CN116978816A - 片粘贴装置以及片粘贴方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供片粘贴装置及片粘贴方法，能够防止在被粘物上粘贴粘接片而进行了保护的保护部在后续工序等中被污染。片粘贴装置(EA)具备：供给单元(10)，其供给粘接片(AS)；以及粘贴单元(20)，其使由供给单元(10)供给的粘接片(AS)的供给方向前端部(ASF)与供给方向后端部(ASR)重叠而形成重叠部(ASP)，并将所述粘接片(AS)按压于被粘物(WK)进行粘贴。片粘贴装置(EA)还具备再按压单元(30)，其对由所述粘贴单元(20)按压的重叠部(ASP)进行再按压。

Description

片粘贴装置以及片粘贴方法
技术领域
本发明涉及一种片粘贴装置以及片粘贴方法。
背景技术
公知有一种片粘贴装置，其使粘接片的供给方向前端部与供给方向后端部重叠而形成重叠部，并将该粘接片粘贴于被粘物(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2022-30877号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
对于专利文献1所记载的带粘贴系统1(片粘贴装置)而言，根据所使用的保护带27(粘接片)的结构、组成等的不同，存在如下情况：即使相对于晶圆W(被粘物)的粘贴力充分，相对于自身的粘接面的相反侧即粘接反面的粘贴力也不充分。在这种情况下，例如，在将粘贴粘接片而对特定的保护部进行了保护的被粘物浸渍于液体中、或暴露在气体中来实施规定的处理的后续工序、其他工序等后续工序等中，会产生如下不良情况：粘接片的重叠部的供给方向后端部的粘接面从供给方向前端部的粘接反面剥离，导致液体、气体等异物从该剥离的部分侵入，使在被粘物上粘贴粘接片而进行了保护的保护部被污染。
本发明的目的在于，提供一种片粘贴装置及片粘贴方法，能够防止在被粘物上粘贴粘接片而进行了保护的保护部在后续工序等中被污染。
(二)技术方案
本发明采用了权利要求记载的结构。
(三)有益效果
根据本发明，对由粘贴单元按压的重叠部进行再按压，因此能够防止在被粘物上粘贴粘接片而进行了保护的保护部在后续工序等中被污染。
附图说明
图1是本发明一实施方式的片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。
图2是片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。
附图标记说明
EA-片粘贴装置；10-供给单元；17-张力施加单元；20-粘贴单元；30-再按压单元；40-能量施加单元；50-翘起限制单元；60-第二能量施加单元；AS-粘接片；ASF-供给方向前端部；ASP-重叠部；ASR-供给方向后端部；WK-被粘物；WK1-一面；WK2-另一面；WK3-外缘端面。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明一实施方式进行说明。
此外，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系，X轴及Y轴设定为规定平面内的轴，Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且，在本实施方式中，以从与图1的(A)所示的Y轴平行的箭头DR方向观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是Z轴的箭头方向且“下”是其相反方向，“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于Y轴的图1中近前方向且“后”是其相反方向。此外，图1的(D)是图1的(A)的AA方向视图，图1的(E)是图1的(A)的BB方向视图。
