittel 10 zugeführte Klebefolie AS an die Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK andrücken kann. Ferner sind die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24, wie in 1B und D bis F gezeigt, jeweils oben und unten paarweise gebildet, und an einer Position angeordnet, an der, wenn der Werkstückmittelpunkt WKC des Werkstücks WK am Rollenanordnung-Mittelpunkt RC positioniert ist, die Überstandsbereiche ASH der Klebefolie AS, die auf die Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK aufgeklebt wurden, jeweils in Richtung zur ersten Fläche WK1 und in Richtung zur zweiten Fläche WK2 umgebogen werden können. Bei der vorliegenden Ausführungsform können sich die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 um eine Drehachse drehen, die zur Z-Achse jeweils 30 Grad, 60 Grad, 90 Grad in Richtung zum Rollenanordnung-Mittelpunkt RC geneigt ist.
  • Das Wiederandrückmittel 30 umfasst oben und unten ein Paar Gleichstrommotoren 31 als Antriebsgeräte und jeweils an einer Abtriebswelle 31A der jeweiligen Gleichstrommotoren 31 getragene Andrückplatten 32 als Andrückmittel.
    Bei der vorliegenden Ausführungsform kann das Wiederandrückmittel 30 durch das Andrücken der Klebefolie AS an den Außenrandabschnitt der ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche WK2, den Überlappungsabschnitt ASP wiederholt andrücken.
  • Das Energiezuführmittel 40 umfasst Heizgeräte 41 wie die Heizseite einer Heizspirale oder eines Heizrohrs, die im Inneren der jeweiligen Andrückplatten 32 angeordnet sind.
  • Das Abheben-Einschränkungsmittel 50 umfasst einen Gleichstrommotor 51 als Antriebsgerät und eine an einer Abtriebswelle 51A des Gleichstrommotors 51 getragene Einschränkungsplatte 52 als Einschränkungskomponente, durch welche die Klebefolie AS an die Außenrandendfläche WK3 angedrückt wird.
  • Der Betrieb der vorstehenden Folienaufklebevorrichtung EA wird erläutert. Zunächst wird an die Folienaufklebevorrichtung EA, deren jeweilige Komponenten an einer in 1A mittels einer durchgezogenen Linie gezeigten Anfangsposition angeordnet sind, nachdem ein Bediener der Folienaufklebevorrichtung EA (im Folgenden einfach als „Bediener“ bezeichnet) die Rohfolie RS wie in dieser Zeichnung angegeben eingesetzt hat, ein Signal für den Beginn des Automatikbetriebs über ein nicht dargestelltes Bedienungsmittel wie ein Bedienfeld oder einen Personal Computer eingegeben. Dann werden bei dem Zuführmittel 10 die Drehmotoren 15A und 17A angetrieben, die Rohfolie RS abgerollt und wenn, wie in 1A gezeigt, das vordere Ende ASF in der Zuführrichtung der Klebefolie AS an der Spitze durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen wurde, wird der Antrieb der Drehmotoren 15A und 17A unterbrochen.
  • Wird dann durch den Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel wie einen mehrgelenkigen Roboter oder ein Transportband, wie in 1A gezeigt, das Werkstück WK derart auf die Trägerfläche 27A aufgesetzt, dass der Werkstückmittelpunkt WKC den Tischmittelpunkt 27C überlagert, treibt das Bewegungsmittel 30 das nicht dargestellte Druckminderungsmittel an, und das Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 27A beginnt. Anschließend wird bei dem Aufklebemittel 20 der Linearmotor 25 angetrieben und das Werkstück WK nach links bewegt, sodass wie in 1 B gezeigt der Tischmittelpunkt 27C (Werkstückmittelpunkt WKC) mit dem Rollenanordnung-Mittelpunkt RC übereinstimmt, und dann wird der Antrieb des Linearmotors 25 unterbrochen. Als Nächstes werden die Drehmotoren 15A, 17A und 26 bei dem Zuführmittel 10 und dem Aufklebemittel 20 angetrieben, sodass die Klebefolie AS zugeführt wird, während das Werkstück WK in einer Draufsicht von oben in eine Gegenuhrzeigerrichtung RD gedreht wird. Hierdurch wird die Klebefolie AS durch die Andrückrolle 21 angedrückt, und in einem Zustand, in dem die Überstandsbereiche ASH gebildet sind, wie in 1 B und C gezeigt, auf die Außenrandendfläche WK3 aufgeklebt, und anschließend werden die Überstandsbereiche ASH durch die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24, wie in 1D, E und F gezeigt, stufenweise umgebogen und auf die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des Werkstücks WK aufgeklebt.
  • Wird dann ein sich an die Spitze der Klebefolie AS anschließendes nächstes vorderes Ende ASF in der Zuführrichtung der Klebefolie AS durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen, werden der Antrieb der Drehmotoren 15A und 17A des Zuführmittels 10 unterbrochen, sodass das Abrollen der Rohfolie RS unterbrochen wird. Als Nächstes werden die Überstandsbereiche ASH bei einem hinteren Ende ASR in der Zuführrichtung der Klebefolie AS an der Spitze durch die dritten Andrückrollen 24 auf die erste Fläche WK1 und die zweite Fläche WK2 des Werkstücks WK aufgeklebt und ein Einheitskörper UP gebildet, sodass wie in 2D gezeigt, durch ein gegenseitiges Überlappen des vorderen Endes ASF in der Zuführrichtung und des hinteren Endes ASR in der Zuführrichtung der Überlappungsabschnitt ASP gebildet wird. Anschließend wird, wenn wie in 2A gezeigt, der Überlappungsabschnitt ASP zwischen den Andrückplatten 32 positioniert ist, bei dem Aufklebemittel 20 der Antrieb des Drehmotors 26 unterbrochen.
  • Als Nächstes wird bei dem Abheben-Einschränkungsmittel 50 der Gleichstrommotor 51 angetrieben, und dadurch, dass die Einschränkungsplatte 52 wie in 2A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt bewegt wird, die Seite des Überlappungsabschnitts ASP an die Außenrandendfläche WK3 angedrückt. Dann werden bei dem Wiederandrückmittel 30 und dem Energiezuführmittel 40 die Gleichstrommotoren 31 und die Heizgeräte 41 angetrieben und, wie mit einer Strich-Zweipunktlinie in 2A und in 2B gezeigt, wird durch ein gegenseitiges Annähern der Andrückplatten 32 der Überlappungsabschnitt ASP wiederholt angedrückt. Selbst wenn die Adhäsionskraft der eigenen Gegen-Klebefläche der Klebefolie AS unzureichend ist, wird hierbei durch das wiederholte Andrücken des Wiederandrückmittels 30 die Adhäsionskraft gegenüber der betreffenden Gegen-Klebefläche verstärkt. Dabei kann durch das Wiederandrückmittel 30 ein wiederholtes Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP im Umfang einer Verformung des betreffenden Überlappungsabschnitts ASP erfolgen, wie in 2C und E gezeigt, das wiederholte Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP kann auch im Umfang eines Zerdrückens eines Hohlraums HW, der in der Umgebung des Überlappungsabschnitts ASP gebildet wurde, oder eines Eingangs ER zum Hohlraum HW erfolgen, wie in 2B und D gezeigt, das wiederholte Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP kann auch in einem den Hohlraum HW oder den Eingang ER zum Hohlraum HW nicht zerdrückenden Umfang erfolgen, oder das wiederholte Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP kann auch in einem den Überlappungsabschnitt ASP nicht verformenden Umfang erfolgen. Ferner wird bei der Klebefolie AS durch die Wärmeenergie, die durch das Energiezuführmittel 40 zugeführt wird, die Adhäsionskraft verstärkt, und die Adhäsionskraft gegenüber der Gegen-Klebefläche wird noch mehr verstärkt.
  • Ist das wiederholte Andrücken zum Überlappungsabschnitt ASP abgeschlossen, werden dann, nachdem bei dem Energiezuführmittel 40 der Antrieb der Heizgeräte 41 unterbrochen wurde, bei dem Wiederandrückmittel 30 und dem Abheben-Einschränkungsmittel 50 die Gleichstrommotoren 31 und 51 angetrieben, sodass die jeweiligen Andrückplatten 32 und die Einschränkungsplatte 52 an ihre Anfangspositionen zurückkehren. Anschließend wird bei dem Aufklebemittel 20 der Linearmotor 25 angetrieben, und nach der Rückkehr des Trägertisches 27 an seine Anfangsposition wird der Antrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen und das Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 27A aufgehoben. Als Nächstes wird der Einheitskörper UP durch den Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel von der Trägerfläche 27A abgenommen, der Einheitskörper UP wird zum nächsten Schritt wie einem Plattierungsschritt oder einem Trockenätzschritt transportiert, und ab dann wird der vorstehende Betrieb wiederholt.