本发明的片粘贴装置EA具备：供给单元10，其实施供给粘接片AS的供给工序；粘贴单元20，其实施：使由供给单元10供给的粘接片AS的供给方向前端部ASF与供给方向后端部ASR重叠而形成重叠部ASP(参照图2的(B)～(E))，并将所述粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴的粘贴工序；再按压单元30，其实施对由粘贴单元10按压的重叠部ASP进行再按压的再按压工序；能量施加单元40，其实施对粘接片AS施加作为规定的能量的热的能量施加工序；以及翘起限制单元50，其实施：在利用再按压单元30对重叠部ASP进行再按压时，限制粘接片AS从被粘物WK的外缘端面WK3翘起的翘起限制工序。
此外，本实施方式的粘接片AS利用作为规定的能量的热而使粘接力增加。
另外，本实施方式的被粘物WK呈以被粘物中心WKC为中心的圆形形状。
供给单元10具备：支撑部件11，其对构成该供给单元10的各部件直接或间接地进行支撑；支撑辊12，其对粘接片AS临时粘接于带状的剥离片RL的原材料RS进行支撑；引导辊13，其引导原材料RS；剥离板14，其作为剥离单元，使剥离片RL在剥离缘14A折回，从该剥离片RL剥离粘接片AS；驱动辊15，其支撑于作为驱动设备的转动马达15A的未图示的输出轴，与夹送辊15B夹持剥离片RL；回收辊16，其作为回收单元，支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在片粘贴装置EA进行自动运转的期间，始终对回收辊16与夹送辊15B之间存在的剥离片RL施加规定的张力，并回收该剥离片RL；以及张力施加单元17，其对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力。
张力施加单元17具备：转动马达17A，其作为驱动设备能够进行转矩控制；以及驱动辊17C，其支撑于转动马达17A的未图示的输出轴，并与夹送辊17B夹持原材料RS。
粘贴单元20具备：按压辊21，其作为按压部件，可旋转地支撑于未图示的托架，以使得在由供给单元10供给的粘接片AS形成伸出区域ASH的方式，将该粘接片AS按压于被粘物WK的外缘端面WK3；第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24，这些按压辊作为按压部件，可旋转地支撑于未图示的托架；线性马达25，其作为驱动设备；转动马达26，其作为驱动设备，支撑于线性马达25的滑块25A；以及支撑台27，其支撑于转动马达26的输出轴26A且具有支撑面27A，该支撑面27A能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持，粘贴单元20构成为向被粘物WK的一面WK1的外缘部和另一面WK2的外缘部、以及位于该一面WK1和另一面WK2之间的外缘端面WK3粘贴粘接片AS。支撑台27构成为利用转动马达26以台中心27C为中心进行旋转。
此外，在本实施方式中，如图1的(B)、(C)所示，按压辊21配置于：当被粘物WK的被粘物中心WKC配置于辊配置中心RC时，能够将从供给单元10供给的粘接片AS按压于该被粘物WK的外缘端面WK3的位置。另外，如图1的(B)、(D)～(F)所示，第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24分别构成为上下一对，当被粘物WK的被粘物中心WKR位于辊配置中心RC时，将粘贴于该被粘物WK的外缘端面WK3的粘接片AS的伸出区域ASH配设于能够向一面WK1方向及另一面WK2方向折曲的位置。在本实施方式中，第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24能够以相对于Z轴而言分别向辊配置中心RC方向倾斜30度、60度、90度的旋转轴为中心进行旋转。
再按压单元30具备：直动马达31，其作为上下一对的驱动设备；以及按压板32，其作为按压部件，分别支撑于各直动马达31的输出轴31A。
此外，在本实施方式中，再按压单元30能够将粘接片AS压接于一面WK1的外缘部以及另一面WK2的外缘部而对重叠部ASP进行再按压。
能量施加单元40具备线圈加热器、热管的加热侧等加热设备41，并配置于各按压板32的内部。
翘起限制单元50具备：直动马达51，其作为驱动设备；以及限制板52，其作为限制部件，支撑于直动马达51的输出轴51A，将粘接片AS向外缘端面WK3按压。
对以上的片粘贴装置EA的动作进行说明。