  • Dadurch, dass der vorstehenden Ausführungsform zufolge der Überlappungsabschnitt ASP, der durch das Aufklebemittel 20 angedrückt wurde, wiederholt angedrückt wird, kann verhindert werden, dass ein Schutzabschnitt, der durch das Aufkleben der Klebefolie AS auf das Werkstück WK geschützt wurde, im nächsten Schritt verunreinigt wird.
  • Die Mittel und Schritte bei der vorliegenden Erfindung unterliegen keinerlei Beschränkung, solange der Betrieb, die Funktionen oder die Schritte, die bezüglich dieser Mittel und Schritte erläutert wurden, erreicht werden können, und noch viel weniger besteht irgendeine Beschränkung auf die Strukturen oder Schritte der lediglich einen Ausführungsform, die durch die vorstehende Ausführungsform dargestellt wurden. Beispielsweise kann es sich bei dem Zuführmittel um ein beliebiges Mittel handeln, solange die Zuführung einer Klebefolie möglich ist, wobei diesbezüglich keinerlei Beschränkung besteht, solange es sich beim Vergleich mit dem technischen Allgemeinwissen zum Zeitpunkt dieser Anmeldung um ein solches innerhalb dieses technischen Bereichs handelt (dies gilt auch für andere Mittel und Schritte).
  • Das Zuführmittel 10 kann auch dadurch, dass in einem bandförmigen Klebefolien-Basismaterial, das vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, eine Klebefolie AS von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich als Klebefolie AS gebildet wurde, es kann auch eine bandförmige Klebefolien-Rohfolie verwenden, bei der auf eine bandförmige Abziehfolie RL ein bandförmiges Klebefolien-Basismaterial vorübergehend aufgeklebt wurde, und inmitten des Abrollens der bandförmigen Klebefolien-Rohfolie durch eine Schneideklinge als Schneidemittel in dem Klebefolien-Basismaterial ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, und eine Klebefolie AS von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich als Klebefolie AS gebildet wurde, es kann eine Klebefolie AS, bei der eine bandförmige Klebefolie AS auf eine bandförmige Abziehfolie RL vorübergehend aufgeklebt wurde, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann eine Klebefolie AS, die nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet ist, von der Rohfolie RS abziehen und zuführen, es kann ein Sammelmittel verwenden, bei dem die Abziehfolie RL dadurch eingesammelt wird, dass sie nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet, durch einen Schredder usw. kleingeschnitten und einfach aufgehäuft wird, es kann kein Sammelmittel verwenden, oder es kann eine nicht vorübergehend auf eine Abziehfolie RL aufgeklebte Klebefolie AS wiederholt zuführen, und es kann ein Schneidemittel umfassen, durch das die auf das Werkstück WK aufgeklebte Klebefolie AS in einer bestimmten Länge abgeschnitten wird. Handelt es sich um eine elastisch verformbare Klebefolie AS, kann beim Aufkleben der Klebefolie AS auf die Außenrandendfläche WK3 bei dem Zuführmittel 10 der Drehmotor 17A angetrieben, ein über die Antriebsrolle 17C ausgehend von der Klebefolie AS einwirkendes Drehmoment detektiert, und der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wird, eine Spannkraft dadurch verliehen werden, dass die Klebefolie AS zugeführt wird, während das Drehmoment stets auf einem bestimmten Wert gehalten wird. Dadurch gelangt die elastisch verformbare Klebefolie AS durch die ihr innewohnende Rückstellkraft in eine Umbiegelage, in der die Überstandsbereiche ASH in Richtung zur ersten Fläche WK1 und in Richtung zur zweiten Fläche WK2 umgebogen sind. In diesem Fall können die Überstandsbereiche ASH im Zustand der Umbiegelage mit Hilfe der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 auf den Außenrandabschnitt der ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche WK2 aufgeklebt werden, sie können dadurch, dass sie in den Zustand der Umbiegelage gelangen, aber auch ohne Hilfe der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 auf den Außenrandabschnitt der ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche WK2 aufgeklebt werden.
    Das Spannkraftverleihungsmittel 17 kann die Rohfolie RS und die Klebefolie AS verschiebbar ergreifen und durch eine Anpassung dieser Greifkraft der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wird, eine Spannkraft verleihen, und einen Drehmotor 17A verwenden, bei dem keine Steuerung des Drehmoments möglich ist, die der Klebefolie AS verliehene bestimmte Spannkraft kann unter Berücksichtigung verschiedener Bedingungen wie Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung, Struktur, Form, Abmessungen und Gewicht der Klebefolie AS, Bedingungen der Atmosphäre sowie sonstigen Faktoren durch einen Bediener optional festgelegt werden, und es kann bei der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst sein oder auch nicht umfasst sein.
    Bei der vorstehenden Ausführungsform wurde das Spannkraftverleihungsmittel 17 als Bestandteil des Zuführmittels 10 erläutert, wobei das Spannkraftverleihungsmittel 17 aber auch kein Bestandteil des Zuführmittels 10 sondern eine eigenständige Struktur sein kann, und z. B. zwischen der Abziehplatte 14 und der Andrückrolle 21 positioniert sein und der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wird, eine Spannkraft verleihen.
  • Bei dem Aufklebemittel 20 kann ohne dass das Werkstück WK bewegt wird, oder während es bewegt wird, eine Andrückkomponente bewegt und die Klebefolie AS auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, wobei diese an einer beliebigen Stelle aufgeklebt werden kann, z. B. kann die Klebefolie AS nur auf die erste Fläche WK1 des Werkstücks WK aufgeklebt werden, die Klebefolie AS kann nur auf die zweite Fläche WK2 des Werkstücks WK aufgeklebt werden, die Klebefolie AS kann nur auf die Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK aufgeklebt werden, die Klebefolie AS kann auf die erste Fläche WK1 und die Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK aufgeklebt werden, oder die Klebefolie AS kann im mittleren Abschnitt der ersten Fläche WK1 und der zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK aufgeklebt werden, es kann auch ein Trägertisch 27 verwendet werden, bei dem ein Ansaugen und Halten durch die Trägerfläche 27A nicht möglich ist, es kann ein oberes Druckmittel umfasst sein, durch welches das Werkstück WK beim Aufkleben der Klebefolie AS auf das Werkstück WK mit dem Trägertisch 27 eingeklemmt wird, die ersten zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 können auch nicht oben und unten paarweise, sondern nur auf der Seite der ersten Fläche WK1 oder nur auf der Seite der zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK vorgesehen sein, die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 können sich um eine Drehachse drehen, die zur Z-Achse jeweils in einem Winkel von 13 Grad, 47 Grad, 91 Grad zum Rollenanordnung-Mittelpunkt RC geneigt ist, während bei der vorstehenden Ausführungsform als drei Andrückkomponenten die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 verwendet, und die Klebefolie AS in drei Stufen auf das Werkstück WK aufgeklebt wurde, können auch vier oder mehr als vier Andrückkomponenten verwendet, und die Klebefolie AS in vier oder mehr als vier Stufen auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, oder es können zwei oder weniger als zwei Andrückkomponenten verwendet und die Klebefolie AS in zwei oder weniger als zwei Stufen auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, als Andrückkomponente kann anstelle der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 oder zusammen mit diesen auch eine Führungsplatte, ein umlaufendes Band oder ein Besprühen mit Luft verwendet und die Klebefolie AS auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, anstelle des Linearmotors 25, des Drehmotors 26 und des Trägertischs 27 oder zusammen mit diesen kann das Werkstück WK beispielsweise auch durch eine andere Vorrichtung oder ein nicht dargestelltes Antriebsgerät zur Andrückrolle 21 und den ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 relativ bewegt und die Klebefolie AS auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, oder die ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 können auch nicht vorgesehen sein.
    Bei dem Aufklebemittel 20 kann, während die Klebefolie AS auf das Werkstück WK aufgeklebt wird, durch ein Überlappen des vorderen Endes ASF in der Zuführrichtung und des hinteren Endes ASR in der Zuführrichtung der Klebefolie AS der Überlappungsabschnitt ASP gebildet und die Klebefolie AS an das Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt werden, es kann auch, nachdem vorab durch ein Überlappen des vorderen Endes ASF in der Zuführrichtung und des hinteren Endes ASR in der Zuführrichtung der Klebefolie AS der Überlappungsabschnitt ASP gebildet wurde, die Klebefolie AS an das Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt werden, wobei wenn nach dem Bilden des Überlappungsabschnitt ASP die Klebefolie AS an das Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt wird, auch ein Aufbau möglich ist, bei dem beispielsweise anstelle der Andrückrolle 21 eine an der Abtriebswelle eines Linearmotors als Antriebsgerät getragene Haltekomponente verwendet wird, bei der mittels eines nicht dargestellten Druckminderungsmittels (Haltemittels) wie einer Druckminderungspumpe oder einem Vakuum-Ejektor ein Ansaugen und Halten möglich ist, beim Halten der Klebefolie AS durch die Haltekomponente der Überlappungsabschnitt ASP gebildet, und die durch die Haltekomponente gehaltene Klebefolie AS an das Werkstück WK angedrückt und aufgeklebt wird.