首先，对于在如图1的(A)中实线所示的初始位置配置各部件的片粘贴装置EA而言，该片粘贴装置EA的使用者(以下简称为“使用者”)如图示那样设置原材料RS，之后经由操作面板或个人计算机等未图示的操作单元输入开始自动运转的信号。于是，供给单元10使转动马达15A、17A驱动，送出原材料RS，如图1的(A)所示，当起始的粘接片AS的供给方向前端部ASF在剥离板14的剥离缘14A被剥离了规定长度时，停止转动马达15A、17A的驱动。
之后，如图1的(A)所示，当使用者或多关节机器人或带式输送机等未图示的输送单元以使得被粘物中心WKC与台中心27C重合的方式将被粘物WK载置于支撑面27A时，移动单元30使未图示的减压单元驱动，开始进行该支撑面27A上的吸附保持。之后，粘贴单元20使线性马达25驱动，如图1的(B)所示，以台中心27C(被粘物中心WKC)与辊配置中心RC一致的方式使被粘物WK向左方移动，停止线性马达25的驱动。接着，供给单元10以及粘贴单元20使转动马达15A、17A、26驱动，从上方俯视来看，使被粘物WK向逆时针方向RD旋转并供给粘接片AS。由此，粘接片AS被按压辊21按压，如图1的(B)、(C)所示，在形成有伸出区域ASH的状态下粘贴于外缘端面WK3之后，如图1的(D)、(E)、(F)所示，通过第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24将伸出区域ASH阶段性地折曲，并粘贴于被粘物WK的一面WK1以及另一面WK2。
接着，当起始的粘接片AS的后续的下一个粘接片AS的供给方向前端部ASF在剥离板14的剥离缘14A被剥离了规定长度时，供给单元10停止转动马达15A、17A的驱动，停止原材料RS的送出。接着，当起始的粘接片AS的供给方向后端部ASR的伸出区域ASH利用第三按压辊24被粘贴于一面WK1及另一面WK2而形成一体物UP时，如图2的(D)所示，供给方向前端部ASF与供给方向后端部ASR相互重叠而形成重叠部ASP。之后，如图2的(A)所示，当重叠部ASP位于按压板32之间时，粘贴单元20停止转动马达26的驱动。
接着，翘起限制单元50驱动直动马达51，如图2的(A)中双点划线所示，使限制板52移动而将重叠部ASP的侧方压接于外缘端面WK3。然后，再按压单元30和能量施加单元40使直动马达31和加热设备41驱动，如图2的(A)中双点划线和图2的(B)所示，使按压板32相互接近而对重叠部ASP进行再按压。由此，即使粘接片AS对自身的粘接反面的粘贴力不充分，通过再按压单元30的再按压，对该粘接反面的粘贴力也增加。此时，再按压单元30可以如图2的(C)、(E)所示那样以重叠部ASP变形的程度对该重叠部ASP进行再按压，也可以以图2的(B)、(D)所示的形成于重叠部ASP的周围的空洞HW、朝向该空洞HW的入口ER被压扁的程度对该重叠部ASP进行再按压，也可以以空洞HW、朝向该空洞HW的入口ER不被压扁的程度对该重叠部ASP进行再按压，也可以以重叠部ASP不变形的程度对该重叠部ASP进行再按压。另外，粘接片AS通过由能量施加单元40施加的热而粘接力增加，相对于粘接反面的粘接力进一步增加。
接着，如果向重叠部ASP的再按压完成，则能量施加单元40停止加热设备41的驱动后，再按压单元30以及翘起限制单元50使直动马达31、51驱动，使各按压板32以及限制板52恢复到初始位置。之后，粘贴单元20使线性马达25驱动，使支撑台27恢复到初始位置后，停止未图示的减压单元的驱动，解除支撑面27A上的吸附保持。接着，使用者或者未图示的输送单元将一体物UP从支撑面27A上去除，并将该一体物UP输送至电镀工序、干蚀刻工序等后续工序，之后反复进行上述相同的动作。
根据以上那样的实施方式，由于对由粘贴单元20按压的重叠部ASP进行再按压，因此能够防止在被粘物WK上粘贴粘接片AS而进行了保护的保护部在后续工序等中被污染。
对于本发明中的单元和工序而言，只要是能够实现对这些单元和工序进行了说明的动作、功能或工序即可而并无限定，且不限于上述实施方式所示的单纯的一个实施方式的构成物、工序。例如，供给单元只要能够供给粘接片即可，只要对照起初申请时的技术常识而言在其技术范围内则并无限定(对于其他单元和工序而言也同样如此)。
对于供给单元10而言，可以通过在临时粘接于带状的剥离片RL的带状的粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域形成为粘接片AS的原材料RS剥离该粘接片AS进行供给，也可以采用在带状的剥离片RL上临时粘接有带状的粘接片基材的带状粘接片原材料，在送出该带状粘接片原材料的途中，利用作为切断单元的切断刀在粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域形成为粘接片AS的原材料RS剥离该粘接片AS进行供给，也可以从在带状的剥离片RL临时粘接有带状的粘接片AS的原材料RS剥离该带状的粘接片AS进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如从扇形折叠的原材料RS剥离粘接片AS进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如采用扇形折叠、利用碎纸机等进行切割、任意地集聚而将剥离片RL回收的回收单元，也可以不采用回收单元，也可以将未临时粘接于剥离片RL的粘接片AS送出进行供给，也可以具备将粘贴于被粘物WK的粘接片AS切断成规定的长度的切断单元。
对于供给单元10而言，可以是，当粘接片AS由能够弹性变形的采用构成时，在将粘接片AS粘贴于外缘端面WK3时，使转动马达17A驱动，并检测从粘接片AS经由驱动辊17C施加的转矩，以使得该转矩始终为规定值的方式来供给粘接片AS，从而对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力。由此，对于能够弹性变形的粘接片AS而言，由于内在的弹性复原力，成为伸出区域ASH向一面WK1方向、另一面WK2方向折曲的折曲姿态。在这种情况下，可以是，伸出区域ASH从折曲姿态的状态起经由第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24而粘贴于一面WK1的外缘部及另一面WK2的外缘部，也可以是，通过成为折曲姿态而以不经由第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24的方式粘贴于一面WK1的外缘部及另一面WK2的外缘部。
对于张力施加单元17而言，可以是，将原材料RS或粘接片AS可滑动地把持并调整该把持力，对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力，或者是，采用不能进行转矩控制的转动马达17A，使用者可以考虑粘接片AS的特性、特质、性质、材质、组成、结构、形状、尺寸及重量、气氛的条件、其他因素等各种条件而任意地确定施加于粘接片AS的规定的张力，可以在本发明的片粘贴装置EA中具备，也可以不具备。
此外，在上述的实施方式中，是将张力施加单元17作为供给单元10的构成物进行了说明，但是，该张力施加单元17也可以不是供给单元10的构成物而是独立地构成，例如可以是，位于剥离板14与按压辊21之间，对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力。
对于粘贴单元20而言，可以是，不使被粘物WK移动或者一边使被粘物WK移动一边使按压部件移动，将粘接片AS粘贴于被粘物WK，例如可以是，仅在被粘物WK的一面WK1粘贴粘接片AS，或者仅在被粘物WK的另一面WK2粘贴粘接片AS，或者仅在被粘物WK的外缘端面WK3粘贴粘接片AS，或者在被粘物WK的一面WK1以及外缘端面WK3粘贴粘接片AS，或者在被粘物WK的一面WK1、另一面WK2的中央部粘贴粘接片AS，也可以粘贴于任意位置，可以是，采用不能利用保持面27A进行吸附保持的支撑台27，可以是，具备在将粘接片AS粘贴于被粘物WK时与支撑台27夹持该被粘物WK的上按压单元，可以是，第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24不设置为上下一对，而是仅设置于被粘物WK的一面WK1侧或者仅设置于另一面WK2侧，可以是，第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