  • Bei dem Wiederandrückmittel 30 kann auch nur ein Überlappungsabschnitt ASP, der auf der ersten Fläche WK1 des Werkstücks WK gebildet wurde, wiederholt angedrückt werden, nur ein Überlappungsabschnitt ASP, der auf der zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK gebildet wurde, wiederholt angedrückt werden, oder nur ein Überlappungsabschnitt ASP, der auf der Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK gebildet wurde, wiederholt angedrückt werden, es kann auch ein Überlappungsabschnitt ASP, der an irgendeiner Stelle des Werkstücks WK gebildet wurde, wiederholt angedrückt werden, anstatt die Gleichstrommotoren 31 und die Andrückplatten 32 oben und unten paarweise anzuordnen, ist beispielsweise auch nur eine Anordnung auf der Seite der ersten Fläche WK1 des Werkstücks WK möglich, nur eine Anordnung auf der Seite der zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK, oder nur eine Anordnung auf der Seite der Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK möglich, es ist auch ein Aufbau möglich, bei dem der Überlappungsabschnitt ASP durch die Andrückplatten 32 und den Trägertisch 27 wiederholt angedrückt wird, die Andrückplatten 32 können eine elastisch verformbare Materialqualität wie Kautschuk oder Harz haben, sie können aber auch eine nicht elastisch verformbare Materialqualität wie Metall oder Glas haben, anstelle der Gleichstrommotoren 31 und der Andrückplatten 32 oder zusammen mit diesen kann der Überlappungsabschnitt ASP auch durch eine Führungsplatte, ein umlaufendes Band oder ein Besprühen mit Luft wiederholt angedrückt werden, wobei der Überlappungsabschnitt ASP insgesamt wiederholt angedrückt werden kann, oder auch nicht der Überlappungsabschnitt ASP insgesamt wiederholt angedrückt wird, sondern nur ein Teil des Überlappungsabschnitts ASP wiederholt angedrückt wird.
  • Das Energiezuführmittel 40 kann als bestimmte Energie elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, sowie Wärmeenergie wie heißes Wasser oder Heißluft zuführen, wobei unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS optional eine die Adhäsionskraft der Klebefolie verstärkende Energie verwendet werden kann, es kann außerhalb der Andrückplatten 32 angeordnet sein, es kann aber auch innerhalb der Einschränkungsplatte 52 angeordnet sein, es kann vor dem wiederholten Andrücken des Überlappungsabschnitts ASP durch das Wiederandrückmittel 30 der Klebefolie AS eine bestimmte Energie zuführen und die Adhäsionskraft der Klebefolie AS verstärken, und es kann von der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
  • Bei dem Abheben-Einschränkungsmittel 50 kann die Einschränkungsplatte 52 eine elastisch verformbare Materialqualität wie Kautschuk oder Harz haben, oder eine nicht elastisch verformbaren Materialqualität wie Metall oder Glas haben, anstelle des Linearmotors 51 und der Einschränkungsplatte 52 oder zusammen mit diesen kann auch durch eine Führungsplatte, ein umlaufendes Band oder ein Besprühen mit Luft ein Abheben der Klebefolie AS von der Außenrandendfläche WK3 des Werkstücks WK eingeschränkt werden, und es kann von der Folienaufklebevorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein.
  • Bei der Folienaufklebevorrichtung EA kann auf ein oder eine Mehrzahl von Werkstücken WK eine Klebefolie AS aufgeklebt werden, oder es können auf ein oder eine Mehrzahl von Werkstücken WK eine Mehrzahl von Klebefolien AS aufgeklebt werden, es kann eine Trägerkomponente, z. B. aus Metall, Glas, Harz oder einer anderen Klebefolie auf zumindest entweder der Seite der ersten Fläche WK1 oder der Seite der zweiten Fläche WK2 des Werkstücks WK angeordnet und aufgeklebt werden, und durch die Klebefolie AS können das Werkstück WK und die Trägerkomponente einteilig gebildet werden.