24以相对于Z轴而言分别以13度、47度、91度这样的角度而以向辊配置中心RC方向倾斜的旋转轴为中心进行旋转，在上述实施方式中，采用第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24这三个按压部件，并以三个阶段将粘接片AS粘贴于被粘物WK，但是，也可以采用4个以上的按压部件，并以4个以上的阶段将粘接片AS粘贴于被粘物WK，或者，采用两个以下的按压部件，并以两个以下的阶段将粘接片AS以粘贴于被粘物WK，作为按压部件，也可以代替第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24或与其并用地利用导板、回转带、气体的喷吹等，将粘接片AS粘贴于被粘物WK，也可以代替线性马达25、转动马达26及支撑台27或与其并用地，例如，通过其他装置或未图示的驱动设备等，使被粘物WK相对于按压辊21或第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24相对移动，并将粘接片AS粘贴于被粘物WK，也可以没有第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24。
对于粘贴单元20而言，可以是，在被粘物WK上粘贴粘接片AS，并且使粘接片AS的供给方向前端部ASF与供给方向后端部ASR重叠而形成重叠部ASP，并将该粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴，也可以是，在预先使粘接片AS的供给方向前端部ASF与供给方向后端部ASR重叠而形成重叠部ASP后，将该粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴，当在形成重叠部ASP后将该粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴时，例如可以是，代替按压辊21而采用在作为驱动设备的直动马达的输出轴上被支撑且能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持的保持部件，在利用该保持部件保持粘接片AS时形成重叠部ASP，并将由该保持部件保持的粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴。
对于再按压单元30而言，可以是，仅对形成于被粘物WK的一面WK1的重叠部ASP进行再按压，或者仅对形成于被粘物WK的另一面WK2的重叠部ASP进行再按压，或者仅对形成于被粘物WK的外缘端面WK3的重叠部ASP进行再按压，也可以对形成于被粘物WK各位置的重叠部ASP进行再按压，可以构成为直动马达31、按压板32不是上下一对，例如可以是，仅配置于被粘物WK的一面WK1侧，或者仅配置于被粘物WK的另一面WK2侧，或者仅配置于被粘物WK的外缘端面WK3侧，也可以构成为，利用按压板32和支撑台27对重叠部ASP进行再按压，按压板32的材质可以由橡胶、树脂等能够弹性变形的材料构成，或者由金属、玻璃等不能弹性变形的材料构成，也可以代替直动马达31、按压板32或与其并用地利用导板、回转带、气体的喷吹等对重叠部ASP进行再按压，可以是，对重叠部ASP整体进行再按压，或者，不是对重叠部ASP整体进行再按压，而是仅对该重叠部ASP的一部分进行再按压。
对于能量施加单元40而言，可以是作为规定的能量而施加紫外线、红外线、可见光线、声波、X射线或者伽马射线等电磁波、热水、热风等热等的单元，可以考虑粘接片AS的特性、特质、性质、材质、组成以及结构等而任意地采用能够增加该粘接片的粘接力的单元，可以配置在按压板32的外部，也可以配置在限制板52的内部，也可以在利用再按压单元30对重叠部ASP进行再按压之前，对粘接片AS施加规定的能量而使该粘接片AS的粘接力增加，可以在本发明的片粘贴装置EA中具备，也可以不具备。
对于翘起限制单元50而言，限制板52的材质可以由橡胶、树脂等能够弹性变形的材料构成，或者由金属、玻璃等不能弹性变形的材料构成，也可以代替直动马达51、限制板52或与其并用地利用导板、回转带、气体的喷吹等来限制粘接片AS从被粘接体WK的外缘端面WK3翘起，可以在本发明的片粘贴装置EA中具备，也可以不具备。
对于片粘贴装置EA而言，可以在一个或多个被粘物WK上粘贴一张粘接片AS、在一个或多个被粘物WK上粘贴多张粘接片AS，可以在被粘物WK的一面WK1侧及另一面WK2侧的至少一方配置或粘贴金属、玻璃、树脂、其他的粘接片等支撑部件，可以利用粘接片AS使被粘物WK和支撑部件一体化。
关于片粘贴装置EA，当粘接片AS由能够利用规定的第二能量进行变形的材料构成时，可以是，如图1的(A)中双点划线所示那样，具备对粘接片AS施加规定的第二能量的第二能量施加单元60。对于这样的第二能量施加单元60而言，可以设置在按压辊21与再按压单元30之间，也可以设置在剥离板14与按压辊21之间。通过采用这样的结构，对于片粘贴装置EA而言，在以使得形成伸出区域ASH的方式将粘接片AS粘贴于外缘端面WK3之后，对该伸出区域ASH施加第二能量而使其变形，能够成为该伸出区域ASH向一面WK1方向、另一面WK2方向折曲的折曲姿态。在这种情况下，可以是，伸出区域ASH从折曲姿态的状态起经由第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24而粘贴于一面WK1的外缘部及另一面WK2的外缘部，也可以是，通过成为折曲姿态而以不经由第一按压辊22、第二按压辊23、第三按压辊24的方式粘贴于一面WK1的外缘部及另一面WK2的外缘部。
另外，作为能够利用第二能量进行变形的粘接片AS，也可以是将紫外线、红外线、可见光线、声波、X射线或伽马射线等电磁波、热水或热风等的热等作为第二能量进行变形的粘接片，或是利用此外其他的能量进行变形的粘接片。
另外，作为第二能量施加单元，可以是施加紫外线、红外线、可见光线、声波、X射线或伽马射线等电磁波、热水或热风等的热等的单元，可以考虑粘接片AS的特性、特质、性质、材质、组成及构成等而任意地采用能够使该粘接片变形的单元。
粘接片AS可以是粘接力不因规定的能量而增加的粘接片，也可以是粘接力不因规定的第二能量进行变形的粘接片。
作为利用规定的能量或规定的第二能量而粘接力增加或变形的粘接片AS，可以伴随收缩而粘接力增加或变形，也可以伴随膨胀而粘接力增加或变形，也可以不伴随收缩和膨胀而粘接力增加或变形。
被粘物WK可以在一面WK1侧及另一面WK2侧的至少一方形成有环状或者非环状的凸部，可以在一面WK1侧及另一面WK2侧的至少一方安装有金属、玻璃、树脂、其他的粘接片等支撑部件。
对于本发明中的粘接片AS、其他的粘接片、支撑部件及被粘物WK的材质、种类、形状等，没有特别限定。例如，粘接片AS、其他的粘接片、支撑部件和被粘物WK可以是圆形、椭圆形、三角形、四边形等多边形、或者其他形状，粘接片AS、其他的粘接片可以是压敏粘接性、热敏粘接性等粘接方式的粘接片，在采用热敏粘接性的粘接片AS、其他的粘接片的情况下，只要通过设置对该粘接片AS、其他的粘接片进行加热的适当的线圈加热器或热管的加热侧等加热单元这样适当的方法进行粘接即可。另外，对于这样的粘接片AS、其他的粘接片而言，例如可以是仅有粘接剂层的单层；层叠有基材和粘接剂层的2层；在基材和粘接剂层之间层叠有一个或多个中间层的3层或者3层以上；在基材的上表面层叠有一个或多个罩盖层的3层或者3层以上；以能够剥离的方式设置基材、中间层或罩盖层；仅由粘接剂层构成的单层的双面粘接片；在一个或多个中间层的两最外表面层叠有粘接剂层的双面粘接片等任意的方式。并且，支撑部件、被粘物WK例如可以是食品、树脂容器、硅半导体晶圆或者化合物半导体晶圆等半导体晶圆、电路基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶瓷、木板或者树脂等单体物，也可以是由这些其中的两种以上形成的复合物，任意形态的部件、物品等都能够成为对象。另外，粘接片AS、其他的粘接片可以基于功能、用途进行改称，例如可以是信息记载用标签、装饰用标签、保护片、切割带、芯片粘接膜、芯片接合带、记录层形成树脂片等任意的片、膜、带等。
上述实施方式中的驱动设备可以单独采用转动马达、直动马达、线性马达、单轴机器人、具备双轴或者三轴以上的关节的所谓多关节机器人等电动设备、气缸、液压缸、无杆缸以及旋转缸等致动器等，可以采用由这些电动设备、致动器等直接或者间接组合而成之物，可以采用能够或者不能针对这些电动设备、致动器等的输出部进行转矩控制、速度控制等的设备。