    Die Folienaufklebevorrichtung EA kann für den Fall, dass die Klebefolie AS durch eine bestimmte zweite Energie verformbar gebildet ist, auch ein zweites Energiezuführmittel 60 umfassen, das der Klebefolie AS, wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, eine bestimmte zweite Energie zuführt. Dieses zweite Energiezuführmittel 60 kann zwischen der Andrückrolle 21 und dem Wiederandrückmittel 30, oder zwischen der Abziehplatte 14 und der Andrückrolle 21 vorgesehen sein. Durch einen solchen Aufbau können bei der Folienaufklebevorrichtung EA, nachdem die Überstandsbereiche ASH gebildet wurden und die Klebefolie AS auf die Außenrandendfläche WK3 aufgeklebt wurde, die Überstandsbereiche ASH durch das Zuführen der zweiten Energie verformt und in eine Umbiegelage gebracht werden, in der die Überstandsbereiche ASH in Richtung zur ersten Fläche WK1 und in Richtung zur zweiten Fläche WK2 umgebogen sind. In diesem Fall können die Überstandsbereiche ASH im Zustand der Umbiegelage mit Hilfe der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 auf den Außenrandabschnitt der ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche WK2 aufgeklebt werden, sie können dadurch, dass sie in den Zustand der Umbiegelage gelangen, aber auch ohne Hilfe der ersten, zweiten und dritten Andrückrollen 22, 23 und 24 auf den Außenrandabschnitt der ersten Fläche WK1 und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche WK2 aufgeklebt werden.
    Es kann sich um eine durch eine zweite Energie verformbare Klebefolie AS handeln, die sich durch elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, sowie Wärmeenergie wie heißes Wasser oder Heißluft als zweite Energie verformt, oder um eine solche, die sich durch eine andere Energie verformt.
    Das zweite Energiezuführmittel kann ein solches sein, das elektromagnetische Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, sowie Wärmeenergie wie heißes Wasser oder Heißluft zuführt, unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS kann aber auch ein beliebiges anderes Mittel verwendet werden, durch das die Klebefolie verformt werden kann.
  • Bei der Klebefolie AS kann es sich auch um eine solche handeln, bei der sich die Adhäsionskraft durch eine bestimmte Energie nicht verstärkt, oder die sich nicht durch eine bestimmte zweite Energie verformt.
    Bei der Klebefolie AS, bei der sich durch eine bestimmte Energie oder eine bestimmte zweite Energie die Adhäsionskraft verstärkt, oder die sich hierdurch verformt, kann es sich auch um eine solche handeln, bei der sich infolge einer Kontraktion die Adhäsionskraft verstärkt, oder die sich hierdurch verformt, um eine solche, bei der sich infolge einer Expansion die Adhäsionskraft verstärkt, oder die sich hierdurch verformt, oder eine solche, bei der sich weder infolge einer Kontraktion noch einer Expansion die Adhäsionskraft verstärkt, oder die sich hierdurch verformt.
    Bei dem Werkstück WK kann zumindest auf entweder der Seite der ersten Fläche WK1 oder der Seite der zweiten Fläche WK2 ein ringförmiger oder nicht-ringförmiger Vorsprung gebildet sein, oder zumindest auf entweder der Seite der ersten Fläche WK1 oder der Seite der zweiten Fläche WK2 kann eine Trägerkomponente aus Metall, Glas, Harz oder einer anderen Klebefolie angebracht sein.
  • Die Materialqualität, Art oder Form der Klebefolie AS, der anderen Klebefolie, der Trägerkomponente und des Werkstücks WK bei der vorliegenden Erfindung unterliegen keiner besonderen Beschränkung. Beispielsweise können die Klebefolie AS, die andere Klebefolie, die Trägerkomponente und das Werkstück WK kreisförmig, oval, polygon wie ein Dreieck oder Viereck sein, oder eine andere Form haben, und bei der Klebefolie AS und der anderen Klebefolie kann es sich um eine Adhäsionsform wie eine druckempfindliche Adhäsion oder wärmedruckempfindliche Adhäsion handeln, wobei bei der Verwendung einer Klebefolie AS und einer anderen Klebefolie mit einer wärmedruckempfindlichen Adhäsion, das Aufkleben durch ein angemessenes Verfahren erfolgen kann, z. B. durch die Vorsehung eines zum Erwärmen der Klebefolie AS und der anderen Klebefolie geeigneten Erwärmungsmittels wie der Heizseite einer Heizspirale oder eines Heizrohrs. Ferner kann es sich um eine beliebige Klebefolie AS und andere Klebefolie handeln, wie um eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige Klebefolie, eine aus einem Basismaterial und einer Klebstoffschicht aufgeschichtete zweischichtige Klebefolie, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der zwischen dem Basismaterial und der Klebstoffschicht eine oder eine Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet sind, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der auf der Oberseite des Basismaterials eine oder eine Mehrzahl von Deckschichten aufgeschichtet sind, eine Klebefolie, bei der das Basismaterial, eine Zwischenschicht oder eine Deckschicht abziehbar vorgesehen sind, eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige doppelseitige Klebefolie oder eine doppelseitige Klebefolie, bei der eine Klebstoffschicht auf beiden äußersten Flächen einer oder einer Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet ist. Außerdem kann es sich bei der Trägerkomponente und dem Werkstück WK z. B. um ein Lebensmittel, einen Kunststoffbehälter, einen Halbleiterwafer wie einen Silikon-Halbleiterwafer oder einen Verbindungshalbleiterwafer, ein Datenspeichersubstrat wie eine Leiterplatte oder eine optische Speicherplatte, um einen Einzelkörper aus einer Glasplatte, einem Stahlblech, einer Keramik, einer Holzplatte oder einem Harz, oder um einen zusammengesetzten Körper aus zwei oder mehr als zwei von diesen handeln, und auch Komponenten oder Artikel einer optionalen Form können Gegenstand sein. Bei der Klebefolie AS und der anderen Klebefolie ist als Ersatz durch eine funktionelle oder zweckmäßige Lesart auch optional die Bezeichnung Folie, Film oder Tape wie Datenträgeretikett, Dekorationsetikett, Schutzfolie, Dicing-Tape, Die-Attach-Film, Die-Bonding-Tape oder Aufzeichnungsschicht bildender Harzfilm möglich.