在上述实施方式中，在采用辊等旋转部件的情况下，可以具备使该旋转部件旋转驱动的驱动设备，可以由橡胶、树脂等可变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以由不变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以代替辊而采用进行旋转或者不进行旋转的轴、叶片等其他部件，在采用按压辊、按压板32或按压头等按压单元、按压部件或限制部件对被按压物进行按压的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：辊、圆棒、叶片材料、刷状部件，此外也可以采用通过喷射大气、其他气体等气体进行按压的方式，进行按压的部件可以由橡胶、树脂或海绵等可变形的部件构成，也可以由金属、玻璃等不变形的部件构成，在采用剥离板、剥离辊等剥离单元、剥离部件来剥离被剥离物的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：板状部件、圆棒、辊等部件，进行剥离的部件可以由橡胶或树脂等可变形的部件构成，也可以由不变形的部件构成，在采用支撑(保持)单元、支撑(保持)部件等对被支撑部件(被保持部件)进行支撑(保持)的情况下，可以采用通过机械卡盘、卡盘缸等把持单元、库仑力、粘接剂(粘接片、粘接带)、粘合剂(粘合片、粘合带)、磁力、伯努利吸附、抽吸吸附、驱动设备等支撑(保持)被支撑部件的结构，在采用切断单元、切断部件等将被切断部件切断或者在被切断部件上形成刻痕、切断线的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：通过切刀、激光切割器、离子束、火力、热能、水压、电热丝、喷射气体或液体等来进行切断的方式，或者通过组合了适当的驱动设备而构成的装置使进行切断的物体移动来进行切断。

Claims (6)

1.一种片粘贴装置，具备：
供给单元，其供给粘接片；以及
粘贴单元，其使由所述供给单元供给的所述粘接片的供给方向前端部与供给方向后端部重叠而形成重叠部，并将所述粘接片按压于被粘物进行粘贴，
其特征在于，
还具备再按压单元，其对由所述粘贴单元按压的所述重叠部进行再按压。
2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，
所述粘接片能够利用规定的能量增加粘接力，
所述片粘贴装置具备能量施加单元，该能量施加单元对所述粘接片施加所述规定的能量。
3.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，
所述粘贴单元向所述被粘物的一面的外缘部和另一面的外缘部、以及位于所述一面和另一面之间的外缘端面粘贴所述粘接片，
所述再按压单元将所述粘接片压接于所述一面的外缘部和另一面的外缘部并对所述重叠部进行再按压，
所述片粘贴装置具备翘起限制单元，在利用所述再按压单元对所述重叠部进行再按压时，所述翘起限制单元限制所述粘接片从所述被粘物的外缘端面翘起。
4.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，
所述粘接片能够弹性变形，
所述片粘贴装置具备张力施加单元，该张力施加单元对粘贴于被粘物的粘接片施加张力。
5.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，
所述粘接片能够利用规定的第二能量进行变形，
所述片粘贴装置具备第二能量施加单元，该第二能量施加单元对所述粘接片施加所述规定的第二能量。
6.一种片粘贴方法，实施：
供给工序，供给粘接片；以及
粘贴工序，使通过所述供给工序供给的所述粘接片的供给方向前端部与供给方向后端部重叠而形成重叠部，并将所述粘接片按压于被粘物进行粘贴，
其特征在于，
还实施再按压工序，对通过所述粘贴工序被按压的所述重叠部进行再按压。
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