  • Als Antriebsgerät in der vorliegenden Ausführungsform kann ein elektrisches Gerät wie ein Drehmotor, ein Gleichstrommotor, ein Linearmotor, ein einachsiger Roboter, ein sogenannter mehrgelenkiger Roboter, der zwei, drei oder mehr als drei Gelenke umfasst, Aktoren wie ein Luftzylinder, Hydraulikzylinder, kolbenstangenloser Zylinder oder Drehzylinder einzeln verwendet werden, es ist aber auch die Verwendung eines solchen möglich, bei dem diese elektrischen Geräte oder Aktoren direkt oder indirekt kombiniert sind, und es ist eine Verwendung eines solchen möglich, bei dem eine Steuerung des Drehmoments oder eine Steuerung der Geschwindigkeit z. B. der Abtriebswelle dieser elektrischen Geräte oder Aktoren möglich oder auch nicht möglich ist.
  • Wird bei der vorstehenden Ausführungsform eine Drehkomponente wie eine Rolle usw. verwendet, kann ein die Drehkomponente drehend antreibendes Antriebsgerät umfasst sein, wobei die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aus einem verformbaren Material wie Kautschuk oder Harz bestehen kann, die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aber auch aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, und anstelle einer Rolle auch eine sich drehende oder nicht drehende andere Komponente wie eine Achse oder ein Blatt verwendet werden kann, wenn als Gegenstand zum Drücken eines zu drückenden Gegenstands ein Andrückmittel, eine Druckkomponente oder eine Einschränkungskomponente wie eine Andrückrolle, die Druckplatte 32 oder ein Druckkopf verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen, abgesehen von einer Rolle, einem Rundstab, einem Blattmaterial und einer bürstenförmigen Komponente auch ein auf einem Besprühen mit Luft oder Gas beruhender Gegenstand verwendet werden, zum Drücken kann es sich um einen Gegenstand aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz oder Schaumstoff, oder aus einem nicht verformbaren Material wie Metall oder Glas handeln, wenn zum Abziehen eines abzuziehenden Gegenstands ein Abziehmittel oder eine Abziehkomponente wie eine Abziehplatte oder eine Abziehrolle verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen auch eine Komponente wie eine plattenförmige Komponente, ein Rundstab oder eine Rolle verwendet werden, wobei der abziehende Gegenstand aus einem verformbaren Material wie Kautschuk oder Harz, oder aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, wenn ein Gegenstand zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente (zu haltenden Komponente) wie ein Trägermittel (Haltemittel) oder eine Trägerkomponente (Haltekomponente) verwendet wird, kann ein Greifmittel wie ein mechanisches Spannfutter oder ein Spannfutterzylinder, oder eine Struktur zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente durch Coulombsche Kraft, Klebstoff (Klebefolie, Klebeband), Haftmittel (Haftfolie, Haftband), Magnetkraft, Bernoulli-Adsorption, Ansaugen-Festsaugen oder ein Antriebsgerät verwendet werden, wenn ein Gegenstand wie ein Schneidmittel oder eine Schneidkomponente zum Schneiden einer zu schneidenden Komponente oder um in einer zu schneidenden Komponente einen Einschnitt oder eine Trennlinie zu bilden, verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen ein solches zum Schneiden mittels einer Schneideklinge, einem Laserschneidegerät, einem lonenstrahl, Wärmekraft, Wärme, Wasserdruck, einem Heizdraht, Besprühen mit einer Flüssigkeit oder Gas verwendet werden, wobei durch eine Kombination mit einem geeigneten Antriebsgerät das Schneiden durch ein Bewegen des schneidenden Gegenstand erfolgt.
  • [Erläuterung der Bezugszeichen]
    • EA
    Folienaufklebevorrichtung
    10
    Zuführmittel
    17
    Spannkraftverleihungsmittel
    20
    Aufklebemittel
    30
    Wiederandrückmittel
    40
    Energiezuführmittel
    50
    Abheben-Einschränkungsmittel
    60
    Zweites Energiezuführmittel
    AS
    Klebefolie
    ASF
    Vorderes Ende in der Zuführrichtung
    ASP
    Überlappungsabschnitt
    ASR
    Hinteres Ende in der Zuführrichtung
    WK
    Werkstück
    WK1
    Erste Fläche
    WK2
    Zweite Fläche
    WK3
    Außenrandendfläche
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2022030877 A [0003]

Claims (6)

  1. Folienaufklebevorrichtung umfassend ein Zuführmittel zum Zuführen einer Klebefolie, und ein Aufklebemittel, durch das ein Überlappungsabschnitt gebildet wird, an dem sich ein vorderes Ende in der Zuführrichtung und ein hinteres Ende in der Zuführrichtung der durch das Zuführmittel zugeführten Klebefolie überlappen, und die Klebefolie an ein Werkstück angedrückt und aufgeklebt wird, dadurch gekennzeichnet, dass außerdem ein Wiederandrückmittel umfasst ist, durch das der durch das Aufklebemittel angedrückte Überlappungsabschnitt wiederholt angedrückt wird.
  2. Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Adhäsionskraft der Klebefolie durch eine bestimmte Energie verstärkt werden kann, und ein Energiezuführmittel umfasst ist, durch das der Klebefolie die bestimmte Energie zugeführt wird.
  3. Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Aufklebemittel die Klebefolie auf einen Außenrandabschnitt einer ersten Fläche, einen Außenrandabschnitt einer zweiten Fläche und eine zwischen der ersten Fläche und der zweiten Fläche positionierten Außenrandendfläche des Werkstücks aufgeklebt wird, durch das Wiederandrückmittel die Klebefolie an den Außenrandabschnitt der ersten Fläche und den Außenrandabschnitt der zweiten Fläche angedrückt und der Überlappungsabschnitt wiederholt angedrückt wird, und ein Abheben-Einschränkungsmittel umfasst ist, durch das beim wiederholten Andrücken des Überlappungsabschnitts durch das Wiederandrückmittel ein Abheben der Klebefolie von der Außenrandendfläche des Werkstücks eingeschränkt wird.
  4. Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebefolie elastisch verformbar ist, und ein Spannkraftverleihungsmittel umfasst ist, durch das der Klebefolie, die auf das Werkstück aufgeklebt wird, Spannkraft verliehen wird.
  5. Folienaufklebevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebefolie durch eine bestimmte zweite Energie verformbar ist, und ein zweites Energiezuführmittel umfasst ist, durch das der Klebefolie die bestimmte zweite Energie zugeführt wird.
  6. Folienaufklebeverfahren, bei dem ein Zuführschritt zum Zuführen einer Klebefolie, und ein Aufklebeschritt ausgeführt werden, in dem ein Überlappungsabschnitt gebildet wird, an dem sich ein vorderes Ende in der Zuführrichtung und ein hinteres Ende in der Zuführrichtung der im Zuführschritt zugeführten Klebefolie überlappen, und die Klebefolie an ein Werkstück angedrückt und aufgeklebt wird, dadurch gekennzeichnet, dass außerdem ein Wiederandrückschritt ausgeführt wird, in dem der im Aufklebeschritt angedrückte Überlappungsabschnitt wiederholt angedrückt wird.
DE102023110010.6A 2022-04-28 2023-04-20 Folienaufklebevorrichtung und Folienaufklebeverfahren Pending DE102023110010A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2022030877A (ja) 2020-08-07 2022-02-18 株式会社荏原製作所 テープ貼り付けシステム、テープ貼り付け方法、テープ剥がしシステム、およびテープ剥がし方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022030877A (ja) 2020-08-07 2022-02-18 株式会社荏原製作所 テープ貼り付けシステム、テープ貼り付け方法、テープ剥がしシステム、およびテープ剥がし方法

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